DE102009014455A1

DE102009014455A1 - Automatisiertes Lager und Verfahren zur Reinraumsteuerung im automatisierten Lager

Info

Publication number: DE102009014455A1
Application number: DE102009014455A
Authority: DE
Inventors: Matsuba Inuyama-shi Katsumi
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2008-04-01
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2010-01-21
Also published as: JP2009249053A; TW200942753A; TWI429863B; US20090245985A1; CN101549787A; US8088203B2

Abstract

Die Erfindung betrifft ein automatisiertes Lager (2), bestehend aus einer Messeinheit (24) zur Messung des Reinraums, das von einem Entnahme- und Lagergerät in einer Zelle (22) angeordnet wird, um den Zellenreinraum zu messen. Auf der Grundlage eines Messergebnisses werden eine Gebläsefiltereinheit (18) oder ein Entlüftungsventil (26) gesteuert, um den Reinraum der Zelle auf einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten (Fig. 2).

Description

Technisches Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein automatisiertes Lager, das z. B. in einem Reinraum verwendet wird. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung die Raummessung im automatisierten Lager.
Stand der Technik
Der Erfinder hat eine Technik vorgeschlagen, eine Messeinheit, die mit einem Sensor zur Reinheitsmessung ausgestattet ist, zu schaffen und die Messeinheit in jeder Zelle eines automatisierten Lagers unter Verwendung von Entnahme- und Lagergeräten zur Raummessung in der Zelle anzuordnen (Patentveröffentlichung 1: JP2007-297196A ). Auf diese Weise ist es möglich, den Raum in jeder Zelle und die Umgebung von Gegenständen, die von den Entnahme- und Lagergeräten transportiert werden, zu messen. Der Erfinder untersuchte außerdem eine Technik zur Implementierung einer Rückkopplungssteuerung für Reinluft auf der Grundlage von Raummessergebnissen und gelangte zu der vorliegenden Erfindung.
Offenbarung der Erfindung
Durch die Erfindung zu lösende Probleme
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Reinraum in einem automatisierten Lager aufrechtzuerhalten und dadurch effektiv eine Kontamination von Gegenständen im Lager zu verhindern.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, auf die Gegenstände während des Transports aufgebrachte Vibrationen auf einem bestimmten Pegel oder darunter zu halten, um dadurch effektiv zu verhindern, dass die Gegenstände beschädigt werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung hat ein automatisiertes Lager Zellen, ein Entnahme- und Lagergerät, eine Gebläsefiltereinheit zur Zufuhr von Reinluft, einen Entlüftungsauslass mit einer einstellbaren Öffnung und eine Messeinheit zum Messen des Reinraums. Das Entnahme- und Lagergerät kann die Messeinheit transportieren und die Messeinheit zu den und von den Zellen transferieren.
Die Messeinheit misst den Reinraum der Zellen. Das automatisierte Lager hat außerdem eine Steuereinrichtung zur Steuerung wenigstens einer Gebläsefiltereinheit und der Öffnung des Entlüftungsauslasses, um den Reinraum der Zellen auf einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten.
Außerdem wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Reinraumsteuerung in einem automatisierten Lager geschaffen. Das automatisierte Lager hat Zellen, ein Entnahme- und Lagergerät, eine Gebläsefiltereinheit zur Zufuhr von Reinluft, einen Entlüftungsauslass mit einer einstellbaren Öffnung und eine Messeinheit zur Reinraummessung. Das Entnahme- und Lagergerät kann die Messeinheit transportieren und die Messeinheit zu den und von den Zellen transferieren.
Das Verfahren umfasst die Schritte der Messung des Reinraums der Zellen durch die Messeinheit und der Steuerung wenigstens einer Gebläsefiltereinheit und der Öffnung des Entlüftungsauslasses auf der Grundlage eines Messergebnisses, um den Reinraum der Zellen auf einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten.
Vorzugsweise transferiert das Entnahme- und Lagergerät die Messeinheit zu einigen Zellen im automatisierten Lager entsprechend einer bestimmten Vorschrift zur Reinraummessung der Zellen, zu denen die Messeinheit transferiert wurde. Besonders bevorzugt hat die Messeinheit einen Vibrationssensor zur Messung von Vibrationen, mit denen die Messeinheit während des Transports durch das Entnahme- und Lagergerät beaufschlagt wird, und das automatisierte Lager hat eine Begrenzungseinrichtung zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts, um die Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des Transports des Gegenstands beaufschlagt wird, auf einem bestimmten Pegel oder darunter zu halten.
