JP3134738B2 - ハンドリングシステム - Google Patents
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
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- G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ハンドリングシ
ステムに関し、特に、ＩＣの検査工程においてＩＣテス
タによるＩＣのテストタイムに応じて、搬送システムを
組み替えることが可能なハンドリングシステムに関する
ものである。
ステムに関し、特に、ＩＣの検査工程においてＩＣテス
タによるＩＣのテストタイムに応じて、搬送システムを
組み替えることが可能なハンドリングシステムに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のハンドリングシステムは、搬送
キャリアによりＩＣを一括して搬送し、ＩＣテスタによ
りＩＣを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを
備えた構成のものが広く使用されている。図４に従来の
オートハンドラの搬送系を示した。なお、従来は、ロー
ダ・アンローダユニット６１とテストユニット６７はフ
レーム一体型で構成されている。
キャリアによりＩＣを一括して搬送し、ＩＣテスタによ
りＩＣを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを
備えた構成のものが広く使用されている。図４に従来の
オートハンドラの搬送系を示した。なお、従来は、ロー
ダ・アンローダユニット６１とテストユニット６７はフ
レーム一体型で構成されている。
【０００３】この従来例では、ＩＣの搬送は、ローダ・
アンローダユニット６１の供給吸着ハンド６２によりＩ
Ｃ６３をマガジンケースやトレーなどの収容容器６４よ
り、供給部６５にあるキャリア６６に搬送する。そし
て、キャリア６６はテストユニット６７のプレヒート部
６８を通って測定部６９に搬送され、そこで、ＩＣ６３
はＩＣソケット７０に接触され、図示しないＩＣテスタ
によって測定される。
アンローダユニット６１の供給吸着ハンド６２によりＩ
Ｃ６３をマガジンケースやトレーなどの収容容器６４よ
り、供給部６５にあるキャリア６６に搬送する。そし
て、キャリア６６はテストユニット６７のプレヒート部
６８を通って測定部６９に搬送され、そこで、ＩＣ６３
はＩＣソケット７０に接触され、図示しないＩＣテスタ
によって測定される。
【０００４】ＩＣ測定後は、キャリア６６がローダ・ア
ンローダユニット６１の収容部７１に搬送される。そし
て、収容吸着ハンド７２によってＩＣ６３は収容容器６
４に搬送、分類、並びに収納される。ここで、キャリア
６６には多数個のＩＣ６３が入り、これにより多数個の
測定が可能な構成となっている。
ンローダユニット６１の収容部７１に搬送される。そし
て、収容吸着ハンド７２によってＩＣ６３は収容容器６
４に搬送、分類、並びに収納される。ここで、キャリア
６６には多数個のＩＣ６３が入り、これにより多数個の
測定が可能な構成となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５に、上
記したオートハンドラを備えた従来のハンドリングシス
テムにおける搬送系の動作タイムチャートに示す。この
場合、ローダ・アンローダユニット６１の収容部７１に
おいてＩＣ６３をキャリア６６から収納容器６４に分
類、収納するのと、供給部６５においてＩＣ６３を収容
容器７４からキャリア６６に移載する（）のにそれぞ
れ約１分間を要する。そして、ＩＣテスタによるＩＣ６
３のテストタイム（）が約５分間と長い場合に、ロー
ダ・アンローダユニット６１は約４分間だけ停止状態
（）となってしまう。
記したオートハンドラを備えた従来のハンドリングシス
テムにおける搬送系の動作タイムチャートに示す。この
場合、ローダ・アンローダユニット６１の収容部７１に
おいてＩＣ６３をキャリア６６から収納容器６４に分
類、収納するのと、供給部６５においてＩＣ６３を収容
容器７４からキャリア６６に移載する（）のにそれぞ
れ約１分間を要する。そして、ＩＣテスタによるＩＣ６
３のテストタイム（）が約５分間と長い場合に、ロー
ダ・アンローダユニット６１は約４分間だけ停止状態
（）となってしまう。
【０００６】この発明は、上記のようなローダ・アンロ
ーダユニットの停止時間を短くして効率の良い稼働がで
き、また少ない設備投資でハンドリングシステムを構築
