JP5323749B2 - ストッカーシステム及びストッカー管理方法 - Google Patents

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Description

本発明は、ストッカーシステム及びストッカー管理方法に係り、さらに詳細には、ストッカーのシェルフを容易に管理できるストッカーシステム及びストッカー管理方法に関する。
複数の物を積載するために、ストッカーが使われている。ストッカーは、複数の物をそれぞれ一つずつ積載するようにシェルフを備えている。ストッカーには、多様な物を積載できるが、具体的には、フォトリソグラフィ法または蒸着工程に使われるマスク、半導体製造のためのウェーハが入れられたカセット及び平板表示装置製造用基板が入れられたカセットを積載することができる。
また、ストッカーに物を積載し、積載した物を取り出したり移送したりする時にはアームが付着されたラックマスターを利用する。このようなラックマスターは、レールのような部材を利用して、一定の運動をしつつ物を自動的に積載及び移送できる。
しかし、ストッカーを使用することによって、物を積載するシェルフが力を受けて変形したり傾斜したりするなど、最初の状態と異なる形態及び位置を有することがある。シェルフが傾斜したり損傷したりして平坦度を失えば、ストッカーに物を積載する時に物が破損する恐れがある。また、水平状態ではない傾斜した状態で積載した物は、品質に影響を受ける。
このような理由により、周期的にストッカーのシェルフを点検する必要がある。しかし、ストッカーの内部は、清浄度を維持するために、異物による汚染を無くさなければならないので、作業者または装備を利用した点検が容易ではない。また、ストッカーの内部空間が狭いので、ストッカーのシェルフの効率的な点検には限界がある。
本発明が解決しようとする課題は、ストッカーのシェルフを容易に点検できるストッカーシステム及びストッカー管理方法を提供することにある。
前記課題を達成するために、本発明は、被積載物を積載できるシェルフを備えたストッカー、前記ストッカー側に前記被積載物を移動できるように、ボディー部と、前記ボディー部に連結されたアーム部とを備えたラックマスターと、前記アーム部上に積載できるように形成されたセンサーユニットとを備え、前記センサーユニットは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時に前記シェルフと対向して前記アーム部と接触しない対向面を備え、前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するように、前記対向面に複数の変位センサーが配置されていることを特徴とするストッカーシステムを開示する。
本発明において、前記変位センサーは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記センサーユニットと前記シェルフとが重畳する領域に配置されるように形成されうる。
本発明において、前記変位センサーのうち少なくとも二つの変位センサーは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記シェルフの領域を基準にして対称な位置に配置されうる。
本発明において、前記シェルフは、水平方向に離隔した第１支持部及び第２支持部を備え、前記変位センサーは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記第１支持部及び前記第２支持部に対応して配置されうる。
本発明において、前記変位センサーは、前記第１支持部に対応して配置された複数の第１変位センサーと、前記第２支持部に対応して配置された複数の第２変位センサーとを備えうる。
本発明において、前記対向面は、前記アーム部の側面周囲に形成されうる。
本発明において、前記変位センサーが測定した前記シェルフと前記センサーユニットとの間の相互位置関係を利用して、前記シェルフの平坦度を測定する制御部をさらに備え、前記センサーユニットは、前記制御部と通信できる無線通信部を備えうる。
本発明の他の側面によれば、被積載物を積載するためのシェルフを備えたストッカーと、前記ストッカー側に前記被積載物を移動できるように、ボディー部と前記ボディー部に連結されたアーム部とを備えたラックマスターと、前記アーム部に積載できるように形成されたセンサーユニットとを備えたストッカーシステムを管理する方法として、(ａ)前記アーム部上に前記センサーユニットを積載するステップと、(ｂ)前記センサーユニットが積載された前記アーム部を前記シェルフの上部に移動するステップと、(ｃ)前記センサーユニットの領域のうち、前記アーム部と接触せず、前記シェルフと対向する面に設置された複数の変位センサーを利用して、前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するステップと、(ｄ)前記変位センサーを通じて測定した前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を利用して、前記シェルフの平坦度を測定するステップとを含むことを特徴とするストッカー管理方法を開示する。
