CN112108456A - 搬送装置自动清洁系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及清洁设备技术领域，公开了一种搬送装置自动清洁系统及方法，所述搬送装置自动清洁系统包括：清洁室；控制系统，所述控制系统控制搬送装置进入所述清洁室，并对所述搬送装置进行自动清洁。本发明提供的搬送装置自动清洁系统及方法能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，减少人力成本、提高搬送装置的利用率。

Description

搬送装置自动清洁系统及方法

技术领域

本发明涉及清洁设备技术领域，特别涉及一种搬送装置自动清洁系统及方法。

背景技术

高架起重搬运器(Overhead Hoist Transports，简称OHT)是一种自动化搬送装置，能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。现有技术中OHT的一种应用场景为：将装载芯片的前开式晶圆运载盒(FrontOpening Unified Pod，简称FOUP)运送至芯片生产机台的前开式接口机械标准系统，然而此种应用场景容易将OHT上的粉尘震落并沾附于FOUP上，当生产机台开启FOUP门的时候，因机台内为真空状态(负压)，会将FOUP上与环境中的粉尘吸入生产机台内，使得粉尘散落在芯片上，从而使生产出来的芯片有严重缺陷。理想的解决办法是定期去除附着在OHT上及分布于轨道上的粉尘，尤其是囤积在OHT上的粉屑颗粒(Particle)。现有技术中清洁OHT的方法是将OHT从工作轨道上取下，人工用气枪及真空吸尘器对OHT进行清洁。

发明人发现现有技术至少存在如下问题：人工将OHT从工作轨道上取下以及人工清洁OHT均需消耗较大的人力成本，且人工清洁的时间及搬运OHT的时间较长，导致需要耗费较多的时间才能使OHT重新回到轨道进行工作，OHT的利用率不高。

发明内容

本发明实施方式的目的在于提供一种搬送装置自动清洁系统及方法，其能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，减少人力成本、提高搬送装置的利用率。

为解决上述技术问题，本发明的一个实施方式提供了一种搬送装置自动清洁系统，包括：清洁室；控制系统，所述控制系统控制搬送装置进入所述清洁室，所述清洁室对所述搬送装置进行自动清洁。

本发明的一个实施方式相对于现有技术而言，通过额外设置清洁室，以及设置分别与清洁室及搬送装置通信连接的控制系统，使得搬送装置在需要清洁时，控制系统能够控制清洁室清洁所述搬送装置，从而实现了搬送装置的自动清洁，由于整个清洁过程搬送装置无需从工作轨道中取下，只需驶入清洁室即可，从而节省了取下搬送装置所耗费的时间，又由于清洁室能够自动清洁搬送装置无需人工清洁，使得搬送装置的清洁过程无需消耗人力成本，从而实现了搬送装置清洁系统能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，还能够减少人力成本；此外，搬送装置在清洁完成后也无需再次安装，从清洁室内驶出即可重新开始工作，从而提高了搬送装置的利用率。

另外，还包括轨道，所述轨道包括所述搬送装置的工作轨道区域以及维修轨道区域，所述清洁室设置在所述维修轨道区域内。通过此种方式，使得搬送装置工作时在工作轨道区域行驶，在需要清洁时由工作轨道区域驶入维修轨道区域，以在维修轨道区域内的清洁室完成清洁，从而使得清洁室的设置不会影响搬送装置的正常工作。

另外，所述控制系统控制所述搬送装置从所述工作轨道区域行驶至所述清洁室进行自动清洁。

另外，所述维修轨道区域设有第一传感器，所述第一传感器与所述控制系统连接，所述第一传感器感应到所述搬送装置时，所述控制系统发送开始清洁的信息。通过此种方式，使得自动清洁系统更加智能化与自动化。

另外，所述清洁室包括用于清洁所述搬送装置的清洁室主体以及与所述清洁室主体围设成封闭空间的室门，所述第一传感器触发所述控制系统控制所述室门关闭，并控制所述清洁室主体开始清洁所述搬送装置。

另外，所述清洁室主体包括进风装置及排风装置，所述进风装置用于向所述搬送装置喷气，所述排风装置用于将所述清洁室主体内的气流排出。此种结构的设置能够使进风装置将搬送装置的粉状颗粒吹起的同时，通过排风装置能够迅速将含有粉状颗粒排出清洁室主体，从而避免了粉状颗粒再次落在搬送装置上，提高了自动清洁系统的清洁效果。

