KR102411116B1 - 기판처리시스템, 기판처리시스템의 기판이송방법 - Google Patents

기판처리시스템, 기판처리시스템의 기판이송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리시스템 상의 기판을 이송하는 기판이송방법에 관한 것이다.
본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간(S)과, 기판(1)이 도입 또는 반출되는 게이트(112)를 형성하는 공정챔버(110)와, 처리공간(S)에 설치되어 기판(1)이 지지되는 기판지지부(120)를 포함하는 기판처리모듈(100)과; 공정챔버(110)가 결합되는 반송챔버(220)와, 반송챔버(220) 내에 설치되어 게이트(112)를 통해 공정챔버(110) 내의 기판지지부(120)로 기판(1)을 반송하기 위한 반송로봇(210)을 포함하는 반송모듈(200)과; 기판처리모듈(100)과 반송모듈(200) 사이로 기판(1)을 이송하는 반송로봇(210)의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며, 기판처리모듈(100)은, 공정챔버(110)에서 기판처리가 완료된 기판(1)의 반출 시, 기판(1)의 반출 높이에서의 수평위치를 감지하는 복수의 센서부(310)들을 포함하는 기판위치감지부(300)를 포함하며, 제어부는, 기판위치감지부(300)로부터 기판감지신호가 입력되면, 기판(1)을 반출하기 위하여 공정챔버(110)로 진입하는 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 기판처리시스템을 개시한다.

Description

기판처리시스템, 기판처리시스템의 기판이송방법{Substrate process system and method for transfering substrates}
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리시스템 상의 기판을 이송하는 기판이송방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 디스플레이 등에 사용되는 기판은 박막증착, 식각 등의 각종 공정을 거쳐 제조되며, 이를 위하여 하나의 반송모듈에 복수의 공정챔버들을 결합하고, 반송모듈 내에 설치되는 반송로봇을 통해 기판을 공정챔버들로 이송함으로써, 기판이송이 이루어진다.
한편, 최근 기판처리를 위한 공정이 복잡화되는 추세속에서, 고온환경 하에서의 공정과 장시간 공정이 늘어나고 있으며, 이로인해 기판지지부에 지지되는 기판이 기판지지부 상의 정위치에 위치하지 못하고 틀어지는 문제점이 있었다.
또한, 기판지지부에 안착된 기판의 기판처리를 위하여, 기판지지부의 승강구동이 동반됨으로써, 승강과정에서 안착된 기판이 틀어지거나, 기판지지부와 기판이 분리되는 디척킹과정에서 기판이 틀어지는 등의 문제점이 있었다.
한편, 기판이 기판지지부 상에서 정위치에 위치하지 못하고 틀어지는 경우, 이송로봇의 중심에 기판이 위치하지 못함으로써, 기판 이송과정에서 각종 밸브, 챔버와 물리적충돌이 발생할 수 있으며, 이로써 기판이 파손되는 등의 문제점이 있다.
더 나아가, 기판이 반송로봇의 일정범위를 넘어 과도하게 틀어지는 경우, 기판 파손을 방지하기 위해 기판처리시스템의 구동을 정지하고 기판처리시스템 전반을 점검 및 수동 조작하여야 하는 바, 공정효율이 떨어지고 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
이를 극복하기 위해, 웨이퍼의 틀어짐 정도를 판단하여 반송로봇의 궤도를 보정하는 발명이 개시되었으나, 이 경우, 장비의 최초 셋업 시에만 반송로봇의 궤도가 보정되며, 공정과정에서 실시간으로 반송로봇의 궤도가 보정되지 못해 개개의 기판에 대한 대응이 어려운 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 공정챔버 내부에 위치된 기판의 틀어짐을 측정하여 반송로봇의 궤도를 보정함으로써 안정적인 기판이송이 가능한 기판처리시스템 및 기판이송방법을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간(S)과, 기판(1)이 도입 또는 반출되는 게이트(112)를 형성하는 공정챔버(110)와, 상기 처리공간(S)에 설치되어 상기 기판(1)이 지지되는 기판지지부(120)를 포함하는 기판처리모듈(100)과; 상기 공정챔버(110)가 결합되는 반송챔버(220)와, 상기 반송챔버(220) 내에 설치되어 상기 게이트(112)를 통해 상기 공정챔버(110) 내의 상기 기판지지부(120)로 상기 기판(1)을 반송하기 위한 반송로봇(210)을 포함하는 반송모듈(200)과; 상기 기판처리모듈(100)과 상기 반송모듈(200) 사이로 상기 기판(1)을 이송하는 상기 반송로봇(210)의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 기판처리모듈(100)은, 상기 공정챔버(110)에서 기판처리가 완료된 상기 기판(1)의 반출 시, 상기 기판(1)의 반출 높이에서의 수평위치를 감지하는 복수의 센서부(310)들을 포함하는 기판위치감지부(300)를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 기판위치감지부(300)로부터 기판감지신호가 입력되면, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 기판처리시스템을 개시한다.
상기 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 센서를 통해 이송되는 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 감지하는 기판안착위치감지부(400)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 기판안착위치감지부(400)로부터 감지된 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상의 안착위치가 미리 설정된 범위를 벗어나는 경우, 알람이 발생할 수 있다.