本発明において、前記(ｂ)ステップで、前記変位センサーは、前記センサーユニットと前記シェルフとが重畳する領域に配置されうる。
本発明において、前記(ｂ)ステップで、前記変位センサーのうち少なくとも二つの変位センサーは、前記シェルフの上部に移動した時、前記シェルフの領域を基準にして対称な位置に配置されうる。
本発明において、前記シェルフは、水平方向に離隔した第１支持部及び第２支持部を備え、前記(ｂ)ステップで、前記変位センサーは、前記第１支持部及び前記第２支持部に対応して配置されうる。
本発明において、前記変位センサーは、前記第１支持部に対応して配置された複数の第１変位センサーと、前記第２支持部に対応して配置された複数の第２変位センサーとを備えうる。
本発明において、前記(ａ)ステップで、前記変位センサーが前記アーム部の側面周囲に配置されうる。
本発明において、前記ストッカーは、複数の被積載物をそれぞれ積載できる複数のシェルフを備え、各シェルフに前記(ｂ)ステップ、前記(ｃ)ステップ及び前記(ｄ)ステップを順次に行って、前記各シェルフの平坦度を測定するステップをさらに含みうる。
本発明に係るストッカーシステム及びストッカー管理方法は、ストッカーのシェルフを容易に点検できる。
本発明に係るストッカーシステム及びストッカー管理方法は、ストッカーのシェルフの平坦度を容易に点検できる。
また、本発明に係るストッカーシステム及びストッカー管理方法は、ストッカーに入れられた複数のシェルフを順次に容易に点検できる。
本発明の一実施形態に係るストッカーシステムの構成を説明するための概略的な正面図である。 図１のII−II線で切断した断面図である。 図１のセンサーユニットの構造を説明するための概略的な透明斜視図である。 図１のセンサーユニットの構造を概略的に示す底面図である。 図３に示すセンサーユニットを上部から見た透明平面図である。 図３に示すセンサーユニットの左側面図である。 図３に示すセンサーユニットの右側面図である。 本発明の他の実施形態に係るストッカーシステムに備えられたセンサーユニットを示す底面図である。 本発明の他の実施形態に係るストッカーシステムに備えられたセンサーユニットを示す底面図である。 本発明の一実施形態に係るストッカー管理方法を概略的に示すフローチャートである。 本発明の他の実施形態に係るストッカー管理方法を概略的に示すフローチャートである。
以下、添付した図面に示した本発明に関する実施形態を参照して、本発明の構成及び作用を詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るストッカーシステムの構成を説明するための概略的な正面図であり、図２は、図１のII−II線で切断した断面図である。
図１に示すように、ストッカーシステム１０００は、ストッカー１００と、ラックマスター２００と、センサーユニット３００と、制御部４００とを備えている。
ストッカー１００は、被積載物を積載できるように形成されたシェルフ１１０を備えている。ストッカー１００は、複数の被積載物を積載できるように複数のシェルフ１１０を備えている。シェルフ１１０には、マスク、基板、カセットを積載することができる。
ラックマスター２００は、走行部２０５と、本体部２１０と、アーム部２３０とを備えている。走行部２０５は、ラックマスター２００をストッカー１００の所望の位置に移動させる。このために、走行部２０５はレール状の構成を含むことが可能である。
本体部２１０は、走行部２０５に連結されている。本体部２１０に連結されたアーム部２３０は、本体部２１０に連結された状態で昇降及び進退が可能なので、被積載物をストッカー１００の所望のシェルフ１１０に積載することが可能である。
アーム部２３０は、アームベース２３１及びロボットアーム２３２を備えている。アームベース２３１は、本体部２１０に連結され、アーム部２３０のベースを形成する。ロボットアーム２３２は、被積載物を載せてその被積載物をシェルフ１１０に積載することができる。
センサーユニット３００は、アーム部２３０に積載できるように形成されている。具体的には、センサーユニット３００は、ロボットアーム２３２の上部に積載されるように形成されている。
