JP2010256170A - 測定ユニットと搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】環境センサを搭載し、かつ搬送装置で搬送自在な測定ユニットであって、環境センサからの測定データを、測定ユニットの状態と紐付け自在に記憶するようにした測定ユニットにある。紐付けは、例えば測定データと、搬送装置などから得られる測定ユニットの状態データとを、時刻データなどで紐付け、紐付けの手法自体は任意である。
【選択図】図1
Description
この発明での追加の課題は、無線LANなどの測定ユニットが利用できる通信経路が無い場合でも、測定ユニットから測定データを取り出せるようにすることにある。
4 通信部
5,38 アンテナ
6 CPU
7,40 USBインターフェース
8 USBメモリ
9 電源装置
10 バッテリーパック
11 タイマ
12 IDタグ
15 ユーザインターフェース
16 パーティクルカウンタ
17 振動センサ
18 ローパスフィルタ
19 マイクロフォン
20 風速気温センサ
22 カセット
24 フランジ
30 天井走行車システム
31 天井走行車
32 ストッカ
33 スタッカークレーン
34 棚
36 MGVポート(手押車用ポート)
42 コンベヤ
44 無人搬送車
45 処理装置
46 ロードポート
47 バッファ
48 ストッカコントローラ
50 コンベヤコントローラ
52 無人搬送車コントローラ
54 天井走行車コントローラ
56 システムコントローラ
58 タイムサーバ
60 LAN
61 ハブ
62 解析用コンピュータ
64 照合解析部
65 LANインターフェース
66 USBインターフェース
67 ユーザインターフェース
Claims (4)
- 環境センサを搭載し、かつ搬送装置で搬送自在な測定ユニットであって、 環境センサからの測定データを、測定ユニットの状態と紐付け自在に記憶するようにした測定ユニット。
- 前記測定データを書き込むための着脱自在な電子記憶媒体と、該記憶媒体への書き込み端末とを設けたことを特徴とする、請求項1の測定ユニット。
- タイマと、タイマの時刻データを校正するための時刻信号の受信手段とを設けて、前記測定データを時刻データと共に記憶することにより、測定ユニットの状態と紐付け可能にしたことを特徴とする、請求項1または2の測定ユニット。
- 搬送装置と、
環境センサを搭載し、搬送装置で搬送自在で、かつ環境センサからの測定データを時刻データと共に記憶する測定ユニットと、
搬送装置で搬送する測定ユニットの状態データを時刻データと共に記憶し、かつ測定データと前記状態データとを時刻データにより紐付けるコントローラとを備えた搬送システム。
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CN201010155418A CN101871796A (zh) | 2009-04-24 | 2010-04-02 | 测量单元和运送系统、测量方法 |
US12/760,617 US8285507B2 (en) | 2009-04-24 | 2010-04-15 | Measurement unit, transportation system, and measurement method |
TW099112511A TWI480569B (zh) | 2009-04-24 | 2010-04-21 | Transport system |
DE102010017939.6A DE102010017939B4 (de) | 2009-04-24 | 2010-04-22 | Messvorrichtung, Transportsystem und Messverfahren |
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---|---|---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016178327A (ja) * | 2011-06-28 | 2016-10-06 | ディーエムエス ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハーDMS Dynamic Micro Systems Semiconductor Equipment GmbH | 半導体ストッカシステム及び半導体ストック方法 |
JP2017077344A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | フクダ電子株式会社 | 生体情報計測装置およびその制御方法 |
CN110044409A (zh) * | 2019-03-26 | 2019-07-23 | 河海大学常州校区 | 一种基于物联网的危险品大运输智能监测预警系统及方法 |
JP2020116424A (ja) * | 2020-04-17 | 2020-08-06 | フクダ電子株式会社 | 生体情報計測装置およびその制御方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4811454B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2011-11-09 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム及び搬送台車への走行経路の指示方法 |
US20130218518A1 (en) * | 2012-02-21 | 2013-08-22 | International Business Machines Corporation | Automated, three dimensional mappable environmental sampling system and methods of use |
CN102608003B (zh) * | 2012-03-15 | 2015-07-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 无尘室微粒自动测量小车、自动测量系统及其测量方法 |
CN104444414A (zh) * | 2014-11-11 | 2015-03-25 | 宁夏嘉翔自控技术有限公司 | 一种斗轮机的联锁保护系统 |
JP6217598B2 (ja) | 2014-11-12 | 2017-10-25 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
TWM547670U (zh) * | 2016-12-14 | 2017-08-21 | Mirle Automation Corp | 偵測設備及有機化合物偵測器 |
CN108226386B (zh) * | 2016-12-14 | 2020-11-10 | 盟立自动化股份有限公司 | 环境侦测系统 |
JP6487499B2 (ja) * | 2016-12-14 | 2019-03-20 | 盟立自動化股▲フン▼有限公司 | 検出機器及び揮発性有機化合物検出器 |
CN108226385B (zh) * | 2016-12-14 | 2020-09-08 | 盟立自动化股份有限公司 | 环境侦测系统 |
TWI645162B (zh) * | 2017-03-23 | 2018-12-21 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 環境監測系統 |
US10790177B2 (en) * | 2017-11-14 | 2020-09-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems, devices, and methods for using a real time environment sensor in a FOUP |
CN111663210B (zh) * | 2019-03-06 | 2023-04-14 | 村田机械株式会社 | 空气消耗量计算装置、纺纱机、纺纱系统及空气消耗量计算方法 |
TWI817512B (zh) * | 2022-05-19 | 2023-10-01 | 京鼎精密科技股份有限公司 | 風速測量裝置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001187611A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-07-10 | Denso Corp | センサ付きidタグおよびこれを設けた容器、体温計並びに温度管理システム、位置管理システム |
JP2006089163A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Omron Corp | 物流管理装置、物流管理パレット、及び物流管理システム |
JP2006194495A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 温度記録装置 |
JP2006240809A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Hitachi Ltd | 生体組織の輸送装置及び輸送方法 |
JP2008037563A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Yamato Transport Co Ltd | 配達業務用携帯システム及び配達業務管理システム |
JP2009069958A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 移動体の位置把握システム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5835012A (en) * | 1997-06-18 | 1998-11-10 | Wilk Patent Development Corporation | Protective device for storage and transport containers |
