KR20230100590A - 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법 - Google Patents

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KR20230100590A
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조정호
임성재
서상진
이명호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은, 보관 장치를 세정하기 위한 세정 모듈을 제공한다. 세정 모듈은, 내부 공간을 정의하는 하우징; 상기 내부 공간에 설치되며, 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성하는 흡입 기구; 및 상기 흡입 기구에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 상기 하우징의 외부로 배기하는 배기 부를 포함할 수 있다.

Description

세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법{CLEANING MODULE, STRAGE SYSTEM AND CLEANING METHOD FOR STORAGE APPARATUS}
본 발명은 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조는 웨이퍼 등의 기판을 대상으로, 사진 공정, 노광 공정, 식각 공정, 확산 공정, 증착 공정 및 금속 공정 등 다양한 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각각의 단위 공정은 해당 공정을 수행할 수 있는 기판 처리 장치에서 이루어진다. 기판 처리 장치에 피처리물인 웨이퍼, 글라스 등의 기판이나, 기판의 처리에 사용되는 마스크(Mask) 등을 반송하기 위해 오버헤드 트랜스포트(Overhead transport:OHT)나, 오토 모바일 로봇(Auto Mobile Robot:AMR) 등의 반송 장치가 이용된다. 또한, 위 기판, 마스크들은 캐리어(carrier), 카세트(cassette), 풉(FOUP), 파드(POD) 등으로 불릴 수 있는 수납 용기에 적재된 상태로 반송된다.
수납 용기들은 보관 장치인 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 스토커는 용기들을 저장하기 위한 선반들과, 복수의 선반들 사이에 용기를 반송하기 위한 반송 로봇을 구비한다. 반송 로봇은 선반들 사이에서 수납 용기를 반송한다.
일반적으로, 단위 면적 당 수납 용기들을 보관할 수 있는 개수를 늘리기 위해 스토커는 매우 높은 높이로 제조된다. 스토커가 구비하는 선반들은 반도체 제조 라인의 바닥으로부터 수 m 내지 수십 m 정도의 높이까지 설치된다.
한편, 반도체 제조 라인에서는 다양한 이유로 파티클과 같은 먼지가 발생한다. 이러한 먼지는 스토커가 구비하는 선반에 쌓인다. 선반에 쌓인 먼지는 선반에 설치되는 센서(일반적으로, 센서는 선반에 수납 용기가 놓여 있는지 여부를 감지한다)의 감지 동작을 방해한다. 또한, 선반에 쌓인 먼지는 다양한 이유로 수납 용기 내로 유입될 수 있다. 수납 용기 내에는 높은 수준의 청정도가 요구되는 웨이퍼 등의 피처리물이 수납된다. 먼지가 수납 용기 내로 유입되면 피처리물을 오염시킨다. 이는, 반도체 제조 라인에서 제조되는 제조품에 불량을 일으킬 수 있다.
이러한 이유로, 작업자는 스토커에 쌓인 먼지를 제거하기 위한 클리닝 작업을 수행한다. 그러나, 앞서 설명한 바와 같이 스토커는 매우 높은 높이로 제조되고, 스토커가 구비하는 선반들 중 일부는 수 m 내지 수십 m의 높이에 위치하기 때문에, 선반에 쌓인 먼지를 제거하는 것이 쉽지 않다. 또한, 클리닝 작업을 수행하는 동안에는 안전상의 이유로 스토커의 구동을 중단시켜야 한다. 이 경우, 반도체 제조 라인에서의 물류 흐름은 스토커의 구동 중단에 의해 영향을 받게 되고, 결과적으로 반도체 제조 라인의 생산 효율을 떨어뜨린다.
본 발명은 보관 장치를 효과적으로 세정할 수 있는 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 보관 장치가 구비하는 지지 선반에 쌓인 파티클을 효과적으로 수집할 수 있는 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 보관 장치가 동작하는 프로세스 단계에서, 보관 장치의 동작을 중단시키지 않고도 보관 장치를 세정할 수 있는 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 보관 장치를 메인터넌스하는 메인터넌스 단계에서, 보관 장치의 세정을 빠르게 수행할 수 있는 세정 모듈, 보관 시스템 및 보관 장치의 세정 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은, 보관 장치를 세정하기 위한 세정 모듈을 제공한다. 세정 모듈은, 내부 공간을 정의하는 하우징; 상기 내부 공간에 설치되며, 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성하는 흡입 기구; 및 상기 흡입 기구에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 상기 하우징의 외부로 배기하는 배기 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 흡입 기구가 형성하는 기류에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 파티클을 트랩하는 트랩 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 트랩 부재는, 상부에서 하부로 갈수록 폭이 커지는 뒤집어진 깔때기 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 트랩 부재는: 상기 흡입 기구와 마주하는 입구 부; 및 상기 입구 부로부터 아래 방향을 따라 연장되며, 수직 방향에 대해 경사진 면을 가지는 경사 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 보관 장치의 지지 기구와 마주하며, 상기 하우징의 하부에 설치되는 흡입 부를 포함하되, 상기 흡입 부는 플레이트 형상을 가지며 복수의 홀이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 흡입 부에 형성된 복수의 홀은: 제1홀; 및 상기 제1홀보다 작은 직경을 가지는 제2홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 흡입 부에서 상기 제1홀이 형성된 영역을 제1영역이라 하고, 상기 흡입 부에서 상기 제2홀이 형성된 영역을 제2영역이라 할 때, 상기 제2영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제2홀의 개수는, 상기 제1영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제1홀의 개수보다 많을 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2홀은, 보관 장치의 지지 기구에 설치되는 선반 센서와 대응한 위치에 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 트랩 부재에 의해 트랩된 파티클과 마주하는 위치에 설치되며, 상기 하우징에 힌지에 의해 결합되는 배출 부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 물품을 보관하는 보관 시스템을 제공한다, 보관 시스템은, 물품이 수납되는 적어도 하나 이상의 수납 용기; 상기 수납 용기를 보관하는 보관 장치; 및 상기 보관 장치의 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는 적어도 하나 이상의 세정 모듈을 포함하고, 상기 보관 장치는: 각각 상기 지지 기구들을 포함하는 복수의 수납 부; 및 상기 수납 부들 사이에서 상기 수납 용기, 그리고 상기 세정 모듈을 반송하는 반송 유닛을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 