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Anwendungsgebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Transportsystem und ein Messverfahren. Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere eine Methode, mit der es möglich ist, durch die Messvorrichtung gemessene Daten auch dann auswerten zu können, wenn eine Umgebung um die Messvorrichtung, d. h. eine Lage, in der sich die Messvorrichtung befindet, zur Zeit der Messung nicht bekannt ist.
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Allgemeiner Stand der Technik
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Der Erfinder schlug vor, eine Messvorrichtung, die mit Sensoren wie z. B. einem Partikelsensor und einen Vibrationssensor ausgestattet sind, durch eine Transportvorrichtung wie z. B. ein Regalbediengerät zu transportieren, um Umgebungsdaten während des Transports und während der Ablage in einem Ablagegestell oder ähnlichem zu erhalten (
JP4168123B ). Gemäß dieser Patentveröffentlichung gibt die Messvorrichtung Messdaten an eine Transportvorrichtung wie z. B. ein Regalbediengerät aus. In der Transportvorrichtung werden Daten wie z. B. ein Zustand der Messvorrichtung zu den Messdaten hinzugefügt, und die sich ergebenden Daten werden an eine Systemsteuereinheit ausgegeben. Jedoch können diese Datenelemente nicht zu den Messdaten hinzugefügt werden, wenn die Transportvorrichtung keine Übertragungsvorrichtung mit der Messvorrichtung hat, da die Messvorrichtung keine Daten erhalten kann, die ihren Zustand angeben, z. B. Daten, die angeben, ob die Messvorrichtung transportiert wird, oder ob die Messvorrichtung zwischengelagert ist. Deshalb können die Messdaten nicht vor Ort ausgewertet werden. Deswegen können in einer Transportvorrichtung, die keine Vorrichtungen für die Kommunikation mit der Messvorrichtung hat, keine Messungen der Umgebungsdaten unter Verwendung der Messvorrichtung durchgeführt werden.
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Der zu der vorliegenden Erfindung nächst gelegene Stand der Technik ergibt sich aus der
US 2004/0056767 A1 sowie der
WO 2007/126193 A1 . Diese beiden Dokumente zeigen eine Messvorrichtung zum Transport durch eine Transportvorrichtung, wobei die Messvorrichtung folgendes umfasst:
Einen Umgebungssensor zum Messen von Umgebungssituationen und einen Speicher zum Speichern von Messdaten vom Umgebungssensor, wobei der Speicher geeignet ist, die Messdaten einem Zustand der Messvorrichtung zuzuordnen.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, es zu ermöglichen, Zustandsdaten einer Messvorrichtung zu den Messdaten auch dann hinzufügen zu können, wenn eine Transportvorrichtung, die keinerlei Vorrichtungen für die Kommunikation mit der Messvorrichtung hat, verwendet wird, um die Messvorrichtung zum Messen von Umgebungsdaten zu transportieren.
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Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, es zu ermöglichen, Messdaten von einer Messvorrichtung auch dann zu erfassen, wenn keine Kommunikationsverbindung wie z. B. ein drahtloses LAN für die Messvorrichtung verfügbar ist.
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Die vorstehende Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird erfindungsgemäß durch ein industrielles Transportsystem gemäß Anspruch 1 oder durch ein Verfahren zum Messen einer Umgebung um ein Transportsystem gemäß Anspruch 2 gelöst.
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In der Beschreibung ist die Darstellung, die die Messvorrichtung und das Transportsystem betrifft, direkt auf das Verfahren zum Messen einer Umgebung um das Transportsystem anwendbar, und umgekehrt ist die Darstellung, die das Verfahren zum Messen einer Umgebung um das Transportsystem betrifft, direkt auf die Messvorrichtung und das Transportsystem anwendbar.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 zeigt eine Messvorrichtung nach einer Ausführung als Blockschaltbild
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2 zeigt eine Kassette, die die Messvorrichtung nach der Ausführung enthält, in Vorderansicht.
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3 zeigt ein Beispiel eines Transportsystems zum Erhalten von Umgebungsdaten als Diagramm.
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4 zeigt einen Auswertecomputer nach der Ausführung als Blockdiagramm.
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5 zeigt die durch die Messvorrichtung nach der Ausführung durchgeführten Verarbeitungsschritte in einem Ablaufdiagramm.