図２に示すように、センサーユニット３００は、複数の変位センサー３５０を備えている。変位センサー３５０は、センサーユニット３００の対向面３０１に形成されている。対向面３０１は、センサーユニット３００の領域のうち、センサーユニット３００がロボットアーム２３２に積載された状態でロボットアーム２３２と接触せずに露出する部分であり、ロボットアーム２３２がシェルフ１１０の上部に移動した時に下部にあるシェルフ１１０と対向する面である。
変位センサー３５０は、ロボットアーム２３２がシェルフ１１０の上部に移動した時、センサーユニット３００とシェルフ１１０とが重畳する領域に配置される。これにより、変位センサー３５０は、センサーユニット３００とシェルフ１１０との間の相互位置関係を複数の地点で測定できる。すなわち、センサーユニット３００とシェルフ１１０との垂直距離を複数の地点で測定する。
本実施形態において、アーム部２３０は、ロボットアーム２３２とアームベース２３１とに分けられる。しかし、本発明は、これに限定されない。アーム部２３０は、アームベース２３１とロボットアーム２３２とを一体に構成することも可能である。
アーム部２３０をロボットアーム２３２とアームベース２３１とに分けずに一体に構成する場合、変位センサー３５０はアーム部２３０の一面に配置される。
制御部４００は、ＣＰＵを備えてセンサーユニット３００と無線通信してデータを処理するか、またはラックマスター２００の移動及び被積載物の積載を制御する。
図２を参照すれば、ストッカー１００は、複数のシェルフ１１０を備えているが、各シェルフ１１０は、水平方向に離隔した第１支持部１１１及び第２支持部１１２を備えている。センサーユニット３００の変位センサー３５０は、第１支持部１１１及び第２支持部１１２に対応して配置されている。
図３は、図１のセンサーユニットの構造を説明するための概略的な透明斜視図である。説明の便宜上、１つのシェルフ１１０、アームベース２３１、ロボットアーム２３２及びセンサーユニット３００を示した。
図３を参照すれば、シェルフ１１０は、第１支持部１１１及び第２支持部１１２を備えている。センサーユニット３００は、変位センサー３５０を備えているが、変位センサー３５０は第１センサー３５１と第２センサー３５２とを備えている。
第１センサー３５１は、第１支持部１１１に対応して配置されており、センサーユニット３００の対向面３０１の領域のうち、第１支持部１１１と重畳する領域に形成されている。第２センサー３５２は、第２支持部１１２に対応して配置されており、対向面３０１の領域のうち、第２支持部１１２と重畳する領域に形成されている。
説明の便宜上、第１センサー３５１を構成する各センサーは、アームベース２３１から遠ざかる方向に第１センサーＡ ３５１Ａ、第１センサーＢ ３５１Ｂ、第１センサーＣ ３５１Ｃ、第１センサーＤ ３５１Ｄ、第１センサーＥ ３５１Ｅと定義する。また、第２センサー３５２を構成する各センサーは、アームベース２３１から遠ざかる方向に第２センサーＡ ３５２Ａ、第２センサーＢ ３５２Ｂ、第２センサーＣ ３５２Ｃ、第２センサーＤ ３５２Ｄ、第２センサーＥ ３５２Ｅと定義する。
図４は、図１のセンサーユニット３００の構成を概略的に示した底面図である。すなわち、図３に示したセンサーユニット３００をロボットアーム２３２の方向から見た底面図である。図４を参照すれば、センサーユニット３００の形態は、四角形のリング状である。センサーユニット３００の一面、すなわち、測定しようとするシェルフ１１０と対向する面に第１センサー３５１及び第２センサー３５２が配置される。
図５は、図３に示すセンサーユニットを上部から見た透明平面図である。図５を参照すれば、ロボットアーム２３２がシェルフ１１０の上部に移動した状態で、第１センサーＡ ３５１Ａと第２センサーＡ ３５２Ａとは、第１支持部１１１及び第２支持部１１２を基準にして線対称になるように配置される。
同様に、第１センサーＢ ３５１Ｂと第２センサーＢ ３５２Ｂ、第１センサーＣ ３５１Ｃと第２センサーＣ ３５２Ｃ、第１センサーＤ ３５１Ｄと第２センサーＤ ３５２Ｄ、第１センサーＥ ３５１Ｅと第２センサーＥ ３５２Ｅとは、それぞれ第１支持部１１１及び第２支持部１１２を基準にして線対称になるように配置される。
センサーユニット３００に設置された変位センサー３５０は、シェルフ１１０の各地点を測定してシェルフ１１０の傾斜を測定できる。特に、センサーユニット３００は、複数の変位センサー３５０を備えて、シェルフ１１０の複数の地点で変位を測定してシェルフ１１０の平坦度を測定でき、さらに、変位センサー３５０のうち少なくとも二つのセンサーは、シェルフ１１０の領域を基準にして対称な位置に配置されるので、さらに精密な測定が可能である。
図６及び図７は、図３のセンサーユニットの右側面図及び左側面図である。図６及び図７は、センサーユニット３００に設置された変位センサー３５０がシェルフ１１０をセンシングする様子を概略的に示している。
