CN101549787A - 自动仓库及自动仓库洁净环境的控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供自动仓库及自动仓库洁净环境的控制方法。通过出入库装置将洁净环境测量用装置载置到搁板上，测量搁板的洁净环境。根据测量结果控制风扇过滤装置或排气口，将搁板的洁净环境保持在规定水平以上。

Description

自动仓库及自动仓库洁净环境的控制方法
技术领域
本发明涉及洁净室用的自动仓库，尤其涉及自动仓库内的环境的测量。
背景技术
发明者提出过设置搭载了净化等级测量用传感器的测量用设备，用出入库装置载置到自动仓库的搁板上来测量搁板内的环境的发明(专利文献1：日本特开2007-297196号)。由此，能够测量各搁板的环境和用出入库装置输送中的物品放置的环境。发明者进一步对将环境的测量结果反馈给洁净空气的控制进行了研究，获得了本发明。
发明内容
本发明的课题就是要保持自动仓库内的洁净环境，有效地防止保管物品污染。
本发明的另一个课题是将物品在输送过程中受到的振动保持在规定水平以下，有效地防止对物品产生的不良影响。
本发明为一种自动仓库，具有搁板、出入库装置、洁净空气供给用风扇过滤装置、开度调整自由的排气口、通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的洁净环境测量用装置，其特征在于，由上述测量用装置测量搁板的洁净环境；并且设置有控制单元，该控制单元通过根据测量结果控制上述风扇过滤装置和排气口开度中的至少一个而将搁板的洁净环境保持在规定水平以上。
并且本发明为自动仓库的洁净环境的控制方法，控制自动仓库内的洁净环境，所述自动仓库具有搁板、出入库装置、洁净空气供给用风扇过滤装置、开度调整自由的排气口、通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的洁净环境测量用装置，其特征在于，具有以下步骤：由上述测量用装置测量搁板的洁净环境的步骤；通过根据测量结果控制上述风扇过滤装置和排气口开度中的至少一个而将搁板的洁净环境保持在规定水平以上的步骤。
最好是按预先确定的规定规则，由出入库装置将上述测量用装置仅交接到自动仓库内的部分搁板上，测量交接到的搁板的洁净环境。
而且最好是在上述测量用装置中设置了振动传感器，测量由出入库装置输送中测量用装置受到的振动；并且设置有限制单元，该限制单元根据振动传感器的测量结果限制出入库装置的动作，将输送中输送物品受到的振动保持在规定水平以下。
并且，本发明为一种自动仓库，具有通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的振动测量用装置，其特征在于，通过振动测量用装置测量由出入库装置输送中的振动；并且设置有限制单元，该限制单元根据振动测量用装置的测量结果限制出入库装置的动作，将输送中输送物品受到的振动保持在规定水平以下。
最好是在上述振动测量用装置中设置静电传感器，并且由上述限制单元根据静电传感器的测量结果限制出入库装置的动作。
发明的效果：
本发明由于能够用一个或少量的测量用装置测量整个自动仓库的洁净环境，因此效率高。并且由于将测量结果反馈给风扇过滤装置或排气口的开度，因此能够将各搁板的洁净环境保持在规定水平以上。
其中，如果仅按规定的规则依次测量自动仓库内的部分搁板的洁净环境、推定周围搁板的洁净环境的话，则能够高效率地跨越整个自动仓库求出洁净环境。
并且，如果在测量用装置中设置振动传感器、根据振动的测量结果限制出入库装置的动作的话，则能够将输送中输送物品受到的振动保持在规定水平以下，能够防止振动对输送物品的不良影响。
而且，如果在测量装置中设置静电传感器、限制出入库装置的动作的话，则能够将输送中的物品的带电量保持在规定水平以下。
附图说明
图1为实施例的自动仓库的俯视图。
图2为实施例的正视图。
图3为实施例所使用的测量装置的侧视图。
图4为实施例的起重机控制部的框图。
图5为表示实施例的检查所有搁板的算法的流程图。
图6为表示实施例的检修时的算法的流程图。
附图标记