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6 zeigt die durch eine Transportvorrichtung nach der Ausführung durchgeführten Verarbeitungsschritte in einem Ablaufdiagramm.
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7 zeigt die durch den Analysecomputer nach der Ausführung durchgeführten Verarbeitungsschritte in einem Ablaufdiagramm.
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8 zeigt in einem Zeitdiagramm schematisch die Zuordnung von Messdaten mit der Position und dem Zustand der Messvorrichtung.
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Ausführung
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Nachfolgend wird eine bevorzugte Ausführungsform beschrieben. Die Ausführungsform kann unter Verwendung von Techniken, die auf diesem technischen Gebiet bekannt sind, geeignet angepasst werden. Die Ausführungsform ist deshalb nicht als den Gegenstand der vorliegenden Erfindung beschränkend anzusehen.
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1 bis 8 zeigen die Ausführung. 1 zeigt eine Messvorrichtung 2, und 4 bezeichnet Kommunikationsvorrichtungen zur drahtlosen Kommunikation durch ein später beschriebenes drahtloses LAN mittels einer Antenne 5. 6 bezeichnet eine CPU (Central Processing Unit), um Daten in der Messvorrichtung 2 zu verarbeiten. 7 bezeichnet eine USB-Schnittstelle, um Daten von einem USB-Speicher 8 zu lesen und in diesen zu schreiben. Die Messdaten, die durch Messungen mit der Messvorrichtung 2 erhalten werden sowie Zeitdaten werden in den USB-Speicher 8 geschrieben. Zusätzlich können Messanweisungen aus dem USB-Speicher 8 ausgelesen werden. Die Messanweisung umfasst einen Zeitbereich, um eine Messung durchzuführen, einen Typ von Messdaten, Daten, die angeben, ob z. B. sämtliche Umgebungssensoren für die Messungen verwendet werden sollen, oder nur spezielle Sensoren für die Messungen verwendet werden sollen, und für den Fall, in dem nur spezielle Sensoren verwendet werden sollen, auch Daten, die angeben, welche Sensoren verwendet werden sollen. Desweiteren umfasst die Messanweisung Zeitintervalle, um Messdaten in den USB-Speicher 8 zu schreiben. Wie vorstehend beschrieben, ist die Messanweisung auch als eine Festlegung von Messbedingungen gedacht. In einer Umgebung, in der das drahtlose LAN vorhanden ist, können die Ausgabedaten von der Antenne 5 an das drahtlose LAN ausgegeben werden, statt die Ausgabedaten in den USB-Speicher 8 zu schreiben. Desweiteren können die Messanweisungen durch die Antenne 5 empfangen werden. Alternativ können die Messdaten auch über eine Benutzerschnittstelle 15 eingegeben werden. 9 bezeichnet eine Energieversorgung. Komponenten der Messvorrichtung 2 werden durch Energie, die von einer Batterie 10 geliefert wird, betrieben. 11 bezeichnet einen Zeitgeber. Die Zeit des Zeitgebers 11 wird kalibriert, indem Zeitstempeldaten verwendet werden, die von der Antenne 5 erhalten werden. Indem die nach der Kalibration der Zeit vergangene Zeit gezählt wird, wird die Zeit zu jedem Zeitpunkt bestimmt, und die Zeitdaten und die Messdaten werden an den USB-Speicher 8 oder die Antenne 5 ausgegeben. 12 bezeichnet eine Identifizierungsmarke wie z. B. einen Barcode oder eine RF-Marke.