상기 제어부는, 상기 반송로봇(210)이 상기 공정챔버(110)로부터 상기 기판(1)을 반출할 때, 상기 반송로봇(210)의 반출경로가 보정 전 진입경로와 동일하도록 보정한 진입경로만큼 역보정할 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 상기 기판(1)의 반출 높이에 대응되는 상기 공정챔버(110)의 둘레의 적어도 3개소에 설치될 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 이웃하는 센서부(310)들의 각 조사광 교차각이 60도일 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 이웃하는 센서부(310)들의 각 조사광 교차각이 90도일 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 각각 발광부 및 수광부를 포함하는 한 쌍의 센서들을 포함하며, 상기 제어부는, 상기 한 쌍의 센서들 중 적어도 하나로부터 상기 기판(1)의 감지신호가 입력되면, 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 미리 설정된 설정경로로 보정할 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 각각 발광부 및 수광부를 포함하며 서로 일정 간격을 두고 복수개 설치되는 한 쌍의 센서들을 포함하며, 상기 제어부는, 상기 복수의 센서부(310)들로부터 입력되는 상기 기판(1)의 감지신호를 이용하여 반출 대상 기판(1)의 수평위치를 산출하고, 산출된 위치정보를 기초로 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정할 수 있다.
또한 본 발명은, 기판처리장치의 기판이송방법으로서, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여, 상기 기판(1)을 반출높이로 상승시키는 기판상승단계(S100)와; 반출높이로 상승한 상기 기판(1)의 수평위치를 감지하는 기판위치감지단계(S200)와; 상기 기판(1)의 수평위치 감지신호에 따라 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하여, 상기 반송로봇(210)이 보정된 진입경로로 진입하는 진입단계(S300)를 포함하는 기판이송방법을 개시한다.
상기 진입단계(S300) 이후에, 상기 반송로봇(210)의 반출경로를 상기 진입단계(S300)를 통한 보정 전 진입경로와 동일하도록 보정한 진입경로만큼 역보정하여 상기 공정챔버(110)로부터 상기 기판(1)을 반출하는 반출단계(S400)를 포함할 수 있다.
상기 반출단계(S400) 이후에, 상기 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 기판안착위치감지부(400)를 통해, 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 센싱하는 기판안착위치감지단계(S500)를 포함할 수 있다.
상기 기판안착위치감지단계(S500)는, 상기 기판(1)의 안착위치가 미리 설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 반송로봇(210)의 구동을 정지하고, 알람을 발생시킬 수 있다.
상기 기판위치감지단계(S200)는, 각각 발광부 및 수광부를 포함하는 한 쌍의 센서들로 구성되는 상기 복수의 센서부(310)들 중 적어도 하나의 광차단 여부를 통해 상기 기판(1)의 위치를 감지하며, 상기 진입단계(S300)는, 상기 기판위치감지단계(S200)를 통한 상기 기판(1)의 감지신호 입력에 따라, 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 미리 설정된 설정경로로 보정할 수 있다.
상기 기판위치감지단계(S200)는, 각각 발광부 및 수광부를 포함하며 서로 일정 간격을 두고 복수개 설치되는 한 쌍의 센서들로 구성되는 상기 복수의 센서부(310)들 중 적어도 하나의 광차단 여부를 통해 반출 대상 기판(1)의 수평위치를 산출하며, 상기 진입단계(S300)는, 상기 기판위치감지단계(S200)를 통해 산출된 위치정보를 기초로 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리시스템 및 기판이송방법은, 공정챔버 내 기판의 틀어짐 정보를 파악하여 반송로봇의 진입경로를 보정함으로써, 기판을 반송로봇을 통해 안정적으로 이송할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 기판이송방법은, 공정챔버 내 기판의 틀어짐 정보를 파악하여 반송로봇의 진입경로를 우선 보정함으로써, 반송챔버 측에 설치되는 자동보정장치에 따른 설비정지 횟수가 감소하여, 생산성이 향상되는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 기판이송방법은, 반송로봇의 진입경로를 보정하여 기판을 안정적으로 이송함으로써, 기판 틀어짐에 따른 반송로봇과의 비정상 접촉으로 인한 파티클 발생이 줄어드는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리시스템의 개략적인 모습을 보여주는 개념도이다.
도 2는, 도 1에 따른 기판처리시스템의 모습을 보여주는 단면도이다.
도 3은, 도 1에 따른 기판처리시스템 중 기판위치감지부의 모습을 보여주기 위하여 공정챔버의 상부가 제거된 상태의 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는, 도 1에 따른 기판처리시스템의 공정챔버 내에 틀어진 기판에 따라 반송로봇이 보정된 진입경로로 진입하는 모습을 보여주는 평면도들이다.
도 5는, 도 1에 따른 기판처리시스템 중 기판안착위치감지부의 모습을 보여주는 정면도이다.
도 6은, 도 1에 따른 기판처리시스템의 기판이송방법을 나타내는 순서도이다.
도 7a 및 도 7b는, 도 6에 따른 기판처리시스템의 기판이송방법 중 진입단계 각각의 실시예를 나타내는 순서도들이다.
도 8은, 도 6에 따른 기판처리시스템의 기판이송방법 중 기판안착위치감지단계를 나타내는 순서도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 기판이송방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 기판처리를 위한 처리공간(S)과, 기판(1)이 도입 또는 반출되는 게이트(112)를 형성하는 공정챔버(110)와, 상기 처리공간(S)에 설치되어 상기 기판(1)이 지지되는 기판지지부(120)를 포함하는 기판처리모듈(100)과; 상기 공정챔버(110)가 결합되는 반송챔버(220)와, 상기 반송챔버(220) 내에 설치되어 상기 게이트(112)를 통해 상기 공정챔버(110) 내의 상기 기판지지부(120)로 상기 기판(1)을 반송하기 위한 반송로봇(210)을 포함하는 반송모듈(200)과; 상기 기판처리모듈(100)과 상기 반송모듈(200) 사이로 상기 기판(1)을 이송하는 상기 반송로봇(210)의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 기판처리모듈(100)은, 상기 공정챔버(110)에서 기판처리가 완료된 상기 기판(1)의 반출 시, 상기 기판(1)의 반출 높이에서의 수평위치를 감지하는 복수의 센서부(310)들을 포함하는 기판위치감지부(300)를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 기판위치감지부(300)로부터 기판감지신호가 입력되면, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정한다.