수납 부들은, 제1방향 및 지면에 수직한 방향인 제3방향을 따라 배치되고, 상기 반송 유닛의 핸드는 상기 수납 부들 사이에서 상기 수납 용기, 그리고 상기 세정 모듈을 반송할 수 있도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지 기구는: 상기 수납 용기 또는 상기 세정 모듈을 지지할 수 있도록 구성되는 선반; 및 상기 선반에 설치되는 선반 센서를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 세정 모듈은: 내부 공간을 정의하는 하우징; 상기 내부 공간에 설치되며, 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성하는 흡입 기구; 상기 흡입 기구에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 상기 하우징의 외부로 배기하는 배기 부; 및 상기 하우징의 하부에 설치되는 흡입 부를 포함하고, 상기 흡입 부는, 플레이트 형상을 가지며 복수의 홀이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 복수의 홀은: 제1홀; 및 상방에서 바라볼 때, 상기 제1홀보다 상기 선반 센서에 인접하게 위치하는 제2홀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2홀은 상기 제1홀보다 작은 직경을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 흡입 부에서 상기 제1홀이 형성된 영역을 제1영역이라 하고, 상기 흡입 부에서 상기 제2홀이 형성된 영역을 제2영역이라 할 때, 상기 제2영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제2홀의 개수는, 상기 제1영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제1홀의 개수보다 많을 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 보관 장치는: 상기 세정 모듈에 수집된 파티클을 상기 세정 모듈로부터 배출하는 적어도 하나 이상의 배출 부를 포함하고, 상기 배출 부는: 상기 세정 모듈이 가지는 배출 부 - 상기 배출 부는 상기 세정 모듈에 수집된 파티클과 마주하는 위치에 설치됨 - 를 개방하여 상기 세정 모듈에 수집된 파티클을 외부로 배출하는 배출 기구를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 배출 기구는: 리지드(Rigid)한 소재로 형성되며, 상기 배출 부와 마주하는 제1배관; 및 플렉서블(Flexible)한 소재로 형성되며, 상기 제1배관에 연결되는 제2배관을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 세정 모듈을 이용하여 물품이 수납된 보관 장치를 세정하는 방법을 제공한다. 세정 방법은, 상기 세정 모듈을 상기 보관 장치가 구비하는 복수의 수납 부들 중 제1수납 부로 반송하여 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하고, 복수의 수납 부들 중 어느 하나에 대한 세정이 완료되면, 상기 세정 모듈을 복수의 수납 부들 중 제2수납 부로 반송하여 상기 제2수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 보관 장치가 동작하는 프로세스 단계에서는: 상기 세정 모듈이 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는 동안 상기 세정 모듈을 반송하는 핸드 모듈이 다른 과제를 수행하고, 상기 보관 장치를 메인터넌스하는 메인터넌스 단계에서는: 상기 세정 모듈이 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클의 수집을 완료할 때까지 상기 핸드 모듈이 대기하고; 상기 제1수납 부의 파티클 수집이 완료되면 상기 핸드 모듈은 상기 세정 모듈을 상기 제2수납 부로 반송하여 상기 제2수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 보관 장치를 효과적으로 세정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 보관 장치가 구비하는 지지 선반에 쌓인 파티클을 효과적으로 수집할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 보관 장치가 동작하는 프로세스 단계에서, 보관 장치의 동작을 중단시키지 않고도 보관 장치를 세정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 보관 장치를 메인터넌스하는 메인터넌스 단계에서, 보관 장치의 세정을 빠르게 수행할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 제2방향 및 제3방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이다.
도 2는 제1방향 및 제2방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이다.
도 3는 제1방향 및 제3방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이다.
도 4는 세정 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 4의 흡입 부를 상방에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 4의 세정 모듈이 파티클를 수집하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 4의 세정 모듈에 수집된 파티클을 세정 모듈의 외부로 배출하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 8은 도 4의 세정 모듈이 구비하는 배터리를 충전하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 프로세스 단계에서 보관 장치를 세정하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다.
도 10은 메인터넌스 단계에서 보관 장치를 세정하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다.
도 11, 그리고 도 12는 도 10의 메인터넌스 단계에서 보관 장치를 세정시 반송 유닛이 대기하는 예시를 나타낸 도면들이다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하에서는, 도 1 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.
도 1은 제2방향 및 제3방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이고, 도 2는 제1방향 및 제2방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이고, 도 3는 제1방향 및 제3방향에 평행한 평면으로 잘려진 보관 시스템의 단면도이다.
이하에서는, 반송 유닛(140)의 주행 방향을 제1방향(X)이라 하고, 상방에서 바라볼 때, 제1방향(X)에 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 하고, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 수직한 방향을 제3방향(Z)으로 정의할 수 있다. 제3방향(Z)은 지면에 수직한 방향을 의미할 수 있다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 보관 시스템(1)은 보관 장치(10), 수납 용기(20), 세정 모듈(30), 그리고 제어기(40)를 포함할 수 있다.
보관 장치(10)는 물품을 보관할 수 있다. 보관 장치(10)는 물품이 수납된 수납 용기(20)를 보관할 수 있다. 보관 장치(10)는 스토커(Stocker)라 불릴 수도 있다. 보관 장치(10)는 프레임(100), 지지 기구(110), 충전 모듈(120), 배출 기구(130), 그리고 반송 유닛(140)을 포함할 수 있다.
