JP2001099891A - Ｔａｂ用オートハンドラ及びｔａｂ用オートハンドラにおける処理方法 - Google Patents
Ｔａｂ用オートハンドラ及びｔａｂ用オートハンドラにおける処理方法Info
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- JP2001099891A JP2001099891A JP27503499A JP27503499A JP2001099891A JP 2001099891 A JP2001099891 A JP 2001099891A JP 27503499 A JP27503499 A JP 27503499A JP 27503499 A JP27503499 A JP 27503499A JP 2001099891 A JP2001099891 A JP 2001099891A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の課題は、測定部の後方に複数の分類
装置を配置し、ＩＣチップの測定処理と分類処理を常時
並行して行うことにより、処理能力の高いＴＡＢ用オー
トハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方
法を提供することである。 【解決手段】 ＴＡＢハンドラ１によれば、スプロケッ
ト３ａ，３ｂにより複数のＩＣチップが等間隔で配置さ
れたＴＡＢテープをＩＣチップの配置間隔単位で一定方
向に間欠的に搬送させ、所定の位置に達した２個のＩＣ
チップを測定部４により同時測定し、１個目のＩＣチッ
プを分類装置５ａにより分類し、２個目のＩＣチップを
分類装置５ｂにより分類処理する。この測定分類処理を
ＴＡＢテープ上の全ての被試験体であるＩＣチップにつ
いて繰り返し実行する。
装置を配置し、ＩＣチップの測定処理と分類処理を常時
並行して行うことにより、処理能力の高いＴＡＢ用オー
トハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方
法を提供することである。 【解決手段】 ＴＡＢハンドラ１によれば、スプロケッ
ト３ａ，３ｂにより複数のＩＣチップが等間隔で配置さ
れたＴＡＢテープをＩＣチップの配置間隔単位で一定方
向に間欠的に搬送させ、所定の位置に達した２個のＩＣ
チップを測定部４により同時測定し、１個目のＩＣチッ
プを分類装置５ａにより分類し、２個目のＩＣチップを
分類装置５ｂにより分類処理する。この測定分類処理を
ＴＡＢテープ上の全ての被試験体であるＩＣチップにつ
いて繰り返し実行する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴＡＢ（Tape Aut
omated Bonding）用オートハンドラ及びＴＡＢ用オート
ハンドラにおける処理方法に係り、詳細には、ＩＣチッ
プの測定と分類処理を常時並行して行うＴＡＢ用オート
ハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方法
に関する。
omated Bonding）用オートハンドラ及びＴＡＢ用オート
ハンドラにおける処理方法に係り、詳細には、ＩＣチッ
プの測定と分類処理を常時並行して行うＴＡＢ用オート
ハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下、従来のＴＡＢ用オートハンドラ
（以下、「ＴＡＢハンドラ」と称する。）について、図
３〜図４を参照して説明する。まず、図３は、従来技術
におけるＴＡＢハンドラ１０の構成を示す図である。Ｔ
ＡＢハンドラ１０は、供給リール１１ａ、収容リール１
１ｂ、ＴＡＢテープ１２、スプロケット１３ａ，１３
ｂ、測定部１４、分類装置１５を主要部として構成され
る。
（以下、「ＴＡＢハンドラ」と称する。）について、図
３〜図４を参照して説明する。まず、図３は、従来技術
におけるＴＡＢハンドラ１０の構成を示す図である。Ｔ
ＡＢハンドラ１０は、供給リール１１ａ、収容リール１
１ｂ、ＴＡＢテープ１２、スプロケット１３ａ，１３
ｂ、測定部１４、分類装置１５を主要部として構成され
る。
【０００３】図３において、供給リール１１ａには、測
定前のＩＣチップが配置されたＴＡＢテープ１２が巻き
付けられている。ＴＡＢテープ１２には、テープ状のフ
ィルムに複数個のＩＣチップが等間隔で配置されてい
る。スプロケット１３ａ，１３ｂは連動してリール状に
巻かれたＴＡＢテープ１２を測定部１４まで逐次搬送さ
せる。分類装置１５は、パンチユニット或いはマーキン
グ装置であり、測定部１４の測定結果に基づいて被試験
体となるＩＣチップにパンチング或いはマーキングをす
ることにより、ＩＣチップを自動的に選別する。収容リ
ール１１ｂは、測定後のＩＣチップが配置されたＴＡＢ
テープ１２を巻き取る。
定前のＩＣチップが配置されたＴＡＢテープ１２が巻き
付けられている。ＴＡＢテープ１２には、テープ状のフ
ィルムに複数個のＩＣチップが等間隔で配置されてい
る。スプロケット１３ａ，１３ｂは連動してリール状に
巻かれたＴＡＢテープ１２を測定部１４まで逐次搬送さ