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15 bezeichnet die Benutzerschnittstelle. Die Benutzerschnittstelle 15 ist beispielsweise ein Bildschirmtastfeld oder eine Kombination von LEDs und Eingabeschaltern. Es werden Daten, die den Beginn der Messung anweisen, Daten die die Elemente bezeichnen, die gemessen werden sollen, und Daten, die das Ende der Messung anweisen, eingegeben. Alternativ oder zusätzlich zu diesen Datenelementen werden die Messanweisung oder ähnliches eingegeben. Darüber hinaus zeigt die Benutzerschnittstelle 15 an, ob die Messvorrichtung 2 gerade beim Messen ist oder wartet, und sie zeigt einen Ladezustand (Menge der verbleibenden elektrischen Energie) oder ähnliches der Batterie an. Der Partikelzähler 16 zählt die Zahl der Partikel in dem Luftstrom, der durch die Messvorrichtung 2 hindurchströmt, um die Partikeldichte zu bestimmen. Ein Vibrationssensor 17 ist ein Beschleunigungssensor, um Erschütterungen, die auf die Messvorrichtung 2 wirken, festzustellen. Ein Tiefpassfilter 18 filtert ein niederfrequentes Signal aus dem Signal des Vibrationssensors 17. Da das niederfrequente Signal aus dem Vibrationssensor 17 mit der Beschleunigung der Messvorrichtung 2 während des Transportes der Messvorrichtung 2 korreliert, ist es möglich, zu bestimmen, ob die Messvorrichtung 2 angehalten ist oder gerade transportiert wird.
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Ein Mikrofon 19 bestimmt Umgebungsgeräusche oder ähnliches. Das Mikrofon 19 liefert zusätzliche Daten, z. B. zeigt es das Vorhandensein hochfrequenten Rauschens an, plötzliche starke Geräusche, niederfrequentes Rauschen oder das völlige Fehlen von Geräuschen in der Umgebung, um diese Daten in der Auswertung der durch den Vibrationssensor 17 ermittelten Erschütterungen zu verwenden, um es zu ermöglichen, die Ursache der Erschütterungen einfach zu analysieren. Ein Windgeschwindigkeits- und Lufttemperatursensor 20 bestimmt die Windgeschwindigkeit und die Lufttemperatur der Luft, die durch die Messvorrichtung 2 strömt. Vorzugsweise umfassen die Windgeschwindigkeitsdaten einen Absolutwert der Windgeschwindigkeit und die Richtung des Windes (der Luftströmung). Beispielsweise wird die Windgeschwindigkeit und die Verteilung der reinen Luft einem Reinraum gemessen. Die Lufttemperatur wird ggf. nicht gemessen. In einem Zustand, in dem die Messvorrichtung 2 in einer Ablage oder ähnlichem abgelegt ist, misst der Windgeschwindigkeits- und Lufttemperatursensor 20 die Geschwindigkeit und die Richtung des Fahrtwindes, der dann strömt, wenn die Transportvorrichtung einen Bereich in der Nähe der Messvorrichtung 2 passiert. Der Partikelzähler 16, der Vibrationssensor 17, die Tiefpassfilter 18 und der Windgeschwindigkeits- und Lufttemperatursensor 20 sind aus dem Stand der Technik bekannt. Darüber hinaus können beliebige andere Arten von Sensoren in der Messvorrichtung 2 montiert werden.
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2 zeigt eine Kassette 22, die die Messvorrichtung 2 enthält. Die Kassette 22 wird beispielsweise für den Transport von FPDs (Flachbildschirmen) verwendet. Alternativ kann als Kassette auch ein FOUP zum Transportieren von Halbleitersubstraten verwendet werden. In dem Fall, in dem eine FOUP als Kassette verwendet wird, hat die Kassette die Form eines Gerippes, das nur Rahmen hat, so dass der Wind frei durch die sechs Oberflächen der Kassette hindurchströmen kann. Alternativ kann, anstelle die Kassette zu verwenden, die Messvorrichtung 2 auch in einem Träger, der in dem Transportsystem verwendet wird, wie zum Beispiel einem Kübel oder einer Palette, montiert werden. Die Kassette 22 ist aus gerippeförmigen Rahmen zusammengesetzt, und die Luft kann frei durch die umgebenden sechs Oberflächen hindurchströmen. Beispielsweise kann der Benutzer von der Vorderseite der Kassette aus die Batterie 10 ersetzen, den USB-Speicher 8 einsetzen oder entfernen, und die Benutzerschnittstelle 15 bedienen. Desweiteren kann die Kassette 22 durch ein sich über Kopf bewegendes Fahrzeug in 3, ein automatisiertes Transportfahrzeug, eine Fördervorrichtung oder ein Regalbediengerät transportiert werden.