図６は、図３の右側面図であって、第２支持部１１２の方向から見た側面図である。図６を参照すれば、第２センサー３５２は、センサーユニット３００と第２支持部１１２との間の距離を測定する。まず、第２センサーＡ ３５２Ａは、ロボットアーム２３２が第２支持部１１２の上部に移動した状態でセンサーユニット３００と第２支持部１１２との間の距離を測定する。
第２センサーＡ ３５２Ａは、レーザ変位センサーであるが、第２センサーＡ ３５２Ａがレーザ変位センサーである場合、レーザ照射部(図示せず)及び受光部(図示せず)を備えている。第２センサーＡ ３５２Ａは、レーザ照射部から照射したレーザがシェルフ１１０の第２支持部１１２の面で反射されて受光部に入射する距離Ａ２を測定する。
同様に、第２センサーＢ ３５２Ｂ、第２センサーＣ ３５２Ｃ、第２センサーＤ ３５２Ｄ、第２センサーＥ ３５２Ｅは、それぞれレーザ照射部から照射したレーザがシェルフ１１０の第２支持部１１２の面で反射されて受光部に入射する距離Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２及びＥ２を測定する。
図７は、図３の左側面図であって、第１支持部１１１の方向から見た側面図である。図７を参照すれば、第１センサー３５１は、センサーユニット３００と第１支持部１１１との間の距離を測定する。まず、第１センサーＡ ３５１Ａは、ロボットアーム２３２が第１支持部１１１の上部に移動した状態でセンサーユニット３００と第１支持部１１１との間の距離を測定する。
第１センサーＡ ３５１Ａは、レーザ変位センサーであるが、第１センサーＡ ３５１Ａがレーザ変位センサーである場合、レーザ照射部(図示せず)及び受光部(図示せず)を備えている。第１センサーＡ ３５１Ａは、レーザ照射部から照射したレーザがシェルフ１１０の第１支持部１１１の面で反射されて受光部に入射する距離Ａ１を測定する。
同様に、第１センサーＢ ３５１Ｂ、第１センサーＣ ３５１Ｃ、第１センサーＤ ３５１Ｄ、第１センサーＥ ３５１Ｅは、それぞれレーザ照射部から照射したレーザがシェルフ１１０の第１支持部１１１の面で反射されて受光部に入射する距離Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１及びＥ１を測定する。
このように測定した距離Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２及びＥ２を利用して、シェルフ１１０の傾斜を確認できる。具体的に、Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２及びＥ２の情報は、センサーユニット３００に設置された無線通信部(図示せず)を通じて制御部４００に伝達される。無線通信部は、制御部４００とセンサーユニット３００とを無線で通信可能にするように多様な形態の適用が可能であるが、例えば、無線通信部は赤外線通信部でありうる。
制御部４００は、このような距離情報を利用して、シェルフ１１０の平坦度を測定する。すなわち、センサーユニット３００の変位センサー３５０を利用して測定した距離は、センサーユニット３００とシェルフ１１０との距離に対応するが、これによってセンサーユニット３００とシェルフ１１０との間の相互位置関係が分かる。
ロボットアーム２３２及びセンサーユニット３００が平坦であると仮定する時、複数の地点で測定したセンサーユニット３００とシェルフ１１０との間の距離が同一であれば、シェルフ１１０は、傾いたり反ったりしておらず、平坦に形成されて正常状態といえる。
具体的に説明すれば、次の通りである。Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１が同じ値である場合、シェルフ１１０の第１支持部１１１は、傾かず、平坦であるといえる。また、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２、Ｅ２が同じ値である場合、シェルフ１１０の第２支持部１１２は、傾かず、平坦であるといえる。
また、Ａ１とＡ２とを比較して、第１支持部１１１と第２支持部１１２とが互いに並んで形成され、それぞれ傾斜していないことを確認できる。同様に、Ｂ１とＢ２、Ｃ１とＣ２、Ｄ１とＤ２、Ｅ１とＥ２とをそれぞれ比較して、第１支持部１１１と第２支持部１１２との配置状態を確認できる。最終的に、Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２及びＥ２が同じ値を有していれば、シェルフ１１０は平坦であるといえる。
図８及び図９は、本発明の他の実施形態に係るストッカーシステムに備えられるセンサーユニットを示した底面図である。
図８を参照すれば、センサーユニット６００は、四角形のプレート状である。変位センサー６５０は、シェルフと対応して配置される。図９を参照すれば、センサーユニット７００はＵ字状である。しかし、本発明は、これに限定されない。センサーユニットは、アーム部に積載され、シェルフに対応する面に変位センサーを備えることができれば、多様な形態に変形可能である。