2.自动仓库；4、5.机架；6.堆装起重机；8.行走轨道；10.行走空间；12.台车；14.升降台；15.桅杆；16.移载装置；18.风扇过滤装置(FFU)；19.充电站；20.地面侧的控制器；22.搁板；24.测量装置；26.排气阀(排气口)；28.回流流路；29.框体；30.示踪物；32.纱线；34.进气部；36.反射体；38.带闪光灯的相机；40.粒子计数器；42.距离传感器；44.振动传感器；46.静电传感器；48.电源装置；50.通信接口；52.起重机控制器；54.所有搁板检查模式存储部；56.间隔检查模式存储部；58.周边搁板检查模式存储部；60.起重机动作检查模式存储部；62.装置通信接口；64.起重机限制部
具体实施方式
[实施例]
图1至图6表示实施例的自动仓库2。自动仓库2设置在洁净室(cleanroom)内，在图1中，4、5为机架，6为作为出入库装置的堆装起重机，也可以是传送带等其他输送装置。8为堆装起重机6的行走轨道，10为堆装起重机6的行走空间。另外，既可以在行走空间10的一方仅设置机架，也可以由半导体或平板显示器等处理装置来置换机架4、5的一部分。
如图2等所示，堆装起重机6具有台车12和沿桅杆15升降的升降台14，升降台14具有滑动叉或SCARA臂(スカラア一ム)等交接装置16。并且，在升降台14和交接装置16之间还可以设置使交接装置16与物品一起旋转的转台等。在自动仓库2的顶棚部和自动仓库2的侧面——例如最下层搁板的背面一侧设置风扇过滤装置(FFU)18，提供洁净空气。虽然图1中表示的是与搁板22相等的间距设置FFU18，但实际上FFU18的配置是任意的。并且，将FFU18设置在最下层搁板的背面一侧是因为从顶棚部的FFU来的洁净空气的气流不容易到达机架的下部和为了防止堆装起重机6的行走风侵入。
在机架4、5的例如一个地方设置有充电站19，能够给测量装置24充电。在充电站19上除此以外，还可以设置与测量装置之间的通信接口，从测量装置获取数据。20为地面侧的控制器，控制FFU18或后述的排气阀的开度、堆装起重机6等。22为搁板，保管例如半导体箱或平板显示器等的箱，保管物品的种类是任意的。实施例中为保管平板显示器的包装箱，使搁板22的层数为2～3层左右。26为设置在自动仓库2的地板附近的排气阀，开度调整自由；28为回流流路，将从排气阀26回流的空气提供给FFU18。
图3表示测量装置24的结构。29为适当的框体，例如测量装置24被分隔成上下2层。另外，也可以取消测量装置24的上下隔板，或者分隔成3层以上。能够检测离隔板的各高度位置上气流的变化，并且能够抑制高度方向的气流，从而能够将气流调整成水平。测量装置24的上下各层从上部垂吊示踪物(tracer)30，示踪物30由纱线32、设置在其下端的进气部(風受け)34以及反射体36构成。进气部34为例如设置了开口35的圆锥形状，与反射体36一起移动。示踪物30用进气部34承受搁板内和升降台上弱的气流产生大的位移，准确地求出气流的方向和强度。进气部34的形状并不局限于圆锥形状，也可以是圆筒状等，纱线32也可以延伸到进气部34或反射体36的下方。并且也可以不设置反射体36而拍摄进气部34自身的位置。
38为带闪光灯的相机，由于自动仓库2内的空间一般较暗，所以设置闪光灯。另外，闪光灯也可以与相机38分开设置。并且，用带闪光灯的相机38例如从下向上或者从上向下拍摄反射体36。由于洁净空气使反射体36移动的范围为不离开同一台相机38的视野的范围，因此能够从相机的图像区分出各个反射体36。并且利用例如一台相机38拍摄多个反射体36。
40为粒子计数器，测量例如在测量装置24的上下各层中流过的粒子的数量及其大小。42为距离传感器，测量与配置了测量用装置24的搁板的支柱等之间的距离，检测测量装置24交接的位置精度。
44为振动传感器，设置在测量用装置24的例如下层中央，也可以设置在各层。振动传感器44由例如加速度传感器构成，最好是分别测量测量装置24受到的x方向、y方向和z方向的振动。46为静电传感器，也可以不设置。静电传感器46检测作为保管物品的平板显示器的玻璃基板的带电状况等。玻璃基板因与含离子的洁净空气的接触或在输送中与图中没有表示的箱的玻璃支持部件摩擦而带电。如果玻璃基板带电的话，则玻璃基板上的电路和晶体管等有受损的危险。并且，玻璃基板带电使周围产生电场，用静电传感器46测量该电场。静电传感器46也可以测量电场的方向等，但实施例中仅测量电场的强度。
