JP2020096129A - ロードロックチャンバ及び真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 複数枚の基板がセットされたトレイを大気雰囲気中から真空雰囲気中に搬入し、または、このトレイを真空雰囲気中から大気雰囲気中に搬出するためのロードロック装置であって、
上下方向に貫通する透孔を有して水平な姿勢で設置される隔壁と、隔壁上面で透孔の外周縁部に気密保持した状態で当接する、下面が開放された筒状の蓋体と、隔壁の下方に配置されて、その平坦な上面にトレイの設置が可能であると共にこの隔壁に対して上下動自在なステージと、を備え、ステージを上動させると、ステージの外周面からその水平方向に延出されたフランジが隔壁下面で透孔の外周縁部に気密保持した状態で当接してステージの上部が透孔を通って蓋体の内部空間に突出し、この蓋体内に気密な内部空間が画成されるようにしたものにおいて、
蓋体上面に所定波長の光を透過する窓部が設けられ、窓部の上方に、所定波長の光を照射する光源を持つ少なくとも2個の反射式の変位センサが設けられ、その中の第1変位センサがトレイの上面で反射した光を受光し、その中の第2変位センサがステージの上面で反射した光を受光するように構成されていることを特徴とするロードロック装置。 - 前記窓部の上方に、所定波長の光を照射する光源を持つ1個の反射式の第3変位センサが更に設けられ、第3変位センサがトレイまたはステージの上面で反射した光を受光するように構成されていることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 請求項1記載のロードロック装置を備える真空処理装置であって、前記隔壁が真空チャンバの上壁であると共に、この真空チャンバ内に前記ステージが設けられているものにおいて、
水平方向で互いに直交する方向をX軸方向及びY軸方向、ステージの下動位置を起点とし、この起点に向けてX軸方向一方にトレイを搬送できるトレイ搬送手段と、トレイ搬送手段で搬送されるトレイをステージ上に移載する移載手段と、トレイ搬送手段による搬送中にトレイにセットされた基板に対して真空処理を施す処理ユニットとを備え、
Y軸方向に位置するトレイの側面にその外方に突出する突片が設けられ、前記第1変位センサが突片で反射した光を受光するように構成されていることを特徴とする真空処理装置。 - 前記ステージ上面にストッパ部が設けられ、移載手段によってトレイをX軸方向一方に更に移動させて搬送手段からステージ上に移載するとき、トレイのX軸方向一方の側面がストッパ部に当接してトレイがX軸方向に位置決めされることを特徴とする請求項3記載の真空処理装置。
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