KR20190009371A - 반송 시스템 - Google Patents

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요이치 모토오리
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수 있는 반송 시스템을 제공한다.
본 발명의 반송 시스템(1A)은, 제1 궤도(11)를 주행하며, 처리장치(2)의 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받을 수 있는 천정 반송차(12)와, 물품을 수납하는 복수의 선반(41, 42)이 연직 방향으로 배열된 수납 선반(13)과, 제1 궤도와 평행한 제2 궤도(14)를 주행하며, 로드 포트, 및 수납 선반의 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 크레인(15)과, 로드 포트와 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 크레인이 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 제1 버퍼(16)를 구비한다.

Description

반송 시스템
[0001] 본 발명은, 반송 시스템에 관한 것이다.
[0002] 반송 시스템은, 예컨대, 반도체 디바이스의 제조공장 등에 있어서, 반도체 웨이퍼 혹은 레티클을 수용한 물품을 반송하는 데에 이용된다(예컨대, 하기의 특허문헌 1 참조). 이 반송 시스템은, 물품을 반송하는 천정 반송차, 및 물품을 수납 선반과 주고 받는 스태커 크레인(stacker crane)을 구비한다. 천정 반송차는, 예컨대, 반도체 제조장치 등의 처리장치의 로드 포트(load port)에 물품을 반입한다. 수납 선반은, 반도체 제조장치 등의 처리장치의 근방에 배치되어 있으며, 로드 포트에 이미 물품이 있는 경우, 천정 반송차는, 예컨대, 수납 선반의 최상단(最上段)의 선반에 물품을 반입한다. 스태커 크레인은, 예컨대, 수납 선반의 최상단의 선반에 반입된 물품을 다른 선반에 수납하거나, 혹은 수납 선반과 로드 포트간에 물품을 이재(移載)한다.
[0003] 국제 공개 제2013/150859호
[0004] 상술한 바와 같은 반송 시스템은, 로드 포트와 물품을 주고받는 데에 소요되는 시간이 긴 경우, 처리장치의 가동률(稼動率)의 저하를 초래한다. 예컨대, 처리장치는, 반출 대기 물품으로 로드 포트가 가득 차 있으면 새로운 물품을 로드 포트에 반입할 수 없어, 가동률이 저하된다. 또, 처리장치는, 다음의 처리로 옮길 때에 로드 포트에 물품이 없는 경우, 로드 포트에 물품이 옮겨질 때까지 대기함에 따라 가동률이 저하된다.
[0005] 본 발명은, 상술한 사정을 감안하여, 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 반송 시스템은, 제1 궤도를 주행하고, 처리장치의 로드 포트와 물품을 주고 받을 수 있는 천정 반송차와, 물품을 수납하는 복수의 선반이 연직(鉛直) 방향으로 배열된 수납 선반과, 제1 궤도와 평행한 제2 궤도를 주행하며, 로드 포트, 및 수납 선반의 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 크레인과, 로드 포트와 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 크레인이 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 제1 버퍼를 구비한다.
[0007] 또, 천정 반송차는, 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출(橫出) 기구를 구비하며, 제1 버퍼는, 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되어도 된다. 또, 제1 버퍼는, 로드 포트와 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되어도 된다. 또, 제1 버퍼에 인접하여, 크레인이 물품을 주고 받을 수 있는 제2 버퍼를 구비하여도 된다. 또, 천정 반송차는, 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비하며, 제2 버퍼는, 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되어도 된다. 또, 수납 선반은, 처리장치에 인접하여 배치되며, 천정 반송차는, 수납 선반의 복수의 선반 중 최상단의 선반과 물품을 주고 받을 수 있어도 된다. 또, 제1 궤도는, 로드 포트의 바로 위에 설치되어도 된다.
[0008] 본 발명에 있어서, 제1 버퍼는, 로드 포트와 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 크레인이 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치된다. 따라서, 크레인은, 주행 정지한 상태에서, 제1 버퍼와 로드 포트간에 물품을 이재할 수 있다. 따라서, 반송 시스템은, 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다.
[0009] 또, 천정 반송차는, 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비하며, 제1 버퍼는, 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 경우, 천정 반송차가 제1 버퍼와 로드 포트간에 물품을 이재할 수 있으며, 예컨대 크레인이 사용 중이어도, 천정 반송차에 의해 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다. 또, 제1 버퍼는, 로드 포트와 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 경우, 천정 반송차가 주행 정지한 상태에서, 제1 버퍼와 로드 포트간에 물품을 이재할 수 있으므로, 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다. 또, 제1 버퍼에 인접하여, 크레인이 물품을 주고 받을 수 있는 제2 버퍼를 구비하는 경우, 처리장치와 주고 받게 되는 물품의 보관 가능한 수를 늘릴 수가 있다. 또, 제2 버퍼가 제1 버퍼와 인접하고 있으므로, 크레인은, 로드 포트와 제2 버퍼간에 물품을 신속하게 이재할 수 있어, 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다. 또, 천정 반송차는, 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비하고, 제2 버퍼는, 천정 반송차가 횡출 기구를 이용해 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 경우, 천정 반송차가 제2 버퍼와 로드 포트간에 물품을 이재할 수 있어, 예컨대 크레인이 사용 중이어도, 천정 반송차에 의해 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다. 또, 수납 선반은, 처리장치에 인접하여 배치되고, 천정 반송차는, 수납 선반의 복수의 선반 중 최상단의 선반과 물품을 주고 받을 수 있는 경우, 처리장치와 주고 받게 되는 물품의 보관 가능한 수를 늘릴 수가 있다. 또, 제1 궤도는, 로드 포트의 바로 위(直上)에 설치되는 경우, 천정 반송차는, 로드 포트의 바로 위로부터 물품을 승강시킴으로써 물품을 주고 받을 수 있으므로, 처리장치와의 사이에서 물품을 신속하게 주고 받을 수가 있다.