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3 zeigt ein Beispiel eines Aufbaus des Transportsystems als Zielobjekt zum Messen von Umgebungsdaten. 30 bezeichnet ein sich über Kopf bewegendes Fahrzeugsystem. In dem sich über Kopf bewegenden Fahrzeugsystem 30 kreisen eine Vielzahl von sich über Kopf bewegenden Fahrzeugen 31 entlang einer Bewegungsschiene, die in der Nähe einer Decke in einem Reinraum angeordnet ist. 32 bezeichnet einen Lagerer. Beispielsweise bewegt sich ein Regalbediengerät 33 zwischen einem Paar rechter und linker Ablagen 34, um die Kassette 22 zu holen und abzulegen. Der Lagerer 32 hat einen MGV(manuell geführtes Fahrzeug)-Eingang 36, um die Kassette durch ein MGV zu holen und abzulegen. Im MGV-Eingang 36 ersetzt beispielsweise ein Bediener die Batterie 10, setzt den USB-Speicher 8 ein oder entfernt ihn, und bedient die Benutzerschnittstelle 15. Der MGV-Eingang 36 kann mit einer Antenne 38 als Bodenstation des drahtlosen LAN und der USB-Schnittstelle 40 versehen werden, um eine drahtlose Kommunikation mit der Messvorrichtung 2 zu ermöglichen, und um Daten in den USB-Speicher 8 zu schreiben und aus ihm auszulesen.
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42 bezeichnet Fördervorrichtungen, 44 bezeichnet ein automatisiertes Transportfahrzeug, das sich auf dem Boden bewegt, und 45 bezeichnet Bearbeitungsanlagen wie z. B. ein FPD. Beispielsweise wird die Kassette von oder zu dem sie über Kopf bewegenden Fahrzeugsystem 30 durch einen Ladeeingang 46 transferiert. 47 bezeichnet Zwischenspeicher, um Kassetten vorübergehend zu lagern.
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Nachfolgend wird eine Steuerung des Transportsystems beschrieben. 48 bezeichnet eine Lagerer-Steuerung, um eine Bestandsüberwachung im Lagerer 32 umzusetzen, das Regalbediengerät 33 zu steuern, und eine Kassette, die eine Messvorrichtung 2 hat, und andere Kassetten von und in den MGV-Eingang 36 zu lagern bzw. von diesem zu holen. 50 bezeichnet eine Fördervorrichtungs-Steuerung, um die Fördervorrichtungen 42 zu steuern. Eine Steuerung der automatisierten Transportfahrzeuge 52 steuert das automatisierte Transportfahrzeug 44, und eine Steuerung der sich über Kopf bewegenden Fahrzeuge 54 steuert das sich über Kopf bewegende Fahrzeugsystem und die Kassetten auf dem Zwischenspeicher 47. Die Steuerungen 48 bis 54 werden durch eine Systemsteuerung 56 gesteuert, um das gesamte Transportsystem zu steuern. Ein Analysiercomputer 62 ordnet die von der Messvorrichtung 2 erhaltenen Messdaten mit Zeitdaten denjenigen Daten, die von den Steuerungen 48 bis 56 erhalten wurden, und die die Position und den Zustand der Messvorrichtung 2 sowie Zeitdaten umfassen, einander zu. Die Daten, die die Position und den Zustand der Messvorrichtung 2 angeben, werden zu den Messdaten hinzugefügt. In dem Fall beispielsweise, in dem die Messvorrichtung 2 in der Ablage abgelegt ist, wird die Position der Messvorrichtung 2 durch eine Adresse der Ablage bezeichnet, und der Zustand der Messvorrichtung 2 ist „während der Lagerung”. Desweiteren ist für den Fall, in dem die Messvorrichtung 2 durch das sich über Kopf bewegende Fahrzeug 31 transportiert wird, der Zustand der Messvorrichtung 2 „während des Beladens”, „während des Transportierens”, „während des Entladens” oder ähnlichem. Die Position der Messvorrichtung 2 ist eine Position während des Transportierens der Messvorrichtung 2.