另外，所述进风装置包括用于进风的进风管道以及与所述进风管道连通的喷气结构，所述喷气结构用于将所述进风管道中吸入的空气喷向所述搬送装置。

另外，所述喷气结构为多个。

另外，所述进风装置及所述排风装置均与所述控制系统通信连接，所述进风装置及所述排风装置工作预设清洁时长后，所述控制系统控制所述进风装置及所述排风装置关闭。通过此种方式，使得清洁室在工作预设清洁时长后便会停止工作，从而能够在将搬送装置清洁干净的同时，提高清洁室的清洁效率。

另外，所述搬送装置工作轨道区域设有第二传感器，所述第二传感器与所述控制系统通信连接，用于在感应到所述搬送装置时所述控制系统发送清洁完成的信息。

另外，所述工作轨道区域设有第一定位装置，所述维修轨道区域设有第二定位装置，所述第一定位装置及所述第二定位装置分别与所述控制系统通信连接。

本发明的一个实施方式还提供了一种搬送装置自动清洁方法，包括：提供待清洁搬送装置；提供清洁室；在接受到所述待清洁搬送装置的清洁请求后，控制所述待清洁搬送装置进入所述清洁室，对所述待清洁搬送装置进行自动清洁。

另外，在前述方法实施例中，所述控制系统控制所述清洁室对所述待清洁搬送装置进行自动清洁之前，还包括：提供轨道，所述轨道包括所述待清洁搬送装置的工作轨道区域以及维修轨道区域，所述清洁室设置在所述维修轨道区域内；控制所述待清洁搬送装置从所述工作轨道区域行驶至所述清洁室。

另外，在前述方法实施例中，控制所述清洁室对所述待清洁搬送装置进行自动清洁后，还包括：检测所述清洁室是否工作预设清洁时长；在检测到所述清洁室工作预设清洁时长后，控制所述清洁室停止清洁。

另外，在前述方法实施例中，所述控制系统控制所述清洁室停止清洁后，还包括：控制清洁完成的所述待清洁搬送装置驶离所述清洁室，进入所述工作轨道区域。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本发明第一实施方式提供的搬送装置自动清洁系统的结构示意图；

图2是根据本发明第二实施方式提供的搬送装置自动清洁方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本发明而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本发明所要求保护的技术方案。

本发明的第一实施方式涉及一种搬送装置自动清洁系统100，具体结构如图1所示，包括：

清洁室1和控制系统2，控制系统2控制搬送装置进入清洁室1，清洁室1对搬送装置进行自动清洁。

本发明的第一实施方式相对于现有技术而言，通过额外设置清洁室1，以及设置分别与清洁室1及搬送装置通信连接的控制系统2，使得搬送装置在需要清洁时，控制系统2能够控制清洁室1清洁所述搬送装置，从而使搬送装置能够在需要清洁时自动清洁，由于整个清洁过程搬送装置无需从工作轨道中取下只需驶入清洁室1，从而节省了取下搬送装置所耗费的时间，又由于清洁室1能够自动清洁搬送装置无需人工清洁，使得搬送装置的清洁过程无需消耗人力成本，从而实现了搬送装置自动清洁系统100能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，还能够减少人力成本；此外，搬送装置在清洁完成后也无需再次安装，从清洁室1内驶出即可重新开始工作，从而提高了搬送装置的利用率。需要说明的是，本实施方式中的搬送装置可以为高架起重搬运器(Overhead Hoist Transports，简称OHT)。

下面对本实施方式提供的搬送装置自动清洁系统100的实现细节进行具体的说明，以下内容仅为方便理解提供的实现细节，并非实施本方案的必须。

本实施方式中，自动清洁系统100还包括轨道3，轨道3包括搬送装置的工作轨道区域31以及维修轨道区域32，清洁室1设置在维修轨道区域32内。通过将搬送装置行驶的轨道3分为搬送装置工作轨道区域31以及维修轨道区域32，且将清洁室1设置在维修轨道区域32，使得搬送装置工作时在工作轨道区域31行驶，在需要清洁时由工作轨道区域31驶入维修轨道区域32，以在维修轨道区域32内的清洁室1完成清洁，从而使得清洁室1的设置不会影响搬送装置的正常工作。