[0010] 도 1은 제1 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2는 물품 및 천정 반송차를 나타낸 도면이다.
도 3은 천정 반송차의 횡출 기구의 설명도이다.
도 4는 수납 선반을 나타내는 사시도이다.
도 5는 제1 버퍼 및 제2 버퍼를 나타낸 도면이다.
도 6은 이재부의 동작 및 제1 버퍼가 배치되는 범위를 나타낸 도면이다.
도 7은 제2 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다.
도 8은 제3 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다.
[0011] 이하, 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용해 도면 내의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는, 연직 방향을 Z방향으로 하고, 수평 방향을 X방향, Y방향으로 한다. 또, X, Y, Z의 각 방향에 있어서, 적절히, 화살표 측을 ＋측(예, ＋X측)이라 칭하고, 그 반대측을 －측(예,－Y측)이라 칭한다.
[0012] ［제1 실시형태］
제1 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은, 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다. 도 1의 (A)는, ＋Z측에서 본 상면도이고, 도 1의 (B)는 －Y측에서 본 측면도이다. 반송 시스템(1A)은, 예컨대, 반도체 디바이스의 제조 공장에 설치되며, 처리장치(2)와 물품을 보관하는 스토커(stocker, 도시생략)의 사이, 혹은 처리장치(2)와 다른 처리장치의 사이 등에서 물품(3)(이후에 도 2에도 나타냄)을 반송한다. 처리장치(2)는, 예컨대, 노광장치, 코터/디벨로퍼(Coater/Developer), 제막(製膜)장치, 혹은 에칭장치 등이다. 처리장치(2)는, 예컨대 인터베이(inter-bay) 등에 복수로 배열된다.
[0013] 물품(3)은, 예컨대, 반도체 디바이스의 제조에 이용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 혹은 레티클 등의 가공용 부재를 수용한 레티클 포드 등의 용기 등이다. 처리장치(2)는, 물품(3)이 배치되는 로드 포트(4)를 구비한다. 로드 포트(4)(＋Y측의 처리장치(2)를 참조)에 배치 가능한 물품(3)의 수는 예컨대 2개이며, 그 하나(실선으로 나타냄)는, 처리장치(2)에 반입되는 물품(3)이고, 또 하나(점선으로 나타냄)는, 처리장치(2)로부터 반출되는 물품(3)이다. 또한, 로드 포트(4)에 배치 가능한 물품(3)의 수는, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.
[0014] 반송 시스템(1A)은, 제1 궤도(11)와, 천정 반송차(12)와, 수납 선반(13)과, 제2 궤도(14)와, 크레인(15)과, 제1 버퍼(16)와, 제2 버퍼(17)를 구비한다. 제1 궤도(11)는, 클린 룸(clean room) 등의 설비의 천정(18)(도 1의 (B) 참조) 등에 설치된다. 제1 궤도(11)는, 예컨대 복수의 처리장치(2)가 나란한 방향을 따라 설치되며, Y방향으로 연장되어 있다. 천정 반송차(12)는, 제1 궤도(11)를 주행하며, 처리장치(2)의 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받을 수 있다.
[0015] 본 실시형태에 있어서, 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)의 바로 위에 설치된다. 즉, 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)의 바로 위를 지나도록 부설(敷設)되어 있다. 천정 반송차(12)는, 물품(3)을 로드 포트(4)에 건네줄 때에, 물품(3)을 유지하며 로드 포트(4)의 바로 위에서 주행 정지하고, 로드 포트(4)에 물품(3)을 강하(降下)시킨다. 또, 천정 반송차(12)는, 로드 포트(4)로부터 물품(3)을 받을 때에, 로드 포트(4)의 바로 위에서 주행 정지하고, 로드 포트(4)로부터 물품(3)을 상승시킨다.
[0016] 도 2는, 물품 및 천정 반송차를 나타낸 도면이다. 물품(3)은, 반송 대상인 반도체 웨이퍼 등을 수용하는 본체부(21)와, 본체부(21)의 상방(＋Z측)에 설치되고, 반송 시스템(1A)에 의한 물품(3)의 유지에 이용되는 접속부(여기에서는, 플랜지부(22)로 한다)를 갖는다. 천정 반송차(12)는, 물품(3)의 플랜지부(22)를 파지(把持)함으로써, 물품(3)을 유지한다. 플랜지부(22)는, 본체부(21)로부터 상방(＋Z측)으로 연장된 기둥 형상부(24)와, 기둥 형상부(24)의 선단측에 설치된 판 형상부(25)를 갖는다. 판 형상부(25)는, 예컨대, 직사각형 판 형상이지만, 원판 형상이어도 된다. 판 형상부(25)는, 기둥 형상부(24)보다 외측으로 돌출되어 있다.