또한, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공정챔버(110)와 반송챔버(220) 사이에 설치되어, 기판(1)의 이송경로를 형성하며, 기판(1)의 이송을 위하여, 공정챔버(110)의 게이트(112)를 개폐하는 게이트밸브(500)를 포함할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 센서를 통해 이송되는 기판(1)의 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 감지하는 기판안착위치감지부(400)를 추가로 포함할 수 있다.
여기서 상기 기판(1)은, 증착, 식각 등 기판처리가 수행되는 구성으로서, 반도체 제조용기판, LCD 제조용기판, OLED 제조용기판, 태양전지 제조용기판, 투명 글라스기판 등 어떠한 기판도 가능하다.
상기 기판처리모듈(100)은, 기판(1)에 대한 기판처리가 수행되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기판처리모듈(100)은, 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(110)와, 처리공간(S)에 설치되어 기판(1)이 지지되는 기판지지부(120)를 포함할 수 있다.
또한 상기 기판처리모듈(100)은, 다양한 조건의 기판처리공정이 수행될 수 있으며, 예로서 CVD, ALD와 같은 기판처리가 수행될 수 있다.
또한, 상기 기판처리모듈(100)은, 반송모듈(200)에 대하여 복수개가 구비되어, 동시에 다양한 공정에 대하여 다수의 기판(1)을 처리할 수도 있다.
상기 공정챔버(110)는, 기판처리를 위한 처리공간(S)을 형성하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 공정챔버(110)는, 기판(1)이 반송챔버(220)로부터 반송로봇(210)을 통해 도입 또는 반출될 수 있도록 측벽에 게이트(112)가 형성될 수 있다.
또한 상기 공정챔버(110)는, 후술하는 기판위치감지부(300)를 통한 기판(1)의 위치정보를 얻기 위하여, 상면, 하면 또는 측면들 중 적어도 하나에 뷰포트(111)가 형성될 수 있다.
상기 기판지지부(120)는, 공정챔버(110)의 처리공간(S)에 설치되어 기판(1)이 지지되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기판지지부(120)는, 고온환경에서 이루어지는 기판처리공정을 위하여 히터부를 구비하거나, 히터 자체로 구성될 수 있다.
또한, 상기 기판지지부(120)는, 기판(1)을 기판안착면에 고정하여 안착하기 위하여, 정전척, 진공척 등을 포함할 수 있으며, 이를 통해 기판(1)이 기판처리과정 또는 기판처리를 위한 승강과정에서 기판지지부(120)에 고정되어 안착되도록 할 수 있다.
한편, 이 경우, 기판(1)의 이송을 위해 기판(1)이 기판지지부(120)로부터 분리되는 디척킹과정을 동반하게 되는 바, 기판(1)이 기판지지부(120)로부터 정위치에서 지지되지 못하고, 정위치로부터 이탈하여 지지되는 문제점이 있다.
상기 기판지지부(120)는, 반송로봇(210)으로의 기판(1) 전달을 통한 기판(1)의 이송을 위해, 기판지지면으로부터 기판(1)을 이격하여 지지하는 리프트핀(130)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 리프트핀(130)은, 승강을 통해 기판(1)을 기판지지부(120)로부터 이격하여 지지함으로써, 기판(1)과 기판지지부(120) 사이에 반송로봇(210)이 진입하여 기판(1)이 반송로봇(210)에 안착할 수 있도록 할 수 있다.
이 경우, 상기 리프트핀(130)은, 보다 안정적인 기판(1)의 지지를 위해 적어도 3개 이상 구비될 수 있으며, 기판(1)이 기판지지부(120)의 정위치에 위치하지 못하고 틀어진 경우, 리프트핀(130)에 지지되는 상황에서도 기판(1)은 정위치에 위치하지 못하고 틀어지게 된다.
상기 반송모듈(200)은, 기판처리시스템 내에서 기판(1)을 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 반송모듈(200)은, 복수의 기판처리모듈(100)들 중간에 위치하여, 기판(1)들을 각각의 공정챔버(110)들 또는 기판(1)이 기판처리시스템으로부터 도입 또는 반출되는 로드락챔버(10) 사이에 기판(1)을 이송할 수 있다.
예를 들면, 상기 반송모듈(200)은, 공정챔버(110)가 결합되는 반송챔버(220)와, 반송챔버(220) 내에 설치되어 공정챔버(110) 내의 기판지지부(120)로 기판(1)을 반송하기 위한 반송로봇(210)을 포함할 수 있다.
이로써, 상기 반송모듈(200)은, 복수의 공정챔버(110)들 사이 및 로드락챔버(10)와 공정챔버(110) 사이에서 기판(1)을 이송할 수 있다.
상기 반송챔버(220)는, 공정챔버(110)가 결합되는 구성으로서, 내부에 반송로봇(210)이 설치되는 구성일 수 있다.
한편 상기 반송챔버(220)는, 공정챔버(110)들 및 로드락챔버(10)와 기판(1)을 주고 받기 위한 복수의 게이트(221)가 형성될 수 있으며, 각 게이트(221)에 후술하는 기판안착위치감지부(400)가 설치될 수 있다.