Außerdem hat gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung das automatisierte Lager ein Entnahme- und Lagergerät, Zellen und eine Vibrationsmesseinheit, und das Entnahme- und Lagergerät ist in der Lage, die Vibrationsmesseinheit zu transportieren und die Vibrationsmesseinheit zu den und von den Zellen zu transferieren.
Die Vibrationsmesseinheit misst die Vibrationen während des Transports durch das Entnahme- und Lagergerät.
Das automatisierte Lager hat außerdem eine Begrenzungseinrichtung zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts auf der Grundlage eines Messergebnisses durch die Vibrationsmesseinrichtung, um Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des Transports des Gegenstandes beaufschlagt wird, auf einem bestimmten Pegel oder darunter zu halten.
Vorzugsweise hat die Vibrationsmesseinheit einen Sensor für statische Elektrizität, und die Begrenzungseinrichtung begrenzt den Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts auf der Grundlage eines Messergebnisses durch den Sensor für statische Elektrizität.
Vorteile der Erfindung
Bei der vorliegenden Erfindung kann der Reinraum im gesamten automatisierten Lager unter Verwendung einer einzigen Messeinheit oder einer geringen Anzahl von Messeinheiten effizient gemessen werden. Außerdem werden die Messergebnisse zur Steuerung der Gebläsefiltereinheit bzw. des Entlüftungsauslasses rückgekoppelt. Auf diese Weise wird in jeder Zelle die Reinheit auf einem bestimmten Pegel oder darüber gehalten.
Wenn der Reinraum nur einiger Zellen im automatisierten Lager sukzessive entsprechend einer bestimmten Vorschrift gemessen wird, und der Reinraum benachbarter Zellen geschätzt wird, kann der Reinraum im gesamten automatisierten Lager effizient bestimmt werden.
Wenn außerdem die Messeinheit einen Vibrationssensor hat, und der Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts entsprechend den Vibrationsmessergebnissen begrenzt wird, können Vibrationen, mit denen der Gegenstand während des Transports des Gegenstands beaufschlagt wird, auf einen bestimmten Pegel oder darunter reduziert werden, und der Gegenstand wird durch die Vibrationen während des Transports des Gegenstands nicht beschädigt.
Wenn die Messeinheit außerdem einen Sensor für statische Elektrizität hat, und der Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts begrenzt wird, kann die elektrische Ladung des transportierten Gegenstands auf einem bestimmten Pegel oder darunter gehalten werden.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine Aufsicht, die das automatisierte Lager gemäß einer Ausführungsform zeigt.
2 ist eine Frontansicht, die die Ausführungsform zeigt.
3 ist eine Seitenansicht, die die Messeinheit zeigt, die bei der Ausführungsform verwendet wird.
4 ist ein Blockschaltbild, das eine Kransteuereinheit zeigt, die bei der Ausführungsform verwendet wird.
5 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Algorithmus zur Prüfung aller Zellen der Ausführungsform zeigt.
6 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Algorithmus zum Inspektionszeitpunkt der Ausführungsform zeigt.

2: automatisiertes Lager
4, 5: Regal
6: Stapelkran
8: Laufschiene
10: Fahrbereich
12: Fahrgestell
14: Hubrahmen
15: Mast
16: Transfergerät
18: Gebläsefiltereinheit (FFU)
19: Ladestation
20: Bodensteuergerät
22: Zelle
24: Messeinheit
26: Entlüftungsventil
28: Rückleitungskanal
29: Rahmen
30: Sensor
32: Faden
34: Windsegel
36: Reflektor
38: Strobe-Kamera
40: Partikelzähler
42: Abstandssensor
44: Vibrationssensor
46: Sensor für statische Elektrizität
48: Energiequelleneinheit
50: Kommunikationsschnittstelle
52: Kransteuergerät
54: Gesamtzellen-Prüfmusterspeicher
56: Sprung-Prüfmusterspeicher
58: Nachbarzellen-Prüfmusterspeicher
60: Kranbetriebs-Prüfmusterspeicher
62: Messeinheits-Kommunikationsschnittstelle
64: Kranbegrenzungseinheit

AUSFÜHRUNGSFORM
Die 1 bis 6 zeigen ein automatisiertes Lager 2 gemäß einer Ausführungsform. Das automatisierte Lager 2 ist mit einem Reinraum versehen. In 1 bezeichnen die Bezugsziffern 4 und 5 Regale. Die Bezugsziffer 6 bezeichnet einen Stapelkran als Entnahme- und Lagergerät. Andere Transportgeräte wie z. B. ein Förderer können verwendet werden. Die Bezugsziffer 8 bezeichnet eine Laufschiene des Stapelkrans 6. Die Bezugsziffer 10 bezeichnet den Fahrbereich des Stapelkrans 6. Die Regale können nur auf einer Seite des Fahrbereichs 10 angeordnet sein. Außerdem können einige der Regale 4, 5 durch Halbleiter oder ein Verarbeitungsgerät wie einen Flachbildschirm ersetzt werden.