[0017] 천정 반송차(12)는, OHT(Overhead Hoist Transport), 혹은 OHV(Overhead Hoist Vehicle) 등으로 불린다. 천정 반송차(12)는, 주행 구동부(26)와, 승강 구동부(27)와, 횡출 기구(28)와, 제어부(29)를 구비한다. 승강 구동부(27)는, 물품(3)을 연직 방향(Z방향)으로 승강시킨다. 주행 구동부(26)는, 승강 구동부(27)를 유지하며, 제1 궤도(11)를 따라 수평 방향으로 이동 가능하다. 횡출 기구(28)는, 승강 구동부(27)를 제1 궤도(11)에 대한 측방(X방향)으로 이동시킬 수 있다. 제어부(29)는, 천정 반송차(12)의 각 부를 제어한다.
[0018] 천정 반송차(12)는, 주행 구동부(26)의 구동력에 의해 제1 궤도(11)를 따라 주행한다. 천정 반송차(12)는, 물품(3)의 측방에 배치되는 커버(30)를 구비한다. 커버(30)는, 천정 반송차(12)에 있어서 물품(3)이 유지되는 위치에 대하여, 천정 반송차(12)의 주행 방향(도 2에서는 －Y측, ＋Y측)으로 설치된다. 커버(30)의 사이는, 천정 반송차(12)의 주행 중에 물품(3)이 유지(수용)되는 수용 스페이스(SP)이다. 주행 구동부(26)는, 전동 모터, 감속기, 구동 휠, 엔코더 등을 갖는다. 구동 휠은, 제1 궤도(11)에 접하도록 배치되고, 감속기를 통해 전동 모터의 출력축에 접속된다. 전동 모터의 출력축의 회전이 감속기를 통해 구동 휠에 전해지며, 구동 휠의 회전에 의해 천정 반송차(12)가 주행한다. 엔코더는, 전동 모터의 출력축의 회전 수 등을 검출하며, 그 검출 결과를 제어부(29)에 출력한다. 제어부(29)는, 엔코더의 검출 결과에 근거하여 전동 모터의 회전을 제어하고, 천정 반송차(12)의 속도 혹은 정지 위치의 제어를 행한다. 또한, 천정 반송차(12)의 정지 위치의 설정은, 제1 궤도(11)를 따라 미리 설치된 지표판 등을 식별함으로써 행해도 된다.
[0019] 승강 구동부(27)는, 횡출 기구(28)를 통해 주행 구동부(26)에 지지된다. 승강 구동부(27)는, 물품(3)을 유지하는 유지부(23)와, 유지부(23)를 연직 방향으로 이동시키는 구동부(31)를 구비한다. 유지부(23)는, 물품(3)의 플랜지부(22)를 파지함으로써, 물품(3)을 매달아 유지한다. 유지부(23)는, 예컨대, 수평 방향으로 이동 가능한 클로(claw)부(32)를 갖는 척(chuk)이며, 클로부(32)를 플랜지부(22)의 판 형상부(25)의 아래에 삽입함으로써, 물품(3)을 유지한다. 유지부(23)는, 와이어 혹은 벨트 등의 서스펜딩(suspending) 부재(33)(도 3 참조)와 접속되어 있다. 구동부(31)는, 예컨대 호이스트이며, 서스펜딩 부재(33)를 풀어냄으로써 유지부(23)를 강하시키고, 서스펜딩 부재(33)를 감음으로써 유지부(23)를 상승시킨다. 제어부(29)는, 승강 구동부(27)를 제어하여, 소정의 속도로 유지부(23)를 강하 혹은 상승시킨다. 또, 제어부(29)는, 승강 구동부(27)를 제어하여, 유지부(23)를 목표의 높이로 유지시킨다.
[0020] 횡출 기구(28)는, 주행 구동부(26)의 하방에 있어서, 커버(30)의 사이에 배치되어 있다. 횡출 기구(28)는, 지지축(34)을 통해, 주행 구동부(26)와 접속되어 있다. 지지축(34)은, 주행 구동부(26)로부터 하방으로 연장되어 있으며, 주행 구동부(26)는, 지지축(34)의 하부에 부착되어 있다. 횡출 기구(28)는, 고정부(35) 및 가동부(상판(36), 하판(37))를 구비한다. 고정부(35)는, 지지축(34)에 지지되어 있으며, 주행 구동부(26)에 대해 고정되어 있다. 상판(36)은, 고정부(35)의 하방에 배치되어 있으며, 도 2에서는 고정부(35)와 포개어져 있다. 상판(36)은, X방향과 평행한 가이드를 따라서, 고정부(35)에 대해 X방향으로 이동할 수 있다(도 3 참조). 상판(36)은, 구동부로부터 공급되는 구동력에 의해 이동한다. 하판(37)은, 상판(36)의 하방에 배치되어 있으며, 도 2에서는 상판(36)과 포개어져 있다. 하판(37)은, X방향과 평행한 가이드를 따라서, 상판(36)에 대해 X방향으로 이동할 수 있다(도 3 참조). 하판(37)은, 구동부로부터 공급되는 구동력에 의해 이동한다.
[0021] 횡출 기구(28)는, 예컨대, 상판(36)의 구동부와 하판(37)의 구동부가 개별 설치되며, 상판(36)과 하판(37)이 독립하여 X방향으로 이동할 수 있다. 예컨대, 횡출 기구(28)는, 상판(36)과 하판(37) 중의 일방(一方)만을 X방향으로 이동시킬 수도 있고, 상판(36) 및 하판(37)의 쌍방(雙方)을 X방향으로 이동시킬 수도 있으며, 가동부의 스트로크(stroke; X방향의 이동량)가 가변적이다.