せる。分類装置１５は、パンチユニット或いはマーキン
グ装置であり、測定部１４の測定結果に基づいて被試験
体となるＩＣチップにパンチング或いはマーキングをす
ることにより、ＩＣチップを自動的に選別する。収容リ
ール１１ｂは、測定後のＩＣチップが配置されたＴＡＢ
テープ１２を巻き取る。
【０００４】また、測定部１４内の上方にはプッシャ１
４ａが配置され、その下方にはプローブ１４ｂが配置さ
れている。プローブ１４ｂは、ＩＣテスタ１６に接続さ
れている。プッシャ１４ａが搬送されたＴＡＢテープ１
２のＩＣチップを押下すると、ＩＣチップとプローブ１
４ｂが電気的に接続され、その接続されたＩＣチップが
ＩＣテスタ１６によって試験される。
４ａが配置され、その下方にはプローブ１４ｂが配置さ
れている。プローブ１４ｂは、ＩＣテスタ１６に接続さ
れている。プッシャ１４ａが搬送されたＴＡＢテープ１
２のＩＣチップを押下すると、ＩＣチップとプローブ１
４ｂが電気的に接続され、その接続されたＩＣチップが
ＩＣテスタ１６によって試験される。
【０００５】次に、図３のＴＡＢハンドラ１０における
並列処理方法を図４を参照して説明する。図４は、図３
の測定部１４、分類装置１５、スプロケット１３ｂの部
分を上方から見た平面図である。図４において、測定部
１４は、ＴＡＢテープ１２上のＩＣチップの配置間隔と
同間隔Ｐで配置された２つの測定部１４ｃ，１４ｄを有
しており、２個のＩＣチップを同時に測定可能である。
分類装置１５は、測定部１４より間隔Ｐの数倍先に配置
され、スプロケット１３ａ，１３ｂはＴＡＢテープ１２
を間隔Ｐの距離単位で、間欠的に搬送する。
並列処理方法を図４を参照して説明する。図４は、図３
の測定部１４、分類装置１５、スプロケット１３ｂの部
分を上方から見た平面図である。図４において、測定部
１４は、ＴＡＢテープ１２上のＩＣチップの配置間隔と
同間隔Ｐで配置された２つの測定部１４ｃ，１４ｄを有
しており、２個のＩＣチップを同時に測定可能である。
分類装置１５は、測定部１４より間隔Ｐの数倍先に配置
され、スプロケット１３ａ，１３ｂはＴＡＢテープ１２
を間隔Ｐの距離単位で、間欠的に搬送する。
【０００６】測定部１４ｃ，１４ｄにおけるＩＣチップ
の測定結果は、測定データとしてＩＣテスタ１６内のメ
モリ１７に格納される。ＩＣテスタ１６内の制御部１８
は、メモリ１７の測定データを読み込み、この測定デー
タに基づいて分類装置１５にＩＣチップの分類動作を指
令する。また、制御部１８は、スプロケット１３ａ，１
３ｂの動作を制御する。
の測定結果は、測定データとしてＩＣテスタ１６内のメ
モリ１７に格納される。ＩＣテスタ１６内の制御部１８
は、メモリ１７の測定データを読み込み、この測定デー
タに基づいて分類装置１５にＩＣチップの分類動作を指
令する。また、制御部１８は、スプロケット１３ａ，１
３ｂの動作を制御する。
【０００７】次に、図４を参照してＴＡＢハンドラ１０
の動作を説明する。図４（ａ）において、２個のＩＣチ
ップ“Ｄ１”，“Ｄ２”が同時に測定される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”の測定結
果はメモリ１７に記憶される。次に、図４（ｂ）におい
て、ＴＡＢテープ１２は、間隔Ｐの距離だけ図中右方向
に移動する。ＴＡＢテープ１２がさらに間隔Ｐの距離だ
け右方向に移動した図４（ｃ）の状態では、２個のＩＣ
チップ“Ｄ３”，“Ｄ４”が同時に測定される。当該測
定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”の測定
結果はメモリ１７に記憶される。
の動作を説明する。図４（ａ）において、２個のＩＣチ
ップ“Ｄ１”，“Ｄ２”が同時に測定される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”の測定結
果はメモリ１７に記憶される。次に、図４（ｂ）におい
て、ＴＡＢテープ１２は、間隔Ｐの距離だけ図中右方向
に移動する。ＴＡＢテープ１２がさらに間隔Ｐの距離だ
け右方向に移動した図４（ｃ）の状態では、２個のＩＣ
チップ“Ｄ３”，“Ｄ４”が同時に測定される。当該測
定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”の測定
結果はメモリ１７に記憶される。
【０００８】同様に、ＴＡＢテープ１２は、図４（ｄ）
に示すように、さらに間隔Ｐの距離分右方向に移動す
る。ＴＡＢテープ１２がさらに間隔Ｐの距離分右方向に
移動した図４（ｅ）の状態では、ＩＣチップ“Ｄ１”
は、上記測定結果に基づいて分類装置１５により分類処
理されると共に、測定部１４に搬送された２個のＩＣチ
ップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が同時に測定される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”の測定結
果はメモリ１７に記憶される。そして、図４（ｆ）に示
すように、ＴＡＢテープ１２は、間隔Ｐの距離分右方向
に移動し、ＩＣチップ“Ｄ２”が分類処理される。この