Wie z. B. 2 zeigt, hat der Stapelkran 6 ein Fahrgestell 12 und einen Hubrahmen 14, der längs eines Masts 15 angehoben wird. Der Hubrahmen 14 hat ein Transportgerät 16 wie eine Schiebegabel oder einen SCARA-Arm. Außerdem können z. B. ein Drehtisch zum Drehen des Transportgeräts 16 zusammen mit Gegenständen zwischen dem Hubrahmen 14 und dem Transportgerät 16 angeordnet sein. Gebläsefiltereinheiten (FFU's) 18 können an der Decke des automatisierten Lagers 2 und an den Seiten davon angeordnet sein, z. B. an der Rückseite der Zellen in der untersten Etage zur Reinluftzufuhr. In 1 kann, obwohl die FFU's 18 im gleichen Abstand wie die Zellen 22 angeordnet sind, die tatsächliche Anordnung der FFU's 18 beliebig bestimmt werden. Außerdem sind die FFU's 18 auf der Rückseite der Zellen 22 in der untersten Etage angeordnet, da der Reinluftstrom von den FFU's 18 an der Decke den Boden der Zellen 22 nur schwer erreicht, wodurch der Eintritt von Fahrtwind des Stapelkrans 6 verhindert wird.
Eine Ladestation 19 ist z. B. an einer Stelle der Regale 4, 5 so angeordnet, dass eine Messeinheit 24 durch die Ladestation 19 geladen werden kann. Weiterhin kann die Ladestation 19 eine Kommunikationsschnittstelle zur Kommunikation mit der Messeinheit 24 haben, um Daten von der Messeinheit 24 anzufordern. Die Bezugsziffer 20 bezeichnet ein Bodensteuergerät zur Steuerung der FFU's 18 und später beschriebenen Öffnungen von Entlüftungsventilen, sowie des Stapelkrans 6. Die Bezugsziffern 22 bezeichnen Zellen zum Lagern von z. B. Halbleiterkassetten wie Halbleitern oder Kassetten für Flachbildschirme oder dergleichen. Die Art der gelagerten Artikel kann beliebig bestimmt werden. Bei der Ausführungsform wird angenommen, dass Flachbildschirme in den Zellen 22 gelagert werden und die Zellen 22 sind in etwa zwei oder drei Etagen vorgesehen. Die Bezugsziffern 26 bezeichnen Auslassventile bzw. Entlüftungsöffnungen, die nahe dem Boden des automatisierten Lagers 2 vorgesehen sind. Jedes Auslassventil 26 hat eine einstellbare Öffnung. Die Bezugsziffer 28 bezeichnet einen Rückleitungskanal für die Zufuhr von Luft, die vom Entlüftungsventil 26 zu den FFU's 18 zirkuliert.