프레임(100)은 보관 장치(10)의 전체적인 골격으로써 기능할 수 있다. 프레임(100)은 후술하는 지지 기구(110)가 설치되는 몸체일 수 있다. 프레임(100)은 바닥 프레임(101)과 지지 프레임(102)을 포함할 수 있다. 바닥 프레임(101)에는 후술하는 반송 유닛(140)의 주행 레일(141)이 고정 설치될 수 있다. 지지 프레임(102)에는 후술하는 지지 기구(110)가 고정 설치될 수 있다. 또한, 지지 프레임(102)에는 프레임 센서(103)가 설치될 수 있다. 프레임 센서(103)는 후술하는 수납 부(ST)마다 설치될 수 있다. 프레임 센서(103)는 후술하는 수납 부(ST) 마다 복수 개가 설치될 수 있다. 프레임 센서(103)는 푸쉬 센서일 수 있다. 프레임 센서(103)는 세정 모듈(30)에 의해 눌려지는지에 따라, 세정 모듈(30)이 후술하는 수납 부(ST)에 안착되었는지 여부에 관한 신호를 후술하는 제어기(40)로 전송하는 푸쉬 센서일 수 있다. 이와 달리, 프레임 센서(103)는 레이저 등을 이용한 거리 감지 센서일 수도 있다. 프레임 센서(103)는 수납 용기(20) 또는 세정 모듈(30)의 후면과의 거리를 측정하고, 측정 값을 제어기(40)로 전송할 수 있다. 제어기(40)는 프레임 센서(103)가 전달하는 측정 값에 근거하여 수납 부(ST)에 안착된 대상이 세정 모듈(30)인지, 수납 용기(20)인지를 판단할 수 있다.
지지 기구(110)는 프레임(100)에 설치될 수 있다. 지지 기구(110)는 프레임(100) 중 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다. 지지 기구(110)는 수납 용기(20), 그리고 세정 모듈(30) 중 어느 하나를 지지할 수 있도록 구성될 수 있다.
지지 기구(110)은 선반(111)과 선반 센서(113)를 포함할 수 있다. 선반(111)은 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다. 선반(111)은 복수 개가 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다. 선반(111)은 제1방향(X) 및 제3방향(Z)을 따라 설치될 수 있다. 선반(111)은 반송 유닛(140)을 기준으로 일 측방에 설치되고, 또한 반송 유닛(140)을 기준으로 타 측방에도 설치될 수 있다. 도 1 내지 도 3에서는 반송 유닛(140)의 일 측방 및 타 측방 각각에 설치되는 선반(111)들이 5 x 4의 배열, 즉 20 개가 반송 유닛(140)의 일 측방 및 타 측방 각각에 설치되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 보관 장치(10)가 구비하는 선반(111)의 개수는 다양하게 변형될 수 있다.
선반(111)은 대체로 포크 형상을 가질 수 있다. 선반(111)은 한 쌍의 핑거를 가지는 형상을 가질 수 있다. 선반(111)이 가지는 한 쌍의 핑거의 상부 각각에는 선반 센서(113)가 설치될 수 있다. 선반 센서(113)는 푸쉬 센서일 수 있다. 선반 센서(113)는 수납 용기(20)에 의해 눌려지는지에 따라, 수납 용기(20)가 후술하는 수납 부(ST)에 안착되었는지 여부를 후술하는 제어기(40)로 전송하는 푸쉬 센서일 수 있다. 이와 달리, 선반 센서(113)는 레이저 등을 이용한 거리 감지 센서일 수도 있다. 선반 센서(113)는 수납 용기(20) 또는 세정 모듈(30)의 하면과의 거리를 측정하고, 측정 값을 제어기(40)로 전송할 수 있다. 제어기(40)는 선반 센서(113)가 전달하는 측정 값에 근거하여 수납 부(ST)에 안착된 대상이 세정 모듈(30)인지, 수납 용기(20)인지를 판단할 수 있다.
지지 기구(110), 프레임(100) 중 일부, 그리고 프레임(100)에 설치되는 프레임 센서(103)는 서로 조합되어 수납 용기(20)를 보관할 수 있는 하나의 유닛으로서 기능할 수 있다. 이하에서는, 이러한 하나의 유닛을 수납 부(ST)로 정의한다.
충전 모듈(120)은 후술하는 세정 모듈(30)이 구비하는 배터리를 충전할 수 있다. 충전 모듈(120)은 비접촉식으로 세정 모듈(30)이 구비하는 배터리를 충전할 수 있다. 충전 모듈(120)은 프레임(100)에 설치될 수 있다. 충전 모듈(120)은 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다. 충전 모듈(120)은 지지 기구(110)들 중 선택된 지지 기구(110)과 인접하도록 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다.
배출 기구(130)는 후술하는 세정 모듈(30)이 수집한 파티클 등의 먼지를 세정 모듈(30)의 외부로 배출할 수 있다. 배출 기구(130)는 충전 모듈(120)과 인접한 지지 기구(110)의 측방에 설치될 수 있다. 배출 기구(130)는 제1배관(131), 제2배관(132) 및 배출 라인(133)을 포함할 수 있다. 제1배관(131)은 금속과 같이 리지드(Rigid)한 소재로 형성되는 배관일 수 있다. 제2배관(132)은 그 길이가 신축 가능한 소재(예를 들어, 플렉서블(Flexible)한 합성 수지 등)로 형성되는 배관일 수 있다. 제2배관(132)은 펌프와 같이 감압을 제공하는 감압 장치와 연결되는 배출 라인(133)과 연결될 수 있다. 제1배관(131)과 제2배관(132) 중 제1배관(131)은 도시되지 않는 구동 메커니즘에 의해 제1방향(X) 및 제3방향(Z)을 따라 이동될 수 있다. 구동 메커니즘은 모터, 그리고 모터에 의해 신축되는 아암(Arm) 등의 부재로 구성될 수 있다. 구동 메커니즘은 지지 프레임(102)에 설치될 수 있다.
지지 기구(110), 프레임(100) 중 일부, 프레임(100)에 설치되는 프레임 센서(103), 충전 모듈(120) 및 배출 기구(130)는 세정 모듈(30) 내에 수집된 파티클을 세정 모듈(30)의 외부로 배출하고, 세정 모듈(30)이 구비하는 배터리를 충전할 수 있는 하나의 유닛으로서 기능할 수 있다. 이하에서는, 이러한 하나의 유닛을 비움 충전 부(EM)로 정의한다. 도 1 내지 도 3에서는 비움 충전 부(EM)가 1 개 구비되는 것을 예로 들어 도시하였으나, 보관 장치(10)는 비움 충전 부(EM)를 복수 개 구비할 수도 있다.
반송 유닛(140)은 보관 장치(10) 내에서 수납 용기(20)를 반송할 수 있다. 반송 유닛(140)은 보관 장치(10) 내에서 세정 모듈(30)을 반송할 수 있다. 반송 유닛(140)은 주행 레일(141), 승강 레일(142), 주행 구동기(143) 및 핸드 모듈(144)을 포함할 수 있다.