ように、ＴＡＢハンドラ１０は、逐次ＴＡＢテープ１２
上のＩＣチップの試験動作を制御する。
に示すように、さらに間隔Ｐの距離分右方向に移動す
る。ＴＡＢテープ１２がさらに間隔Ｐの距離分右方向に
移動した図４（ｅ）の状態では、ＩＣチップ“Ｄ１”
は、上記測定結果に基づいて分類装置１５により分類処
理されると共に、測定部１４に搬送された２個のＩＣチ
ップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が同時に測定される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”の測定結
果はメモリ１７に記憶される。そして、図４（ｆ）に示
すように、ＴＡＢテープ１２は、間隔Ｐの距離分右方向
に移動し、ＩＣチップ“Ｄ２”が分類処理される。この
ように、ＴＡＢハンドラ１０は、逐次ＴＡＢテープ１２
上のＩＣチップの試験動作を制御する。
【０００９】次に、図２（ｂ）は、図４の測定分類処理
のタイムチャートを示す図である。図２（ｂ）に示すよ
うに、ＩＣチップの測定処理に要する時間は分類処理に
要する時間と比較して充分に長い。したがって、例え
ば、図４（ｅ）に示すように、ＴＡＢハンドラ１０は、
ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が同時測定されている間
に、ＩＣチップ“Ｄ１”を分類処理できる。
のタイムチャートを示す図である。図２（ｂ）に示すよ
うに、ＩＣチップの測定処理に要する時間は分類処理に
要する時間と比較して充分に長い。したがって、例え
ば、図４（ｅ）に示すように、ＴＡＢハンドラ１０は、
ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が同時測定されている間
に、ＩＣチップ“Ｄ１”を分類処理できる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＴＡＢハンドラでは、以下のような問題点があった。図
４（ｆ）において、ＩＣチップ“Ｄ２”を分類処理する
間は、測定部１４は次の測定対象ＩＣチップである“Ｄ
７”，“Ｄ８”を測定できないため、ＴＡＢテープ１２
の搬送は待機状態となる。このようなシーケンス処理上
の時間的ロスが、ＴＡＢハンドラの処理能力を低減させ
る原因となっていた。
ＴＡＢハンドラでは、以下のような問題点があった。図
４（ｆ）において、ＩＣチップ“Ｄ２”を分類処理する
間は、測定部１４は次の測定対象ＩＣチップである“Ｄ
７”，“Ｄ８”を測定できないため、ＴＡＢテープ１２
の搬送は待機状態となる。このようなシーケンス処理上
の時間的ロスが、ＴＡＢハンドラの処理能力を低減させ
る原因となっていた。
【００１１】上記問題点を解決するため、測定部１４に
分類装置１５を隣接させて、ＩＣチップの測定後直ちに
分類処理する方法も考えられるが、測定部１４には前述
のプッシャ１４ａやＴＡＢテープ１２の案内機構が配置
されているため、分類装置を隣接配置することは現実的
ではない。
分類装置１５を隣接させて、ＩＣチップの測定後直ちに
分類処理する方法も考えられるが、測定部１４には前述
のプッシャ１４ａやＴＡＢテープ１２の案内機構が配置
されているため、分類装置を隣接配置することは現実的
ではない。
【００１２】本発明の課題は、測定部の後方に複数の分
類装置を配置し、ＩＣチップの測定処理と分類処理を常
時並行して行うことにより、処理能力の高いＴＡＢ用オ
ートハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理
方法を提供することである。
類装置を配置し、ＩＣチップの測定処理と分類処理を常
時並行して行うことにより、処理能力の高いＴＡＢ用オ
ートハンドラ及びＴＡＢ用オートハンドラにおける処理
方法を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴＡＢ
（例えば、図１のＴＡＢテープ２に対応する）を、その
ＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送する搬送機構
（例えば、図１のスプロケット３ｂに対応する）と、こ
の搬送機構により搬送された複数個のＩＣチップを同時
に測定する測定部（例えば、図１の測定部４に対応す
る）とを備えたＴＡＢ用オートハンドラにおいて、前記
測定部より測定された後のＩＣチップを分類する分類装
置（例えば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分類装
置５ｂに対応する）を、該測定部より後方の搬送位置に
前記ＩＣチップの配置間隔で複数設けたことを特徴とし
ている。
テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴＡＢ
（例えば、図１のＴＡＢテープ２に対応する）を、その
ＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送する搬送機構
（例えば、図１のスプロケット３ｂに対応する）と、こ
の搬送機構により搬送された複数個のＩＣチップを同時