3 zeigt den Aufbau der Messeinheit 24. Die Bezugsziffern 29 bezeichnen einen geeigneten Rahmen. Die Messeinheit 24 ist beispielsweise in zwei Etagen, nämlich eine obere und eine untere, unterteilt. Die Trennung zur Unterteilung der Messeinheit 24 in eine obere und eine untere Etage kann auch entfallen. Alternativ kann die Messeinheit 24 in drei oder mehr Etagen unterteilt sein. Durch die Unterteilung kann eine Änderung des Luftstroms in jeder Höhenposition ermittelt werden, und durch Begrenzen des Luftstroms in der Höhenrichtung kann der Luftstrom horizontal ausgerichtet werden. In jeder oberen und unteren Etage der Messeinheit 24 sind Sensoren 30 von oberen Positionen aus aufgehängt. Jeder der Sensoren 30 besteht aus einem Faden 32 und einem Windsegel 34, das am unteren Ende des Fadens 32 angeordnet ist, sowie einem Reflektor 36. Das Windsegel 34 hat z. B. eine konische Form mit einer Öffnung 35 und bewegt sich zusammen mit dem Reflektor 36. Der Sensor 30 wird durch Aufnahme eines schwachen Windes innerhalb der Zelle bzw. am Hubrahmen erheblich verstellt, um die Orientierung und Stärke des Luftstroms genau zu bestimmen. Die Form des Windsegels 34 ist nicht auf die konische Form beschränkt. Der Faden 32 kann sich nach unten unter das Windsegel 34 bzw. den Reflektor 36 erstrecken. Außerdem kann der Reflektor 36 weggelassen werden. In diesem Falle wird die Position des Windsegels 34 selbst abgebildet.
Die Bezugsziffern 38 bezeichnen Strobe-Kameras. Im Allgemeinen hat die Kamera 38 ein Strobe-Licht, da der Raum im automatisierten Lager 2 dunkel ist. Das Strobe-Licht kann gesondert von der Kamera 38 erzeugt werden. Der Reflektor 36 wird z. B. aus einer unteren zu einer oberen Position oder von einer oberen zu einer unteren Position abgebildet. Der Bereich, in dem sich der Reflektor 36 durch die Reinluft bewegt, liegt im Betrachtungsfeld der gleichen Kamera 38. Daher können die einzelnen Reflektoren 36 aus den Bildern der Kamera 38 identifiziert werden. Außerdem kann z. B. eine einzige Kamera 38 zur Abbildung mehrerer Reflektoren 36 verwendet werden.
Die Bezugsziffer 40 bezeichnet einen Partikelzähler. Z. B. misst der Partikelzähler 40 die Anzahl und die Größe von Partikeln, die durch die obere und untere Etage der Messeinheit 24 strömen. Die Bezugsziffern 42 bezeichnen Abstandssensoren. Der Abstandssensor 42 misst den Abstand zu einer Tragsäule oder dergleichen der Zelle, wo die Messeinheit 24 angeordnet ist, um die Genauigkeit der Transferposition der Messeinheit 24 zu ermitteln.
Die Bezugsziffer 44 bezeichnet einen Vibrationssensor. Der Vibrationssensor 44 ist z. B. in der Mitte an der unteren Etage der Messeinheit 24 angeordnet. Der Vibrationssensor 44 hat z. B. einen Beschleunigungssensor. Vorzugsweise misst der Vibrationssensor 44 Vibrationen, mit denen die Messeinheit 24 in der X-, Y- und Z-Richtung beaufschlagt wird. Die Bezugsziffern 46 bezeichnen Sensoren für statische Elektrizität. Die Sensoren 46 für statische Elektrizität können weggelassen werden. Z. B. ermittelt der Sensor 46 für statische Elektrizität den Ladungszustand eines Glassubstrats eines Flachbildschirms als gelagertem Gegenstand. Das Glassubstrat wird elektrisch geladen, wenn es Reinluft, die Ionen enthält, kontaktiert, oder eine Reibung mit einem Glasträger einer Kassette (nicht gezeigt) während des Transports auftritt. Wenn das Glassubstrat elektrisch geladen wird, können die Schaltung und Transistoren oder dergleichen auf dem Glassubstrat in unerwünschter Weise beschädigt werden. Durch Aufladen des Glassubstrats wird ein elektrisches Feld um das Glassubstrat erzeugt. Das elektrische Feld wird von dem Sensor 46 für statische Elektrizität gemessen. Obwohl der Sensor 46 für statische Elektrizität die Orientierung oder dergleichen des elektrischen Feldes messen kann, misst er nur die Stärke des elektrischen Feldes.