48为电源装置，为相机38和粒子计数器40、振动传感器44、静电传感器46等的电源，由例如上述充电站19充电。50为通信接口，例如与设置在自动仓库中的图中没有表示的无线LAN之间进行通信，或者当设置在堆装起重机的升降台上时与堆装起重机之间进行通信。或者也可以取而代之，与设置在充电站中的通信接口之间进行通信。在通信中，从测量装置24侧输出测量结果，从对方一侧接收与测量有关的指示。
图4表示起重机控制器52的结构。起重机控制器52为堆装起重机的机上控制器，控制堆装起重机的行走、升降台的升降以及交接装置的动作，此外为了将测量装置输送到测量对象的搁板而存储输送到测量的搁板上的输送模式。所有搁板检查模式存储部54存储测量装置的输送模式，以将测量装置交接到自动仓库内所有的搁板上，测量所有搁板的洁净环境。另外，洁净环境的测量包括粒子的计数、气流的流速和方向的测量以及振动和静电的测量。
间隔(間引き)检查模式存储部56存储跨域自动仓库的整个区域分布、并且不是对所有的搁板而仅仅是对部分搁板测量洁净环境地测量洁净环境的搁板的模式。以间隔检查模式测量的搁板也可以不固定，而是每次不同。周边搁板检查模式存储部58存储检测到洁净环境存在问题的搁板的载荷以及以其周边哪个搁板为测量对象的模式。
起重机动作检查模式存储部60存储用来检查台车的行走及加减速、升降台的升降及加减速、交接装置的动作使洁净环境怎样变化的模式。该模式将例如测量装置载置到搁板上，改变行走及升降、交接装置的动作等的条件使堆装起重机在载置有测量装置的搁板的周边反复动作。并且，将测量装置载置到升降台上，改变行走及升降、交接装置的动作等的条件使堆装起重机反复动作。在这期间用测量装置测量洁净环境。设备通信接口62为用来与测量装置进行通信的接口，也可以不专门设置。起重机限制部64根据振动及静电等的测量结果限制起重机动作的速度及加减速度等。
下面叙述实施例的动作。在自动仓库2竣工时或大规模维修等时，对所有搁板测量洁净环境。用堆装起重机将测量装置载置到各搁板上，测量搁板上粒子的数量及分布、气流的分布及其速度、测量装置的载置精度，以及静电的程度。并且测量用堆装起重机输送和交接测量装置时粒子数量及分布、气流的分布及其速度、测量装置的位置精度、测量装置受到的振动及静电。
将这些结果从无线LAN等发送给地面控制器，如果存在成为问题的水平的数据，则实施维修进行调整。接着根据粒子计数器的测量结果及气流的方向和风速的测量结果，调整风扇过滤装置的送风量和排气阀的开度，使所有的搁板保持在规定以上的清洁度。另外，在气流过强的情况下，由于玻璃基板等物品有可能带电，因此根据静电的测量结果调整风扇过滤装置及排气阀的开度。根据输送中测量装置的振动和静电程度，限制起重机的动作。这里，在具有允许程度以上的粒子的情况下、以及气流的方向和强度异常的情况下、或者存在异常的振动和异常的静电等情况下，作为故障调整堆装起重机。并且为了阐明其原因，改变堆装起重机的动作条件来阐明堆装起重机的动作与上述情况之间的关系。
图6表示检修时的流程图。检修在自动仓库竣工后以适当的定时——例如定期地进行，根据间隔检查模式存储部中产生的检查模式，将测量装置载置到规定的搁板上，测量清洁度及振动和静电的程度等，并且测量测量装置的载置精度。接着在例如将测量装置载置在1个搁板上的情况下，测量台车的行走和加减速、升降台的升降和加减速，以及交接装置的动作等引起的气流的变化及粒子的数量和大小的变化等，测量起重机的动作对洁净环境的影响。再用堆装起重机输送测量装置，测量输送中的振动、清洁度及静电的程度等。
其中，如果存在成为问题的数据的话，则阐明原因，尤其是对存在问题的搁板的周围的搁板也载置测量装置进行测量。并且根据阐明结果实施维修等。并且，即使在没有故障的情况下，也调整风扇过滤装置的送风量和排气阀的开度，以使各搁板保持均匀的清洁度。而且根据输送过程中振动的程度和静电的程度等，用起重机限制部对台车的最大行走速度和最大加减速度、升降台的最大升降速度和最大升降加减速度、交接速度等实施限制。