に測定する測定部（例えば、図１の測定部４に対応す
る）とを備えたＴＡＢ用オートハンドラにおいて、前記
測定部より測定された後のＩＣチップを分類する分類装
置（例えば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分類装
置５ｂに対応する）を、該測定部より後方の搬送位置に
前記ＩＣチップの配置間隔で複数設けたことを特徴とし
ている。
【００１４】請求項１記載の発明によれば、搬送機構
は、テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴ
ＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送
し、測定部は、前記搬送機構により搬送された複数個の
ＩＣチップを同時に測定し、分類装置は、前記測定部よ
り測定された後のＩＣチップを分類し、該測定部より後
方の搬送位置に前記ＩＣチップの配置間隔で複数設けら
れている。
は、テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴ
ＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送
し、測定部は、前記搬送機構により搬送された複数個の
ＩＣチップを同時に測定し、分類装置は、前記測定部よ
り測定された後のＩＣチップを分類し、該測定部より後
方の搬送位置に前記ＩＣチップの配置間隔で複数設けら
れている。
【００１５】請求項４記載の発明は、テープ上にＩＣチ
ップが等間隔で複数配置されたＴＡＢを、そのＩＣチッ
プの配置間隔で一定方向に搬送する搬送工程と、この搬
送工程にて搬送された複数個のＩＣチップを同時に測定
する測定工程と、を実行するＴＡＢ用オートハンドラに
おける分類処理手順を制御するための処理方法におい
て、前記測定工程にて測定されたＩＣチップを該ＩＣチ
ップの配置間隔をおいた搬送位置で分類する複数の分類
工程、を含むことを特徴としている。
ップが等間隔で複数配置されたＴＡＢを、そのＩＣチッ
プの配置間隔で一定方向に搬送する搬送工程と、この搬
送工程にて搬送された複数個のＩＣチップを同時に測定
する測定工程と、を実行するＴＡＢ用オートハンドラに
おける分類処理手順を制御するための処理方法におい
て、前記測定工程にて測定されたＩＣチップを該ＩＣチ
ップの配置間隔をおいた搬送位置で分類する複数の分類
工程、を含むことを特徴としている。
【００１６】請求項４記載の発明によれば、搬送工程に
て、テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴ
ＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送
し、測定工程にて、搬送工程にて搬送された複数個のＩ
Ｃチップを同時に測定し、複数の分類工程にて、前記測
定工程にて測定されたＩＣチップを該ＩＣチップの配置
間隔をおいた搬送位置で分類する。
て、テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置されたＴ
ＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向に搬送
し、測定工程にて、搬送工程にて搬送された複数個のＩ
Ｃチップを同時に測定し、複数の分類工程にて、前記測
定工程にて測定されたＩＣチップを該ＩＣチップの配置
間隔をおいた搬送位置で分類する。
【００１７】したがって、ＴＡＢ用オートハンドラに分
類装置を複数設けることによりＩＣチップの測定処理と
分類処理を常時並行して行うことができるため、分類処
理に要する時間を短縮することが可能となり、ＴＡＢ用
オートハンドラの処理能力を向上できる。
類装置を複数設けることによりＩＣチップの測定処理と
分類処理を常時並行して行うことができるため、分類処
理に要する時間を短縮することが可能となり、ＴＡＢ用
オートハンドラの処理能力を向上できる。
【００１８】請求項２記載の発明は、請求項１記載のＴ
ＡＢ用オートハンドラにおいて、前記分類装置（例え
ば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分類装置５ｂに
対応する）は、前記測定部（例えば、図１の測定部４に
対応する）において同時測定されるＩＣチップの数と同
数分設けたことを特徴としている。
ＡＢ用オートハンドラにおいて、前記分類装置（例え
ば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分類装置５ｂに
対応する）は、前記測定部（例えば、図１の測定部４に
対応する）において同時測定されるＩＣチップの数と同
数分設けたことを特徴としている。
【００１９】請求項２記載の発明によれば、分類装置
は、前記測定部において同時測定されるＩＣチップの数
と同数分設けられている。
は、前記測定部において同時測定されるＩＣチップの数
と同数分設けられている。
【００２０】請求項５記載の発明は、請求項４記載のＴ
ＡＢ用オートハンドラにおける処理方法において、前記