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Der Analysiercomputer 62 ergänzt Daten, die die Position um den Zustand der Messvorrichtung 2 angeben, zu den Daten von der Messvorrichtung 2, wobei er Elemente von Daten verwendet, die von den Steuerungen 48 bis 56 bereitgestellt werden, und er wertet auf der Grundlage der hinzugefügten Daten die Umgebung des Transportsystems aus. Das Ziel der Auswertung der Umgebung ist die Reinheit (Partikeldichte), die Ausrichtung und die Geschwindigkeit (Windgeschwindigkeit) des Luftstromes, der Grad der Erschütterungen während des Transportes, die Lufttemperatur oder ähnliches. Die Messposition kann jede Position sein, wie z. B. eine Position auf der Transportvorrichtung, eine Position in der Ablage 34, eine Position auf dem Zwischenspeicher 47, oder eine Position auf dem Ladeeingang 46. Ein Zeitserver 58 der Systemsteuerung 56 erzeugt Zeitstempeldaten als die Referenzzeit des gesamten Transportsystems. Die Steuerungen 48 bis 56 und der Analysiercomputer 62 sind z. B. durch Netzknoten 61 mit einem LAN 60 verbunden, und die Transportvorrichtungen wie z. B. das Regalbediengerät 33 und das sich über Kopf bewegende Fahrzeug 31 empfangen Zeitstempeldaten von den jeweiligen Steuerungen. Anstelle das LAN 60 zu benutzen, kann eine Bodenstation für das drahtlose LAN in jedem Abschnitt des Transportsystems angeordnet werden, um es zu ermöglichen, drahtlos mit jeder der Steuerungen 48 bis 56 an einer beliebigen Position zu kommunizieren.
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4 zeigt die Struktur des Analysiercomputers 62. 64 bezeichnet Zuordnungs-Analyse-Vorrichtungen, um die Messdaten der Messvorrichtung 2, die Zeitdaten vom USB-Speicher 8 haben, mit Daten, die die Position und den Zustand angeben, und die Zeitdaten von den Steuerungen 48 bis 56 haben, einander zuzuordnen, und die Daten, die die Position und den Zustand angeben, zu den Messdaten hinzufügen. Die LAN-Schnittstelle 65 ist eine Schnittstelle mit einem LAN auf der Bodenseite. Die LAN-Schnittstelle 65 wird verwendet, um die Daten, die die Position und den Zustand der Kassette angeben, die die Messvorrichtung 2 enthält, und die Zeitdaten aufweisen, sowie die Zeitstempeldaten von der Systemsteuerung 56 zu empfangen. Eine USB-Schnittstelle 26 liest Daten, die von der Messvorrichtung 2 gesammelt wurden, aus dem USB-Speicher 8. Alternativ liest die USB-Schnittstelle 66 Daten von und schreibt Daten in den USB-Speicher 8. Eine Benutzerschnittstelle 67 führt Arbeitsvorgänge wie z. B. das Eingeben von Messanweisungen in den USB-Speicher 8 aus.
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5 zeigt einen Ablauf in der Messvorrichtung 2. Die Messvorrichtung 2 wird in den MGV-Eingang 36 durch einen Bediener manuell, oder automatisch durch ein Regalbediengerät oder ähnliches eingesetzt. Der Bediener führt Arbeitsgänge wie z. B. das Ersetzen der Batterie 10 und die Eingabe einer Startanweisung aus, und die Messvorrichtung 2 erhält Zeitdaten (Zeitstempel) durch das drahtlose LAN. Auf der Basis der Zeitdaten wird die Zeit des Zeitgebers kalibriert.