具体的说，搬送装置工作轨道区域31设有第一定位装置311，维修轨道区域32设有第二定位装置321，第一定位装置311及第二定位装置321分别与控制系统2通信连接。通过此种结构的设置，使得搬送装置能够在需要清洁时准确的从搬送装置工作轨道区域31驶向维修轨道区域32，到达清洁室1，从而确保搬送装置的定位更加准确。

在本实施方式的一个具体实施例中，第一定位装置311设置在搬送装置工作轨道区域31距离维修轨道区域32预设距离的区域，第二定位装置321设置在维修轨道区域32设置清洁室1的区域，控制系统2在接收到清洁请求后，控制搬送装置自第一定位装置311所在的区域行驶至第二定位装置321所在的区域。为了便于理解，下面对本实施方式中搬送装置如何进入清洁室1进行具体说明：

由于第一定位装置311设置在距离维修轨道区域32预设距离的区域，因此通过合理设置预设距离，如将预设距离设置的很小，能够使搬送装置出现在第一定位装置311的感应范围内即表明搬送装置需要驶离搬送装置工作轨道区域31并驶向维修轨道区域32，当搬送装置出现在第一定位装置311的感应范围内时，第一定位装置311会向控制系统2发送第一信号，控制系统2在接收到第一信号后控制搬送装置变更行驶方向，驶向维修轨道区域32，在搬送装置出现在第二定位装置321的感应范围内时，即表明搬送装置已经进入维修轨道区域32，第二定位装置321会向控制系统2发送第二信号，控制系统2在接收到第而信号后控制搬送装置停止运行，由于第二定位装置321设置在清洁室1所在的区域，因此通过合理设置第二定位装置321的安装位置，搬送装置能够恰好停在清洁室1内。

可以理解的是，本实施方式并不对第一定位装置311及第二定位装置321的安装位置作具体限定，如第一定位装置311可以安装在搬送装置工作轨道区域31远离维修轨道区域32，当搬送装置进入第一定位装置311的感应范围时，第一定位装置311向控制系统2发送信号，控制系统2接收到该信号后控制搬送装置以预订速度在搬送装置工作轨道区域31行驶预设时间，然后再改变搬送装置的行驶方式使其驶向维修轨道区域32，此种方式也能实现搬送装置在需要清洁时准确的从搬送装置工作轨道区域31驶向维修轨道区域32，从而到达清洁室1。

具体的说，清洁室1包括用于清洁搬送装置的清洁室主体11以及可与清洁室主体围设成封闭空间的室门12。需要说明的是，本实施方式中的室门12在清洁室1未工作时处于常开状态，以便于搬送装置进入清洁室1，室门12优选为自动门，从而能够在搬送装置进入清洁室1内后自动关闭，在搬送装置驶离清洁室1后自动打开，从而使得搬送装置自动清洁系统100更加自动化，进一步减少人力成本。此外，本实施方式并不对清洁室主体11的形状作具体限定，其可以是圆形，也可以是方形，如图1所示，清洁室主体11为圆角矩形，室门12安装在圆角矩形的两侧，且在自动清洁系统100的正投影面内，室门12与轨道垂直。

值得一提的是，维修轨道区域32设置清洁室1的区域设有第一传感器322，第一传感器322与控制系统2连接，第一传感器322触发控制系统2控制室门12关闭，并控制清洁室主体11清洁所述搬送装置。通过此种方式，使得自动清洁系统100更加智能化与自动化。

具体的说，清洁室主体11包括进风装置111及排风装置112，进风装置111用于向搬送装置喷气，排风装置112用于将清洁室主体11内的气流排出。由于进风装置111将搬送装置的粉状颗粒吹起后，清洁室主体11内的空气中会带有被吹起的粉状颗粒，通过设置排风装置112，能够迅速将清洁室主体11内的含有粉状颗粒的气流排出，从而避免了粉状颗粒再次落在搬送装置上，提高了自动清洁系统100的清洁效果。

需要说明的是，进风装置111包括用于进风的进风管道1111以及与进风管道1111连通的喷气结构1112，喷气结构1112用于将进风管道1111中吸入的空气喷向搬送装置。