本实施例能够获得以下效果。
(1)用一个测量装置24能够测量自动仓库2内所有的洁净环境。
(2)由于将测量结果反馈给风扇过滤装置和排气阀的开度，因此能够将各搁板的洁净环境保持在规定水平以上。
(3)由于测量用堆装起重机输送中物品受到振动的程度以及静电的程度、气流的方向和速度、以及粒子的数量等，来限制起重机行走的速度等，因此能够减小物品在输送中受到的影响。
(4)通过在自动仓库竣工时等对所有搁板测量洁净环境，然后仅对一部分搁板进行测量，能够高效率地测量洁净环境。

Claims (6)

1.一种自动仓库，具有搁板、出入库装置、洁净空气供给用风扇过滤装置、开度调整自由的排气口、通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的洁净环境测量用装置，其特征在于，
由上述测量用装置测量搁板的洁净环境；
并且设置有控制单元，该控制单元通过根据测量结果控制上述风扇过滤装置和排气口开度中的至少一个而将搁板的洁净环境保持在规定水平以上。
2.如权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，按预先确定的规定规则，由出入库装置将上述测量用装置仅交接到自动仓库内的部分搁板上，测量交接到的搁板的洁净环境。
3.如权利要求2所述的自动仓库，其特征在于，在上述测量用装置中设置了振动传感器，测量由出入库装置输送中测量用装置受到的振动；
并且设置有限制单元，该限制单元根据振动传感器的测量结果限制出入库装置的动作，将输送中输送物品受到的振动保持在规定水平以下。
4.一种自动仓库，具有通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的振动测量用装置，其特征在于，
通过振动测量用装置测量由出入库装置输送中的振动；
并且设置有限制单元，该限制单元根据振动测量用装置的测量结果限制出入库装置的动作，将输送中输送物品受到的振动保持在规定水平以下。
5.如权利要求4所述的自动仓库，其特征在于，在上述振动测量用装置中设置静电传感器，并且由上述限制单元根据静电传感器的测量结果限制出入库装置的动作。
6.一种自动仓库的洁净环境的控制方法，控制自动仓库内的洁净环境，所述自动仓库具有搁板、出入库装置、洁净空气供给用风扇过滤装置、开度调整自由的排气口、通过出入库装置进行自由输送以及与搁板之间的自由交接的洁净环境测量用装置，其特征在于，具有以下步骤：
由上述测量用装置测量搁板的洁净环境的步骤；
通过根据测量结果控制上述风扇过滤装置和排气口开度中的至少一个而将搁板的洁净环境保持在规定水平以上的步骤。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104883804A (zh) * 2015-05-27 2015-09-02 苏州天华超净科技股份有限公司 静电消除器、室内静电消除系统及静电消除器自动清扫方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008036322A1 (de) * 2008-07-29 2010-02-04 Dürr Systems GmbH Zwischenlager zum Zwischenlagern von zu lackierenden Gegenständen
JP4743454B2 (ja) * 2009-04-24 2011-08-10 村田機械株式会社 搬送システム
DE102010020240A1 (de) * 2010-05-11 2011-11-17 TÜV Rheinland Industrie Service GmbH Luftdurchlässige OP-Decke
WO2013001482A1 (en) 2011-06-28 2013-01-03 Dynamic Micro Systems Semiconductor stocker systems and methods.