Die Bezugsziffer 48 bezeichnet eine Energiequelleneinheit, die als Energiequelle für Komponenten wie die Kameras 38, den Partikelzähler 40 und den Vibrationssensor 44 verwendet wird. Die Energiequelleneinheit 48 wird z. B. von der Ladestation 19 geladen. Die Bezugsziffer 50 bezeichnet eine Kommunikationsschnittstelle. Die Kommunikationsschnittstelle 50 kommuniziert mit z. B. einem drahtlosen LAN (nicht gezeigt), das im automatisierten Lager vorgesehen ist. Wenn die Kommunikationsschnittstelle 50 am Hubrahmen des Stapelkrans angeordnet ist, kommuniziert sie mit dem Stapelkran. Alternativ kann stattdessen die Kommunikationsschnittstelle 50 mit einer Kommunikationsschnittstelle in der Ladestation kommunizieren. Während der Kommunikation wird ein Messsignal von der Messeinheit 24 ausgegeben, und ein Befehl betreffend die Messung wird vom Gegenüber empfangen.
4 zeigt den Aufbau eines Kransteuergeräts 52. Das Kransteuergerät 52 ist ein On-Board-Steuergerät des Stapelkrans. Das Kransteuergerät 52 steuert den Lauf des Stapelkrans, den Hub des Hubrahmens und den Betrieb des Transportgeräts. Außerdem werden zum Transport der Messeinheit zu Zellen als Zielen der Messung Transportmuster zu den zu messenden Zielzellen gespeichert. Ein Allzellen-Prüfmusterspeicher 54 speichert ein Transportmuster der Messeinheit, so dass die Messeinheit zu allen Zellen im automatisierten Lager zur Messung des Reinraums aller Zellen gelangen kann. Die Reinraummessung umfasst das Zählen von Partikeln, die Messung der Strömungsrate und der Orientierung des Luftstroms sowie die Messung von Vibrationen und der statischen Elektrizität.
Ein Sprung-Prüfmusterspeicher 56 speichert das Muster der Zellen, deren Reinraum gemessen wird derart, dass die Zellen über den gesamten Bereich des automatisierten Lagers verteilt sind, und der Reinraum nicht für alle, sondern z. B. nur für einige Zellen gemessen wird. Die gemessenen Zellen entsprechend dem Sprungprüfmuster müssen nicht festgelegt sein und können jedes Mal geändert werden. Ein Nachbarzellen-Prüfmusterspeicher 58 speichert Daten betreffend Gegenstände, wenn Zellen mit Problemen im Reinraum ermittelt werden, und ein die Nachbarzellen angebendes Muster, die Messziele sind.
Ein Kranbetriebs-Prüfspeicher 60 speichert ein Muster zur Prüfung, wie der Reinraum durch den Lauf, die Beschleunigung und die Verzögerung des Fahrgestells, den Hub, die Beschleunigung und die Verzögerung des Hubrahmens und den Betrieb des Transportgeräts verändert wird. In diesem Muster ist z. B. die Messeinheit in der Zelle angeordnet, und der Stapelkran wird wiederholt, um die Zelle, in der die Messeinheit angeordnet ist, in Betrieb zu nehmen, und Bedingungen wie der Lauf, der Hub und der Betrieb des Transportgeräts werden geändert. Dabei misst die Messeinheit den Reinraum. Eine Messeinheit-Kommunikationsschnittstelle 62 ist eine Schnittstelle zur Kommunikation mit der Messeinheit. Die Messeinheit-Kommunikationsschnittstelle 62 kann weggelassen werden. Eine Kranbegrenzungseinheit 64 begrenzt z. B. die Arbeitsgeschwindigkeit, die Beschleunigung und die Verzögerung des Krans entsprechend den Vibrationsmessergebnissen, der statischen Elektrizität oder dergleichen.
Es wird nun die Arbeitsweise der Ausführungsform beschrieben. Z. B. wird zum Zeitpunkt der Fertigstellung der Konstruktion des automatischen Lagers oder zum Zeitpunkt eines umfangreichen Wartungsbetriebs der Reinraum für alle Zellen gemessen. Mittels des Stapelkrans wird die Messeinheit in jeder Zelle angeordnet, um die Anzahl und Verteilung von Partikeln in der Zelle, die Verteilung und die Geschwindigkeit des Luftstroms, die Genauigkeit der Anordnung der Messeinheit und den Grad der statischen Elektrizität zu messen. Außerdem werden zum Zeitpunkt des Transports der Messeinheit mittels des Stapelkrans und zum Zeitpunkt des Transfers der Messeinheit die Anzahl und Verteilung der Partikel, die Verteilung und die Geschwindigkeit des Luftstroms, die Genauigkeit der Position der Messeinheit und die Vibrationen und die statische Elektrizität, mit der die Messeinheit beaufschlagt wird, gemessen.