进一步的，本实施方式中的喷气结构1112可以为多个，多个喷气结构1112可以设置分布在轨道的两侧，以使搬送装置进入清洁室1后喷气结构1112分布在搬送装置的两侧，从而能够确保喷气结构1112喷出的气体覆盖搬送装置的各个位置，进而提高了自动清洁系统100的清洁效果；此外，多个喷气结构1112也可以环绕清洁室设置，如方形的清洁室除底壁外的各个侧壁均设有喷气结构1112，此种结构同样能都达到喷气结构1112喷出的气体覆盖搬送装置的各个位置的技术效果。需要说明的是，本实施方式中并不对喷气结构1112的个数作具体限定，可以根据实际需求在清洁室1内安装不同数量的喷气结构1112。

在另一个实施方式中，进风装置111及排风装置112均与控制系统2通信连接，控制系统2还用于在进风装置111及排风装置112工作预设清洁时长后，控制进风装置111及排风装置112关闭。通过此种方式，使得清洁室1在工作预设清洁时长后便会停止工作，从而能够在将搬送装置清洁干净的同时，提高清洁室1的清洁效率。

可以理解的是，搬送装置工作轨道区域31设有第二传感器312，第二传感器312与控制系统2通信连接，用于在感应到搬送装置时，控制系统2发送清洁完成的信息。通过此种方式，使得控制系统2能够得知此搬送装置已经清洁完成，从而不会影响其他搬送装置进入清洁室1内进行清洁。

值得一提的是，本实施方式中的控制系统2还可以用于向搬送装置发送等待指令。具体的说，运行在搬送装置工作轨道区域内的搬送装置可以为多个，当清洁室1内有搬送装置正在被清洁，而此时有其他搬送装置向控制系统2发送清洁请求时，控制系统2会向发送清洁请求的搬送装置发送等待指令，等清洁室1内的搬送装置清洁完毕后，再控制接收到等待指令的搬送装置行驶至清洁室1内进行清洁；进一步的，本实施方式可以在搬送装置工作轨道区域31设置多个维修轨道区域32，即设置多个清洁室1，以提高搬送装置自动清洁系统100的工作效率。

为了便于理解，下面对本实施方式中搬送装置的具体清洁过程进行详细说明：

在搬送装置需要清洁时，向控制系统2发送清洁请求，当搬送装置驶入第一定位装置311的感应范围内时，第一定位装置311会向控制系统2发送第一信号，控制系统2在接收到第一信号后控制搬送装置变更行驶方向，驶向维修轨道区域32，在搬送装置出现在第二定位装置321的感应范围内时，即表明搬送装置已经进入维修轨道区域32，第二定位装置321会向控制系统2发送第二信号，控制系统2在接收到第二信号后控制搬送装置停止运行，第一传感器322在感应到搬送装置时向控制系统2发送指令，控制系统2控制室门12关闭，进风装置111与排风装置112启动，在进风装置111与排风装置112工作预设清洁时长，其中预设清洁时长可以为2-5分钟，在另一个具体实施例中预设清洁时长可以为3分钟，达到预设清洁时长后进风装置111与排风装置112关闭，室门12打开，搬送装置驶离清洁室1，位于搬送装置工作轨道区域31的第二传感器312在感应到搬送装置时，控制系统2发送清洁完成的信息，表示搬送装置已经清洁完成且已经驶离清洁室1。

本发明的第二实施方式涉及一种搬送装置自动清洁方法，本实施方式的具体流程如图2所示，包括：

S201：在接受到待清洁搬送装置的清洁请求后，控制待清洁搬送装置自工作轨道区域行驶至维修轨道区域。

关于步骤S201，具体的说，控制搬送装置自位于搬送装置工作轨道区域的第一预设位置行驶至位于维修轨道区域第二预设位置，也就是说，搬送装置由搬送装置工作轨道区域驶入维修轨道区域，且恰好停在清洁室内。可以理解的是，本实施方式中的第一预设位置及第二预设位置均可根据实际需求设置，如将第一预设位置设置得距离维修轨道区域较远，则在接收到搬送装置的清洁请求后可以控制搬送装置以预订速度在搬送装置工作轨道区域行驶预设时间，然后再改变搬送装置的行驶方式使其驶向维修轨道区域的第二预设位置。