分類工程は、前記測定工程にて同時測定されるＩＣチッ
プの数と同数分含むことを特徴としている。
ＡＢ用オートハンドラにおける処理方法において、前記
分類工程は、前記測定工程にて同時測定されるＩＣチッ
プの数と同数分含むことを特徴としている。
【００２１】請求項５記載の発明によれば、前記分類工
程は、前記測定工程にて同時測定されるＩＣチップの数
と同数分含む。
程は、前記測定工程にて同時測定されるＩＣチップの数
と同数分含む。
【００２２】したがって、同時測定の対象となるＩＣチ
ップの個数の増加に伴う分類処理時間の増加を抑えるこ
とができる。
ップの個数の増加に伴う分類処理時間の増加を抑えるこ
とができる。
【００２３】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、前記複数の分
類装置（例えば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分
類装置５ｂに対応する）は、前記測定部（例えば、図１
の測定部４に対応する）の配置位置より後方の前記ＩＣ
チップの配置間隔の奇数倍をおいた位置から該ＩＣチッ
プの配置間隔で複数設けたことを特徴としている。
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおいて、前記複数の分
類装置（例えば、図１の第１の分類装置５ａ、第２の分
類装置５ｂに対応する）は、前記測定部（例えば、図１
の測定部４に対応する）の配置位置より後方の前記ＩＣ
チップの配置間隔の奇数倍をおいた位置から該ＩＣチッ
プの配置間隔で複数設けたことを特徴としている。
【００２４】請求項３記載の発明によれば、前記複数の
分類装置は、前記測定部の配置位置より後方の前記ＩＣ
チップの配置間隔の奇数倍をおいた位置から該ＩＣチッ
プの配置間隔で複数設けられている。
分類装置は、前記測定部の配置位置より後方の前記ＩＣ
チップの配置間隔の奇数倍をおいた位置から該ＩＣチッ
プの配置間隔で複数設けられている。
【００２５】請求項６記載の発明は、請求項４または５
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方法におい
て、前記複数の分類工程は、前記測定工程終了後の前記
ＩＣチップを該ＩＣチップの配置間隔の奇数倍をおいた
配置間隔の搬送位置で分類することを特徴としている。
記載のＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方法におい
て、前記複数の分類工程は、前記測定工程終了後の前記
ＩＣチップを該ＩＣチップの配置間隔の奇数倍をおいた
配置間隔の搬送位置で分類することを特徴としている。
【００２６】請求項６記載の発明によれば、前記複数の
分類工程は、前記測定工程終了後の前記ＩＣチップを該
ＩＣチップの配置間隔の奇数倍をおいた配置間隔の搬送
位置で分類する。
分類工程は、前記測定工程終了後の前記ＩＣチップを該
ＩＣチップの配置間隔の奇数倍をおいた配置間隔の搬送
位置で分類する。
【００２７】したがって、先頭から偶数番目のＩＣチッ
プと奇数番目のＩＣチップの分類処理を並行して行うこ
とができるため、同一のＩＣチップを重複して分類処理
することを防止できる。
プと奇数番目のＩＣチップの分類処理を並行して行うこ
とができるため、同一のＩＣチップを重複して分類処理
することを防止できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１〜図２を参照して、本実施の
形態におけるＴＡＢ用オートハンドラについて説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態におけるＴＡＢ用オ
ートハンドラ１の要部構成部分を上方から見た平面図で
ある。図１において、ＴＡＢ用オートハンドラ１は、測
定部４の測定結果に基づいてＩＣチップを分類する分類
装置５ａ，５ｂを測定部４の後方２ヶ所に配置してい
る。その他の構成部分については、図３または図４に示
したＴＡＢハンドラ１０と同様であるため、その図示及
び説明は省略する。
形態におけるＴＡＢ用オートハンドラについて説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態におけるＴＡＢ用オ
ートハンドラ１の要部構成部分を上方から見た平面図で
ある。図１において、ＴＡＢ用オートハンドラ１は、測
定部４の測定結果に基づいてＩＣチップを分類する分類
装置５ａ，５ｂを測定部４の後方２ヶ所に配置してい
る。その他の構成部分については、図３または図４に示
したＴＡＢハンドラ１０と同様であるため、その図示及
び説明は省略する。
【００２９】図１において、ＩＣチップの並列測定個数
が偶数個（２個）であるため、分類装置５ａと分類装置
５ｂは、ＩＣチップの配置間隔Ｐの奇数倍離して配置さ
れている。逆に、ＩＣチップの並列測定個数が奇数個の
場合は、分類装置はＩＣチップの配置間隔Ｐの偶数倍の
間隔をおいて配置される。なお、図１においては、分類
装置５ａは、測定部４ｃからＩＣチップ４個分離れた位
置に配置されているが、この間隔は幾つであっても良