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Wenn die Messung gestartet ist, erhält die Messvorrichtung 2 gewünschte Messdaten, zum Beispiel zu vorher festgelegten Zeitabständen. Die Messdaten und die Zeitdaten werden zusammen in den USB-Speicher 8 geschrieben. Alternativ werden die Messdaten und die Zeitdaten an das drahtlose LAN oder ähnliches ausgegeben. Das Ausgangssignal des Vibrationssensors 17 wird durch den Tiefpassfilter 18 verarbeitet. Wenn eine Beschleunigung, die z. B. für eine oder mehr Sekunden anhält, festgestellt wird, kann bestätigt werden, dass die Messvorrichtung 2 gerade transportiert wird. Wenn eine lange Beschleunigung, die für eine vorher festgelegte Zeitdauer oder länger nicht festgestellt wird, kann bestätigt werden, dass die Messvorrichtung 2 angehalten ist. Dies ist darauf zurückzuführen, dass in dem Fall, dass die Messvorrichtung 2 transportiert wird, eine Beschleunigung, die für z. B. eine oder mehr Sekunden anhält, auf die Messvorrichtung 2 durch Anheben, Verfahren, Übertragung oder ähnliches ausgeübt wird. In dem Fall, indem die Messvorrichtung 2 transportiert wird, verkürzt die CPU 6 das Messintervall auf z. B. jede Sekunde, alle 5 Sekunden oder ähnliches. In dem Fall, indem die Messvorrichtung 2 angehalten ist, dehnt die CPU 6 das Messintervall auf z. B. jede 10 Sekunden, jede Minute oder ähnliches aus, und sie ändert die Messelemente, indem z. B. Erschütterungen von den Messelementen ausgenommen werden. Die Zeit des Zeitgebers wird durch Verwendung der Zeitstempeldaten kalibriert, und die USB-Schnittstelle 7 schreibt die Zeitdaten und die Messdaten zusammen in den USB-Speicher 8. Folglich haben die Daten des USB-Speichers eine Anordnung eines Datensatzes, der die Zeit und die Messdaten enthält, wie auf der rechten Seite in 5 dargestellt.
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Zu der Zeit, zu der die Messungen beendet werden, überträgt die Übertragungsvorrichtung die Messvorrichtung 2 an den MGV-Eingang 36. Die Messung wird beispielsweise dann beendet, wenn der Bediener eine Anweisung gibt, die Messung zu beenden, wenn die Mess-Endzeit kommt, die in den USB-Speicher 8 geschrieben wurde, oder wenn festgestellt wird, dass die Batterie einen niedrigen Ladezustand hat. Dann entfernt der Bediener den USB-Speicher 8 von der Messvorrichtung 2 und setzt den USB-Speicher 8 in die USB-Schnittstelle 66 des Analysiercomputers 62 ein, um die Daten aus dem USB-Speicher 8 auszulesen. In dem Fall, in dem ein drahtloses LAN an beliebigen Positionen verfügbar ist, können Daten auch durch das drahtlose LAN ausgegeben werden, anstelle den USB-Speicher 8 zu benutzen.
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6 zeigt die Verarbeitung, die durch die Transportvorrichtung ausgeführt wird. Die Transportvorrichtung liest eine ID der Messvorrichtung 2 und berichtet (überträgt) die gelesene ID an eine Steuerung (zugeordnete Steuerung), die zugeordnet ist, um die Transportvorrichtung zu steuern. Die zugeordnete Steuerung steuert die Transportvorrichtung, um eine Transportanweisung für die Messvorrichtung 2 auszuführen. Während des Transports der Messvorrichtung 2 werden Daten wie z. B. die Ereignisse, die seitens der Transportvorrichtung aufgetreten sind und die Positionen sowie Daten, die die Zeit angeben, wann die Ereignisse aufgetreten sind, hinzugefügt. Die Transportvorrichtung berichtet diese Datenelemente an die zugeordnete Steuerung. Die zugeordnete Steuerung speichert Daten, die die Arten, die Positionen und die Zeiten der Ereignisse angeben. Beispielsweise umfassen Daten, die die Ereignisse und Positionen der Ereignisse angeben, den Beginn und das Ende des Beladens, eine ID der Beladestation oder ähnliches. Das Beladen ist ein Ereignis, die Startzeit und die Endzeit des Beladens sind die Zeiten des Ereignisses, und die ID der Beladestation ist eine Position. Gleichfalls werden die Startzeiten und die Endzeit des Bewegens und die Position und die Zeiten während der Bewegung gespeichert. Darüber hinaus werden die Startzeit des Entladens, die Endzeit des Entladens, und eine ID der Entladestation oder ähnliches gespeichert. Für den Fall konventioneller Verfahren werden auch Position und Ereignisse gespeichert, um es den Steuerungen 48 bis 54 zu ermöglichen, die Transportvorrichtung zu steuern. Wenn der Transport der Messvorrichtung 2 beendet ist, wird die Messeinheit 2 entladen, z. B. in die Ablage 34, den MGV-Eingang 36 oder die Station für die Übergabe an die nächste Transportvorrichtung. Die zugeordnete Steuerung speichert die Entladeposition, das letzte Ereignis (Entladen) und die Zeit des letzten Ereignisses.