S202：控制清洁室清洁待清洁搬送装置。

S203：检测清洁室是否工作预设清洁时长，在检测到清洁室工作预设清洁时长后，控制清洁室停止清洁。

S204：控制清洁完成的待清洁搬送装置驶离清洁室，进入工作轨道区域。

本发明的第二实施方式相对于现有技术而言，由于整个清洁过程搬送装置无需从工作轨道中取下只需驶入清洁室，从而节省了搬送装置从工作轨道中取下所耗费的时间，又由于清洁室能够自动清洁搬送装置无需人工清洁，使得搬送装置的清洁过程无需消耗人力成本，从而实现了搬送装置清洁系统能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，还能够减少人力成本；此外，由于搬送装置无需从工作轨道中取下，在清洁完成后也即无需再次安装，从清洁室驶入工作轨道区域即可重新开始工作，从而提高了搬送装置的利用率。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (15)

1.一种搬送装置自动清洁系统，其特征在于，包括：

清洁室；

控制系统，所述控制系统控制搬送装置进入所述清洁室，所述清洁室对所述搬送装置进行自动清洁。

2.根据权利要求1所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，还包括轨道，所述轨道包括所述搬送装置的工作轨道区域以及维修轨道区域，所述清洁室设置在所述维修轨道区域内。

3.根据权利要求2所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述控制系统控制所述搬送装置从所述工作轨道区域行驶至所述清洁室进行自动清洁。

4.根据权利要求2所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述维修轨道区域设有第一传感器，所述第一传感器与所述控制系统连接，所述第一传感器感应到所述搬送装置时，所述控制系统发送开始清洁的信息。

5.根据权利要求4所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述清洁室包括用于清洁所述搬送装置的清洁室主体以及与所述清洁室主体围设成封闭空间的室门，所述第一传感器触发所述控制系统控制所述室门关闭，并控制所述清洁室主体开始清洁所述搬送装置。

6.根据权利要求5所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述清洁室主体包括进风装置及排风装置，所述进风装置用于向所述搬送装置喷气，所述排风装置用于将所述清洁室主体内的气流排出。

7.根据权利要求6所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述进风装置包括进风管道以及与所述进风管道连通的喷气结构，所述喷气结构用于将所述进风管道中吸入的气体喷向所述搬送装置。

8.根据权利要求7所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述喷气结构为多个。

9.根据权利要求6所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述进风装置及所述排风装置均与所述控制系统通信连接，所述进风装置及所述排风装置工作预设清洁时长后，所述控制系统控制所述进风装置及所述排风装置关闭。

10.根据权利要求2所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述工作轨道区域设有第二传感器，所述第二传感器与所述控制系统通信连接，用于在感应到所述搬送装置时，所述控制系统发送清洁完成的信息。

11.根据权利要求2-10任一所述的搬送装置自动清洁系统，其特征在于，所述工作轨道区域设有第一定位装置，所述维修轨道区域设有第二定位装置，所述第一定位装置及所述第二定位装置分别与所述控制系统通信连接。

12.一种搬送装置自动清洁方法，其特征在于，包括：

提供待清洁搬送装置；

提供清洁室；

在接受到所述待清洁搬送装置的清洁请求后，控制所述待清洁搬送装置进入所述清洁室，对所述待清洁搬送装置进行自动清洁。

13.根据权利要求12所述的搬送装置自动清洁方法，其特征在于，所述控制系统控制所述清洁室对所述待清洁搬送装置进行自动清洁之前，还包括：

提供轨道，所述轨道包括所述待清洁搬送装置的工作轨道区域以及维修轨道区域，所述清洁室设置在所述维修轨道区域内；

控制所述待清洁搬送装置从所述工作轨道区域行驶至所述清洁室。

14.根据权利要求12所述的搬送装置自动清洁方法，其特征在于，控制所述清洁室对所述待清洁搬送装置进行自动清洁后，还包括：

检测所述清洁室是否工作预设清洁时长；

检测到所述清洁室工作预设清洁时长后，控制所述清洁室停止清洁。

15.根据权利要求14所述的搬送装置自动清洁方法，其特征在于，所述控制系统控制所述清洁室停止清洁后，还包括：

控制清洁完成的所述待清洁搬送装置驶离所述清洁室，进入所述工作轨道区域。

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