WO2018225435A1 - 階間搬送システム及び階間搬送方法 - Google Patents

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WO2018225435A1
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利博 前田
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to an inter-floor transport system and an inter-floor transport method.
  • production facilities may be arranged on multiple floors in a building.
  • an article such as a transport container (FOUP) containing a semiconductor wafer to be processed may be transported from the current floor to another floor, and the floors where such transport is performed.
  • a transport system is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the inter-floor conveyance system is used to convey the article from the floor carried into the building to another floor. Is required.
  • the inter-floor transport system described in Patent Document 1 includes a vertical transport device that is installed across a plurality of floors and transports articles in the vertical direction, and a conveyor that carries articles into and out of the vertical transport apparatus. Yes.
  • This inter-floor transport system transports articles transported by a conveyor to another floor of a transport destination by a vertical transport apparatus, and also transports articles transported from another floor by a vertical transport apparatus in the floor by a conveyor. It is transported to the desired location.
  • the above-described vertical conveyance device of the inter-floor conveyance system is operated so as to circulate an article in one direction up and down and convey the article between different floors using an up route and a down route.
  • each floor is provided with an article input port on the upstream path and an article outlet on the downstream path. Therefore, when an article is transported to another floor, the article thrown into the vertical transport device is forced to be transported in a circular manner in which the article is transported to the top by the up route in the vertical transport device and then heads to the other floor on the down route. Therefore, it takes time to carry the article between floors.
  • an object of the present invention is to provide an inter-floor transport system and an inter-floor transport method capable of shortening the time for transporting an article from the current floor to another floor.
  • the inter-floor transport system is an inter-floor transport system that transports articles between different floors using an ascending route and a descending route of a vertical transport device that circulates in one direction, and at least one floor,
  • a control device for selectively transferring the articles conveyed by the loading and conveying line to either the first loading port or the second loading port.
  • the input conveyance line is connected to one of the first input port and the second input port, and the article conveyed to either one of the first input port and the second input port is transferred to the transfer device.
  • a first input port, a second input port for placing an article transferred from the first input port by the transfer device, and an article from the second input port to either the first input port or the second input port And a charging connection line for transporting.
  • One or both of the first input port and the second input port are arranged in plural, and the transfer device can move between the plurality of first input ports or between the second input ports. There may be.
  • either one or both of the first input port and the second input port may be arranged in plural, and the transfer device may be arranged for each of the plural first input ports or the second input port.
  • An inter-floor transport system is an inter-floor transport system that transports articles between different floors using an up route and a down route of a vertical transport device that circulates in one direction, and includes at least one floor.
  • a discharge conveyance line for conveying an article conveyed from another floor and taken out from the vertical conveyance apparatus, a first take-out port for taking out an article from a down path of the vertical conveyance apparatus, and an article from an up path of the vertical conveyance apparatus
  • the discharge conveyance line is connected to one of the first take-out port and the second take-out port, and is a discharge connection line that conveys articles taken out from either the first take-out port or the second take-out port. And a first discharge port that delivers the article conveyed by the discharge connection line to the transfer device, and an article transferred from the first discharge port by the transfer device, and sends the article to the discharge conveyance line.
  • One or both of the first discharge port and the second discharge port are arranged in plural, and the transfer device is movable between the plurality of first discharge ports or between the second discharge ports. There may be. Further, one or both of the first discharge port and the second discharge port may be arranged in plural, and the transfer device may be arranged for each of the plurality of first discharge ports or second discharge ports.
  • An inter-floor transport system is an inter-floor transport system that transports articles between different floors using an up route and a down route of a vertical transport device that circulates in one direction, and includes at least one floor.
  • a loading conveyance line for conveying an article conveyed to another floor to the vertical conveying device, a first loading port for loading the article into the upward path of the vertical conveying apparatus, and a first charging position for loading the article into the downward path of the vertical conveying apparatus.
  • the first take-out port for taking out the article from the first and the second carry-in line are selectively transferred to either the first input port or the second input port, and the first take-out port Comprising the mouth, or a transfer device for transferring the discharge conveying line articles retrieved from the second outlet, and a control device for controlling the transfer device.