주행 레일(141)은 제1방향(X)을 따라 연장될 수 있다. 주행 레일(141)은 한 쌍의 레일로 제공될 수 있다. 승강 레일(142)은 제3방향(Z)을 따라 연장될 수 있다. 승강 레일(142)은 복수의 레일로 제공될 수 있다.
주행 구동기(143)는 주행 레일(141)을 따라 주행할 수 있다. 주행 구동기(143)는 주행 레일(141)을 따라 주행할 수 있도록 구성되는 주행 장치일 수 있다. 또한, 승강 레일(142)은 주행 구동기(143)에 설치될 수 있다. 이에, 주행 구동기(143)가 제1방향(X)을 따라 주행하는 경우, 승강 레일(142)의 위치도 제1방향(X)을 따라 변경될 수 있다.
핸드 모듈(144)은 승강 레일(142)을 따라 이동할 수 있다. 즉, 핸드 모듈(144)은 승강 레일(142)에 설치되어 제3방향(Z)을 따라 그 위치가 변경될 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드 모듈(144)은 핸드 구동기(144a) 및 핸드 구동기(144a)에 설치되는 핸드(144b)로 구성될 수 있다. 핸드 구동기(144a)는 핸드 모듈(144)이 승강 레일(142)을 따라 승강될 수 있게 하는 구동력을 발생시킬 수 있다. 또한, 핸드 구동기(144a)는 핸드(144b)를 제2방향(Y)을 따라 이동시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 아암(미도시)을 구비할 수 있다. 또한, 핸드 구동기(144a)는 핸드(144b)가 제3방향(Z)을 회전 축으로 하여, 핸드(144b)를 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 반송 유닛(140)의 핸드(144b)는 제1방향(X), 제2방향(Y) 및 제3방향(Z) 중 선택된 방향을 따라 그 위치가 변경될 수 있으며, 또한 핸드(144b)는 제3방향(Z)을 회전 축으로 하여 회전될 수 있도록 구성될 수 있다.
수납 용기(20)는 물품을 수납할 수 있다. 수납 용기(20)는 웨이퍼, 글라스 등의 기판, 또는 마스크 등의 기판을 수납할 수 있다. 수납 용기(20)는 복수 매의 기판을 수납할 수 있다. 수납 용기(20)는 캐리어(carrier), 카세트(cassette), 풉(FOUP), 또는 파드(POD) 일 수 있다. 수납 용기(20)는 후술하는 반송 유닛(140)에 의해 반송될 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 수납 용기(20)는 반도체 제조 라인에 설치 또는 제공되는 오버 헤드 트랜스포트(Overhead Transport:OHT)나, 오토모바일로봇(Auto Mobile Robot:AMR) 등에 의해 반송될 수 있도록 구성될 수 있다. 보관 장치(10)에서 보관되는 수납 용기(20)는 복수 개일 수 있다.
수납 용기(20)는 핸드(144b)에 의해 그립되는 용기 헤드(21)와, 내부에 수납 공간을 정의하는 컨테이너(22)를 포함할 수 있다.
컨테이너(22)의 후면은 상방에서 바라볼 때, 지지 프레임(102)에 설치되는 프레임 센서(103)와 접촉되지 않도록 라운드(Round)지거나, 경사진 형상을 가질 수 있다. 컨테이너(22)에는 웨이퍼와 같은 원판 형태의 피처리물이 수납될 수 있는데, 컨테이너(22)가 직육면체에 가까운 형상을 가지게 되는 경우, 컨테이너(22)의 내부 공간 중 빈 부분이 차지하는 비율이 커질 수 있다. 즉, 수납 용기(20)를 직육면체에 가까운 형상으로 제조하게 되면, 컨테이너(22)의 후면을 라운드지거나 경사진 형상을 가지도록 형성하는 경우와 비교할 때, 수납할 수 있는 피처리물의 수는 동일하더라도 수납 용기(20)의 무게가 무거워지기에 비효율적이다. 이에, 본 발명의 수납 용기(20)의 컨테이너(22)의 후면은 상방에서 바라볼 때, 지지 프레임(102)에 설치되는 프레임 센서(103)와 접촉되지 않도록 라운드지거나, 경사진 형상을 가질 수 있다.
제어기(40)는 보관 장치(10)를 제어할 수 있다. 제어기(40)는 보관 시스템(1)이 가지는 구성들을 제어할 수 있다. 제어기(40)는 반송 유닛(140)을 제어하는 제어 신호를, 반송 유닛(140)으로 전송할 수 있다. 또한, 제어기(40)는 프레임 센서(103) 및 선반 센서(113)가 전송하는 감지 신호에 근거하여, 수납 부(ST)들 중 어느 수납 부(ST)에 수납 용기(20)가 안착되어 있는지, 수납 부(ST)들 중 어느 수납 부(ST)에 대한 세정(청소)를 세정 모듈(30)이 수행하고 있는지, 비움 충전 부(EM)에서 세정 모듈(30)이 수집한 파티클들을 외부로 배출하고 있는지, 비움 충전 부(EM)에서 세정 모듈(30)의 배터리에 대한 충전을 수행하고 있는지 등을 확인할 수 있다. 제어기(40)는 메모리, CPU 등으로 구성되는 컴퓨터를 포함할 수 있다.
보관 시스템(1)은 적어도 하나 이상의 세정 모듈(30)을 구비할 수 있다. 세정 모듈(30)은 전체적으로 수납 용기(20)와 동일 또는 유사한 형상을 가질 수 있다. 세정 모듈(30)이 수납 용기(20)와 동일 또는 유사한 형상을 가지게 되어, 하나의 반송 유닛(140)은 수납 용기(20) 뿐 아니라 세정 모듈(30)도 동일한 방식으로 반송할 수 잇다. 즉, 반송 유닛(140)은 수납 용기(20)를 수납 부(ST)들 사이에서 반송할 수 있고, 또한 반송 유닛(140)은 세정 모듈(30)을 수납 부(ST)들 사이, 그리고 수납 부(ST)와 비움 충전 부(EM) 사이에서 반송할 수 있다.