[0022] 또한, 횡출 기구(28)는, 상판(36)과 하판(37)간에 구동부가 공통되어도 되며, 링크 기구 등에 의해 병행(竝行)하여 X방향으로 이동 가능해도 된다. 또, 상술한 횡출 기구(28)의 구성은, 일례이며, 적절히 변경 가능하다. 예컨대, 가동부는, 상판(36)만이어도 되고, X방향으로 움직일 수 있는 부재를 3개 이상 구비하여도 된다. 또, 천정 반송차(12)는, 횡출 기구(28)를 구비하지 않아도 된다. 또, 천정 반송차(12)는, 승강 구동부(27)를 Z방향과 평행한 축 둘레로 회전시키는 회동부(도시 생략)를 구비하여도 된다. 이 회동부는, 승강 구동부(27)를 회전시킴으로써, 유지부(23)에 유지된 물품(3)의 방향을 조정한다.
[0023] 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)에 의해 물품(3)을 건네주는 경우, 도 3에 나타낸 바와 같이, 횡출 기구(28)의 구동부는, 상판(36)을 고정부(35)에 대해서 ＋X측으로 이동시키고, 하판(37)을 상판(36)에 대해서 ＋X측으로 이동시킴으로써, 하판(37)에 지지된 승강 구동부(27)를 목적 위치로 이동시킨다. 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 하방으로 풀어냄으로써 유지부(23)를 강하시켜, 물품(3)을 목적 위치에 재치(載置)한다.
[0024] 또, 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)에 의해 물품(3)을 받는 경우, 횡출 기구(28)가 승강 구동부(27)를 ＋X측으로 이동시킨 상태에서, 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 하방으로 풀어냄으로써 유지부(23)를 강하시켜, 유지부(23)에 의해 물품(3)의 플랜지부(22)를 파지한다. 또, 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 감음으로써 물품(3)을 소정의 높이까지 상승시킨다. 횡출 기구(28)의 구동부는, 물품(3)이 소정의 높이까지 상승한 상태에서, 상판(36)을 고정부(35)에 대해 －X측으로 이동시키고, 하판(37)을 상판(36)에 대해 －X측으로 이동시킨다. 이로써, 횡출 기구(28)는, 하판(37)에 지지된 승강 구동부(27)를 목적 위치로 이동시켜, 승강 구동부(27)의 유지부(23)에 유지된 물품(3)을, 커버(30) 사이의 수용 스페이스(SP)에 수용한다.
[0025] 다음으로, 도 1 및 도 4를 참조하여 수납 선반(13)을 설명한다. 도 4는, 수납 선반을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(13)은, 로드 포트(4)와의 사이에 틈새를 가지거나, 또는 로드 포트(4)와 접촉하여, 로드 포트(4)에 인접해 배치되어 있다. 수납 선반(13)은, 로드 포트(4)에 대해 －Y측과 ＋Y측 중의 적어도 일방에 설치되며, 예컨대 로드 포트(4)의 사이에 배치된다. 도 4에서는, 로드 포트(4)에 인접하여 2개의 수납 선반(13)이 설치되어 있지만, 수납 선반(13)의 수는, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다. 또, 수납 선반(13)은, 복수의 로드 포트(4) 중의 적어도 1개에 병설(倂設)되어 있으면 되며, 수납 선반(13)이 병설되어 있지 않은 로드 포트(4)가 있어도 된다.
[0026] 수납 선반(13)은, 복수의 선반(41, 42)을 구비한다(도 4 참조). 선반(41, 42)은, 연직 방향(Z방향)으로 배열되어 있다. 선반(41)은, 수납 선반(13) 중 최상단의 선반이며, 선반(42)은, 선반(41)보다 하방(－Z측)의 선반이다. 최상단의 선반(41)은, 수납 선반(13)의 천판(天板)부이며, 상방으로 개방되어 있다. 최상단의 선반(41)은 제1 궤도(11)의 바로 아래(直下)에 설치되어 있으며, 천정 반송차(12)는, 처리장치(2)의 로드 포트(4)와 마찬가지로, 최상단의 선반(41)과 물품(3)을 주고 받을 수 있다. 최상단의 선반(41)은, 천정 반송차(12)가 반송하는 물품(3)을 일시적으로 보관하는 버퍼(예, UTB；언더 트랙 버퍼)로서 이용 가능하다. 수납 선반(13)이 구비하는 선반의 수는, 2 이상의 임의의 수이다. 예컨대, 도 4에 있어서, 수납 선반(13)이 구비하는 선반의 수는, 최상단의 선반(41)이 1개, 선반(42)이 4개로 합계 5개이지만, 최상단의 선반(41)이 1개, 선반(42)이 1개인 합계 2개여도 되고, 선반(42)의 수가 2 이상이어도 된다.
[0027] 또한, 수납 선반(13)은, 그 천판부를 선반(41)으로서 이용하지 않아도 되고, 이 경우, 선반(42)의 수는 2 이상으로 설정된다. 또, 반송 시스템(1A)은, 수납 선반(13)의 상방에 UTB(언더 트랙 버퍼)를 구비하여도 된다. 도 4에 있어서, 선반(41, 42)은, 각각, Y방향으로 3개의 물품(3)을 나란히 재치할 수 있지만, 1개의 선반에 재치할 수 있는 물품(3)의 수는, 1개여도 되고, 2 이상의 임의의 수여도 된다.