できるとともに、テストタイムが短いＩＣを測定する場
合においてもハンドリングシステムの組み替えにより容
易に対応が可能であるハンドリングシステムを提供する
ことを目的とする。
ーダユニットの停止時間を短くして効率の良い稼働がで
き、また少ない設備投資でハンドリングシステムを構築
できるとともに、テストタイムが短いＩＣを測定する場
合においてもハンドリングシステムの組み替えにより容
易に対応が可能であるハンドリングシステムを提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決を解決
するために、この発明のハンドリングシステムでは、キ
ャリアによりＩＣを一括して搬送し、ＩＣテスタにより
ＩＣを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを備
えたハンドリングシステムにおいて、未測定のＩＣをそ
の収納容器からキャリアへ移載するともに測定済のＩＣ
をキャリアから収容容器に分類して収納するローダ・ア
ンローダユニットと、ＩＣの電気的信号をＩＣテスタに
伝送するためのＩＣソケットにＩＣを接触させるテスト
ユニットとを分離し、前記テストユニットには、前記ロ
ーダ・アンローダユニットと前記テストユニットとの間
においてキャリアを搬送するキャリア搬送ユニットを設
け、ＩＣテスタによるＩＣのテストタイムに応じて、前
記ローダ・アンローダユニットに接続する前記テストユ
ニットの台数を増減する、構成とした。
するために、この発明のハンドリングシステムでは、キ
ャリアによりＩＣを一括して搬送し、ＩＣテスタにより
ＩＣを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを備
えたハンドリングシステムにおいて、未測定のＩＣをそ
の収納容器からキャリアへ移載するともに測定済のＩＣ
をキャリアから収容容器に分類して収納するローダ・ア
ンローダユニットと、ＩＣの電気的信号をＩＣテスタに
伝送するためのＩＣソケットにＩＣを接触させるテスト
ユニットとを分離し、前記テストユニットには、前記ロ
ーダ・アンローダユニットと前記テストユニットとの間
においてキャリアを搬送するキャリア搬送ユニットを設
け、ＩＣテスタによるＩＣのテストタイムに応じて、前
記ローダ・アンローダユニットに接続する前記テストユ
ニットの台数を増減する、構成とした。
【０００８】つまり、この発明では、ローダ・アンロー
ダユニットとテストユニットをフレーム分離型とし、テ
ストユニットにはローダ・アンローダユニットとテスト
ユニット間のキャリアを搬送するキャリア搬送ユニット
を設けるようにした。これにより、ＩＣのテストタイム
に応じてローダ・アンローダユニットに対して接続でき
るテストユニットの台数を増減できる。
ダユニットとテストユニットをフレーム分離型とし、テ
ストユニットにはローダ・アンローダユニットとテスト
ユニット間のキャリアを搬送するキャリア搬送ユニット
を設けるようにした。これにより、ＩＣのテストタイム
に応じてローダ・アンローダユニットに対して接続でき
るテストユニットの台数を増減できる。
【０００９】ＩＣテスターによるＩＣのテストタイムに
応じて、ローダ・アンローダユニットに対してテストユ
ニットの台数を増減する。また、テストタイムが長い場
合はローダ・アンローダユニットに複数のテストユニッ
トを接続できるため、少ない設備投資でハンドリングシ
ステムを構築できる。さらに、テストタイムが短い場合
でもハンドリングシステムの組み替えにより容易に対応
可能となる。
応じて、ローダ・アンローダユニットに対してテストユ
ニットの台数を増減する。また、テストタイムが長い場
合はローダ・アンローダユニットに複数のテストユニッ
トを接続できるため、少ない設備投資でハンドリングシ
ステムを構築できる。さらに、テストタイムが短い場合
でもハンドリングシステムの組み替えにより容易に対応
可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、この発明のハンドリング
システムの実施の形態を図１と図２を用いて説明する。
システムの実施の形態を図１と図２を用いて説明する。
【００１１】図１において、ローダ・アンローダユニッ
ト１と、テストユニット２のフレームは分離されてい
る。また、テストユニット２上には、ローダ・アンロー
ダユニット１とテストユニット２間のキャリア３を搬送
するキャリア搬送ユニット４が設けられている。
ト１と、テストユニット２のフレームは分離されてい
る。また、テストユニット２上には、ローダ・アンロー
ダユニット１とテストユニット２間のキャリア３を搬送
するキャリア搬送ユニット４が設けられている。