US8849634B2 (en) * 2012-02-01 2014-09-30 Palo Alto Research Center Incorporation Method for identifying the maximal packing density of shifting-tiles automated warehouses
NL2008454C2 (nl) * 2012-03-09 2013-09-10 Vanderlande Ind Bv Wagen alsmede opslagsysteem voorzien van een dergelijke wagen.
US9347681B2 (en) * 2012-09-26 2016-05-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Cleanroom
JP5787916B2 (ja) * 2013-02-18 2015-09-30 株式会社東芝 清浄度測定用台車および清浄度測定システム
JP5979089B2 (ja) 2013-06-26 2016-08-24 株式会社ダイフク 保管設備
CN105453247B (zh) * 2013-09-26 2017-11-24 村田机械株式会社 吹扫装置以及吹扫方法
TWI562945B (en) * 2015-11-23 2016-12-21 Mirle Automation Corp Transportation jig for transporting a plate member
WO2021039077A1 (ja) * 2019-08-28 2021-03-04 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム
JP7172964B2 (ja) * 2019-11-25 2022-11-16 トヨタ自動車株式会社 管理システム、管理方法、プログラム、自律移動装置
US11688618B2 (en) * 2020-12-10 2023-06-27 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for continuous substrate cassette loading

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05207611A (ja) * 1992-01-27 1993-08-13 Murata Mach Ltd 天井走行車のバッテリ自動交換装置
JPH08133482A (ja) * 1994-11-11 1996-05-28 Murata Mach Ltd パレタイジング方法
KR100602104B1 (ko) * 1999-05-25 2006-07-19 동경 엘렉트론 주식회사 레지스트 도포현상처리장치
JP3888836B2 (ja) * 1999-05-25 2007-03-07 東京エレクトロン株式会社 レジスト塗布現像処理装置
JP2003026306A (ja) * 2001-07-16 2003-01-29 Murata Mach Ltd 物品搬送装置および自動倉庫
JP2007276937A (ja) * 2006-04-05 2007-10-25 Murata Mach Ltd 保管設備
JP4186123B2 (ja) * 2006-05-02 2008-11-26 村田機械株式会社 測定ユニットを備えた搬送システム
JP4623381B2 (ja) * 2006-06-27 2011-02-02 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP4437561B2 (ja) * 2008-04-01 2010-03-24 村田機械株式会社 気流の測定ユニット
JP4706938B2 (ja) * 2008-11-21 2011-06-22 村田機械株式会社 クリーンルーム用の自動倉庫と自動倉庫での物品の保管方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104883804A (zh) * 2015-05-27 2015-09-02 苏州天华超净科技股份有限公司 静电消除器、室内静电消除系统及静电消除器自动清扫方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8088203B2 (en) 2012-01-03
US20090245985A1 (en) 2009-10-01
JP2009249053A (ja) 2009-10-29
DE102009014455A1 (de) 2010-01-21
TW200942753A (en) 2009-10-16
TWI429863B (zh) 2014-03-11

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