[0028] 다음으로, 도 1을 참조하여, 제2 궤도(14) 및 크레인(15)에 대해 설명한다. 제2 궤도(14)는, 그 적어도 일부가 제1 궤도(11)와 거의 평행하게 설치된다. 예컨대, 제2 궤도(14)는, 로드 포트(4) 및 수납 선반(13)을 따라 부설된 부분이 제1 궤도(11)와 거의 평행하며, 그 밖의 부분이 제1 궤도(11)와 평행이 아니어도 된다. 예컨대, 제2 궤도(14)는, 트랙 형상(타원 형상)의 주회(周回) 궤도여도 되고, 그 직선부가 제1 궤도(11)와 거의 평행이어도 된다. 제2 궤도(14)는, 도 1의 (B)에 있어서 바닥면(43)에 부설되어 있지만, 천정(18)에 부설되어도 된다.
[0029] 크레인(15)은, 제2 궤도(14)를 주행하며, 로드 포트(4), 및 수납 선반(13)의 각각과 물품(3)을 주고 받을 수 있다. 크레인(15)은, X방향, Y방향, 및 Z방향의 각 방향으로 물품(3)을 반송할 수 있다. 도 1의 (B)에 나타낸 바와 같이, 크레인(15)은, 주행 대차(台車)(45)와, 지지 기둥(46)과, 승강부(47)와, 이재부(48)와, 제어부(49)를 구비한다.
[0030] 주행 대차(45)는, 예컨대 복수의 차륜(車輪)(도시 생략)을 가지며, 제2 궤도(14)를 따라 수평 방향(Y방향)으로 이동한다. 지지 기둥(46)은, 마스트(mast) 등이며, 주행 대차(45)의 상면으로부터 연직 방향(Z방향)으로 연장되어 있다. 지지 기둥(46)은, 주행 대차(45)에 고정되어 있으며, 주행 대차(45)에 지지된다. 지지 기둥(46)은, 천정(18)에 설치된 가이드(50)에도 지지되어 있으며, 주행 대차(45)와 함께 Y방향으로 이동한다. 승강부(47)는, 지지 기둥(46)에 지지되며, 지지 기둥(46)을 따라 Z방향으로 슬라이드 가능하다. 이재부(48)(도 1의 (A) 참조)는, 예컨대, 다관절의 아암부(51)와, 아암부(51)의 선단측에 설치된 유지부(52)를 구비한다.
[0031] 이재부(48)는, 아암부(51)를 관절로 꺾어 구부림으로써, 유지부(52)를 수평 방향(X방향 및 Y방향)으로 이동시킬 수 있다. 이재부(48)는, 물품(3)의 플랜지부(22)(도 2 참조)를 유지부(52)에 의해 유지한다. 유지부(52)는, 예컨대 U자 형상이며, 이재부(48)는, 플랜지부(22)의 판 형상부(25) 아래에 유지부(52)를 삽입함으로써, 물품(3)을 유지한다. 또, 이재부(48)는, 유지부(52)에 의해 물품(3)을 유지한 상태에서 승강부(47)가 승강함에 따라, 물품(3)을 승강시킨다. 또, 이재부(48)는, 유지부(23)에 의해 물품(3)을 유지한 상태에서, 아암부(51)를 관절로 꺾어 구부림으로써, 물품(3)을 유지부(52)의 가동(可動) 범위 내에서 X방향으로 이동시킨다. 또한, 상술한 이재부(48)는 일례이며, 그 밖의 구성이어도 된다. 또, 크레인(15)은, 유지부(52)가 물품(3)을 유지한 상태에서, 주행 대차(45)가 Y방향으로 주행함에 따라, 물품(3)을 Y방향으로 이동시킨다. 또한, 이재부(48)는, 물품(3)의 바닥면을 지지하여 물품(3)을 반송하는 구성이 채용되어도 되고, 물품(3)을 측면에서 파지하여 반송하는 구성이 채용되어도 된다.
[0032] 크레인(15)은, 로드 포트(4)로부터 물품(3)을 받아, 이 물품(3)을 수납 선반(13)의 선반(41) 혹은 선반(42)에 건네줄 수 있다. 또, 크레인(15)은, 수납 선반(13)의 선반(41) 혹은 선반(42)으로부터 물품(3)을 받아, 이 물품(3)을 로드 포트(4)에 건네줄 수 있다. 또, 크레인(15)은, 수납 선반(13)의 하나의 선반(예, 최상단의 선반(41))으로부터 다른 선반(예, 하방의 선반(42))으로 물품(3)을 이재할 수도 있다. 제어부(49)는, 크레인(15)의 각 부를 제어한다. 제어부(49)는, 주행 대차(45)를 제어하여, 주행 대차를 주행 혹은 주행 정지시킨다. 또, 제어부(49)는, 승강부(47) 및 이재부(48)를 제어하여, 유지부(52)를 목표 위치로 이동킴으로써, 유지부(52)에 의해 물품(3)을 유지시키는 작업, 유지부(52)에 유지된 물품(3)을 소정의 위치에 재치시키는 작업 등을 행한다.
[0033] 다음으로, 도 1, 도 5를 참조하여, 제1 버퍼(16) 및 제2 버퍼(17)에 대해 설명한다. 도 5는, 제1 버퍼(16) 및 제2 버퍼(17)를 나타내는 개념도이다. 제1 버퍼(16)는, 예컨대 STB(사이드 트랙 버퍼)이며, 도 1의 (A)에 나타낸 바와 같이, 제1 궤도(11)의 측방(＋X측)에 설치된다. 제1 버퍼(16)는, 예컨대 로드 포트(4)로의 반입을 대기하는 물품(3), 혹은 천정 반송차(12)에 의한 반송 개시를 대기하는 물품(3)을 일시적으로 보관하는 데에 이용된다. 제1 버퍼(16)는, 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)(도 3 참조)를 이용해 물품(3)을 주고 받을 수 있는 위치에 배치된다.