또한, 세정 모듈(30)은 내부 공간을 정의하는 하우징(300)과 반송 유닛(140)의 핸드(144b)에 의해 그립되는 헤드(360)를 포함할 수 있다. 하우징(300)은 상방에서 바라볼 때, 대체로 직사각형의 형상을 가질 수 있다. 하우징(300)은 대체로 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 하우징(300)의 후면은 컨테이너(22)와 달리 프레임 센서(103)와 접촉될 수 있도록 편평한 형상을 가질 수 있다. 후술하는 바와 같이 세정 모듈(30)은 지지 기구(110)에 쌓인 먼지와 같은 파티클을 흡입할 수 있도록 구성된다. 즉, 본 발명의 세정 모듈(30)은, 하우징(300)의 최대한 많은 부분이 밀착될 수 있도록 구성되어, 선반(111)과 지지 프레임(102)이 연결되는 부분에 쌓인 먼지들도 효과적으로 수집하게 할 수 있다.
도 4는 세정 모듈을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 도 4의 흡입 부를 상방에서 바라본 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 세정 모듈(30)은 하우징(300), 배기 부(310), 배출 부(320), 흡입 부(330), 흡입 기구(340), 트랩 부재(350), 모듈 헤드(360), 배터리(370), 그리고 통신 기기(380)를 포함할 수 있다.
하우징(300)은 먼지 등의 파티클이 수집될 수 있는 내부 공간을 정의할 수 있다. 하우징(300)은 대체로 하부가 개방된 통 형상을 가질 수 있다. 하우징(300)은 대체로 하부가 개방된 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 하우징(300)의 상부에는 모듈 헤드(360)가 설치될 수 있다. 모듈 헤드(360)는 상술한 용기 헤드(21)와 동일 또는 유사한 형상을 가질 수 있다. 모듈 헤드(360)는 반송 유닛(140)의 핸드(144b)에 의해 그립될 수 있다.
하우징(300)의 측 부에는 배기 부(310)가 설치될 수 있다. 배기 부(310)는 다수의 구멍이 형성된 플레이트 형상을 가질 수 있다. 배기 부(310)는 후술하는 흡입 기구(340)에 의해 내부 공간으로 유입되는 기류를 하우징(300)의 외부로 배출하는 부분일 수 있다. 배기 부(310)는 복수 개가 구비될 수 있다. 배기 부(310)는 하우징(300)의 일 측부와, 타 측부에 각각 설치될 수 있다.
배출 부(320)는 하우징(300)의 측 부에 설치될 수 있다. 배출 부(320)는 하우징(300)의 측 부에 형성되는 개구를 여닫는 도어(Door)일 수 있다. 배출 부(320)는 후술하는 트랩 부재(350)에 의해 트랩되는 파티클(D)들과 마주하는 위치에 설치될 수 있다. 배출 부(320)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 또한, 배출 부(320)는 힌지(HI)에 의해 하우징(300)의 측 부에 설치될 수 있다.
흡입 부(330)는 하우징(300)의 하부에 설치될 수 있다. 흡입 부(330)는 하우징(300)의 하부에 설치되며, 하우징(300)과 서로 조합되어 내부 공간을 형성할 수 있다. 흡입 부(330)는 플레이트 형상을 가질 수 있다. 흡입 부(330)에는 복수의 홀(331, 332)이 형성될 수 있다. 흡입 부(330)에 형성된 홀은, 제1홀(331)과 제2홀(332)을 포함할 수 있다. 제2홀(332)은 제1홀(331)보다 작은 직경을 가질 수 있다. 또한, 제1홀(331)이 형성된 영역을 제1영역이라 하고, 제2홀(332)이 형성된 영역을 제2영역이라 할 때, 제2영역에서 단위 면적 당 형성되는 제2홀(332)의 개수는, 제1영역에서 형성되는 단위 면적 당 제1홀(331)의 개수보다 많을 수 있다. 또한, 제2홀(332)은 지지 기구(110)에 설치되는 선반 센서(113)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상방에서 바라볼 때 제2홀(332)들은 제1홀(331)들 보다 선반 센서(113)에 인접한 위치에 형성될 수 있다.
흡입 부(330)가 이러한 제1홀(331) 및 제2홀(332)을 가지는 것은, 선반 센서(113) 근방의 파티클 등의 먼지를 효과적으로 수집하기 위함이다. 후술하는 흡입 기구(340)가 기류를 형성하게 되면, 제2홀(332)은 비교적 작은 면적을 가지므로 제2홀(332)을 통과하는 기류는 비교적 빠르게 유동할 수 있다. 또한, 제2홀(332)은 비교적 밀집되어 다수개가 형성된다. 따라서 빠르게 유동하는 다수의 기류가 선반 센서(113)의 근방에 발생하게 된다. 선반 센서(113)와 선반(111) 사이에 낀 먼지는 쉽게 제거되기 어려울 수 있는데, 위와 같은 제2홀(332)을 가지게 되면, 선반(111)과 선반 센서(113) 사이에 낀 먼지를 비교적 용이하게 제거할 수 있게 된다.
또한, 흡입 부(330)의 하부에는 지지 레그(333)들이 설치될 수 있다. 지지 레그(333)들은 흡입 부(330)의 하면과 지지 선반(111)의 상면을 이격시킬 수 있다.
흡입 기구(340)는 하우징(300)이 정의하는 내부 공간에 설치될 수 있다. 흡입 기구(340)는 하우징(300)의 하방에서 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성할 수 있다. 흡입 기구(340)는 모터(341), 팬(342), 그리고 필터(343)를 포함할 수 있다. 모터(341)는 팬(342)을 회전시킬 수 있다.
도 6은 도 4의 세정 모듈이 파티클를 수집하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 6에서는 수납 부(ST)에 놓인 세정 모듈(30)이 수납 부(ST)의 지지 기구(110)에 쌓인 먼지를 청소하는 모습을 보여준다. 도 6을 참조하면, 팬(342)이 회전되면, 세정 모듈(30)의 하부에서 하우징(300)의 내부 공간으로 유입되는 기류가 형성될 수 있다. 형성된 기류는 지지 선반(111)에 쌓인 파티클(D) 등의 먼지를 수집할 수 있다. 필터(343)는 파티클(D)이 모터(341)로 직접적으로 전달되는 것을 필터링 할 수 있다.