Diese Ergebnisse werden vom drahtlosen LAN oder dergleichen zum Bodensteuergerät übertragen. Wenn irgendwelche Daten ein Problem aufweisen, wird ein Wartungsvorgang zur Justierung durchgeführt. Dann wird auf der Grundlage des Messergebnisses des Partikelzählers und der Messergebnisse der Orientierung und der Windgeschwindigkeit des Luftstroms die Luftblasgröße der Gebläsefiltereinheit und die Öffnungen der Entlüftungsventile so eingestellt, dass alle Zellen wenigstens eine bestimmte Reinheit haben. Wenn der Luftstrom zu stark ist, kann eine Veränderung der Gegenstände wie eines Glassubstrats auftreten. Daher werden auch entsprechend dem Messergebnis der statischen Elektrizität die Gebläsefiltereinheit und die Öffnungen der Entlüftungsventile eingestellt. Entsprechend den Vibrationen und dem Grad der statischen Elektrizität wird weiterhin der Betrieb des Krans beschränkt. Bei Vorhandensein von Partikeln über einem zulässigen Pegel oder wenn die Orientierung und Größe des Luftstroms anormal sind oder bei Vorhandensein abnormaler Vibrationen und abnormaler statischer Elektrizität werden diese Situationen als Probleme identifiziert, und der Stapelkran wird eingestellt. Um den Grund dieser Schwierigkeiten zu identifizieren, werden die Betriebsbedingungen des Stapelkrans geändert. Auf diese Weise wird die Beziehung zwischen dem Betrieb des Stapelkrans und der anormalen Bedingungen identifiziert.
6 zeigt ein Muster zum Inspektionszeitpunkt. Eine Inspektion wird periodisch zu einem geeigneten Zeitpunkt nach Erstellung der Konstruktion des automatisierten Lagers durchgeführt. Entsprechend dem vom Spring-Prüfmusterspeicher durchgeführten Prüfmuster wird die Messeinheit in einer bestimmten Zelle angeordnet, und Reinheit, Vibrationen und Grad der statischen Elektrizität werden gemessen. Weiterhin wird die Genauigkeit der Anordnung der Messeinheit gemessen. Es werden dann z. B. unter der Annahme, dass die Messeinheit in einer einzigen Zelle angeordnet bleibt, Änderungen des Luftstroms und der Anzahl und der Größe von Partikeln aufgrund von Faktoren wie des Laufs, der Beschleunigung und der Verzögerung des Fahrwerks, des Hubs, der Beschleunigung und der Verzögerung des Hubrahmens und des Betriebs des Transportgeräts gemessen, und der Einfluss auf den Reinraum durch den Betrieb des Krans wird gemessen. Die Messeinheit wird außerdem vom Stapelkran transportiert. Vibrationen während des Transports, Reinheit und Grad der statischen Elektrizität oder dergleichen werden ebenfalls gemessen.
Wenn irgendwelche Daten ein Problem aufweisen, wird der Grund des Problems identifiziert. Die Messeinheit wird auch in Zellen um die Zelle, die ein Problem hat, speziell für die Messung angeordnet. Aufgrund der Analyseergebnisse wird ein Wartungsvorgang oder dergleichen durchgeführt. Selbst wenn keine Schwierigkeit auftritt, werden die Einblasmenge der Luft der Gebläsefiltereinheit und die Öffnungen der Entlüftungsventile so eingestellt, dass die Reinheit in allen Zellen gleichmäßig gehalten werden kann. Entsprechend dem Grad der Vibrationen während des Transports und dem Grad der statischen Elektrizität begrenzt die Kranbegrenzungseinheit z. B. die maximale Laufgeschwindigkeit, die maximale Beschleunigung und die maximale Verzögerung des Fahrwerks und die maximale Hubgeschwindigkeit und die maximale Beschleunigung des Hubrahmens sowie die Transfergeschwindigkeit.
Bei der Ausführungsform werden die folgenden Vorteile erreicht:

(1) Durch Verwendung der Messeinheit 24 kann der Reinraum im gesamten automatisierten Lager 2 gemessen werden.
(2) Da das Messergebnis zur Rückkopplungssteuerung der Gebläsefiltereinheit und der Öffnungen der Entlüftungsventile verwendet wird, wird der Reinraum auf einem bestimmten Pegel bzw. darüber hinaus in jeder Zelle aufrechterhalten.