  • the transfer device may be a ceiling transport vehicle that includes a transfer mechanism that moves along a rail installed on or near the ceiling and can transfer articles.
  • An inter-floor transport method is an inter-floor transport method for transporting articles between different floors using an up route and a down route of a vertical transport device that circulates in one direction, and includes at least one floor.
  • the first input port provided in the upstream path of the vertical transport device when acquiring the transport destination of the transported article and transporting the article to another floor based on the acquired transport destination Determining whether to put an article or whether to put an article into a second slot provided in a down path of the vertical conveyance device.
  • an article to be transported to the upper floor is thrown into the first input port of the upward path of the vertical transport device, and an article to be transported to the lower floor is vertically transported Since it is thrown into the second slot on the down path of the apparatus, when the article is transported to the upper floor, the article can be thrown into the first slot, so that the article can be transported in a short time, and the circuit moves around the upper side of the vertical transport device.
  • the conveyance time of an article can be shortened, and a decrease in production efficiency can be suppressed.
  • the input conveyance line is connected to one of the first input port and the second input port, and the article conveyed to the other of the first input port and the second input port is transferred to the transfer device.
  • a first input port, a second input port for placing an article transferred from the first input port by the transfer device, and an article from the second input port to either the first input port or the second input port When a transfer connection device is provided, articles can be efficiently input from the input connection line to either the first input port or the second input port by the transfer device.
  • either one or both of the first input port and the second input port are arranged in plural, and the transfer device can move between the plurality of first input ports or between the second input ports.
  • the transfer device can move between the plurality of first input ports, the article can be transferred with a smaller number of moving devices than the plurality of first input ports, etc. Can be reduced. Further, when one or both of the first input port and the second input port are arranged in a plurality, and the transfer device is arranged for each of the plurality of first input ports or the second input ports, the first input port Since the transfer of the article from the port to the second input port is performed by a plurality of transfer devices, the input efficiency of the article can be improved.
  • the inter-floor transport system since the first take-out port and the second take-out port are provided in each of the down path and the up path of the vertical transport device, the article has been transported from the upper floor.
  • the article When an article is taken out from the lower floor, the article is taken out from the lower floor when the article is conveyed from the lower floor. Circulating conveyance such as turning around the lower side or the upper side can be avoided to shorten the article conveyance time, and a reduction in production efficiency can be suppressed.
  • a discharge connection line is connected to either the first take-out port or the second take-out port, and a discharge connection line that conveys articles taken out from either the first take-out port or the second take-out port And a first discharge port that delivers the article conveyed by the discharge connection line to the transfer device, and an article transferred from the first discharge port by the transfer device, and sends the article to the discharge conveyance line.
  • the second discharge port is provided, the article can be smoothly discharged from the first take-out port or the second take-out port to the discharge transport line by the transfer device.
  • one or both of the first discharge port and the second discharge port are arranged in a plurality, and the transfer device can move between the plurality of first discharge ports or between the second discharge ports.
  • the transfer device can move between the plurality of first discharge ports, the article can be transferred with a smaller number of transfer devices than the plurality of first discharge ports, etc. Can be reduced. Further, when one or both of the first discharge port and the second discharge port are arranged in a plurality, and the transfer device is arranged for each of the plurality of first discharge ports or the second discharge ports, the first discharge is performed. Since the transfer of the article from the port to the second discharge port is performed by a plurality of transfer apparatuses, the discharge efficiency of the article can be improved.
  • the article that has been thrown in through the first input port and transported in the up route is picked up by the second out port of the up route on the upper floor, and the second input port.
  • the article that has been fed in and transported in the down route is taken out by the first take-out port in the down route of the lower floor, and the article is transported in the shortest route while avoiding the round transport, so the transport time of the article is reduced. It can be shortened, and a decrease in production efficiency can be suppressed.