트랩 부재(350)는 흡입 기구(340)에 의해 흡입되는 파티클(D)을 트랩할 수 있다. 트랩 부재(350)는 상부에서 하부로 갈수록 폭이 커지는 뒤집어진 깔때기 형상을 가질 수 있다. 트랩 부재(350)는 입구 부(351), 경사 부(352), 그리고 트랩 부(353)를 포함할 수 있다. 입구 부(351)는 흡입 기구(340)와 마주할 수 있다. 경사 부(352)는 입구 부(351)로부터 아래를 향하는 방향으로 연장될 수 있다. 경사 부(352)는 제3방향(Z)에 대해 수직한 경사진 면을 가질 수 있다. 또한, 트랩 부(353)는 경사 부(352)로부터 측 방향을 따라 연장될 수 있다. 입구 부(351)를 통해 하우징(300)의 내부 공간으로 유입되는 파티클(D)은 경사 부(352)가 가지는 경사진 면을 따라 흘러내려, 트랩 부(353)에서 수집될 수 있다.
통신 기기(380)는 LAN 카드 등을 포함하는 무선 통신 장치일 수 있다. 통신 기기(380)는 세정 모듈(30)의 상태에 관한 정보를 제어기(40)로 전송할 수 있다. 예컨대, 세정 모듈(30)은 필요에 따라 하우징(300)의 내부 공간의 파티클(D)의 양을 측정할 수 있는 파티클 측정기(미도시)를 구비할 수 있다. 파티클 측정기는 입자 측정기일 수 있다. 통신 기기(380)는 파티클 측정기가 측정하는, 내부 공간의 파티클(D)의 양을 제어기(40)로 전송할 수 있다. 통신 기기(380)는 모듈 헤드(360) 내에 설치되는 것을 예로 들어 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 통신 기기(380)는 하우징(300)에 부착되어 설치될 수도 있다.
도 7은 도 4의 세정 모듈에 수집된 파티클을 세정 모듈의 외부로 배출하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 7에서는 세정 모듈(30)이 비움 충전 부(EM)에 안착되어 세정 모듈(30)이 수집한 파티클(D)을 세정 모듈(30)의 외부로 배출하는 모습을 보여줄 수 있다.
배출 기구(130)의 제1배관(131)은 배출 부(320)와 마주할 수 있다. 세정 모듈(30)이 비움 충전 부(EM)에 놓이게 되면, 배출 기구(130)의 구동 메커니즘은 제1배관(131)을 측 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1배관(131)의 입구 부에는 접촉 센서(미도시)가 설치될 수 있다. 접촉 센서가 배출 부(320)와의 접촉을 감지하면, 제1배관(131)은 설정 거리만큼 더 이동하여 배출 부(320)를 개방할 수 있다. 배출 부(320)가 개방되면, 제어기(40)는 배출 기구(130)에 제어 신호를 전송할 수 있다. 제어 신호를 전송받은 배출 기구(130)는 트랩 부재(350)에 의해 트랩된 파티클(D)을 진공 흡입할 수 있다. 트랩 부재(350)에 트랩된 파티클(D)들은 배출 기구(130)를 통해 세정 모듈(30)의 외부로 배출될 수 있다.
도 8은 도 4의 세정 모듈이 구비하는 배터리를 충전하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 8을 참조하면, 세정 모듈(30)은 세정 모듈(30)이 구비하는 구성들(예를 들어, 흡입 기구(340), 통신 기기(380) 등)을 작동시키기 위한 배터리(370)를 포함할 수 있다. 배터리(370)는 흡입 기구(340)나 통신 기기(380) 등에 전력을 전달할 수 있다. 세정 모듈(30)이 비움 충전 부(EM)에 놓이면, 지지 프레임(101)에 설치된 충전 모듈(120)이 비접촉 방식으로 배터리(370)를 충전할 수 있다. 충전 모듈(120)은 전자 유도 방식, 자계 공명 방식, 전계 결합 방식, 또는 전파 수신 방식 등 공지된 무선 충전 방식이 적용되어 배터리(370)를 충전할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 세정 모듈(30)을 이용하여 보관 장치(10)를 세정하는 방법에 대하여 설명한다.
도 9는 프로세스 단계에서 보관 장치를 세정하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다. 도 1, 도 2, 도 3 및 도 9를 참조하면, 프로세스 단계란, 보관 장치(10)가 동작하는 단계일 수 있다. 프로세스 단계에서는 반송 유닛(140)이 지정된 과제(JOB)를 수행할 수 있도록 제어기(40)로부터 제어 신호를 전달 받을 수 있다. 과제란, 반송 유닛(140)이 수행해야 할 반송 동작을 의미할 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 세정 모듈(30)을 이용하는 경우, 보관 장치(10)의 동작을 중단하지 않고도 보관 장치(10)의 지지 기구(110)를 세정할 수 있다.
구체적으로, 프로세스 단계에서 보관 장치(10)를 세정하는 방법(S10)은, 아래의 스텝을 포함할 수 있다.
스텝 S11에서는 반송 유닛(140)이 세정 모듈(30)을 그립할 수 있다. 반송 유닛(140)의 핸드(144b)는 세정 모듈(30)의 모듈 헤드(360)를 그립할 수 있다. 모듈 헤드(360)의 형상은 용기 헤드(21)의 형상과 동일 또는 유사하므로, 하나의 핸드(144b)는 모듈 헤드(360)와 용기 헤드(21)를 동시에 그립할 수 있다. 따라서, 세정 모듈(30)을 반송하기 위한 별도의 핸드 모듈(144)을 구비하는 것이 필요하지 않는 이점이 있다.
다음, 스텝 S12에서는 반송 유닛(140)은 세정 모듈(30)을 세정이 필요한 지지 기구(110)에 안착시킬 수 있다. 반송 유닛(140)의 핸드 모듈(144)은 세정이 필요한 지지 기구(110)에 세정 모듈(30)을 안착시킬 수 있다. 세정이 필요한 지지 기구(110)는 제어기(40)에서 미리 선정해둘 수 있다. 예를 들어, 제어기(40)는 세정 모듈(30)에 의한 마지막 세정이, 또는 메인터넌스를 통해 작업자가 직접 수행한 마지막 세정이, 가장 오래된 지지 기구(110)를 우선하여 세정이 필요한 지지 기구(110)로 선정할 수 있다.