상기 반송로봇(210)은, 반송챔버(220) 내에 설치되어 공정챔버(110) 내의 기판지지부(120)로 기판(1)을 반송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 반송로봇(210)은, 기판(1)이 이송되기 위하여 안착되는 엔드이펙터(211)와, 수평방향으로 수축 또는 신장되어 엔드이펙터(211)에 안착되는 기판(1)을 원하는 위치로 이송하기 위한 로봇암부(212)와, 로봇암부(212)가 결합되어 회전을 통해 로봇암부(212)의 궤도를 설정하는 로봇본체(213)와, 로봇암부(212)및 로봇본체(213)의 상하방향 이동을 위해 승강구동하는 승강구동부를 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 엔드이펙터(211)는, 기판(1)이 안정적으로 안착될 수있도록, 서로 이격되어 형성되는 복수개의 핑거를 통해 기판(1)의 저면일부를 지지할 수 있으며, 이 경우, 기판(1)의 이송과정 중 미끄러짐을 방지하고, 기판(1) 저면과의 접촉면적을 최소화하기 위하여, 상부면에 미끄럼방지부재가 추가로 설치될 수 있다.
상기 로봇암부(212)는, 수평방향으로 수축 또는 신장가능하도록 하나 이상의 링크가 형성되어, 엔드이펙터(211)를 원하는 거리만큼 이송할 수 있다.
특히 상기 로봇암부(212)는, 로봇본체(213)에 따라 기판(1)의 이송경로가 결정될 수 있으며, 바람직하게는 반송챔버(220) 및 공정챔버(110)들의 게이트(112, 221) 중심을 지나도록 설정될 수 있다.
즉, 상기 로봇암부(212)는, 신장 또는 수축에 따라 기판(1)을 공정챔버(110)로부터 반출하거나, 공정챔버(110)로 도입할 때, 기판(1)의 중심이 게이트(112)의 중심을 지나도록 설정될 수 있다.
상기 로봇본체(213)는, 반송로봇(210)의 베이스로서, 반송챔버(220) 내의 중앙부에 설치될 수 있으며, 로봇암부(212)가 회전할 수 있도록 구동할 수 있다.
한편, 상기 반송로봇(210)은, 한 쌍의 로봇암부(212)가 구비될 수 있으며, 한 쌍의 로봇암부(212)는 상하로 중첩되어 구비될 수 있다.
상기 게이트밸브(500)는, 기판처리모듈(100)과 반송모듈(200) 사이에 기판(1)의 이송을 위한 통로가 되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 게이트밸브(500)는, 공정챔버(110)에 형성되는 게이트(112)와 반송챔버(220)에 형성되는 게이트(221) 사이에 설치되는 밸브본체(510), 밸브본체(510)에 형성되는 개구부를 수평이동 또는 상하이동을 통해 밀착 또는 분리됨으로써, 밸브를 개폐하는 블레이드(520)와, 블레이드(520)를 상하 또는 수평방향으로 이동하도록 구동부와 연결되는 로드부(530)를 포함할 수 있다.
상기 기판위치감지부(300)는, 기판지지부(120)에 지지되는 기판(1)의 정위치 위치여부를 판단하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판위치감지부(300)는, 공정챔버(110)에서 기판처리가 완료된 기판(1)의 반출 시, 기판(1)의 반출 높이에서의 수평위치를 감지하는 복수의 센서부(310)들을 포함할 수 있다.
즉, 상기 기판위치감지부(300)는, 기판지지부(120)의 리프트핀(130)에 지지된 상태의 기판(1)의 정위치에서의 지지여부를 판단하기 위한 구성으로서, 기판(1)의 위치를 측정하여 기판(1)의 정위치여부를 판단할 수 있으며, 단순히 기판(1)의 정위치 존재 여부만을 판단할 수도 있다.
예를 들면, 상기 기판위치감지부(300)는, 제1실시예로서, 기판지지부(120)에 지지되는 기판(1)의 위치를 측정함으로써, 기판(1)의 정위치 위치여부를 판단할 수 있으며, 이 경우, 공정챔버(110)의 상단에 설치되는 비전카메라를 이용하여 기판(1)의 기판지지부(120)에 지지된 상태에서의 정확한 위치를 측정할 수 있다.
보다 구체적으로, 공정챔버(110)의 상단에 설치되는 비전카메라를 이용하여, 기판(1)의 일부, 특히 가장자리부분을 촬영하고, 미리 설정된 기판(1)의 정위치와 비교하여 기판(1)의 기판지지부(120) 상 지지위치를 측정할 수 있다.
이 경우, 기판(1)의 정확한 위치 측정이 가능한 바, 후술하는 제어부(500)를 통해 기판(1)의 위치변동값만큼 반송로봇(210)의 궤도를 보정하여, 기판(1)이 반송로봇(210)의 엔드이펙터(211) 중앙에 안착되도록 할 수 있다.
이때, 제어부는 비전카메라를 통해 촬영된 기판(1)의 일부와 기판(1)의 정위치를 비교하고, 기판(1)의 정위치중심(C1)과 틀어진 기판(1)의 틀어진중심(C2) 사이의 위치변동값(d1)만큼 반송로봇(210)의 궤도를 보정할 수 있다.
한편, 상기 기판위치감지부(300)는, 제2실시예로서, 광센서를 이용하여 광센서의 차단여부를 통해 기판(1)의 정위치 여부를 판단할 수 있다.
이 경우, 비록 기판(1)의 정확한 위치를 파악할 수는 없으나, 복수의 광센서를 통해 기판(1)의 틀어진 방향과, 위치범위를 파악할 수 있으며, 비교적 간단한 센서부재들을 통해 기판(1)의 위치정보를 파악할 수 있는 이점이 있다.