(3) Der Grad der Vibrationen, mit denen die Gegenstände während des Transports durch den Stapelkran beaufschlagt werden, der Grad der statischen Elektrizität, die Orientierung und die Geschwindigkeit des Luftstroms und die Anzahl der Partikel werden gemessen, um die Laufgeschwindigkeit des Krans zu begrenzen. Daher bewirken die Partikel während des Transports keine merkliche Beeinträchtigung.
(4) Zum Zeitpunkt der Fertigstellung der Konstruktion des automatisierten Lagers oder dergleichen wird der Reinraum für alle Zellen gemessen. Danach wird die Messung für nur einige Zellen durchgeführt, um den Reinraum effizient zu messen.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- JP 2007-297196 A [0002]

Claims

Automatisiertes Lager, bestehend aus Zellen, einem Entnahme- und Lagergerät, einer Gebläsefiltereinheit für die Zufuhr von Reinluft in das automatisierte Lager, einem Entlüftungsauslass aus dem automatisierten Lager mit einer einstellbaren Öffnung, einer Messeinheit zum Messen der Reinluft im automatisierten Lager, wobei das Entnahme- und Lagergerät die Messeinheit transportieren kann und die Messeinheit zu und von den Zeilen transferieren kann, weiterhin bestehend aus einer Steuereinrichtung zur Steuerung wenigstens der Gebläsefiltereinheit oder der Öffnung des Entlüftungsauslasses, um den Reinraum der Zellen auf einem bestimmten Pegel oder darüber auf der Grundlage der Messung der Messeinheit des Reinraums der Zeilen aufrechtzuerhalten.
Automatisiertes Lager nach Anspruch 1, bei dem das Entnahme- und Lagergerät die Messeinheit nur zu einigen der Zeilen im automatisierten Lager entsprechend einer bestimmten Vorschrift zur Messung des Reinraums der Zellen transferiert, zu denen die Messeinheit transferiert wurde.
Automatisiertes Lager nach Anspruch 1, bei dem die Messeinheit einen Vibrationssensor zur Messung von Vibrationen aufweist, mit denen die Messeinheit während des Transports durch das Entnahme- und Lagergerät beaufschlagt wird, und das automatisierte Lager weiterhin eine Begrenzungseinrichtung zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts aufweist, um Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des Transports des Gegenstands auf einem bestimmten Pegel oder darunter auf der Grundlage der Messung durch den Vibrationssensor aufrechtzuerhalten.
Automatisiertes Lager, bestehend aus einem Entnahme- und Lagergerät, Zellen und einer Vibrationsmesseinheit, wobei das Entnahme- und Lagergerät die Vibrationsmesseinheit transportieren und sie zu und von den Zellen transferieren kann, die Vibrationsmesseinheit die Vibrationen während des Transports durch das Entnahme- und Lagergerät misst, und das automatisierte Lager weiterhin eine Begrenzungseinrichtung zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts auf der Grundlage eines Messergebnisses durch die Vibrationsmesseinheit aufweist, um die Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des Transports des Gegenstands beaufschlagt wird, auf einem bestimmten Pegel oder darunter zu halten.
Automatisiertes Lager nach Anspruch 4, bei dem die Vibrationsmesseinheit außerdem einen Sensor für statische Elektrizität aufweist, und die Begrenzungseinrichtung den Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts auf der Grundlage eines Messergebnisses durch den Sensor für statische Elektrizität begrenzt.
Verfahren zur Steuerung des Reinraums in einem automatisierten Lager, bestehend aus Zellen, einem Entnahme- und Lagergerät, einer Gebläsefiltereinheit für die Zufuhr von Reinluft, einem Entlüftungsauslass für das automatisierte Lager mit einer einstellbaren Öffnung, einer Messeinheit zur Messung des Reinraums im automatisierten Lager, wobei das Entnahme- und Lagergerät die Messeinheit transportieren und zu und von den Zellen transferieren kann, bestehend aus den folgenden Schritten: Messen des Reinraums der Zellen durch die Messeinheit, und Steuern wenigstens der Gebläsefiltereinheit oder der Öffnung des Entlüftungsauslasses auf der Grundlage eines Messergebnisses, um den Reinraum der Zellen auf einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten.