KR100994478B1 - 기판처리장치 및 기판처리방법 - Google Patents

기판처리장치 및 기판처리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 의하면, 기판처리장치는 기판의 제1 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제1 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 일측을 감지하는 제1 센서; 그리고 상기 제1 이동경로와 다른 상기 기판의 제2 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제2 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 타측을 감지하는 제2 센서를 포함한다. 상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며, 상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 로드락 챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고, 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 공정챔버로 반송될 수 있다.
이동경로, 센서

Description

기판처리장치 및 기판처리방법{APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 감지하는 센서를 구비하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
액정표시패널의 제조공정에서는, 감압 분위기하에서 기판에 에칭, 애싱(ashing), 증착 등의 공정을 수행하는 복수의 공정챔버들을 구비한 다중 챔버형의 진공 처리 시스템이 사용되고 있다.
이러한 진공 처리 시스템은, 기판을 반송하는 반송 아암을 구비하는 기판 반송 기구가 설치된 반송챔버와, 그 주위에 설치된 복수의 공정챔버 및 로드락 챔버를 구비하며, 반송챔버 내의 반송 아암에 의해 로드락 챔버 내의 피처리 기판이 각 공정챔버 내에 반입되는 동시에, 처리 완료된 기판이 각 공정챔버로부터 반출된다.
본 발명의 목적은 기판의 반입반출시 기판을 감지할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
본 발명에 의하면, 기판처리장치는 기판의 제1 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제1 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 일측을 감지하는 제1 센서; 그리고 상기 제1 이동경로와 다른 상기 기판의 제2 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제2 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 타측을 감지하는 제2 센서를 포함한다.
상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며, 상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 로드락 챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고, 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 공정챔버로 반송될 수 있다.
상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며, 상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 공정챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고, 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 로드락 챔버로 반송될 수 있다.
상기 제1 및 제2 센서는 상기 제1 및 제2 이동경로 상에 각각 편심되어 배치될 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판처리방법은 제1 이동경로를 따라 이동하는 기판의 일측을 감지하는 단계; 그리고 상기 제1 이동경로와 다른 제2 이동경로를 따라 이동하는 상기 기판의 타측을 감지하는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면 반송 아암에 의해 반입·반출되는 기판을 정확하게 감지할 수 있다. 또한, 센서를 최소한으로 설치할 수 있으므로, 전체 장비의 제작비용을 절감할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 3을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
한편, 이하에서는 기판처리장치를 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 기판처리장치는 그 중앙부에 트랜스퍼 모듈(transfer module)인 반송챔버(20)와, 로드락 챔버(30)가 연결 설치되어 있다. 반송챔버(20)의 주위에는, 3개의 공정챔버(10a,10b,10c)가 배치되어 있다. 또한, 반송챔버(20)와 로드락 챔버(30) 사이, 반송챔버(20)와 공정챔버(10) 사이, 및 로드락 챔버(30)와 외측의 대기 분위기를 연통하는 개구부에는, 이들 사이를 기밀하게 밀봉하고, 또한 개폐 가능하게 구성된 게이트 밸브(22)가 각각 개재되어 있다.
로드락 챔버(30)의 외측에는, 기판 반송 수단(40)이 설치되며, 기판 반송 수단(40)은 카세트(도시안됨) 내의 기판을 로드락 챔버(30) 내에 반입하거나, 로드락 챔버(30) 내의 기판을 반출하여 카세트 내에 적재한다.
반송챔버(20)의 내부에는 반송로봇(도시안됨)이 설치된다. 반송로봇은 로드락 챔버(30) 및 공정챔버(10a,10b,10c) 사이에서 기판을 반송한다. 반송로봇은 로드락 챔버(30) 내의 기판을 반출하여 공정챔버(10a,10b,10c) 내에 반입하거나, 공정챔버(10a,10b,10c) 내의 기판을 반출하여 로드락 챔버(30) 내에 반입한다. 기판의 이동경로는 도 1에 도시한 화살표 방향과 같다.
도 1에 도시한 바와 같이, 로드락 챔버(30) 내에는 제1 센서(32)가 설치되며, 반송챔버(20) 내에는 제2 센서(12a,12b,12c)가 설치된다. 제1 센서(32)는 로드락 챔버(30)와 반송챔버(20) 사이에서 이동하는 기판의 경로 상에 설치되며, 제1 센서(32)는 기판의 경로로부터 편심되도록 배치된다. 제2 센서(12a,12b,12c)는 공정챔버(10a,10b,10c)와 반송챔버(20) 사이에서 이동하는 기판의 경로 상에 설치되며, 제2 센서(12a,12b,12c)는 기판의 경로로부터 편심되도록 배치된다.
도 2 및 도 3은 도 1의 센서를 이용하여 기판(S)을 감지하는 방법을 나타내는 도면이다. 제1 및 제2 센서(32,12a,12b,12c)는 기판(S)을 감지한다. 센서(12a)는 상부센서(12au) 및 하부센서(12ad)를 구비하며, 하부센서(12ad)는 발광센서이고, 상부센서(12au)는 수광센서이다. 하부센서(12ad)는 광을 방출하며, 상부센서(12au)는 방출된 광을 받아들여 물체를 감지한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 기판(S)이 상부센서(12au)와 하부센서(12ad)의 사이에 위치할 경우, 하부센서(12ad)로부터 방출된 광은 기판(S)에 의해 반사되므로, 상부센서(12au)에 감지되지 않는다. 따라서, 상부센서(12au)가 어떠한 광도 감지하지 못한 경우, 제어기(도시안함)는 기판(S)이 존재하는 것으로 판단한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 파손에 의해 기판(S)이 상부센서(12au)와 하부센서(12ad)의 사이에 위치하지 않을 경우(또는 기판(S)이 존재하지 않을 경우), 하부센서(12ad)로부터 방출된 광은 상부센서(12au)에 의해 감지된다. 따라서, 상부센서(12au)가 광을 감지한 경우, 제어기(도시안함)는 기판(S)이 파손된 것(또는 기판(S)이 존재하지 않는 것)으로 판단한다. 위와 같은 감지방법은 제1 및 제2 센서(32,12b,12c)에도 동일하게 적용될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 제1 센서(32)는 로드락 챔버(30)와 반송챔버(20) 사 이에서 이동하는 기판의 경로 상에 설치되며, 로드락 챔버(30)와 반송챔버(20) 사이에서 기판이 이동할 때, 제1 센서(32)는 기판(S)의 상태를 감지한다. 제2 센서(12a,12b,12c)는 공정챔버(10a,10b,10c)와 반송챔버(20) 사이에서 이동하는 기판의 경로 상에 설치되며, 공정챔버(10a,10b,10c)와 반송챔버(20) 사이에서 기판이 이동할 때, 제2 센서(12a,12b,12c)는 기판(S)의 상태를 감지한다.
이때, 제1 및 제2 센서(32,12a,12b,12c)는 기판의 이동경로로부터 편심되도록 배치되며, 제1 센서(32)가 기판의 이동방향과 나란한 기판의 일측을 감지하고, 제2 센서(12a,12b,12c)가 기판의 이동방향과 나란한 기판의 타측을 감지한다. 제1 센서(32)는 반송챔버(20)의 중심을 기준으로 좌측에 편심되어 배치되며, 제2 센서(12a,12b,12c)는 반송챔버(20)의 중심을 기준으로 우측에 편심되어 배치된다. 따라서, 예를 들어, 기판을 로드락 챔버(30)로부터 반출하여 공정챔버(10a,10b,10c)에 반입할 경우, 제1 센서(32)는 반출방향과 대체로 나란한 기판(S)의 좌측을 감지하며, 제2 센서(12a,12b,12c)는 반입방향과 대체로 나란한 기판(S)의 우측을 감지한다. 그러므로, 로드락 챔버(30) 내에 설치된 제1 센서(32)와 반송챔버(20) 내에 설치된 제2 센서(12a,12b,12c)를 이용하여 기판(S)의 양측을 감지할 수 있다. 한편, 본 실시예와 달리 제2 센서(12a,12b,12c)는 반송챔버(20)의 중심을 기준으로 좌측에 편심되어 배치될 수 있으며, 이 경우 기판(S)의 회전을 통해 기판(S)의 우측이 제2 센서(12a,12b,12c)를 경유할 수 있다.
마찬가지로, 기판(S)을 공정챔버(10a,10b,10c)로부터 반출하여 로드락 챔버(30)에 반입할 경우,제2 센서(12a,12b,12c)는 반입방향과 대체로 나란한 기판(S) 의 우측을 감지하며, 제1 센서(32)는 반출방향과 대체로 나란한 기판(S)의 좌측을 감지한다. 그러므로, 피처리 기판(S)을 공정챔버(10a,10b,10c)에 반입하거나 처리 완료된 기판(S)을 공정챔버(10a,10b,10c)로부터 반출할 때 기판(S)의 상태를 감지할 수 있으며, 공정의 전후를 기준으로 기판(S)의 상태를 감지할 수 있다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 센서를 이용하여 기판을 감지하는 방법을 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10a,10b,10c : 공정챔버 12a,12b,12c : 제2 센서
20 : 반송챔버 22 : 게이트밸브
30 : 로드락 챔버 32 : 제1 센서
40 : 기판 반송 수단

Claims (7)

  1. 기판의 제1 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제1 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 일측을 감지하는 제1 센서; 및
    상기 제1 이동경로와 다른 상기 기판의 제2 이동경로 상에 위치하며, 상기 기판의 제2 이동경로와 대체로 나란한 상기 기판의 타측을 감지하는 제2 센서를 포함하며,
    상기 제1 및 제2 센서는 상기 제1 및 제2 이동경로 상에 각각 편심되어 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며,
    상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 로드락 챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고, 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 공정챔버로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며,
    상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 공정챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고, 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 로드락 챔버로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 삭제
  5. 기판처리장치의 제1 이동경로를 따라 이동하는 기판의 일측을 상기 제1 이동경로 상에 편심되게 배치된 위치에서 감지하는 단계; 및
    상기 제1 이동경로와 다른 상기 기판처리장치의 제2 이동경로를 따라 이동하는 상기 기판의 타측을 상기 제2 이동경로 상에 편심되게 배치된 위치에서 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며,
    상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 로드락 챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 공정챔버로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 기판처리장치는 로드락 챔버 및 공정챔버, 그리고 상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 반출하여 상기 공정챔버에 수납하는 반송챔버를 더 포함하며,
    상기 기판은 상기 제1 이동경로를 따라 상기 공정챔버로부터 상기 반송챔버로 반출되고 상기 제2 이동경로를 따라 상기 반송챔버로부터 상기 로드락 챔버로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
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