예를 들면, 상기 기판위치감지부(300)는, 조사광의 광경로가 기판(1)의 정위치로부터 수평방향으로 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 설치되는 복수의 센서부(310)들을 포함하여, 조사광의 차단여부를 통해 기판(1)의 정위치 위치여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 기판위치감지부(300)는, 복수의 센서부(310)들의 종류에 따라 복수의 센서부(310)들에 대향되는 위치에 설치되는 복수의 반사부재(320)들을 추가로 포함할 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 발광센서들과와 발광센서들에 의해 조사된 조사광을 수광하는 수광센서들을 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 복수의 센서부(310)들은, 각각의 발광센서와 수광센서가 서로 대향되도록 공정챔버(110) 또는 공정챔버(110) 외부에 조사광이 공정챔버(110) 내부를 관통하도록 설치될 수 있다.
예를 들면, 상기 복수의 센서부(310)들은, 공정챔버(110)의 상면, 하면 및 측면들 중 적어도 하나에 형성되는 뷰포트(111)에 설치되거나 공정챔버(110)의 외부에서 조사광이 뷰포트(111)를 통해 공정챔버(110) 내부를 관통하도록 설치될 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 뷰포트(111)를 통해 공정챔버(110) 내부를 관통하도록 설치되며, 보다 구체적으로 조사광의 광경로가 기판(1)의 정위치로부터 수평방향으로 미리 설정된 거리만큼 이격되도록 할 수 있다.
이를 통해, 발광센서를 통해 발광된 조사광의 광경로가 기판(1)의 정위치로부터 미리 설정된 거리만큼 수평방향으로 이격되어 형성되며, 기판(1)이 정위치에 위치하지 않고 이탈한 경우, 기판(1)에 의해 조사광이 차단되어 수광센서에 조사광이 수광되지 못하므로, 수광센서의 수광여부를 통해 기판(1)의 정위치로부터의 이탈여부를 판단할 수 있다.
한편 다른 예로서, 발광 및 수광이 가능한 센서부(310)를 공정챔버(110)에 형성되는 뷰포트(111) 또는 공정챔버(110) 외부에 설치함으로써, 조사광이 뷰포트(111)를 통해 공정챔버(110) 내부에 조사되도록 할 수 있으며, 센서부(310)의 대향면에 반사부재(320)를 설치하여, 센서부(310)를 통해 조사된 조사광의 수광여부로써 기판(1)의 정위치 여부를 판단할 수 있다.
복수의 센서부(310) 및 복수의 반사부재(320)들은, 공정챔버(110)의 외부 상측, 하측 및 측면 어디든 설치될 수 있으며, 보다 바람직하게는 공정챔버(110)의 복수의 측면 측에 설치될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 복수의 센서부(310)들은, 기판(1)의 반출 높이에 대응되는 공정챔버(110)의 둘레의 적어도 3개소에 각각 설치될 수 있다.
또한, 복수의 센서부(310) 및 복수의 반사부재(320)들은, 공정챔버(110)의 측면 측에 설치되는 경우, 그 대향면에 게이트(112)가 형성될 수 있으므로, 일부가 게이트밸브(500)의 개구부를 폐쇄하는 블레이드(520) 면에 설치될 수 있다.
상기 복수의 센서부(310)들은, 각각의 조사광 광경로들이 서로 간격을 두고 형성되도록 설치되어, 각각의 조사광 차단여부를 통해 기판(1)의 정위치로부터의 이탈정도를 판단할 수 있다.
예를 들면, 상기 복수의 센서부(310)들은, 평면상 기판(1)의 정위치가 기준으로 4개의 조사광들의 광경로가 이루는 사각형 내부에 위치하도록 설치되며, 이로써 기판(1)의 정위치로부터의 이탈여부와, 그 방향을 함께 파악할 수 있다.
또한, 기판(1)의 정위치로부터 일측에 조사되는 조사광 광경로들이 서로 간격을 두고 형성되도록 복수의 센서부(310)들을 설치함으로써, 기판(1)의 정위치로부터 이탈정도를 판단할 수도 있다.
보다 구체적으로는, 기판(1)의 정위치 가장자리로부터 광경로가 이격되어 형성되도록 센서부(310)를 설치하고, 그 광경로로부터 간격을 두고 다른 광경로가 형성되도록 복수의 센서부(310)들을 순차적으로 설치함으로써, 조사광이 차단되는 최외각 센서부(310)의 광경로까지의 거리를 통해 기판(1)의 정위치로부터 이탈범위를 파악할 수 있다.
이 경우, 복수의 센서부(310)들의 이격거리를 좁게 할 수록 기판(1)의 정위치로부터 이탈범위를 좁힐 수 있어, 기판(1)의 위치를 보다 정밀하게 파악할 수 있다.
예를 들면, 기판(1)의 정위치로부터 최단거리의 광경로가 1mm 이격되고 광경로들 사이의 이격거리를 1mm로 설치하는 경우, 1mm 오차범위 내의 기판(1)의 정위치로부터의 이탈범위를 파악할 수 있다.
한편, 상기 복수의 센서부(310)들은, 이웃하는 센서부(310)들의 각 조사광 교차각이 60도 또는 90도 일 수 있다.
상기 기판안착위치감지부(400)는, 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 위치를 측정하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 기판안착위치감지부(400)는, 기판(1)이 이송되는 경로의 상하 일면에 설치되는 복수의 발광센서(410)들과, 기판(1)이 이송되는 경로의 상하 타면에서 복수의 발광센서(410)들에 대향되어 설치되는 복수의 수광센서(420)들을 포함할 수 있다.
이로써, 상기 기판안착위치감지부(400)는, 기판(1)의 복수의 발광센서(410)들과 복수의 수광센서(420) 사이 통과시 광투과 변환 상태를 측정하여 기판(1)의 위치를 측정할 수 있다.
즉, 상기 기판안착위치감지부(400)는, 기판(1)이 틀어져 미리 설정된 궤도를 벗어나서 이송되는 경우 틀어짐을 보정하기 위한 액티브 웨이퍼 센터링(Active Wafer Centering;AWC) 중 일부일 수 있다.
상기 기판안착위치감지부(400)는, 종래 개시된 어떠한 형태의 AWC 시스템도 적용 가능하며, 복수의 발광센서(410)들과 복수의 수광센서(420)들은 반송챔버(220)의 게이트(221)에 설치될 수 있으며, 다른 예로서 게이트밸브(500)의 반송챔버(220) 측 상하면에 설치될 수도 있다.
또한 상기 기판안착위치감지부(400)는, 기판(1)이 정위치에서 이송되는지를 광투과 변환 상태를 측정하여 판단하기 위하여, 게이트(221)의 중심으로부터 기판(1)의 반지름 길이 이내에 각각 설치될 수 있다.
한편, 이 경우 틀어진 기판(1)의 중심좌표를 정확하게 파악하기 위해서, 게이트(221)의 수평변의 중심을 기준으로 양측에 설치되는 발광센서(410)들이 서로 다른 이격거리를 가지도록 설치될 수 있다.
상기 제어부는, 기판위치감지부(300)를 통한 기판(1)의 정위치 위치여부에 따라 반송로봇(210)의 기판지지부(120)로의 진입경로를 보정하며, 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 측정위치에 따라 반송로봇(210)의 이송경로를 보정하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 제어부는, 기판위치감지부(300)를 통한 기판(1)의 정위치 위치여부에 따른 신호를 전달받아 반송로봇(210)의 기판지지부(120)로의 진입경로를 수정할 수 있다.
또한 상기 제어부는, 수정된 진입경로로 진입한 반송로봇(210)에 기판(1)이 안착된 이후, 정상궤도로 반출되도록 수정한 값만큼 반출경로를 역보정하여 기판(1)을 반출할 수 있다.
또한 상기 제어부는, 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 측정위치에 따라 반송로봇(210)의 이송경로를 보정할 수 있다.
이 경우, 상기 제어부는, 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 기판안착위치감지부(400) 측정값에 따라 틀어진 정도를 전달받고, 변동좌표를 산출하여 반송로봇(210)의 이송경로를 수정한다.
한편, 상기 제어부는, 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 기판안착위치감지부(400) 측정값에 따라 틀어진 정도가 미리 설정된 범위 밖인 경우 기판(1)의 물리적 충돌에 따른 파손을 방지하기 위하여 반송로봇(210) 및 기판처리시스템의 구동을 비상정지하고, 알람을 켤 수 있다.
이때, 미리 설정된 범위는 기판(1)의 틀어진 정도가 공정챔버(110) 및 반송챔버(220) 등의 내부공간과 간섭되지 않은 최대 범위로 설정될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판이송방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명에 따른 기판이송방법은, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여, 상기 기판(1)을 반출높이로 상승시키는 기판상승단계(S100)와; 반출높이로 상승한 상기 기판(1)의 수평위치를 감지하는 기판위치감지단계(S200)와; 상기 기판(1)의 수평위치 감지신호에 따라 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하여, 상기 반송로봇(210)이 보정된 진입경로로 진입하는 진입단계(S300)를 포함한다.
또한 상기 기판이송방법은, 상기 진입단계(S300) 이후에, 상기 반송로봇(210)의 반출경로를 상기 진입단계(S300)를 통한 보정 전 진입경로와 동일하도록 보정한 진입경로만큼 역보정하여 상기 공정챔버(110)로부터 상기 기판(1)을 반출하는 반출단계(S400)를 포함한다.
또한 상기 기판이송방법은, 상기 반출단계(S400) 이후에, 상기 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 기판안착위치감지부(400)를 통해, 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 센싱하는 기판안착위치감지단계(S500)를 포함한다.
상기 기판상승단계(S100)는, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여, 기판(1)을 반출높이로 상승시키는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
예를 들면, 상기 기판상승단계(S100)는, 리프트핀을 이용하여 기판(1)을 반출높이까지 기판지지부(120)로부터 이격하여 상승시킬 수 있으며, 이를 통해 반송로봇(210)이 기판(1)과 기판지지부(120) 사이에 진입하여, 기판(1)을 반출할 수 있다.
상기 기판위치감지단계(S200)는, 기판위치감지부(300)를 통해 기판지지부(120)에 지지되는 기판(1)의 정위치 위치여부를 판단하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
상기 기판위치감지단계(S200)를 통해 기판(1)이 기판지지부(120) 상 정위치에 지지된다고 판단되는 경우, 후술하는 진입단계(S300)의 반송로봇(210) 진입경로의 보정을 생략할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 기판위치감지단계(S200)가 기판(1)의 정확한 위치를 측정함으로써 기판(1)의 정위치 위치여부를 판단하는 경우 기판(1)이 정위치에 존재하는 것으로 판단되면 진입단계(S300)의 반송로봇(210) 진입경로의 보정과 기판안착위치감지단계(S500)가 생략될 수 있다.
그러나, 보다 바람직하게는 기판(1)의 반송로봇(210)에 의한 이송과정에서의 틀어짐을 확인하기 위하여, 기판위치감지단계(S200)를 통해 기판(1)이 정위치에 존재한다고 측정되는 경우에도 기판안착위치감지단계(S500)를 거칠 수 있다.
한편, 상기 기판위치감지단계(S200)를 통해 기판(1)이 기판지지부(120) 상 정위치로부터 벗어난 것으로 판단되는 경우, 진입단계(S300)가 수행될 수 있다.