い。
が偶数個（２個）であるため、分類装置５ａと分類装置
５ｂは、ＩＣチップの配置間隔Ｐの奇数倍離して配置さ
れている。逆に、ＩＣチップの並列測定個数が奇数個の
場合は、分類装置はＩＣチップの配置間隔Ｐの偶数倍の
間隔をおいて配置される。なお、図１においては、分類
装置５ａは、測定部４ｃからＩＣチップ４個分離れた位
置に配置されているが、この間隔は幾つであっても良
い。
【００３０】次に、図１の動作について説明する。ま
ず、図１（ａ）において、測定部４に搬送された２個の
ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”が同時に測定される。当
該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”の
測定結果はＩＣテスタ内のメモリ７に記憶される。次
に、図１（ｂ）に示すように、ＴＡＢテープ１は間隔Ｐ
の２倍の距離分を間欠的に右方向に移動する。そして、
後続のＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”が測定部４におい
て同時に測定され、当該測定の終了に伴ってＩＣチップ
“Ｄ３”，“Ｄ４”の測定結果はメモリ７に記憶され
る。
ず、図１（ａ）において、測定部４に搬送された２個の
ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”が同時に測定される。当
該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ１”，“Ｄ２”の
測定結果はＩＣテスタ内のメモリ７に記憶される。次
に、図１（ｂ）に示すように、ＴＡＢテープ１は間隔Ｐ
の２倍の距離分を間欠的に右方向に移動する。そして、
後続のＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”が測定部４におい
て同時に測定され、当該測定の終了に伴ってＩＣチップ
“Ｄ３”，“Ｄ４”の測定結果はメモリ７に記憶され
る。
【００３１】同様に、ＴＡＢテープ１は間隔Ｐの２倍の
距離分を右方向に移動し、図１（ｃ）の状態になる。図
１（ｃ）において、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が測
定部４において同時に測定されている間に、分類装置５
ａではＩＣチップ“Ｄ１”が分類処理される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”の測定結
果はメモリ７に記憶され、ＴＡＢテープ１は、間隔Ｐの
２倍の距離分を右方向に移動し、図１（ｄ）の状態にな
る。
距離分を右方向に移動し、図１（ｃ）の状態になる。図
１（ｃ）において、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”が測
定部４において同時に測定されている間に、分類装置５
ａではＩＣチップ“Ｄ１”が分類処理される。当該測定
が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ５”，“Ｄ６”の測定結
果はメモリ７に記憶され、ＴＡＢテープ１は、間隔Ｐの
２倍の距離分を右方向に移動し、図１（ｄ）の状態にな
る。
【００３２】図１（ｄ）においては、ＩＣチップ“Ｄ
７”，“Ｄ８”が測定部４において同時に測定中に、分
類装置５ａではＩＣチップ“Ｄ３”が分類処理される。
当該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”
の測定データはメモリ７に記憶され、ＴＡＢテープ１
は、間隔Ｐの２倍の距離分移動し、図１（ｅ）の状態に
なる。
７”，“Ｄ８”が測定部４において同時に測定中に、分
類装置５ａではＩＣチップ“Ｄ３”が分類処理される。
当該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ３”，“Ｄ４”
の測定データはメモリ７に記憶され、ＴＡＢテープ１
は、間隔Ｐの２倍の距離分移動し、図１（ｅ）の状態に
なる。
【００３３】図１（ｅ）において、ＩＣチップ“Ｄ
９”，“Ｄ１０”が測定部４において同時に測定中に、
分類装置５ｂによってＩＣチップ“Ｄ２”が分類処理さ
れる。当該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ９”，
“Ｄ１０”の測定データはメモリ７に記憶され、ＴＡＢ
テープ１は間隔Ｐの２倍の距離分を右方向に移動し、後
続のＩＣチップを処理する。このように、ＴＡＢハンド
ラ１は、逐次ＴＡＢテープ２上のＩＣチップの試験動作
を制御する。
９”，“Ｄ１０”が測定部４において同時に測定中に、
分類装置５ｂによってＩＣチップ“Ｄ２”が分類処理さ
れる。当該測定が終了すると、ＩＣチップ“Ｄ９”，
“Ｄ１０”の測定データはメモリ７に記憶され、ＴＡＢ
テープ１は間隔Ｐの２倍の距離分を右方向に移動し、後
続のＩＣチップを処理する。このように、ＴＡＢハンド
ラ１は、逐次ＴＡＢテープ２上のＩＣチップの試験動作
を制御する。
【００３４】次に、図２（ａ）は、図１の測定分類処理