図１０は、本発明の一実施形態に係るストッカー管理方法を概略的に示したフローチャートである。
本実施形態に係るストッカー管理方法は、アーム部上にセンサーユニットを積載するステップ(Ｓ１１)と、センサーユニットが積載されたアーム部をシェルフの上部に移動するステップ(Ｓ１２)と、センサーユニットの領域のうち、アーム部と接触せず、シェルフと対向する面に設置された複数の変位センサーを利用して、センサーユニットとシェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するステップ(Ｓ１３)と、変位センサーを通じて測定したセンサーユニットとシェルフとの間の相互位置関係を利用して、シェルフの平坦度を測定するステップ(Ｓ１４)とを含んでいる。
Ｓ１１において、センサーユニットをアーム部に積載する時、センサーユニットに設置された変位センサーをアーム部の側面に配置する。これにより、変位センサーはアーム部と接触しない。
Ｓ１２において、アーム部をシェルフの上部に移動する。アーム部上に積載されたセンサーユニットがシェルフと接触しないように、アーム部及びシェルフの高さを適切に調節する。また、センサーユニットの変位センサーがシェルフと対応するように、アーム部の前進距離を調整する。
Ｓ１３において、変位センサーを利用してセンサーユニットとシェルフとの間の距離を測定する。測定時には、精密な測定のために、センサーユニットがシェルフの上部に移動した状態で動かないように制御する。
Ｓ１４において、変位センサーが測定したデータを利用して、シェルフの平坦度を測定する。複数の変位センサーが測定したデータが同じ値または一定数値以下であれば、シェルフの平坦度は、正常であるといえる。しかし、変位センサーが測定したデータが同一ではなく、異なる値を示せば、シェルフの平坦度は異常である。このような場合にはシェルフを校正または交替する。
図１１は、本発明の他の実施形態に係るストッカー管理方法を概略的に示したフローチャートである。
本実施形態に係るストッカー管理方法は、アーム部上にセンサーユニットを積載するステップ(Ｓ２１)と、センサーユニットが積載されたアーム部をシェルフの上部に移動するステップ(Ｓ２２)と、センサーユニットの領域のうち、アーム部と接触せず、シェルフと対向する面に備えられた複数の変位センサーを利用して、センサーユニットとシェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するステップ(Ｓ２３)と、変位センサーを通じて測定したセンサーユニットとシェルフとの間の相互位置関係を利用して、シェルフの平坦度を測定するステップ(Ｓ２４)とを含んでいる。
まず、センサーユニットをアーム部上に積載する(Ｓ２１)。それから、ストッカーのシェルフのうち、測定していないシェルフがあるか否かを検査し、測定するシェルフが残っている場合には、Ｓ２２、Ｓ２３及びＳ２４を順次に反復してシェルフの平坦度を測定する。
このような順次的な工程は、ＣＰＵを備えた制御部を通じて行われる。
ストッカーのシェルフの平坦度をすべて測定した場合には、アーム部でセンサーユニットを降ろすステップ(Ｓ２５)を行い、作業を終了する。
このような処理を通じて、ストッカーのシェルフの平坦度を順次いずれのシェルフについても測定することができる。
図面に示した実施形態を参照して説明したが、これは例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これらに基づいて多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であることは分かるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されなければならない。
本発明は、ストッカーシステム関連の技術分野に好適に適用可能である。
１０００ ストッカーシステム
１００ ストッカー
１１０ シェルフ
１１１ 第１支持部
１１２ 第２支持部
２００ ラックマスター
２１０ 本体部
２３０ アーム部
２３１ アームベース
２３２ ロボットアーム
３００ センサーユニット
３０１ 対向面
３５０ センサー部
３５１ 第１センサー
３５２ 第２センサー
４００ 制御部

Claims (10)

  1. 被積載物を積載できるシェルフを備えたストッカーと、
    前記ストッカー側に前記被積載物を移動できるように、ボディー部と、前記ボディー部に連結されたアーム部とを備えたラックマスターと、
    前記アーム部上に積載できるように形成されたセンサーユニットとを備え、