【００１２】この図１のシステムにおけるＩＣの搬送は
上記した従来例と同様である。但し、図１のシステムで
は、効率の良い稼働を行うために、キャリアを一時的に
ストックする供給バッファ部５と収容バッファ部６がテ
ストユニット２に設けられている。また、ローダ・アン
ローダユニット１には、同じく効率良く稼働を行うため
に、キャリアを一時的にストックする収容バッファ部７
が設けられている。
上記した従来例と同様である。但し、図１のシステムで
は、効率の良い稼働を行うために、キャリアを一時的に
ストックする供給バッファ部５と収容バッファ部６がテ
ストユニット２に設けられている。また、ローダ・アン
ローダユニット１には、同じく効率良く稼働を行うため
に、キャリアを一時的にストックする収容バッファ部７
が設けられている。
【００１３】上記のようにテストユニット２上にキャリ
ア搬送ユニット４を設けることで、テストユニット２を
ローダ・アンローダユニット１に対し、複数台並べた場
合でもキャリア３の分配が可能となる。図１の例では、
増設テストユニット１２〜１４が設けられている。
ア搬送ユニット４を設けることで、テストユニット２を
ローダ・アンローダユニット１に対し、複数台並べた場
合でもキャリア３の分配が可能となる。図１の例では、
増設テストユニット１２〜１４が設けられている。
【００１４】ここで、例えばテストタイム約５分間のＩ
Ｃを測定、分類、並びに収納する場合において、１台の
ローダ・アンローダユニットと、４台のテストユニット
を用いてハンドリングシステムを構成した場合の動作タ
イムチャートの例を図２に示す。なお、ＩＣの測定はプ
レヒート部８を経て測定部９とにより行われる。
Ｃを測定、分類、並びに収納する場合において、１台の
ローダ・アンローダユニットと、４台のテストユニット
を用いてハンドリングシステムを構成した場合の動作タ
イムチャートの例を図２に示す。なお、ＩＣの測定はプ
レヒート部８を経て測定部９とにより行われる。
【００１５】ローダ・アンローダユニット１の収容部１
０においてＩＣをキャリア３からマガジンケースやトレ
ーなどの収納容器に分類、収納するのと、供給部１１に
おいてＩＣを収容容器からキャリア３に移載するのに、
テストユニット２におけるそれぞれのキャリア１枚分で
約４分間を要する。そして、ＩＣのテストタイムが約５
分間の場合において、ローダ・アンローダユニット１の
停止時間は約１分間となる。このため、従来例のオート
ハンドラの搬送系と比較して停止時間が短く、効率が良
くなることが判る。また、ローダ・アンローダユニット
１を１台だけ用いてハンドリングシステムを構築するこ
とが出来て、より少ない設備投資で済むことになる。
０においてＩＣをキャリア３からマガジンケースやトレ
ーなどの収納容器に分類、収納するのと、供給部１１に
おいてＩＣを収容容器からキャリア３に移載するのに、
テストユニット２におけるそれぞれのキャリア１枚分で
約４分間を要する。そして、ＩＣのテストタイムが約５
分間の場合において、ローダ・アンローダユニット１の
停止時間は約１分間となる。このため、従来例のオート
ハンドラの搬送系と比較して停止時間が短く、効率が良
くなることが判る。また、ローダ・アンローダユニット
１を１台だけ用いてハンドリングシステムを構築するこ
とが出来て、より少ない設備投資で済むことになる。
【００１６】次に、この発明によるハンドリングシステ
ムの他の実施の形態を図３により説明する。この実施の
形態では、ローダ・アンローダユニット２１とテストユ
ニット２２、テストユニット２３を図示したように配置
し、またテストユニット２２とテストユニット２３の間
に中間搬送ユニット２４を設ける。なお、中間搬送ユニ
ット２４は、テストユニット２２とテストユニット２３
の間にスペースがないとメンテナンス上、不便なために
設けるものである。
ムの他の実施の形態を図３により説明する。この実施の
形態では、ローダ・アンローダユニット２１とテストユ
ニット２２、テストユニット２３を図示したように配置
し、またテストユニット２２とテストユニット２３の間
に中間搬送ユニット２４を設ける。なお、中間搬送ユニ
ット２４は、テストユニット２２とテストユニット２３
の間にスペースがないとメンテナンス上、不便なために
設けるものである。
【００１７】テストユニット２２上には、搬送ユニット
２５が、またテストユニット２３上には搬送ユニット２
６がそれぞれ搭載される。テストユニット２３は、測定
部４４を２ヶ所持ち、このため１台で２テストステーシ
ョンの接続が可能である。
２５が、またテストユニット２３上には搬送ユニット２
６がそれぞれ搭載される。テストユニット２３は、測定
