JP2855863B2 - ハンドラ - Google Patents
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- JP2855863B2 JP2855863B2 JP2256691A JP2256691A JP2855863B2 JP 2855863 B2 JP2855863 B2 JP 2855863B2 JP 2256691 A JP2256691 A JP 2256691A JP 2256691 A JP2256691 A JP 2256691A JP 2855863 B2 JP2855863 B2 JP 2855863B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、１つの測定ラインに２
個のコンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に
供するハンドラに関する。
個のコンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に
供するハンドラに関する。
【０００２】半導体装置の測定では、コンタクタを介し
て半導体装置を測定器に接続するが、半導体装置の数が
多い場合にはコンタクタを配置したハンドラを用いてハ
ンドリングを自動化している。
て半導体装置を測定器に接続するが、半導体装置の数が
多い場合にはコンタクタを配置したハンドラを用いてハ
ンドリングを自動化している。
【０００３】本発明に係るハンドラは、測定能率を向上
させるためにコンタクタを２個にしたものであり、半導
体装置のハンドリングに時間がかかり過ぎないことが肝
要である。
させるためにコンタクタを２個にしたものであり、半導
体装置のハンドリングに時間がかかり過ぎないことが肝
要である。
【０００４】
【従来の技術】図２はハンドラの従来例の要部を示す側
面図(a) と平面図(b) である。同図において、１は測定
ライン、２は分類台、３は待機レール、４は搬送チャッ
ク、５は搬送爪、Ｓは半導体装置、である。
面図(a) と平面図(b) である。同図において、１は測定
ライン、２は分類台、３は待機レール、４は搬送チャッ
ク、５は搬送爪、Ｓは半導体装置、である。
【０００５】測定ライン１は、２個のコンタクタ1aを有
して２個の半導体装置Ｓを同時測定する部分である。分
類台２は、レール2aを有して、測定後の半導体装置Ｓの
１個を所定位置でレール2a上に載せ、移動してその半導
体装置Ｓに対する分類作業を行うものである。
して２個の半導体装置Ｓを同時測定する部分である。分
類台２は、レール2aを有して、測定後の半導体装置Ｓの
１個を所定位置でレール2a上に載せ、移動してその半導
体装置Ｓに対する分類作業を行うものである。
【０００６】待機レール３は、コンタクト1a上で測定さ
れた２個の半導体装置Ｓをレール2a上に載せる前に一時
待機させるところである。測定ライン１と待機レール３
は１列に並び、分類台２が上記所定位置あるときレール
2aが待機レール３の延長上にくる。
れた２個の半導体装置Ｓをレール2a上に載せる前に一時
待機させるところである。測定ライン１と待機レール３
は１列に並び、分類台２が上記所定位置あるときレール
2aが待機レール３の延長上にくる。
【０００７】搬送チャック４は、２個のコンタクタ1aの
中心間隔に合わせて配置された２個のチャック4aを有
し、コンタクト1a上で測定された２個の半導体装置Ｓを
同時に搬送して待機レール３上に載せる移載手段であ
る。
中心間隔に合わせて配置された２個のチャック4aを有
し、コンタクト1a上で測定された２個の半導体装置Ｓを
同時に搬送して待機レール３上に載せる移載手段であ
る。
【０００８】搬送爪５は、待機レール３上の半導体装置
Ｓを分類台２の方向に押して移送する移送手段であり、
先ず分類台２側の半導体装置Ｓをレール2a上に載せ、分
類台２がその半導体装置Ｓの分類作業を済ませた後に次
の半導体装置Ｓをレール2a上に載せる。
Ｓを分類台２の方向に押して移送する移送手段であり、
先ず分類台２側の半導体装置Ｓをレール2a上に載せ、分
類台２がその半導体装置Ｓの分類作業を済ませた後に次
の半導体装置Ｓをレール2a上に載せる。
【０００９】従ってこの従来例は、２個の半導体装置Ｓ
の同時測定に対し分類台２が２回の分類作業を行うた
め、測定時間が短い場合、測定後の半導体装置Ｓのハン
ドリング時間が相対的に長くなり、測定と次の測定との
間の待ち時間が大きくなって測定器の能力を生かした測
定能率が得られない問題がある。
の同時測定に対し分類台２が２回の分類作業を行うた
め、測定時間が短い場合、測定後の半導体装置Ｓのハン
ドリング時間が相対的に長くなり、測定と次の測定との
間の待ち時間が大きくなって測定器の能力を生かした測
定能率が得られない問題がある。
【００１０】この問題を解決しようとして工夫されたも
のが図３の平面図(a),(b) に要部を示す他の従来例であ
る。同図において、この従来例は、先の従来例の分類台
２に工夫が施されたものである。
のが図３の平面図(a),(b) に要部を示す他の従来例であ
る。同図において、この従来例は、先の従来例の分類台
２に工夫が施されたものである。
【００１１】即ち、分類台２はレール2aに並列させてレ
ール2aと同じ第２レール2bを設けてある。第２レール2b
を設けたことからレール2aを以下第１レールと称する。
そして、先ず図３(a) のように第１レール2aを待機レー
ル３に合わせて搬送爪５により分類台２側の半導体装置
Ｓを第１レール2a上に載せ、次いで図３(b) のように分
類台２を移動して第２レール2bを待機レール３に合わせ
搬送爪５により次の半導体装置Ｓを第２レール2b上に載
せる。
ール2aと同じ第２レール2bを設けてある。第２レール2b
を設けたことからレール2aを以下第１レールと称する。
そして、先ず図３(a) のように第１レール2aを待機レー
ル３に合わせて搬送爪５により分類台２側の半導体装置
Ｓを第１レール2a上に載せ、次いで図３(b) のように分
類台２を移動して第２レール2bを待機レール３に合わせ
搬送爪５により次の半導体装置Ｓを第２レール2b上に載
せる。
【００１２】このことにより分類台２は、同時測定され
た２個の半導体装置Ｓを第１及び第２レール2a，2b上に
１個宛載るようになり、２個の分類を１回の分類作業で
済ませることができる。
た２個の半導体装置Ｓを第１及び第２レール2a，2b上に
１個宛載るようになり、２個の分類を１回の分類作業で
済ませることができる。
【００１３】上記第１及び第２レール2a，2b間の分類台
２の移動に要する時間が分類台２の一回の分類作業に要
する時間よりはるかに短いので、先に述べた待ち時間の
問題は可なり解消される。
２の移動に要する時間が分類台２の一回の分類作業に要
する時間よりはるかに短いので、先に述べた待ち時間の
問題は可なり解消される。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、分類台
２に２個の半導体装置Ｓを載せる作業は、第１レール2a
上への移送、分類台２の移動、第２レール2b上への移
送、と３ステップを要し、最近の測定器のように測定時
間が更に短くなると、再び前記待ち時間の問題が浮上し
てくる。
２に２個の半導体装置Ｓを載せる作業は、第１レール2a
上への移送、分類台２の移動、第２レール2b上への移
送、と３ステップを要し、最近の測定器のように測定時
間が更に短くなると、再び前記待ち時間の問題が浮上し
てくる。
【００１５】そこで本発明は、１つの測定ラインに２個
のコンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に供
するハンドラに関し、測定後の半導体装置のハンドリン
グ時間を一層短縮させることが可能なハンドラの提供を
目的とする。
のコンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に供
するハンドラに関し、測定後の半導体装置のハンドリン
グ時間を一層短縮させることが可能なハンドラの提供を
目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のハンドラは、１つの測定ラインに２個のコ
ンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に供する
ハンドラであって、並列する第１レール及び第２レール
を有して、測定後の半導体装置を所定位置で第１及び第
２レール上に１個宛載せ分類のため移動する分類台と、
該所定位置における第１レールの延長上に順次に直列配
置された第１待機レール及び第２待機レールと、前記コ
ンタクタ上の２個の半導体装置を同時に搬送して直列配
置の第１及び第２待機レール上に１個宛載せる移載手段
と、該所定位置における第２レールの延長上に配置され
て第１待機レールと並列する中間レールと、第２待機レ
ールを第１待機レールの延長上から中間レールの延長上
に移動させるレール移動手段と、中間レールの延長上に
移動した第２待機レール上の半導体装置と第１待機レー
ル上の半導体装置を、同時に第２及び第１レール上に移
送する移送手段と、を備えることを特徴としている。
に、本発明のハンドラは、１つの測定ラインに２個のコ
ンタクタを有して２個の半導体装置の同時測定に供する
ハンドラであって、並列する第１レール及び第２レール
を有して、測定後の半導体装置を所定位置で第１及び第
２レール上に１個宛載せ分類のため移動する分類台と、
該所定位置における第１レールの延長上に順次に直列配
置された第１待機レール及び第２待機レールと、前記コ
ンタクタ上の２個の半導体装置を同時に搬送して直列配
置の第１及び第２待機レール上に１個宛載せる移載手段
と、該所定位置における第２レールの延長上に配置され
て第１待機レールと並列する中間レールと、第２待機レ
ールを第１待機レールの延長上から中間レールの延長上
に移動させるレール移動手段と、中間レールの延長上に
移動した第２待機レール上の半導体装置と第１待機レー
ル上の半導体装置を、同時に第２及び第１レール上に移
送する移送手段と、を備えることを特徴としている。
【００１７】そして、前記第１待機レールは前記測定ラ
インと１列に並び、前記移載手段は前記２個のコンタク
タに対応させた２個のチャックを有する搬送チャックで
あることが望ましく、また、前記レール移動手段はエア
シリンダによるものであることが望ましく、また、前記
移送手段は半導体装置を移送方向に押す搬送爪によるも
のであることが望ましい。
インと１列に並び、前記移載手段は前記２個のコンタク
タに対応させた２個のチャックを有する搬送チャックで
あることが望ましく、また、前記レール移動手段はエア
シリンダによるものであることが望ましく、また、前記
移送手段は半導体装置を移送方向に押す搬送爪によるも
のであることが望ましい。
【００１８】
【作用】上記の構成によれば、上記分類台が図３の分類
台２と同様なものであり、直列配列する第１及び第２待
機レールを一体にすると図３の待機レール３と同様なも
のとなる。そして図３のハンドラ（従来例）で問題にな
ったのは、待機レール３上の２個の半導体装置を分類台
２上に移送するハンドリングに３ステップを必要として
時間がかかる点である。
台２と同様なものであり、直列配列する第１及び第２待
機レールを一体にすると図３の待機レール３と同様なも
のとなる。そして図３のハンドラ（従来例）で問題にな
ったのは、待機レール３上の２個の半導体装置を分類台
２上に移送するハンドリングに３ステップを必要として
時間がかかる点である。
【００１９】これに対して本ハンドラは、第２待機レー
ルの移動と２個の半導体装置の同時移送との２ステップ
で上記ハンドリングを済ませることができる。従って本
ハンドラは、図２のハンドラ（従来例）から測定後の半
導体装置のハンドリング時間を大幅に短縮させた図３の
ハンドラよりも、その時間を一層短縮させることが可能
である。
ルの移動と２個の半導体装置の同時移送との２ステップ
で上記ハンドリングを済ませることができる。従って本
ハンドラは、図２のハンドラ（従来例）から測定後の半
導体装置のハンドリング時間を大幅に短縮させた図３の
ハンドラよりも、その時間を一層短縮させることが可能
である。
【００２０】そして、第１待機レールが測定ラインと１
列に並ぶようにすれば、図３の従来例の改造で実現可能
であり、然も、上記移載手段には図２または図３で用い
た搬送チャック４をそのまま利用できて極めて好都合で
ある。
列に並ぶようにすれば、図３の従来例の改造で実現可能
であり、然も、上記移載手段には図２または図３で用い
た搬送チャック４をそのまま利用できて極めて好都合で
ある。
【００２１】また、上記レール移動手段はエアシリンダ
によるものにすれば単純な機構で構成することができ、
上記移送手段は上述の搬送爪によるものにすれば図２ま
たは図３で用いた搬送爪５の技術を利用することができ
る。
によるものにすれば単純な機構で構成することができ、
上記移送手段は上述の搬送爪によるものにすれば図２ま
たは図３で用いた搬送爪５の技術を利用することができ
る。
【００２２】
【実施例】以下本発明によるハンドラの実施例について
その要部を示す図１の側面図(a) と平面図(b),(c) を用
いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示
す。
その要部を示す図１の側面図(a) と平面図(b),(c) を用
いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示
す。
【００２３】図１において、この実施例は図３の従来例
と次の点が異なっている。１）待機レール３が分類台２
側の第１待機レール3aと測定ライン１側の第２待機レー
ル3bに分断されている。
と次の点が異なっている。１）待機レール３が分類台２
側の第１待機レール3aと測定ライン１側の第２待機レー
ル3bに分断されている。
【００２４】２）第１待機レール3aと並列する中間レー
ル６と、第２待機レール3aを横方向に移動させるレール
移動手段７が設けられている。３）移送手段である搬送
爪５が搬送爪5a，5bの二つになっている。
ル６と、第２待機レール3aを横方向に移動させるレール
移動手段７が設けられている。３）移送手段である搬送
爪５が搬送爪5a，5bの二つになっている。
【００２５】第１待機レール3a及び第２待機レール3b
は、移載手段である搬送チャック４が測定ライン１から
搬送した２個の半導体装置Ｓを１個宛載せる。第２待機
レール3bは第１待機レール3aと直列配置となるときを定
位置としている。
は、移載手段である搬送チャック４が測定ライン１から
搬送した２個の半導体装置Ｓを１個宛載せる。第２待機
レール3bは第１待機レール3aと直列配置となるときを定
位置としている。
【００２６】中間レール６は、第１待機レール3aと同じ
ものであり、分類台２の第１レール2aの位置を第１待機
レール3aに合わせた際に第２レール2bと合う位置に配置
されている。
ものであり、分類台２の第１レール2aの位置を第１待機
レール3aに合わせた際に第２レール2bと合う位置に配置
されている。
【００２７】レール移動手段７は、エアシリンダ7aによ
り第２待機レールを第１レール3aの列と中間レール６の
列との間を移動させる。搬送爪5a，5bは、前者が第１待
機レール3aの列に、後者が中間レール６の列に位置し
て、何れも搬送爪５と同様に半導体装置Ｓを分類台２の
方向に押して移送するものであり一緒に動作する。
り第２待機レールを第１レール3aの列と中間レール６の
列との間を移動させる。搬送爪5a，5bは、前者が第１待
機レール3aの列に、後者が中間レール６の列に位置し
て、何れも搬送爪５と同様に半導体装置Ｓを分類台２の
方向に押して移送するものであり一緒に動作する。
【００２８】従ってこの実施例のハンドラは、２個同時
に測定を済ませた半導体装置Ｓに対して次のようにハン
ドリングを行うことができる。 搬送チャック４によ
り、コンタクト1a上で測定された２個の半導体装置Ｓを
搬送し、図１(b) のように、直列配置の第１及び第２待
機レール3a，3b上に１個宛のせる。図３の従来例と比較
すると搬送チャック４の動作は全く同じである。
に測定を済ませた半導体装置Ｓに対して次のようにハン
ドリングを行うことができる。 搬送チャック４によ
り、コンタクト1a上で測定された２個の半導体装置Ｓを
搬送し、図１(b) のように、直列配置の第１及び第２待
機レール3a，3b上に１個宛のせる。図３の従来例と比較
すると搬送チャック４の動作は全く同じである。
【００２９】 次いで、レール移動手段７により、図
１(c) のように、第２待機レール3bを第１待機レール3a
の列から中間レール６の列に移動させる。この作業は図
３の従来例と異なっている。
１(c) のように、第２待機レール3bを第１待機レール3a
の列から中間レール６の列に移動させる。この作業は図
３の従来例と異なっている。
【００３０】 次いで、搬送爪5a，5bにより、第１待
機レール3a上の半導体装置Ｓと第２待機レール3b上の半
導体装置Ｓを同時に第１及び第２レール2a，2b上に移送
する。第２待機レール3b上の半導体装置Ｓは中間レール
６上を通って第２レール2b上に到達する。この作業のと
きには、分類台２は、先行の分類作業を済ませて、第１
及び第２レール2a，2bがそれぞれ第１待機レール3a及び
中間レール６に揃う所定位置に戻っている。この作業も
図３の従来例と異なっている。
機レール3a上の半導体装置Ｓと第２待機レール3b上の半
導体装置Ｓを同時に第１及び第２レール2a，2b上に移送
する。第２待機レール3b上の半導体装置Ｓは中間レール
６上を通って第２レール2b上に到達する。この作業のと
きには、分類台２は、先行の分類作業を済ませて、第１
及び第２レール2a，2bがそれぞれ第１待機レール3a及び
中間レール６に揃う所定位置に戻っている。この作業も
図３の従来例と異なっている。
【００３１】 その後は図３の従来例と同じく、分類
台２が載せられた２個の半導体装置Ｓの分類を１回の分
類作業で行う。さて、この手順で搬送チャック４による
２個の半導体装置Ｓの移載の後からその半導体装置Ｓを
分類台２に移送し終わるまでの時間に着目すると、図２
の従来例から大幅に時間短縮された図３の従来例では、
先に述べたように、第１レール2a上への移送、分類台２
の移動、第２レール2b上への移送、の３ステップとなっ
ているのに対し、実施例では上記との２ステップで
済ませて更に時間を短縮させている。これは、分類台２
の移動の代わりに第２待機レール3bを移動させることに
より、２個の半導体装置Ｓの同時移送が可能になって成
立したものである。
台２が載せられた２個の半導体装置Ｓの分類を１回の分
類作業で行う。さて、この手順で搬送チャック４による
２個の半導体装置Ｓの移載の後からその半導体装置Ｓを
分類台２に移送し終わるまでの時間に着目すると、図２
の従来例から大幅に時間短縮された図３の従来例では、
先に述べたように、第１レール2a上への移送、分類台２
の移動、第２レール2b上への移送、の３ステップとなっ
ているのに対し、実施例では上記との２ステップで
済ませて更に時間を短縮させている。これは、分類台２
の移動の代わりに第２待機レール3bを移動させることに
より、２個の半導体装置Ｓの同時移送が可能になって成
立したものである。
【００３２】従って実施例は、測定後の半導体装置Ｓの
ハンドリング時間を一層短縮させて、先に問題にした待
ち時間を生じさせないようにする。なお、上記の実施例
は、上述の説明から容易に理解されるように、図３の従
来例から若干の改造により実現し得るものである。
ハンドリング時間を一層短縮させて、先に問題にした待
ち時間を生じさせないようにする。なお、上記の実施例
は、上述の説明から容易に理解されるように、図３の従
来例から若干の改造により実現し得るものである。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、１
つの測定ラインに２個のコンタクタを有して２個の半導
体装置の同時測定に供するハンドラに関し、測定後の半
導体装置のハンドリング時間を一層短縮させることが可
能なハンドラが提供されて、測定能率の面で測定器の能
力を十分に生かすことを可能にさせる効果がある。
つの測定ラインに２個のコンタクタを有して２個の半導
体装置の同時測定に供するハンドラに関し、測定後の半
導体装置のハンドリング時間を一層短縮させることが可
能なハンドラが提供されて、測定能率の面で測定器の能
力を十分に生かすことを可能にさせる効果がある。
【図１】 実施例の要部を示す側面図(a) と平面図(b),
(c) である。
(c) である。
【図２】 従来例の要部を示す側面図(a) と平面図(b)
である。
である。
【図３】 他の従来例の要部を示す平面図(a),(b) であ
る。
る。
１ 測定ライン 1a コンタクタ ２ 分類台 2a 第１レール（レール） 2b 第２レール ３ 待機レール 3a 第１待機レール 3b 第２待機レール ４ 搬送チャック（移載手段） 4a チャック ５，5a，5b 搬送爪（移送手段） ６ 中間レール ７ レール移動手段 7a エアシリンダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 31/26
Claims (4)
- 【請求項１】 １つの測定ライン(1) に２個のコンタク
タ(1a)を有して２個の半導体装置(S) の同時測定に供す
るハンドラであって、並列する第１レール(2a)及び第２
レール(2b)を有して、測定後の半導体装置(S) を所定位
置で第１及び第２レール(2a,2b) 上に１個宛載せ分類の
ため移動する分類台(2) と、該所定位置における第１レ
ール(2a)の延長上に順次に直列配置された第１待機レー
ル(3a)及び第２待機レール(3b)と、前記コンタクタ(1a)
上の２個の半導体装置(S) を同時に搬送して直列配置の
第１及び第２待機レール(3a,3b) 上に１個宛載せる移載
手段と、該所定位置における第２レール(2b)の延長上に
配置されて第１待機レール(3a)と並列する中間レール
(6) と、第２待機レール(3b)を第１待機レール(3a)の延
長上から中間レール(6) の延長上に移動させるレール移
動手段(7) と、中間レール(6) の延長上に移動した第２
待機レール(3ｂ)上の半導体装置(S) と第１待機レール
(3a)上の半導体装置(S) を、同時に第２及び第１レール
(2a,2b) 上に移送する移送手段と、を備えることを特徴
とするハンドラ。 - 【請求項２】 前記第１待機レール(3a)は前記測定ライ
ン(1) と１列に並び、前記移載手段は前記２個のコンタ
クタ(1a)に対応させた２個のチャック(4a)を有する搬送
チャック(4) であることを特徴とする請求項１に記載の
ハンドラ。 - 【請求項３】 前記レール移動手段(7) はエアシリンダ
(7a)によるものであることを特徴とする請求項１または
２に記載のハンドラ。 - 【請求項４】 前記移送手段は半導体装置(S) を移送方
向に押す搬送爪(5a,5b) によるものであることを特徴と
する請求項１〜３の何れかに記載のハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256691A JP2855863B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256691A JP2855863B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ハンドラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04262550A JPH04262550A (ja) | 1992-09-17 |
| JP2855863B2 true JP2855863B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=12086426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2256691A Expired - Fee Related JP2855863B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855863B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP2256691A patent/JP2855863B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04262550A (ja) | 1992-09-17 |
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