다음, 스텝 S13에서는 세정 모듈(30)이 지지 기구(110)를 세정하는 동안 반송 유닛(140)은 다른 과제를 수행할 수 있다. 반송 유닛(140)이 수행하는 다른 과제는, 수납 용기(20)를 반송하는 동작이나, 보관 시스템(1)이 더 가질 수 있는 또 다른 세정 모듈(30)을 반송하는 동작일 수 있다.
다음, 스텝 S14에서는 세정 동작을 완료한 세정 모듈(30)을 다른 지지 기구(110)로 반송할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 세정 방법에 의하면, 프로세스 단계에서도 보관 장치(10)의 동작을 중단시키지 않고, 보관 장치(10)를 클리닝 하는 것이 가능하다. 또한, 세정 모듈(30)의 반송을 반송 유닛(140)이 수행하게 되므로, 높은 위치에 위치되는 지지 선반(111)을 청소하기 위해 작업자가, 높은 위치까지 이동하지 않아도 되는 이점이 있다.
도 10은 메인터넌스 단계에서 보관 장치를 세정하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다. 도 1, 도 2, 도 3 및 도 10을 참조하면, 메인터넌스 단계란, 보관 장치(10)가 동작하지 않는 단계일 수 있다. 메인터넌스 단계에서는 보관 장치(10)의 유지, 보수 작업을 수행할 수 있다.
구체적으로, 메인터넌스 단계에서 보관 장치(10)를 세정하는 방법(S20)은 아래의 스텝을 포함할 수 있다.
스텝 S21에서는 위 스텝 S11에서와 유사하게 반송 유닛(140)이 세정 모듈(30)을 그립할 수 있다.
다음, 스텝 S22에서는 반송 유닛(140)이 세정 모듈(30)을 세정이 필요한 지지 기구(110)의 상방에 위치시킬 수 있다. 세정 모듈(30)을 지지 기구(110)의 상방에 위치시키는 것은 도 11에 도시된 바와 같이 세정 모듈(30)을 지지 기구(110)에 안착시키는 것뿐 아니라, 세정 모듈(30)이 지지 기구(110)와 이격되도록 핸드(144b)가 세정 모듈(30)을 그립하고 있는 상태인 것을 포함할 수 있다.
다음, 스텝 S23에서는 세정 모듈(30)이 지지 기구(110)를 세정하는 동안 반송 유닛(140)은 대기할 수 있다. 세정 모듈(30)이 지지 기구(110)를 세정하는 동안 반송 유닛(140)의 핸드(144b)는 대기할 수 있다.
다음, 스텝 S24에서는 세정 동작을 완료한 세정 모듈(30)을 다른 지지 기구(110)로 반송할 수 있다.
이와 같이 메인터넌스 단계에서, 반송 유닛(140)의 핸드 모듈(144)이 대기하는 경우, 핸드 모듈(144)이 대기하지 않는 경우와 비교할 때 보다 더 빠르게 지지 기구(110)들의 세정을 수행할 수 있다. 또한, 메인터넌스 단계에서, 세정 모듈(30)의 반송은, 인접한 수납 부(ST)들 사이에서 이루어질 수 있다. 예를 들어, 수납 부(ST)들 중 제1수납 부에 대해 세정이 완료되면, 세정 모듈(30)은 제1수납 부에서, 제1수납 부의 바로 옆, 또는 바로 위/아래에 위치하는 제2수납 부로 반송되어 지지 기구(110)의 세정을 수행할 수 있다. 즉, 메인터넌스 단계에서는 보다 빠른 지지 기구(110)들의 세정을 수행할 수 있도록, 세정 모듈(30)이 지지 기구(110)에 대한 세정을 수행하는 동안 핸드 모듈(144)이 다른 과제를 수행하지 않고 대기시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 프로세스 단계와 메인터넌스 단계에서 세정 모듈(30)을 반송하는 반송 유닛(140)의 동작을 다르게 함으로써, 각각의 단계에서 보다 효율적으로 지지 기구(110)를 세정할 수 있게 도울 수 있다. 또한, 프로세스 단계에서의 세정 모듈(30)의 반송은 제어기(40)에 의해 자동으로 수행될 수 있다. 또한, 메인터넌스 단계에서의 세정 모듈(30)의 반송은 제어기(40)에 의해 자동으로 수행될 수도 있고, 또는 작업자가 제어기(40)를 통해 세정 모듈(30)의 반송을 수동으로 직접 제어할 수도 있다.
상술한 예에서는 세정 모듈(30)이 스토커가 구비하는 지지 기구(110)에 쌓인 먼지들을 세정하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 세정 모듈(30)은 수납 용기(20)가 안착될 수 있는 다양한 구성들(EFEM 포트, 사이드 트랙 버퍼(STB), EQ 포트 등)에 쌓인 먼지들도 제거할 수 있다.
또한, 세정 모듈(30)의 반송이 상술한 반송 유닛(140)에 의해서 수행되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 세정 모듈(30)의 반송은 상술한 OHT나, AMR에 의해 이루어질 수도 있다.
이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명에서 제공되는 도면은 본 발명의 최적의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.