部４４を２ヶ所持ち、このため１台で２テストステーシ
ョンの接続が可能である。
【００１８】ここで、キャリア２７の搬送は、ローダ・
アンローダユニット２１の供給部２８から未測定ＩＣ２
９を入れたキャリア２７がテストユニット２２の測定部
３２に供給される場合には、搬送ユニット２５とプレヒ
ート部３１を通り、測定部３２において未測定ＩＣ２９
がＩＣソケット３３に接触してＩＣテスタにより測定さ
れる。そして、測定後のキャリア２７は搬送ユニット２
５を通り、ローダ・アンローダユニット２１の収容部３
６に搬送される。
アンローダユニット２１の供給部２８から未測定ＩＣ２
９を入れたキャリア２７がテストユニット２２の測定部
３２に供給される場合には、搬送ユニット２５とプレヒ
ート部３１を通り、測定部３２において未測定ＩＣ２９
がＩＣソケット３３に接触してＩＣテスタにより測定さ
れる。そして、測定後のキャリア２７は搬送ユニット２
５を通り、ローダ・アンローダユニット２１の収容部３
６に搬送される。
【００１９】キャリア２７がテストユニット２２の測定
部３９に供給される場合は、供給部２８より搬送ユニッ
ト２５、プレヒート部３８を通り、測定部３９において
未測定ＩＣ２９がＩＣソケット４０に接触してＩＣテス
タにより測定される。そして、測定後のキャリア２７
は、搬送ユニット２５を通りローダ・アンローダユニッ
ト２１の収容部３６に搬送される。
部３９に供給される場合は、供給部２８より搬送ユニッ
ト２５、プレヒート部３８を通り、測定部３９において
未測定ＩＣ２９がＩＣソケット４０に接触してＩＣテス
タにより測定される。そして、測定後のキャリア２７
は、搬送ユニット２５を通りローダ・アンローダユニッ
ト２１の収容部３６に搬送される。
【００２０】キャリア２７がテストユニット２３の測定
部４４に供給される場合は、供給部２８より搬送ユニッ
ト２５、中間搬送ユニット２４、搬送ユニット２６を通
り、プレヒート部４３を通り、測定部４４において未測
定ＩＣ２９がＩＣソケット４５に接触してＩＣテスタに
より測定される。そして、測定後のキャリア２７は、搬
送ユニット２６、中間搬送ユニット２４、並びに搬送ユ
ニット２５を通ってローダ・アンローダユニット２１の
収容部３６に搬送される。
部４４に供給される場合は、供給部２８より搬送ユニッ
ト２５、中間搬送ユニット２４、搬送ユニット２６を通
り、プレヒート部４３を通り、測定部４４において未測
定ＩＣ２９がＩＣソケット４５に接触してＩＣテスタに
より測定される。そして、測定後のキャリア２７は、搬
送ユニット２６、中間搬送ユニット２４、並びに搬送ユ
ニット２５を通ってローダ・アンローダユニット２１の
収容部３６に搬送される。
【００２１】キャリア２７がテストユニット２３の測定
部４９に供給される場合は、供給部２８から搬送ユニッ
ト２５、中間搬送ユニット２４、並びに搬送ユニット２
６を通り、プレヒート部４８を通って、測定部４９にお
いて未測定ＩＣ２９がＩＣソケット５０に接触してＩＣ
テスタにより測定される。そして、測定後のキャリア２
７は、搬送ユニット２６、中間搬送ユニット２４、並び
に搬送ユニット２５を通って、ローダ・アンローダユニ
ット２１の収容部３６に搬送される。
部４９に供給される場合は、供給部２８から搬送ユニッ
ト２５、中間搬送ユニット２４、並びに搬送ユニット２
６を通り、プレヒート部４８を通って、測定部４９にお
いて未測定ＩＣ２９がＩＣソケット５０に接触してＩＣ
テスタにより測定される。そして、測定後のキャリア２
７は、搬送ユニット２６、中間搬送ユニット２４、並び
に搬送ユニット２５を通って、ローダ・アンローダユニ
ット２１の収容部３６に搬送される。
【００２２】なお、テストユニット２２・２３には、そ
れぞれ効率良く稼働を行うために、キャリア２７を一時
的にストックする供給バッファ部３０，３７，４２，４
７と収容バッファ部３４，４１，４６，５１が設けられ
ている。また、ローダ・アンローダユニット２１には、
効率の良い稼働を行うために、キャリア２７を一時的に
ストックする収容バッファ部３５が設けられている。
れぞれ効率良く稼働を行うために、キャリア２７を一時
的にストックする供給バッファ部３０，３７，４２，４
７と収容バッファ部３４，４１，４６，５１が設けられ
ている。また、ローダ・アンローダユニット２１には、
効率の良い稼働を行うために、キャリア２７を一時的に
ストックする収容バッファ部３５が設けられている。
【００２３】なお、ＩＣテスタによるテストタイムが長
くなった場合は、テストユニット２３の隣に中間搬送ユ
ニット５２とテストユニット５３を接続することも可能
であり、また更に複数台接続することも可能である。ま