    前記センサーユニットは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記シェルフと対向して前記アーム部と接触しない対向面を備え、前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するように前記対向面に複数の変位センサーが前記シェルフへの搬入・搬出方向に並んで配置され、
    前記変位センサーはレーザ照射部及び受光部を有するレーザ変位センサーであることを特徴とするストッカーシステム。
  2. 前記変位センサーは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記センサーユニットと前記シェルフとが重畳する領域に配置されるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のストッカーシステム。
  3. 前記シェルフは、水平方向に離隔した第１支持部及び第２支持部を備え、前記変位センサーは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記第１支持部及び前記第２支持部に対応して配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のストッカーシステム。
  4. 前記変位センサーは、前記第１支持部に対応して配置された複数の第１変位センサーと、前記第２支持部に対応して配置された複数の第２変位センサーとを備えていることを特徴とする請求項３に記載のストッカーシステム。
  5. 前記変位センサーが測定した前記シェルフと前記センサーユニットとの間の相互位置関係を利用して、前記シェルフの平坦度を測定する制御部をさらに備え、
    前記センサーユニットは、前記制御部と通信できる無線通信部を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のストッカーシステム。
  6. 被積載物を積載するためのシェルフを備えたストッカーと、前記ストッカー側に前記被積載物を移動できるように、ボディー部と前記ボディー部に連結されたアーム部とを備えたラックマスターと、前記アーム部に積載できるように形成されたセンサーユニットとを備えたストッカーシステムの管理方法であって、
    (ａ)前記アーム部上に前記センサーユニットを積載するステップと、
    (ｂ)前記センサーユニットが積載された前記アーム部を前記シェルフの上部に移動するステップと、
    (ｃ)前記センサーユニットの領域のうち、前記アーム部と接触せず、前記シェルフと対向する領域に設置された複数の変位センサーを利用して、前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するステップと、
    (ｄ)前記変位センサーを通じて測定した前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を利用して、前記シェルフの平坦度を測定するステップとを含み、
    前記変位センサーはレーザ照射部及び受光部を有するレーザ変位センサーであり、
    前記センサーユニットは、前記アーム部上に前記センサーユニットが積載された状態で、前記アーム部が前記シェルフの上部に移動した時、前記シェルフと対向して前記アーム部と接触しない対向面を備え、前記センサーユニットと前記シェルフとの間の相互位置関係を複数の地点で測定するように前記対向面に複数の変位センサーが前記シェルフへの搬入・搬出方向に並んで配置されることを特徴とするストッカー管理方法。
  7. 前記(ｂ)ステップで、前記変位センサーは、前記センサーユニットと前記シェルフとが重畳する領域に配置されることを特徴とする請求項６に記載のストッカー管理方法。
  8. 前記シェルフは、水平方向に離隔した第１支持部及び第２支持部を備え、前記(ｂ)ステップで、前記変位センサーは、前記第１支持部及び前記第２支持部に対応して配置されることを特徴とする請求項６または請求項７に記載のストッカー管理方法。
  9. 前記変位センサーは、前記第１支持部に対応して配置された複数の第１変位センサーと、前記第２支持部に対応して配置された複数の第２変位センサーとを備えていることを特徴とする請求項８に記載のストッカー管理方法。
  10. 前記ストッカーは、複数の被積載物をそれぞれ積載できる複数のシェルフを備え、各シェルフに前記(ｂ)ステップ、前記(ｃ)ステップ及び前記(ｄ)ステップを順次に行って、前記各シェルフの平坦度を測定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれか１項に記載のストッカー管理方法。
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