[0034] 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 버퍼(16)는, 지지부(55) 및 재치부(56)를 구비한다. 지지부(55)는, 예컨대, 천정(18)에 고정되어, 천정(18)으로부터 하방으로 연장되어 있다. 지지부(55)는, 예컨대 측판 형상이지만, 기둥 형상 등의 다른 형상이어도 된다. 재치부(56)는, 지지부(55)의 하단 측에 고정되며, 물품(3)은, 재치부(56)의 상면에 재치된다. 재치부(56)는, 천정 반송차(12)가 수용 스페이스(SP) 내에 물품(3)을 유지하는 위치보다 하방에 배치된다(도 1의 (B) 참조). 제2 버퍼(17)는, 제1 버퍼(16)와 동일한 구성이며, 제1 버퍼(16)에 인접하여 설치된다. 제2 버퍼(17)는, 크레인(15)이 물품(3)을 주고 받을 수 있는 위치에 배치된다. 또, 제2 버퍼(17)는, 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)를 이용해 물품(3)을 주고 받을 수 있는 위치에 배치된다. 또한, 반송 시스템(1A)은, 제2 버퍼(17)를 구비하지 않아도 된다.
[0035] 천정 반송차(12)는, 횡출 기구(28)(도 3 참조)에 의해 물품(3)을 제1 버퍼(16)에 건네주는 경우, 횡출 기구(28)에 의해 승강 구동부(27)를 ＋X측으로 이동시켜, 승강 구동부(27)를 제1 버퍼(16)의 바로 위에 배치한다. 이 상태에서, 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 하방으로 풀어냄으로써 물품(3)을 강하시키고, 물품(3)을 재치부(56)에 재치한다. 또, 천정 반송차(12)는, 횡출 기구(28)(도 3 참조)에 의해 제1 버퍼(16)로부터 물품(3)을 받는 경우, 횡출 기구(28)에 의해 승강 구동부(27)를 ＋X측으로 이동시켜, 승강 구동부(27)를 제1 버퍼(16)의 바로 위에 배치한다. 이 상태에서, 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 하방으로 풀어냄으로써 유지부(23)를 강하시켜, 유지부(23)에 의해 물품(3)의 플랜지부(22)를 파지한다. 또, 승강 구동부(27)는, 서스펜딩 부재(33)를 감음으로써 물품(3)을 소정의 높이까지 상승시킨다. 횡출 기구(28)는, 물품(3)이 소정의 높이까지 상승한 상태에서 승강 구동부(27)를 －X측으로 이동시켜, 물품(3)을 커버(30) 사이의 수용 스페이스(SP)에 수용한다.
[0036] 또, 천정 반송차(12)는, 주행 정지한 상태에서, 로드 포트(4)와 제1 버퍼(16)간에 물품(3)을 이재할 수도 있다. 천정 반송차(12)는, 제어부(29)에 의해 제어되어, 로드 포트(4)의 바로 위에서 주행 정지한 후, 횡출 기구(28)를 이용해, 제1 버퍼(16)에 재치되어 있는 물품(3)을 수용 스페이스(SP)에 수용한다. 그리고, 천정 반송차(12)는, 제어부(29)에 의해 제어되어, 수용 스페이스(SP)로부터 물품(3)을 바로 밑에 매닮으로써, 이 물품(3)을 로드 포트(4)에 재치한다. 천정 반송차(12)는, 마찬가지로 하여, 로드 포트(4)로부터 수용 스페이스(SP)로 물품(3)을 매달아 올린 후, 이 물품(3)을 횡출 기구(28)를 이용해 제1 버퍼(16)에 재치할 수도 있다.
[0037] 또, 제1 버퍼(16)는, 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 크레인(15)이 물품(3)을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되어 있다. 도 5의 부호 P1은, 크레인(15)이 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받을 때의 크레인(15)의 주행 정지 위치이다. 제1 버퍼(16)는, 위치(P1)에서 주행 정지한 크레인(15)이 물품(3)을 주고 받을 수 있는 위치에 배치된다. 즉, 크레인(15)은, 위치(P1)에서 주행 정지한 상태에서, 로드 포트(4)로부터 물품(3)을 받는 작업, 로드 포트(4)에 물품(3)을 건네주는 작업, 제1 버퍼(16)로부터 물품(3)을 받는 작업, 및 제1 버퍼(16)에 물품(3)을 건네주는 작업 중의 어느 것을 행할 수도 있다.
[0038] 크레인(15)은, 예컨대, 로드 포트(4)에 물품(3)이 재치된 상태에서, 천정 반송차(12)가 로드 포트(4)로 물품(3)을 반입하는 스페이스를 비우기 위하여, 위치(P1)에서 주행 정지한 상태에서 로드 포트(4)로부터 제1 버퍼(16)로 물품(3)을 이재한다. 이 때에, 제어부(49)는, 주행 대차(45)를 제어하여, 주행 대차(45)를 위치(P1)에서 주행 정지시킨다. 또, 제어부(49)는, 주행 대차(45)가 위치(P1)에서 주행 정지한 상태에서, 승강부(47) 및 이재부(48)를 제어하여, 로드 포트(4)에 재치된 물품(3)의 위치로 유지부(52)를 이동시키고, 물품(3)을 유지부(52)에 의해 유지시킨다. 또, 제어부(49)는, 승강부(47) 및 이재부(48)를 제어하여, 물품(3)을 들어 올리면서 수평 방향으로 이동시켜, 물품(3)을 승강부(47)의 상방에서 유지한다. 또, 제어부(49)는, 승강부(47)에 의해 물품(3)을 제1 버퍼(16)의 높이까지 상승시킨 후, 승강부(47) 및 이재부(48)를 제어하여, 물품(3)을 제1 버퍼(16)의 재치부(56)에 재치시킨다.