보관 시스템 : 1
보관 장치 : 10
프레임 : 100
바닥 프레임 : 101
지지 프레임 : 102
프레임 센서 : 103
지지 기구 : 110
선반 : 111
선반 센서 : 113
수납 부 : ST
충전 모듈 : 120
배출 기구 : 130
제1배관 : 131
제2배관 : 132
배출 라인 : 133
배출 부 : EM
반송 유닛 : 140
주행 레일 : 141
승강 레일 : 142
주행 구동기 : 143
핸드 모듈 : 144
핸드 구동기 : 144a
핸드 : 144b
수납 용기 : 20
컨테이너 : 21
용기 헤드 : 22
세정 모듈 : 30
하우징 : 300
배기 부 : 310
배출 부 : 320
흡입 부 : 330
제1홀 : 331
제2홀 : 332
레그 : 333
흡입 기구 : 340
모터 : 341
팬 : 342
필터 : 343
트랩 부재 : 350
입구 부 : 351
경사 부 : 352
트랩 부 : 353
모듈 헤드 : 360
배터리 : 370
통신 기기 : 380
제어기 : 40

Claims (20)

  1. 보관 장치를 세정하기 위한 세정 모듈에 있어서:
    내부 공간을 정의하는 하우징;
    상기 내부 공간에 설치되며, 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성하는 흡입 기구; 및
    상기 흡입 기구에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 상기 하우징의 외부로 배기하는 배기 부를 포함하는,
    세정 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡입 기구가 형성하는 기류에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 파티클을 트랩하는 트랩 부재를 더 포함하는,
    세정 모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 트랩 부재는, 상부에서 하부로 갈수록 폭이 커지는 뒤집어진 깔때기 형상을 가지는,
    세정 모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 트랩 부재는:
    상기 흡입 기구와 마주하는 입구 부; 및
    상기 입구 부로부터 아래 방향을 따라 연장되며, 수직 방향에 대해 경사진 면을 가지는 경사 부를 포함하는,
    세정 모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    보관 장치의 지지 기구와 마주하며, 상기 하우징의 하부에 설치되는 흡입 부를 포함하되, 상기 흡입 부는 플레이트 형상을 가지며 복수의 홀이 형성된,
    세정 모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 흡입 부에 형성된 복수의 홀은:
    제1홀; 및
    상기 제1홀보다 작은 직경을 가지는 제2홀을 포함하는,
    세정 모듈.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 흡입 부에서 상기 제1홀이 형성된 영역을 제1영역이라 하고, 상기 흡입 부에서 상기 제2홀이 형성된 영역을 제2영역이라 할 때, 상기 제2영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제2홀의 개수는, 상기 제1영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제1홀의 개수보다 많은,
    세정 모듈.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제2홀은, 보관 장치의 지지 기구에 설치되는 선반 센서와 대응한 위치에 형성되는,
    세정 모듈.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 트랩 부재에 의해 트랩된 파티클과 마주하는 위치에 설치되며, 상기 하우징에 힌지에 의해 결합되는 배출 부를 포함하는,
    세정 모듈.
  10. 물품을 보관하는 보관 시스템에 있어서:
    물품이 수납되는 적어도 하나 이상의 수납 용기;
    상기 수납 용기를 보관하는 보관 장치; 및
    상기 보관 장치의 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는 적어도 하나 이상의 세정 모듈을 포함하고,
    상기 보관 장치는:
    각각 상기 지지 기구들을 포함하는 복수의 수납 부; 및
    상기 수납 부들 사이에서 상기 수납 용기, 그리고 상기 세정 모듈을 반송하는 반송 유닛을 포함하는,
    보관 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 수납 부들은, 제1방향 및 지면에 수직한 방향인 제3방향을 따라 배치되고,
    상기 반송 유닛의 핸드는 상기 수납 부들 사이에서 상기 수납 용기, 그리고 상기 세정 모듈을 반송할 수 있도록 구성되는,
    보관 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지 기구는:
    상기 수납 용기 또는 상기 세정 모듈을 지지할 수 있도록 구성되는 선반; 및
    상기 선반에 설치되는 선반 센서를 포함하는,
    보관 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 세정 모듈은:
    내부 공간을 정의하는 하우징;
    상기 내부 공간에 설치되며, 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 형성하는 흡입 기구;
    상기 흡입 기구에 의해 상기 내부 공간으로 유입되는 기류를 상기 하우징의 외부로 배기하는 배기 부; 및
    상기 하우징의 하부에 설치되는 흡입 부를 포함하고,
    상기 흡입 부는, 플레이트 형상을 가지며 복수의 홀이 형성된,
    보관 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 홀은:
    제1홀; 및
    상방에서 바라볼 때, 상기 제1홀보다 상기 선반 센서에 인접하게 위치하는 제2홀을 포함하는,
    보관 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제2홀은 상기 제1홀보다 작은 직경을 가가지는,
    보관 시스템.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 흡입 부에서 상기 제1홀이 형성된 영역을 제1영역이라 하고, 상기 흡입 부에서 상기 제2홀이 형성된 영역을 제2영역이라 할 때, 상기 제2영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제2홀의 개수는, 상기 제1영역에서 단위 면적 당 형성되는 상기 제1홀의 개수보다 많은,
    보관 시스템.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 보관 장치는:
    상기 세정 모듈에 수집된 파티클을 상기 세정 모듈로부터 배출하는 적어도 하나 이상의 배출 부를 포함하고,
    상기 배출 부는:
    상기 세정 모듈이 가지는 배출 부 - 상기 배출 부는 상기 세정 모듈에 수집된 파티클과 마주하는 위치에 설치됨 - 를 개방하여 상기 세정 모듈에 수집된 파티클을 외부로 배출하는 배출 기구를 포함하는,
    보관 시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 배출 기구는:
    리지드(Rigid)한 소재로 형성되며, 상기 배출 부와 마주하는 제1배관; 및
    플렉서블(Flexible)한 소재로 형성되며, 상기 제1배관에 연결되는 제2배관을 포함하는,
    보관 시스템.
  19. 세정 모듈을 이용하여 물품이 수납된 보관 장치를 세정하는 방법에 있어서:
    상기 세정 모듈을 상기 보관 장치가 구비하는 복수의 수납 부들 중 제1수납 부로 반송하여 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하고,
    복수의 수납 부들 중 어느 하나에 대한 세정이 완료되면, 상기 세정 모듈을 복수의 수납 부들 중 제2수납 부로 반송하여 상기 제2수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는,
    방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 보관 장치가 동작하는 프로세스 단계에서는:
    상기 세정 모듈이 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는 동안 상기 세정 모듈을 반송하는 핸드 모듈이 다른 과제를 수행하고,
    상기 보관 장치를 메인터넌스하는 메인터넌스 단계에서는:
    상기 세정 모듈이 상기 제1수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클의 수집을 완료할 때까지 상기 핸드 모듈이 대기하고;
    상기 제1수납 부의 파티클 수집이 완료되면 상기 핸드 모듈은 상기 세정 모듈을 상기 제2수납 부로 반송하여 상기 제2수납 부가 가지는 지지 기구에 쌓인 파티클을 수집하는,
    방법.
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