상기 진입단계(S300)는, 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
일예로서, 상기 진입단계(S300)는, 기판위치감지부(300)를 통해 측정된 기판(1)의 위치를 토대로 기판(1)의 정위치로부터의 제1위치변동값을 산출하는 제1위치변동값산출단계(S310)와, 산출된 제1위치변동값을 토대로 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 경로보정단계(S320)를 포함할 수 있다.
즉, 기판위치감지단계(S200)를 통해 기판지지부(120)에 지지되는 기판(1)의 위치를 측정함으로써, 제1위치변동값을 산출하고, 산출된 제1위치변동값을 토대로 반송로봇(210)의 진입경로를 보정할 수 있다.
한편 이 경우, 상기 경로보정단계(S320)는, 제1위치변동값이 미리 설정된 제1최대변동값 이내인 경우, 제1위치변동값 만큼 반송로봇(310)의 진입경로를 보정하고, 제1위치변동값이 제1최대변동값 초과인 경우, 제1최대변동값만큼 반송로봇(310)의 진입경로를 보정할 수 있다.
이는, 반송로봇(310)이 공정챔버(110)의 게이트(112)의 크기가 제한되어 있는 바, 반송로봇(210)이 공정챔버(110) 내로 진입하기 위하여 설정된 제1최대변동값을 기준으로 진입경로의 보정을 달리할 수 있다.
한편, 진입단계(S300)의 다른 예로서, 기판위치감지단계(S200)가 복수의 센서부(310)들 각각의 조사광 차단여부를 통해 기판(1)의 정위치로부터의 이탈여부를 판단하는 경우, 차단된 적어도 하나의 조사광 중 최외각 조사광의 기판(1)의 정위치로부터의 이격거리를 도출하는 이격거리도출단계(S330)와; 도출된 이격거리만큼 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 진입경로보정단계(S340)를 포함할 수 있다.
상기 이격거리도출단계(S330)는, 차단된 적어도 하나의 조사광 중 최외각 조사광의 기판(1)의 정위치로부터의 이격거리를 도출하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
즉, 상기 이격거리도출단계(S330)는, 기판(1)의 정위치로부터 조사광이 차단된 최외각 조사광의 광경로까지의 최단거리를 도출할 수 있으며, 보다 구체적으로는 광경로가 1mm 간격으로 형성되도록 기판(1)의 정위치로부터 순차적으로 설치되는 복수의 센서부(310)들 중 N번째 센서부(310)까지 차단되고, N+1번째 센서부(310)가 차단되지 않은 것으로 확인된 경우, 기판(1)은 정위치로부터 N에서 N+1 mm만큼 틀어진 것으로 볼 수 있다.
이로써, N mm를 이격거리로 도출하여 진입경로보정단계(S340)를 통해 N mm만큼 진입경로를 보정할 수 있다.
한편, 진입경로보정단계(S340)는, 전술한 이격거리도출단계(S330)를 통해 도출된 이격거리만큼 반송로봇(210)의 진입경로를 보정할 수 있다.
상기 반출단계(S400)는, 진입단계(S300)와 기판안착위치감지단계(S500) 사이에 반송로봇(210)의 반출경로가 진입단계(S300)를 통한 보정 전 진입경로와 동일하도록 보정한 진입경로만큼 역보정하여 기판(1)을 반출하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
상기 반출단계(S400)는, 진입단계(S300)를 통한 보정 전 진입경로로 기판(1)을 반출함으로써, 진입단계(S300) 이후에 기판안착위치감지단계(S500)시 반송로봇(210)의 이송경로 수정범위를 작게할 수 있다.
상기 기판안착위치감지단계(S500)는, 진입단계(S300) 이후에, 기판안착위치감지부(400)에 의해 반송로봇(210)을 통해 이송되는 기판(1)의 위치를 측정하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
즉, 상기 기판안착위치감지단계(S500)는, 기판위치감지단계(S200)와는 달리 기판(1)의 위치를 측정함으로써, 기판(1)이 반송로봇(210) 상 정위치로부터 틀어진 정도를 수치화하여 측정할 수 있다.
한편, 이 경우, 기판안착위치감지단계(S500)를 거쳐 기판(1)이 정위치에 위치하는 것으로 판단되는 경우 보정이 그대로 종료될 수 있다.
상기 기판안착위치감지단계(S500)는, 기판안착위치감지부(400)를 통해 검출된 기판(1)의 위치를 토대로 기판(1)의 제2위치변동값을 산출하는 제2위치변동값산출단계(S510)와, 산출된 제2위치변동값을 토대로 반송로봇(210)의 이송경로를 보정하는 이송경로보정단계(S520)를 포함할 수 있다.
상기 제2위치변동값산출단계(S510)는, 반송로봇(210)의 이송경로를 보정하기 위하여, 기판(1)이 정해진 경로로부터 틀어진 정도로서 제2위치변동값을 산출할 수 있다.
상기 이송경로보정단계(S520)는, 제2위치변동값이 미리 설정된 제2최대변동값 이내인 경우, 제2위치변동값 만큼 상기 반송로봇(210)의 이송경로를 보정하고, 제2위치변동값이 제2최대변동값 초과인 경우, 제어부(500)를 통해 반송로봇(210)의 구동을 정지하는 단계로서, 다양한 방법에 의할 수 있다.
이 경우, 반송챔버(220) 내의 공간 하에서 반송로봇(210)의 이송경로 변경이 이루어져야 하는 바, 과도하게 틀어진 경우 반송로봇(210)의 이송경로 변경 가능범위를 벗어날 수 있어, 제2최대변동값이 미리 설정할 수 있다.