[0039] 또, 크레인(15)은, 예컨대, 로드 포트(4)에 물품(3)이 재치되어 있지 않은 상태에서, 처리장치(2)가 처리할 물품(3)을 공급하기 위하여, 제1 버퍼(16)로부터 로드 포트(4)로 물품(3)을 이재한다. 제어부(49)는, 예컨대, 로드 포트(4)로부터 제1 버퍼(16)로 물품(3)을 이재할 때와 반대의 순서로 크레인(15)의 각 부를 동작시킴으로써, 제1 버퍼(16)로부터 로드 포트(4)로 물품(3)을 이재시킨다. 이와 같이, 크레인(15)은, 주행 대차(45)를 주행시키지 않아도, 로드 포트(4)로부터 제1 버퍼(16)로 물품(3)을 이재할 수가 있다. 이 때문에, 반송 시스템(1A)은, 물품(3)을 이재함에 있어서 주행 대차(45)를 이동시키는 데에 소요되는 시간을 절약할 수 있어, 물품(3)을 신속하게 주고 받을 수가 있다.
[0040] 도 6은, 이재부(48)의 동작 및 제1 버퍼(16)의 위치를 나타낸 도면이다. 이재부(48)에 있어서, 아암부(51)는, 링크 기구 등에 의해 꺾여 구부러짐으로써, 유지부(52)를 제2 궤도(14)에 수직인 방향(X방향)으로 이동시켜, 유지부(52)를 로드 포트(4)에 대해서 진퇴시킬 수가 있다. 이하, 이재부(48)가 용기(3)를 이재할 때에, 이재 전의 위치(source)와 이재 후의 위치(destination)를 잇는 방향을, 이재 방향이라고 칭한다. 도 6에 있어서, 이재 방향은, 제2 궤도(14)와 거의 수직인 방향(X방향)이다.
[0041] 도 6의 (A)는, 아암부(51)가 신장하여 유지부(52)가 로드 포트(4) 상에 진출한 상태이며, 유지부(52)는, 로드 포트(4) 상의 용기(3)의 플랜지부(22)를 유지하고 있다. 또, 도 6의 (B)는, 아암부(51)가 수축하여 유지부(52)가 로드 포트(4)로부터 퇴피한 상태이며, 유지부(52)는, 제1 버퍼(16) 상의 용기(3)의 플랜지부(22)를 유지하고 있다. 도 6의 (B)에 있어서, 부호 AR1은, 제2 궤도(14)에 평행한 방향(Y방향)에 있어서의 로드 포트(4) 상의 용기(3)의 범위이다. 또, 부호 AR2는, 제2 궤도(14)에 평행한 방향(Y방향)에 있어서, 제1 버퍼(16)에 용기(3)를 재치할 수 있는 범위이다. 제1 버퍼(16)의 위치는, 범위(AR1)가 범위(AR2)에 들도록 설정된다. 또, 제1 버퍼(16)는, 제2 궤도(14)에 수직인 방향(X방향)에 있어서, 이재부(48)가 용기(3)를 이재할 수 있는 범위(AR3) 내에 배치된다.
[0042] 또한, 로드 포트(4)에 있어서 용기(3)의 재치 위치가 복수로 있는 경우, 제1 버퍼(16)는, 복수의 재치 위치 중의 적어도 1개에 대응하여 설치되어 있으면 된다. 예컨대, 도 1과 같이, 재치 위치가 2곳인 경우, 제1 버퍼(16)는, 2곳의 재치 위치의 각각으로부터 용기(3)를 이재할 수 있도록, 2개 이상의 용기(3)를 재치할 수 있어도 된다. 또, 제1 버퍼(16)는, 일방(一方)의 재치 위치로부터 용기(3)를 이재할 수 있는 위치와, 타방(他方)의 재치 위치로부터 용기(3)를 이재할 수 있는 위치에, 각각 설치되어도 된다. 또, 제1 버퍼(16)는, 일방의 재치 위치로부터 용기(3)를 이재할 수 있는 위치에 설치되고, 타방의 재치 위치로부터 용기(3)를 이재할 수 있는 위치에 설치되지 않아도 된다.
[0043] ［제2 실시형태］
제2 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다. 도 7은, 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다. 반송 시스템(1B)은, 처리장치(2)의 로드 포트(4)와 제1 궤도(11) 간의 위치 관계, 제1 버퍼(16)와 제1 궤도(11) 간의 위치 관계가 제1 실시형태와 다르다. 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)의 바로 위로부터 X방향으로 어긋난 위치에 부설되어 있다. 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)에 대하여, 제2 궤도(14)와 같은 쪽에 배치되어 있다. 제1 궤도(11)는, 제1 버퍼(16)의 바로 위를 지나도록 부설되어 있다. 제1 버퍼(16), 제2 버퍼(17)는, 예컨대 UTB(언더 트랙 버퍼)이다. 제1 버퍼(16)는, 제1 궤도(11)에 있어서의 천정 반송차(12)의 주행을 방해하지 않도록, 설치된다. 제1 버퍼(16)는, 도 7의 (B)에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(12)에 대해 X방향 외측의 부분에서 천정(18)에 부착되어 있으나, 바닥면(43)에 지지되는 프레임 등에 설치되어도 된다.