JP2002188992A (ja) | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Ohbayashi Corp | 粉塵濃度計 |
US6901971B2 (en) * | 2001-01-10 | 2005-06-07 | Entegris, Inc. | Transportable container including an internal environment monitor |
US20040056767A1 (en) | 2002-08-07 | 2004-03-25 | Dave Porter | Container security system |
CN1802674A (zh) * | 2003-05-07 | 2006-07-12 | 塞维公司 | 集装箱的状态监控 |
US7149658B2 (en) * | 2004-02-02 | 2006-12-12 | United Parcel Service Of America, Inc. | Systems and methods for transporting a product using an environmental sensor |
JP2006033326A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Toshiba Corp | 記憶媒体処理方法、記憶媒体処理装置及びプログラム |
US7324921B2 (en) * | 2004-12-28 | 2008-01-29 | Rftrax Inc. | Container inspection system |
JP4168123B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2008-10-22 | 川崎重工業株式会社 | 加工装置 |
JP4186123B2 (ja) | 2006-05-02 | 2008-11-26 | 村田機械株式会社 | 測定ユニットを備えた搬送システム |
KR100812769B1 (ko) | 2006-05-02 | 2008-03-12 | 주식회사 이피아테크 | Rf를 이용한 컨테이너 위치추적 및 실시간 관리 시스템 |
EP1890519A1 (en) * | 2006-08-18 | 2008-02-20 | BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company | Environmental monitor |
JP4306723B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2009-08-05 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP4670808B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2011-04-13 | ムラテックオートメーション株式会社 | コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ |
JP2009249053A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
JP4437561B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2010-03-24 | 村田機械株式会社 | 気流の測定ユニット |
KR100891064B1 (ko) * | 2008-09-10 | 2009-03-31 | 이규옥 | 반도체 공정장비의 상태정보 저장장치 |
-
2009
- 2009-04-24 JP JP2009106585A patent/JP4743454B2/ja active Active
-
2010
- 2010-03-23 KR KR1020100025863A patent/KR101431579B1/ko active IP Right Grant
- 2010-04-02 CN CN201010155418A patent/CN101871796A/zh active Pending
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- 2010-04-21 TW TW099112511A patent/TWI480569B/zh active
- 2010-04-22 DE DE102010017939.6A patent/DE102010017939B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001187611A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-07-10 | Denso Corp | センサ付きidタグおよびこれを設けた容器、体温計並びに温度管理システム、位置管理システム |
JP2006089163A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Omron Corp | 物流管理装置、物流管理パレット、及び物流管理システム |
JP2006194495A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 温度記録装置 |
JP2006240809A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Hitachi Ltd | 生体組織の輸送装置及び輸送方法 |
JP2008037563A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Yamato Transport Co Ltd | 配達業務用携帯システム及び配達業務管理システム |
JP2009069958A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 移動体の位置把握システム |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016178327A (ja) * | 2011-06-28 | 2016-10-06 | ディーエムエス ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハーDMS Dynamic Micro Systems Semiconductor Equipment GmbH | 半導体ストッカシステム及び半導体ストック方法 |
US10090179B2 (en) | 2011-06-28 | 2018-10-02 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor stocker systems and methods |
KR20180116457A (ko) * | 2011-06-28 | 2018-10-24 | 다이나믹 마이크로시스템즈 세미컨덕터 이큅먼트 게엠베하 | 반도체 스토커 시스템들 및 방법들 |
KR102033083B1 (ko) * | 2011-06-28 | 2019-10-16 | 다이나믹 마이크로시스템즈 세미컨덕터 이큅먼트 게엠베하 | 반도체 스토커 시스템들 및 방법들 |
US10453722B2 (en) | 2011-06-28 | 2019-10-22 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Semiconductor stocker systems and methods |
US10872796B2 (en) | 2011-06-28 | 2020-12-22 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Semiconductor stocker systems and methods |
US11024526B2 (en) | 2011-06-28 | 2021-06-01 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Robot with gas flow sensor coupled to robot arm |
US11107715B2 (en) | 2011-06-28 | 2021-08-31 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Semiconductor stocker systems and methods |
JP2017077344A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | フクダ電子株式会社 | 生体情報計測装置およびその制御方法 |
CN110044409A (zh) * | 2019-03-26 | 2019-07-23 | 河海大学常州校区 | 一种基于物联网的危险品大运输智能监测预警系统及方法 |
JP2020116424A (ja) * | 2020-04-17 | 2020-08-06 | フクダ電子株式会社 | 生体情報計測装置およびその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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