  • the transfer device is a ceiling transport vehicle that moves along a rail installed near the ceiling or near the ceiling and includes a transfer mechanism capable of transferring articles
  • the transfer mechanism of the ceiling transport vehicle is used. Therefore, it is not necessary to provide a separate transfer device, and the equipment cost can be reduced.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows an example of the interstory conveyance system which concerns on embodiment. It is a figure which shows an example of a vertical conveying apparatus typically. It is the top view which looked at the conveyance system between floors shown in Drawing 1 from the upper part. It is a figure which shows an example of the overhead conveyance vehicle as a transfer apparatus. It is a figure which shows an example which transfers an article
  • (A)-(C) are figures which show an example of the operation
  • A)-(C) are figures which show an example of the operation
  • (A)-(C) are figures which show an example of the operation
  • (A)-(C) are figures which show an example of the operation
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of an inter-floor transport system 100 according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram schematically illustrating the vertical transfer device V provided in the inter-floor transfer system 100.
  • the inter-floor transfer system 100 transfers, for example, an article M to be processed from the current floor to another floor in a production facility such as a semiconductor manufacturing factory in which production lines are respectively arranged on a plurality of floors in a building. To do.
  • the article M is transported to the specific floor from the outside of another building such as another building by the inter-floor transport system 100, and is transported from the specific floor to the other floor as necessary.
  • the article M is, for example, a FOUP, SMIF Pod, reticle Pod, or the like that can purge the inside, and accommodates a wafer, a reticle, or the like used for manufacturing a semiconductor element.
  • a FOUP an example in which the article M is a FOUP is shown.
  • Each article M includes a tag indicating a transport destination, a barcode or a two-dimensional code, or an RFID capable of transmitting transport destination information.
  • the inter-floor transport system 100 reads or receives information on the transport destination of each article M, and transports each article M to the transport destination floor based on the transport destination information.
  • the inter-floor transport system 100 is configured so that when an article M is transported from a building exterior such as another building to a specific floor, the upward path Va of the vertical transport device V that circulates in one direction. And the down route Vb, the article M is transported to different floors. Also, when the article M is transported from the current floor to another floor in the building, the article M is transported using the up route Va and the down route Vb of the vertical transport device V.
  • the upward path Va of the vertical conveyance device V is moved upward in the vertical direction (+ Z direction) with the article M placed thereon.
  • the down route Vb is moved downward in the vertical direction ( ⁇ Z direction) with the article M placed thereon.
  • the upstream route Va and the downstream route Vb are connected by the upper circulation route Vc and the lower circulation route Vd.
  • the vertical transfer device V has a plurality of shelves R on which the articles M are placed, and the plurality of shelves R in one direction along the upstream path Va, the upper circulation path Vc, the downstream path Vb, and the lower circulation path Vd. And a drive mechanism (not shown) that moves around.
  • Each of the shelves R has a size and a shape that allows passage of a part of later-described input devices 71 and 73 and take-out devices 72 and 74 (see article support portions 71d, 72d, 73d, and 74d in FIGS. 6 to 8). Has a notch Ra.
  • the inter-story transport system 100 includes an input port 10, an input transport line 20, a take-out port 30, a discharge transport line 40, a transfer device 50, and a control device 60.
  • the inter-floor transfer system 100 is disposed on at least one floor in the building. In the present embodiment, for example, the case where the inter-floor transfer system 100 is arranged on the second floor F2 of the building will be described as an example, but the present invention is not limited to this configuration, and may be arranged on another floor.
  • the inter-floor transport system 100 may be disposed on each of a plurality of floors.
  • FIG. 3 is a plan view of an example of the inter-floor transfer system 100 arranged on the second floor F2, as viewed from above.
  • the structure of the second floor F2 is divided into an upper layer part F2a and a lower layer part F2b.
  • the insertion port 10 is a portion into which an article is input to the vertical conveyance device V.
  • the input port 10 includes a first input port 11 and a second input port 12.
  • the first input port 11 is used to input the article M into the upward path Va of the vertical conveyance device V.
  • the first insertion slot 11 is arranged on each floor (first floor F1, second floor F2, third floor F3 to nth floor Fn: see FIG. 2).
  • the first insertion port 11 is arranged in the upper layer part F2a on the second floor F2.
  • the first loading port 11 is provided with a loading device 71 described later.
  • the input device 71 receives the article M from the input conveyance line 20 and places it on the shelf R of the vertical conveyance device V.
  • the second input port 12 is used to input the article M into the down route Vb of the vertical conveyance device V.
  • the second inlet 12 is disposed in the lower layer part F2b of the second floor F2.