[0044] 천정 반송차(12)는, 제1 버퍼(16)와 물품(3)을 주고 받을 때에, 제1 버퍼(16)의 바로 위에서 주행 정지하고, 수용 스페이스(SP)에 대해서 물품(3)을 바로 밑으로 승강시킨다. 본 실시형태에 있어서, 천정 반송차(12)의 횡출 기구(28)는, 승강 구동부(27)(도 3 참조)를 －X측으로 이동시킬 수 있다. 천정 반송차(12)는, 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받을 때에, 제1 버퍼(16)의 바로 위에서 주행 정지하고, 횡출 기구(28)에 의해 승강 구동부(27)를 로드 포트(4)의 바로 위로 이동시켜, 물품(3)을 승강시킨다. 천정 반송차(12)는, 제1 버퍼(16)의 바로 위에서 주행 정지한 상태에서, 제1 버퍼(16)와 물품(3)을 주고 받는 작업과, 로드 포트(4)와 물품을 주고 받는 작업을 행할 수도 있다. 이로써, 천정 반송차(12)는, 주행 정지한 상태에서, 로드 포트(4)와 제1 버퍼(16)간에 물품(3)을 이재할 수도 있다. 또한, 반송 시스템(1B)은, 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)를 이용해 물품(3)을 주고 받을 수 있는 STB를 구비하여도 된다.
[0045] ［제3 실시형태］
제3 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 같은 부호를 붙이고 그 설명을 생략 혹은 간략화한다. 도 8은, 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템을 나타낸 도면이다. 반송 시스템(1C)은, 처리장치(2)의 로드 포트(4)와 제1 궤도(11) 간의 위치 관계, 제1 버퍼(16)와 크레인(15) 간의 위치 관계가 제1 실시형태, 제2 실시형태와 다르다. 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)의 바로 위로부터 X방향으로 어긋난 위치에 부설되어 있다. 제1 궤도(11)는, 로드 포트(4)에 대하여, 제2 궤도(14)와 반대 측에 배치되어 있다. 제1 궤도(11)는, 처리장치(2)의 상방에, 제1 궤도(11) 상의 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)에 의해 로드 포트(4)와 물품(3)을 주고 받을 수 있도록, 부설되어 있다. 제1 버퍼(16)는, 예컨대 UTB(언더 트랙 버퍼)이며, 제1 궤도(11)의 바로 아래에 배치되어 있다. 이러한, 반송 시스템(1C)은, 처리장치(2)의 상방의 스페이스를 이용하므로, X방향에 있어서 공간을 절약할 수가 있다. 또한, 반송 시스템(1C)은, 천정 반송차(12)가 횡출 기구(28)를 이용해 물품(3)을 주고 받을 수 있는 STB를 구비하여도 된다.
[0046] 또한, 본 발명의 기술 범위는, 상술한 실시형태 등에서 설명한 양태로 한정되지 않는다. 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건의 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또, 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합 가능하다. 또, 법령으로 허용되는 한에 있어서, 일본 특허 출원 제2016-126180호, 및 본 명세서 내에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
[0047] 1A, 1B, 1C; 반송 시스템
2; 처리장치
3; 물품
4; 로드 포트
11; 제1 궤도
12; 천정 반송차
13; 수납 선반
14; 제2 궤도
15; 크레인
16; 제1 버퍼
17; 제2 버퍼

Claims (7)

  1. 제1 궤도를 주행하며, 처리장치의 로드 포트(load port)와 물품을 주고 받을 수 있는 천정 반송차와,
    상기 물품을 수납하는 복수의 선반이 연직(鉛直) 방향으로 배열된 수납 선반과,
    상기 제1 궤도와 평행한 제2 궤도를 주행하며, 상기 로드 포트, 및 상기 수납 선반의 각각과 상기 물품을 주고 받을 수 있는 크레인과,
    상기 로드 포트와 상기 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 상기 크레인이 상기 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는 제1 버퍼를 구비하는
    반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 천정 반송차는, 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출(橫出) 기구를 구비하며,
    상기 제1 버퍼는, 상기 천정 반송차가 상기 횡출 기구를 이용해 상기 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는,
    반송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 버퍼는, 상기 로드 포트와 상기 물품을 주고 받는 위치에서 주행 정지한 상기 천정 반송차가 상기 횡출 기구를 이용해 상기 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는,
    반송 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 버퍼에 인접하며, 상기 크레인이 상기 물품을 주고 받을 수 있는 제2 버퍼를 구비하는,
    반송 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 천정 반송차는, 상기 물품을 수평 방향으로 이동시키는 횡출 기구를 구비하며,
    상기 제2 버퍼는, 상기 천정 반송차가 상기 횡출 기구를 이용해 상기 물품을 주고 받을 수 있는 위치에 배치되는,
    반송 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수납 선반은, 상기 처리장치에 인접하여 배치되며,
    상기 천정 반송차는, 상기 수납 선반의 복수의 선반 중 최상단(最上段)의 선반과 상기 물품을 주고 받을 수 있는,
    반송 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 궤도는, 상기 로드 포트의 바로 위(直上)에 설치되는,
    반송 시스템.
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