따라서, 제2최대변동값을 기준으로 제2위치변동값이 제2최대변동값 이내인 경우, 제2위치변동값 만큼 반송로봇(210)의 이송경로를 수정하고, 제2위치변동값이 제2최대변동값을 초과하는 경우 기판(1)의 파손위험이 있으므로, 제어부를 통해 반송로봇(210)을 포함한 기판처리시스템의 구동을 정지하고 알람을 켤 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
1: 기판 100: 기판처리모듈
200: 반송모듈 300: 기판위치감지부
400: 기판안착위치감지부 500: 게이트밸브

Claims (15)

  1. 기판처리를 위한 처리공간(S)과, 기판(1)이 도입 또는 반출되는 게이트(112)를 형성하는 공정챔버(110)와, 상기 처리공간(S)에 설치되어 상기 기판(1)이 지지되는 기판지지부(120)를 포함하는 기판처리모듈(100)과;
    상기 공정챔버(110)가 결합되는 반송챔버(220)와, 상기 반송챔버(220) 내에 설치되어 상기 게이트(112)를 통해 상기 공정챔버(110) 내의 상기 기판지지부(120)로 상기 기판(1)을 반송하기 위한 반송로봇(210)을 포함하는 반송모듈(200)과;
    상기 기판처리모듈(100)과 상기 반송모듈(200) 사이로 상기 기판(1)을 이송하는 상기 반송로봇(210)의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 기판처리모듈(100)은,
    상기 공정챔버(110)에서 기판처리가 완료된 상기 기판(1)의 반출 시, 상기 기판(1)의 반출 높이에서의 수평위치를 감지하는 복수의 센서부(310)들을 포함하는 기판위치감지부(300)를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 기판위치감지부(300)로부터 기판감지신호가 입력되면, 상기 기판(1)을 반출하기 위하여 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 센서를 통해 이송되는 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 감지하는 기판안착위치감지부(400)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기판안착위치감지부(400)로부터 감지된 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상의 안착위치가 미리 설정된 범위를 벗어나는 경우, 알람이 발생하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 반송로봇(210)이 상기 공정챔버(110)로부터 상기 기판(1) 반출 시, 보정된 진입경로로 진입한 반송로봇(210)에 대하여 보정한 값만큼 반출경로를 역보정하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 센서부(310)들은,
    상기 기판(1)의 반출 높이에 대응되는 상기 공정챔버(110) 둘레의 적어도 3개소에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 센서부(310)들은,
    이웃하는 센서부(310)들의 각 조사광 교차각이 60도인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 센서부(310)들은,
    이웃하는 센서부(310)들의 각 조사광 교차각이 90도인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 센서부(310)들은,
    각각 발광부 및 수광부를 포함하는 한 쌍의 센서들을 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 한 쌍의 센서들 중 적어도 하나로부터 상기 기판(1)의 감지신호가 입력되면, 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 미리 설정된 설정경로로 보정하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 센서부(310)들은,
    각각 발광부 및 수광부를 포함하며 서로 일정 간격을 두고 복수개 설치되는 한 쌍의 센서들을 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 센서부(310)들로부터 입력되는 상기 기판(1)의 감지신호를 이용하여 반출 대상 기판(1)의 수평위치를 산출하고, 산출된 위치정보를 기초로 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9중 어느 하나의 항에 따른 기판처리장치의 기판이송방법으로서,
    상기 기판(1)을 반출하기 위하여, 상기 기판(1)을 반출높이로 상승시키는 기판상승단계(S100)와;
    반출높이로 상승한 상기 기판(1)의 수평위치를 감지하는 기판위치감지단계(S200)와;
    상기 기판(1)의 수평위치 감지신호에 따라 상기 공정챔버(110)로 진입하는 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하여, 상기 반송로봇(210)이 보정된 진입경로로 진입하는 진입단계(S300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 진입단계(S300) 이후에, 상기 반송로봇(210)의 반출경로를 상기 진입단계(S300)를 통해 보정된 진입경로의 보정한 값만큼 역보정하여 상기 공정챔버(110)로부터 상기 기판(1)을 반출하는 반출단계(S400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 반출단계(S400) 이후에, 상기 반송모듈(200)의 게이트에 설치되는 기판안착위치감지부(400)를 통해, 상기 기판(1)의 상기 반송로봇(210) 상에 안착된 안착위치를 센싱하는 기판안착위치감지단계(S500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 기판안착위치감지단계(S500)는,
    상기 기판(1)의 안착위치가 미리 설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 반송로봇(210)의 구동을 정지하고, 알람을 발생시키는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 기판위치감지단계(S200)는,
    각각 발광부 및 수광부를 포함하는 한 쌍의 센서들로 구성되는 상기 복수의 센서부(310)들 중 적어도 하나의 광차단 여부를 통해 상기 기판(1)의 위치를 감지하며,
    상기 진입단계(S300)는,
    상기 기판위치감지단계(S200)를 통한 상기 기판(1)의 감지신호 입력에 따라, 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 미리 설정된 설정경로로 보정하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  15. 청구항 10에 있어서,
    상기 기판위치감지단계(S200)는,
    각각 발광부 및 수광부를 포함하며 서로 일정 간격을 두고 복수개 설치되는 한 쌍의 센서들로 구성되는 상기 복수의 센서부(310)들 중 적어도 하나의 광차단 여부를 통해 반출 대상 기판(1)의 수평위치를 산출하며,
    상기 진입단계(S300)는,
    상기 기판위치감지단계(S200)를 통해 산출된 위치정보를 기초로 상기 반송로봇(210)의 진입경로를 보정하는 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
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