におけるタイムチャートを示す図である。従来のＴＡＢ
ハンドラ１０におけるタイムチャートを示す図２（ｂ）
と、本発明に係るＴＡＢハンドラ１におけるタイムチャ
ートを示す図２（ａ）を比較すると、図２（ｂ）に示す
分類処理による搬送待ち時間が削減されたことがわか
る。すなわち、図２（ａ）の横軸を時間軸とし、ＩＣチ
ップの同時測定個数を“ｎ”、ＩＣチップの分類処理に
要する時間を“ｔ”とすると、短縮時間“Ｔ”は、Ｔ=
（ｎ−１）×ｔという式によって表される。
におけるタイムチャートを示す図である。従来のＴＡＢ
ハンドラ１０におけるタイムチャートを示す図２（ｂ）
と、本発明に係るＴＡＢハンドラ１におけるタイムチャ
ートを示す図２（ａ）を比較すると、図２（ｂ）に示す
分類処理による搬送待ち時間が削減されたことがわか
る。すなわち、図２（ａ）の横軸を時間軸とし、ＩＣチ
ップの同時測定個数を“ｎ”、ＩＣチップの分類処理に
要する時間を“ｔ”とすると、短縮時間“Ｔ”は、Ｔ=
（ｎ−１）×ｔという式によって表される。
【００３５】以上のように、本発明に係るＴＡＢハンド
ラ１によれば、スプロケット３ａ，３ｂにより複数のＩ
Ｃチップが等間隔で配置されたＴＡＢテープをＩＣチッ
プの配置間隔単位で一定方向に間欠的に搬送させ、所定
の位置に達した２個のＩＣチップを測定部４により同時
測定し、１個目のＩＣチップを分類装置５ａにより分類
し、２個目のＩＣチップを分類装置５ｂにより同時に分
類処理する。この測定分類処理をＴＡＢテープ上の全て
の被試験体であるＩＣチップについて繰り返し実行する
ことにより、ＩＣチップの分類処理時間を短縮でき、Ｔ
ＡＢハンドラの処理能力を向上させることができる。
ラ１によれば、スプロケット３ａ，３ｂにより複数のＩ
Ｃチップが等間隔で配置されたＴＡＢテープをＩＣチッ
プの配置間隔単位で一定方向に間欠的に搬送させ、所定
の位置に達した２個のＩＣチップを測定部４により同時
測定し、１個目のＩＣチップを分類装置５ａにより分類
し、２個目のＩＣチップを分類装置５ｂにより同時に分
類処理する。この測定分類処理をＴＡＢテープ上の全て
の被試験体であるＩＣチップについて繰り返し実行する
ことにより、ＩＣチップの分類処理時間を短縮でき、Ｔ
ＡＢハンドラの処理能力を向上させることができる。
【００３６】
【発明の効果】請求項１または４記載の発明によれば、
ＴＡＢ用オートハンドラに複数の分類手段を備えること
によりＩＣチップの測定処理と分類処理を常時並行して
行うことができるため、分類処理に要する時間を短縮す
ることが可能となり、ＴＡＢ用オートハンドラの処理能
力を向上できる。
ＴＡＢ用オートハンドラに複数の分類手段を備えること
によりＩＣチップの測定処理と分類処理を常時並行して
行うことができるため、分類処理に要する時間を短縮す
ることが可能となり、ＴＡＢ用オートハンドラの処理能
力を向上できる。
【００３７】請求項２または５記載の発明によれば、請
求項１または４記載の発明の効果に加えて、同時測定の
対象となるＩＣチップの個数の増加に伴う分類処理時間
の増加を抑えることができる。
求項１または４記載の発明の効果に加えて、同時測定の
対象となるＩＣチップの個数の増加に伴う分類処理時間
の増加を抑えることができる。
【００３８】請求項３または６記載の発明によれば、請
求項１〜４記載の発明の効果に加えて、先頭から偶数番
目のＩＣチップと奇数番目のＩＣチップの分類処理を並
行して行うことができるため、同一のＩＣチップを重複
して分類処理することを防止できる。
求項１〜４記載の発明の効果に加えて、先頭から偶数番
目のＩＣチップと奇数番目のＩＣチップの分類処理を並
行して行うことができるため、同一のＩＣチップを重複
して分類処理することを防止できる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるＴＡＢハンドラ
１の平面図である。
１の平面図である。
【図２】測定分類処理のタイムチャートを示す図であ
り、（ａ）は本発明に係るＴＡＢハンドラ１による測定
分類処理のタイムチャートを示す図であり、（ｂ）は従
来のＴＡＢハンドラ１０による測定分類処理のタイムチ
ャートを示す図である。
り、（ａ）は本発明に係るＴＡＢハンドラ１による測定
分類処理のタイムチャートを示す図であり、（ｂ）は従
来のＴＡＢハンドラ１０による測定分類処理のタイムチ
ャートを示す図である。
【図３】従来のＴＡＢハンドラ１０の概略構成図であ
る。
る。
【図４】従来のＴＡＢハンドラ１０の平面図である。
１ ＴＡＢハンドラ ２ ＴＡＢテープ ３ｂ スプロケット ４ 測定部 ４ｃ 第１の測定部 ４ｄ 第２の測定部 ５ａ 第１の分類装置 ５ｂ 第２の分類装置 ７ メモリ ８ 制御装置 １０ ＴＡＢハンドラ １１ａ 供給リール １１ｂ 収容リール １２ ＴＡＢテープ １３ａ スプロケット １３ｂ スプロケット １４ 測定部 １４ａ プッシャ １４ｂ プローブ １５ 分類装置 １６ ＩＣテスタ １７ メモリ １８ 制御装置
Claims (6)
- 【請求項１】テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置
されたＴＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向
に搬送する搬送機構と、この搬送機構により搬送された
複数個のＩＣチップを同時に測定する測定部とを備えた
ＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 前記測定部より測定された後のＩＣチップを分類する分
類装置を、該測定部より後方の搬送位置に前記ＩＣチッ
プの配置間隔で複数設けたことを特徴とするＴＡＢ用オ
ートハンドラ。 - 【請求項２】前記分類装置は、前記測定部において同時
測定されるＩＣチップの数と同数分設けたことを特徴と
する請求項１記載のＴＡＢ用オートハンドラ。 - 【請求項３】前記複数の分類装置は、前記測定部の配置
位置より後方に、前記ＩＣチップの配置間隔の奇数倍を
おいた配置間隔で複数設けたことを特徴とする請求項１
または２記載のＴＡＢ用オートハンドラ。 - 【請求項４】テープ上にＩＣチップが等間隔で複数配置
されたＴＡＢを、そのＩＣチップの配置間隔で一定方向
に搬送する搬送工程と、この搬送工程にて搬送された複
数個のＩＣチップを同時に測定する測定工程と、を実行
するＴＡＢ用オートハンドラにおける分類処理手順を制
御するための処理方法において、 前記測定工程にて測定されたＩＣチップを該ＩＣチップ
の配置間隔をおいた搬送位置で分類する複数の分類工
程、 を含むことを特徴とするＴＡＢ用オートハンドラにおけ
る処理方法。 - 【請求項５】前記分類工程は、前記測定工程にて同時測
定されるＩＣチップの数と同数分含むことを特徴とする
請求項４記載のＴＡＢ用オートハンドラにおける処理方
法。 - 【請求項６】前記複数の分類工程は、前記測定工程終了
後の前記ＩＣチップを該ＩＣチップの配置間隔の奇数倍
をおいた配置間隔の搬送位置で分類することを特徴とす
る請求項４または５記載のＴＡＢ用オートハンドラにお
ける処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27503499A JP2001099891A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Ｔａｂ用オートハンドラ及びｔａｂ用オートハンドラにおける処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27503499A JP2001099891A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Ｔａｂ用オートハンドラ及びｔａｂ用オートハンドラにおける処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001099891A true JP2001099891A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=17549957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27503499A Withdrawn JP2001099891A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Ｔａｂ用オートハンドラ及びｔａｂ用オートハンドラにおける処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001099891A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007023556A1 (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-01 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| JP2013525812A (ja) * | 2010-05-04 | 2013-06-20 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 電子機器の改良された試験システム及び方法 |
-
1999
- 1999-09-28 JP JP27503499A patent/JP2001099891A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007023556A1 (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-01 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| JP2013525812A (ja) * | 2010-05-04 | 2013-06-20 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 電子機器の改良された試験システム及び方法 |
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