  • a charging device 73 described later is disposed at the second charging port 12.
  • the loading transfer line 20 includes a loading main line 21, a loading connection line 22, a first loading port 23, and a second loading port 24.
  • the input main line 21 is connected to one of the first input port 11 and the second input port 12. In the present embodiment, a case where the input main line 21 is connected to the first input port 11 will be described as an example.
  • the input main line 21 conveys the article M conveyed from the outside of the building to the first input port 11.
  • the input main line 21 is disposed in the upper layer part F2a of the second floor F2, and has a transport mechanism such as a roller conveyor or a belt conveyor.
  • the input main line 21 includes an external connection portion 21a extending in the ⁇ Y direction from the outside, a straight conveyance portion 21b extending in the ⁇ X direction from the external connection portion 21a toward the vertical conveyance device V, and a first input from the straight conveyance portion 21b.
  • a loading and conveying unit 21c that conveys the article M toward the mouth 11.
  • the input main line 21 has a floor transport portion 21d for transporting the articles M in the same floor (in the second floor F2) in this building.
  • the floor transport section 21d is formed to extend in the ⁇ X direction from the ⁇ Y side end of the external connection section 21a.
  • the input conveyance line 20 includes a detection unit 25 that detects a conveyance destination of the article M conveyed from the outside.
  • the detection unit 25 reads the identification ID included in the tag or the like provided in the article M, acquires the identification ID transport destination from a host controller (not shown), and controls information related to the transport destination of the article M. To device 60.
  • the detection unit 25 directly reads the transport destination information from the tag or the like and transmits the information to the control device 60.
  • the input connection line 22 is connected to one of the first input port 11 and the second input port 12 that is different from the connection destination of the input main line 21.
  • the input connection line 22 is arranged in the lower layer portion F2b of the second floor F2, and has a transport mechanism such as a roller conveyor and a belt conveyor, for example, like the input main line 21.
  • the input connection line 22 includes a linear conveyance unit 22b extending in the ⁇ X direction toward the vertical conveyance device V, and an input conveyance unit 22c that conveys articles from the linear conveyance unit 22b toward the second input port 12.
  • the first input port 23 is provided at a position extending in the + Y direction from the straight line conveyance portion 21b of the input main line 21.
  • a plurality of (for example, two) first input ports 23 are arranged in the conveyance direction (X direction) of the article M in the linear conveyance unit 21b.
  • the first input port 23 is used as a place for placing the article M in order to deliver the article M to the transfer device 50 described later.
  • the second input port 24 is provided at a position extending in the ⁇ Y direction from the straight conveying portion 22b of the input connection line 22.
  • a plurality of (for example, two) second input ports 24 are arranged in the conveyance direction (X direction) of the article M in the linear conveyance unit 22b.
  • the second input port 24 is used as a place for placing an article M delivered from a transfer device 50 described later.
  • each of the second loading ports 24 is disposed opposite to the first loading port 23 at a position on the + Y side across a movement path of a transfer device 50 described later.
  • the number of the first input ports 23 and the second input ports 24 is the same, but may be different.
  • a plurality of (for example, two) transport ports 26 are provided side by side in the X direction in the floor transport section 21d.
  • the transport port 26 is provided at a position where the article M transported from the floor transport unit 21d can be placed and received by a ceiling transport vehicle 81 described later.
  • the floor conveyance unit 21 d and the conveyance port 26 are indicated by a one-dot chain line.
  • the take-out port 30 is used for taking out the article M from the vertical transfer device V.
  • the take-out port 30 has a first take-out port 31 and a second take-out port 32.
  • the first take-out port 31 is used for taking out the article M from the down route Vb of the vertical conveyance device V.
  • the first outlet 31 is arranged on each floor (first floor F1, second floor F2, third floor F3,..., Nth floor Fn: see FIG. 2).
  • the first take-out port 31 is arranged in the upper layer portion F2a on the second floor F2.
  • a take-out device 72 described later is arranged in the first take-out port 31.
  • the take-out device 72 transports the article M placed on the shelf R of the vertical transport device V to the discharge transport unit 41a.
  • the second take-out port 32 is used to take out the article M from the upward path Va of the vertical conveyance device V.