た、テストタイムが短くなった場合は、中間搬送ユニッ
ト２４とテストユニット２３を使用せずに取り外してし
まうこともできる。
くなった場合は、テストユニット２３の隣に中間搬送ユ
ニット５２とテストユニット５３を接続することも可能
であり、また更に複数台接続することも可能である。ま
た、テストタイムが短くなった場合は、中間搬送ユニッ
ト２４とテストユニット２３を使用せずに取り外してし
まうこともできる。
【００２４】
【発明の効果】この発明によれば、ローダ・アンローダ
ユニットに対して任意のテストユニット台数を接続する
ことが可能となる。このため、ＩＣテスタによるＩＣの
テストタイムが長い場合は複数台のテストユニットを接
続し、短い場合には１台のテストユニットのみ接続する
こともできる。この結果、ローダ・アンローダユニット
の停止状態が短くなり、効率の良い稼働ができる。
ユニットに対して任意のテストユニット台数を接続する
ことが可能となる。このため、ＩＣテスタによるＩＣの
テストタイムが長い場合は複数台のテストユニットを接
続し、短い場合には１台のテストユニットのみ接続する
こともできる。この結果、ローダ・アンローダユニット
の停止状態が短くなり、効率の良い稼働ができる。
【００２５】また、従来はテストユニットの台数分だけ
ローダ・アンローダユニットを搭載していたのに対し、
この発明ではテストタイムが長い場合にテストユニット
の台数を増やしてもローダ・アンローダユニットは１台
で済む。このため、少ない設備投資でハンドリングシス
テムを構築することが可能となる。
ローダ・アンローダユニットを搭載していたのに対し、
この発明ではテストタイムが長い場合にテストユニット
の台数を増やしてもローダ・アンローダユニットは１台
で済む。このため、少ない設備投資でハンドリングシス
テムを構築することが可能となる。
【００２６】その他、ローダ・アンローダユニット１台
により１ロットのＩＣ選別が可能となるため、何台も使
用した場合に比べ必ず空いている測定部にキャリアを搬
送することができて、未測定ＩＣの入ったマガジンケー
スまたはトレーの供給枚数の違いによる選別時間の無駄
が発生せずに最短時間にて選別ができるという効果もあ
る。
により１ロットのＩＣ選別が可能となるため、何台も使
用した場合に比べ必ず空いている測定部にキャリアを搬
送することができて、未測定ＩＣの入ったマガジンケー
スまたはトレーの供給枚数の違いによる選別時間の無駄
が発生せずに最短時間にて選別ができるという効果もあ
る。
【図１】この発明の実施の形態のハンドリングシステム
の構成を示した説明図である。
の構成を示した説明図である。
【図２】この発明の実施の形態のハンドリングシステム
の動作のタイムチャートである。
の動作のタイムチャートである。
【図３】この発明の他の実施の形態のハンドリングシス
テムの構成を示した説明図である。
テムの構成を示した説明図である。
【図４】従来のハンドリングシステムにおけるオートハ
ンドラの搬送系の説明図である。
ンドラの搬送系の説明図である。
【図５】図４のハンドリングシステムにおけるオートハ
ンドラの動作のタイムチャートである。
ンドラの動作のタイムチャートである。
１ ローダ・アンローダユニット ２ テストユニット ３ キャリア ４ キャリア搬送ユニット ５ 供給バッファ部 ６ 収容バッファ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66
Claims (1)
- 【請求項１】 キャリア(3) によりＩＣを一括して搬送
し、ＩＣテスタによりＩＣを測定、分類、並びに収納す
るオートハンドラを備えたハンドリングシステムにおい
て、 未測定のＩＣをその収納容器からキャリア(3) へ移載す
るともに測定済のＩＣをキャリア(3) から収容容器に分
類して収納するローダ・アンローダユニット(1) と、Ｉ
Ｃの電気的信号をＩＣテスタに伝送するためのＩＣソケ
ットにＩＣを接触させるテストユニット(2) とを分離
し、 前記テストユニット(2) には、前記ローダ・アンローダ
ユニット(1) と前記テストユニット(2) との間において
キャリア(3) を搬送するキャリア搬送ユニット(4) を設
け、 ＩＣテスタによるＩＣのテストタイムに応じて、前記ロ
ーダ・アンローダユニット(1) に接続する前記テストユ
ニット(2) の台数を増減するようにすることを特徴とす
るハンドリングシステム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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