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7 zeigt die Verarbeitung, die durch den Analysiercomputer 62 durchgeführt wird. Die Zuordnungs-Analyse-Vorrichtung 64 des Analysiercomputers 62 ordnet Daten aus der Messvorrichtung 2 mit Daten von der Transportvorrichtung einander zu, wobei die Zeitdaten als ein Schlüssel verwendet werden. Das heißt, dass die Zeitdaten jeweils zu den Daten von der Messvorrichtung 2 und den Daten von der Transportvorrichtung hinzugefügt werden. Die Zeiten dieser Datenelemente werden durch Verwendung des Zeitstempels kalibriert. Deshalb kann die Position und der Zustand der Messvorrichtung 2 dann, wenn die Messdaten erhalten werden, bestimmt werden. Folglich werden Daten, die die Position und den Zustand der Messvorrichtung 2 angeben, den Daten von der Messvorrichtung 2 hinzugefügt. Auf der Grundlage dieser Datenelemente werden die Messdaten analysiert. In der vorliegenden Ausführung werden die Position und der Zustand der Messvorrichtung 2 den Messdaten zugeordnet. Die Zustände wie z. B. „während des Beladens”, „während des Transportierens”, „während des Entladens”, und „während der Speicherung” sollten den Messdaten zugeordnet werden.
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8 zeigt ein Beispiel, Messdaten mit Daten von der Transportvorrichtung einander zuzuordnen. Die Querachse stellt die Zeit dar. Es wird angenommen, dass die Messdaten an jeder Markierung der Skala in der Querachse erhalten werden. Obwohl die Messdaten verschiedene Arten von Daten umfassen, wird in 8 nur eine Art von Daten dargestellt. Von der Transportvorrichtung werden die Startzeit und die Endzeit des Ereignisses und die Position, an der das Ereignis aufgetreten ist, zusammen mit den Zeitdaten berichtet. Durch Zuordnen der Messdaten und der Ereignisse unter Verwendung der Zeitdaten als Schlüssel werden die Position und der Zustand zu jedem Zeitpunkt bestimmt, wie im unteren Teil in 8 dargestellt. In dem Fall, in dem die Position der Transportvorrichtung (Position der Messvorrichtung 2) und der Zustand der Transportvorrichtung, wenn die Messdaten erhalten werden, nicht klar sind, und die Positionen vor oder nach der Zeit, wenn die Messdaten erhalten werden, bekannt sind, kann die Position der Messvorrichtung 2 bestimmt werden, indem die Positionen vor oder nach der Zeit, wenn die Messdaten erhalten werden, interpoliert werden. Desweiteren ist generell in dem Fall, in dem die Zustände zu den Zeiten vor und nach der Zeit, wenn die Messdaten erhalten werden, unterschiedlich sind, der Zustand zum früheren Zeitpunkt der Zustand der Messvorrichtung 2, da die Transportvorrichtung die Veränderung des Zustandes als ein Ereignis berichtet.
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Der Betrieb der Ausführung wird nachfolgend dargestellt. Die Messvorrichtung 2 wird in den MGV-Eingang 36 oder ähnliches eingesetzt. Wenn Daten, die den Beginn der Messung anweisen, von der Benutzerstelle 15 oder ähnlichem eingegeben werden, startet die Messvorrichtung 2 die Messung und speichert die Zeitdaten und die Messdaten. Dann wird, basierend auf einem Beschleunigungssignal, das für eine vorher festgelegte Zeit oder längen andauert, das Vorhandensein von Beschleunigung, die durch den Transport verursacht wird, festgestellt. Auf der Grundlage dieser Daten wird das Messintervall verändert. Die Transportvorrichtung nimmt die Messvorrichtung 2 in Übereinstimmung mit der Anweisung von der zugeordneten Steuerung auf, liest die ID der Messvorrichtung 2, und berichtet die ID an die zugeordnete Steuerung, um eine Transportanweisung zu erhalten. Demgemäß kann die Messvorrichtung 2 entlang einer Route, an der Messungen durchgeführt werden müssen, um Umgebungsdaten zu erhalten, transportiert werden. Die Transportvorrichtung transportiert die Messvorrichtung 2 entsprechend der Transportanweisung. In der Zwischenzeit werden das Auftreten des Ereignisses, die Endzeit des Ereignisses, Details des Ereignisses und Positionen während der Bewegung an die Steuerung der Transportvorrichtung berichtet. Der Analysiercomputer 62 empfängt die Daten der Position und des Zustandes der Transportvorrichtung und die Zeitdaten von den Steuerungen 48 bis 54 der Transportvorrichtung oder der Systemsteuerung 56. Die Zuordnungs-Analyse-Vorrichtung 64 ordnet diese Datenelemente den Messdaten vom USB-Speicher 8 der Messvorrichtung 2, die Zeitdaten haben, zu, um die Umgebungsdaten auszuwerten.