  • the second outlet 32 is disposed in the lower layer part F2b of the second floor F2.
  • a take-out device 74 described later is disposed in the second take-out port 32.
  • the take-out device 74 conveys the article M placed on the shelf R of the vertical conveyance device V to the discharge conveyance unit 42a.
  • the discharge conveyance line 40 includes a discharge main line 41, a discharge connection line 42, a first discharge port 43, and a second discharge port 44.
  • the discharge main line 41 is connected to one of the first take-out port 31 and the second take-out port 32. In the present embodiment, a case where the discharge main line 41 is connected to the first extraction port 31 will be described as an example.
  • the discharge main line 41 conveys the article M taken out from the first take-out port 31 to the outside of the building.
  • the discharge main line 41 is disposed in the upper layer part F2a of the second floor F2, and has a transport mechanism such as a roller conveyor or a belt conveyor.
  • the discharge main line 41 includes a discharge transfer unit 41a for carrying out the article M taken out from the first take-out port 31, a straight transfer unit 41b extending from the discharge transfer unit 41a in the + X direction, and the straight transfer unit 41b toward the building outdoors. And an external connection portion 41c extending in the + Y direction.
  • the discharge main line 41 has a floor transport portion 41d for transporting the article M in the same floor (in the second floor F2) in the building.
  • the floor transport section 41d is formed extending in the ⁇ X direction from the middle of the external connection section 41c.
  • the discharge connection line 42 is connected to one of the first extraction port 31 and the second extraction port 32 that is different from the connection destination of the discharge main line 41.
  • the discharge connection line 42 is disposed in the lower layer part F2b of the second floor F2, and has a transport mechanism such as a roller conveyor or a belt conveyor, for example, like the discharge main line 41.
  • the discharge connection line 42 includes a discharge transfer part 42a for carrying out the article M taken out from the second take-out port 32, and a linear transfer part 42b extending from the discharge transfer part 42a in the + X direction.
  • the first discharge port 43 is provided in a state extending in the + Y direction from the straight conveyance portion 42b of the discharge connection line 42.
  • a plurality of (for example, two) first discharge ports 43 are arranged in the conveyance direction (X direction) of the article M in the linear conveyance unit 42b.
  • the first discharge port 43 is used as a place for placing the article M in order to deliver the article M to the transfer device 50 described later.
  • the second discharge port 44 is provided at a position extending in the ⁇ Y direction from the straight conveyance portion 41b of the discharge main line 41.
  • a plurality of (for example, two) second discharge ports 44 are arranged in a direction (X direction) in which the article M is conveyed by the linear conveyance unit 41b.
  • the second discharge port 44 is used as a place for placing an article M delivered from a transfer device 50 described later.
  • each of the second discharge ports 44 is disposed opposite to the first discharge port 43 at a position on the + Y side across a movement path of a transfer device 50 described later.
  • the number of the first discharge ports 43 and the second discharge ports 44 is the same, but may be different.
  • a plurality of (for example, two) transfer ports 46 are provided side by side in the X direction in the floor transfer section 41d.
  • the transport port 46 is provided at a position where the article M transported from the floor transport unit 41d can be placed and received by a ceiling transport vehicle 81 described later.
  • the discharge conveyance line 40 may have a detection unit that detects information of the article M to be conveyed outside the building.
  • the detection unit may transmit information on the article M to the control device 60 by reading information included in the tag or the like provided on the article M.
  • the control device 60 may transmit the information on the article M to a host controller (not shown) or may transmit the information to the transport system in another building that is the transport destination of the article M.
  • the transfer device 50 selectively transfers the article M conveyed by the input conveyance line 20 to either the first input port 11 or the second input port 12. Further, the transfer device 50 transfers the article M taken out from the first take-out port 31 or the second take-out port 32 to the discharge conveyance line 40.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the transfer device 50.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example in which the article M is transferred by the transfer device 50.
  • As the transfer device 50 a ceiling transport vehicle is used.
  • the transfer device (ceiling transport vehicle) 50 includes a traveling unit 5 and a transfer mechanism 3.
  • the traveling unit 5 travels along the rail 6 by a driving device (not shown).