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Im Allgemeinen kann die Messvorrichtung 2 nicht direkt mit der Transportvorrichtung kommunizieren. Deshalb sind Position und Zustand der Messvorrichtung 2 für die Messvorrichtung 2 nicht bekannt. In der vorliegenden Erfindung werden die Zeit der Transportvorrichtung und die Zeit der Messvorrichtung 2 synchronisiert, um die gemeinsamen Zeitdaten zu verwenden, und indem die Zeitdaten als ein Schlüssel verwendet werden, werden die Position und der Zustand der Messvorrichtung 2 den Messdaten hinzugefügt, um es zu ermöglichen, die Messdaten zu analysieren. Demzufolge können die Umgebungsdaten für das vorliegende Transportsystem auch dann einfach gemessen werden, wenn eine Transportvorrichtung verwendet wird, die nicht mit der Messvorrichtung 2 kommunizieren kann.
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In der vorliegenden Ausführung kann zum Beispiel für ein vorliegendes Transportsystem die Umgebungsmessung durch Verwendung der Messvorrichtung durchgeführt werden, indem der Analysiercomputer 62 hinzugefügt wird. Im MGV-Eingang 36 oder ähnlichem kann ein Verbinder für die Verbindung mit der Messvorrichtung 2 angeordnet werden, um die Zeitstempeldaten durch Drahtkommunikation anstelle von drahtloser Kommunikation zu liefen. In der vorliegenden Ausführung werden die Reinheit, Erschütterungen, Windgeschwindigkeit, Lufttemperatur oder ähnliches im Reinraum gemessen. Alternativ können z. B. Gaskonzentration und Lufttemperatur in einer Chemiefabrik gemessen werden.
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Bezugszeichenliste
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- 2
- Messvorrichtung
- 4
- Kommunikationsvorrichtungen
- 5, 38
- Antenne
- 6
- CPU
- 7, 40
- USB-Schnittstelle
- 8
- USB-Speicher
- 9
- Energieversorgung
- 10
- Batterie
- 11
- Zeitgeber
- 12
- Identifizierungsmarke (ID)
- 15
- Benutzerschnittstelle
- 16
- Partikelzähler
- 17
- Vibrationssensor
- 18
- Tiefpassfilter
- 19
- Mikrofon
- 20
- Windgeschwindigkeits- und Lufttemperatursensor
- 22
- Kassette
- 30
- sich über Kopf bewegendes Fahrzeugsystem
- 31
- sich über Kopf bewegendes Fahrzeug
- 32
- Lagerer
- 33
- Regalbediengerät
- 34
- Ablage
- 36
- MGV-Eingang (MGV = manuell geführtes Fahrzeug)
- 42
- Fördervorrichtung
- 44
- automatisiertes Transportfahrzeug
- 45
- Bearbeitungsanlage
- 46
- Beladeeingang
- 47
- Zwischenspeicher
- 48
- Lagerer-Steuerung
- 50
- Fördervorrichtungs-Steuerung
- 52
- Steuerung der automatisierten Fahrzeuge
- 54
- Steuerung der sich über Kopf bewegenden Fahrzeuge
- 56
- Systemsteuerung
- 58
- Zeitserver
- 60
- LAN
- 61
- Netzknoten
- 62
- Analysiercomputer
- 64
- Zuordnungs-Analyse-Vorrichtung
- 65
- LAN-Schnittstelle
- 66
- USB-Schnittstelle
- 67
- Benutzer-Schnittstelle