  • the rail 6 is installed, for example, on the ceiling of the second floor F2 or in the vicinity of the ceiling.
  • the rail 6 extends in the X direction over the upper portion between the first charging port 23 and the second charging port 24 and the upper portion between the first discharging port 43 and the second discharging port 44. The Therefore, the transfer device 50 is movable between the first loading port 23 and the second loading port 24 and between the first discharging port 43 and the second discharging port 44.
  • the traveling unit 5 includes traveling wheels 7, a driving motor (not shown), an encoder (not shown), and the like.
  • the traveling wheel 7 is disposed so as to contact the rail 6.
  • the encoder detects the rotational speed of the traveling wheel 7 and outputs the detection result to an in-vehicle controller (not shown) mounted on the transfer device (ceiling transport vehicle) 50.
  • the in-vehicle controller controls the drive motor based on the detection result of the encoder, and controls the speed or stop position of the transfer device 50.
  • the transfer device (ceiling transport vehicle) 50 is provided with a support shaft 9 extending downward from the traveling unit 5.
  • the transfer mechanism 3 is attached to the lower part of the support shaft 9.
  • the drive system etc. of the transfer apparatus (ceiling conveyance vehicle) 50 are not specifically limited.
  • the transfer mechanism 3 includes an article holding unit 53 that holds the article M, an elevating drive unit 54 that elevates and lowers the article holding unit 53 in the vertical direction, and a lateral mechanism 51 that moves the elevating drive unit 54.
  • the article holding unit 53 suspends and holds the article M by holding the flange portion Mg of the article M.
  • the article holding part 53 is, for example, a chuck having a claw part 53a that is movable in the horizontal direction, and the article holding part 53 is raised by causing the claw part 53a to enter below the flange part Mg of the article M. Suspend and hold M.
  • the article holding part 53 is connected to a suspension member 53b such as a wire or a belt.
  • the elevating drive unit 54 is, for example, a hoist, and lowers the article holding unit 53 by feeding the hanging member 53b, and raises the article holding unit 53 by winding the hanging member 53b.
  • the raising / lowering drive part 54 is controlled by the vehicle-mounted controller, moves the article holding part 53 down or up at a predetermined speed, and moves the article holding part 53 to a target height.
  • the lateral take-out mechanism 51 has a Y-direction drive unit such as a Y-direction guide and an electric motor (not shown) provided in the transfer mechanism 3, and a movable plate arranged to overlap in the Z direction.
  • the laterally extending mechanism 51 is controlled by an in-vehicle controller, and moves the movable plate in the + Y direction or the ⁇ Y direction by the Y direction drive unit, and moves the article holding unit 53 and the elevating drive unit 54 in the + Y direction or the ⁇ Y direction from the storage position. Move to the protruding position.
  • the elevating drive unit 54 is provided with a rotating unit 52.
  • the rotation unit 52 rotates the article holding unit 53 and the elevation drive unit 54 around an axis in the vertical direction (Z direction) by a rotation drive unit (not shown). With this configuration, the article M held by the article holding unit 53 can be rotated around the vertical axis. Note that the transfer device 50 does not have to include the rotation unit 52.
  • the transfer device 50 can transfer the article M placed on the first input port 23 to the second input port 24, and the article placed on the second discharge port 44. M can be transferred to the first discharge port 43. Further, as shown in FIG. 5, the transfer device 50 is movable in the + X direction or the ⁇ X direction when the traveling unit 5 travels along the rail 6. The transfer device 50 can correspond to any one of the positions P1 to P4 of the plurality of first input ports 23 or the plurality of first discharge ports 43 by moving in the X direction. The operation of the transfer device 50 will be described later.
  • the control device 60 controls the operation of the inter-floor transfer system 100 in an integrated manner.
  • the control device 60 transmits an operation command to the transfer device 50, and the in-vehicle controller of the transfer device 50 that has received the operation command causes the traveling unit 5, the laterally extending mechanism 51, the article holding unit 53, and the lifting / lowering drive unit 54. Control the behavior.
  • the control device 60 moves the transfer device 50 to positions P1, P2 between the first loading port 23 and the second loading port 24, and positions between the first discharging port 43 and the fourth discharging port 44. It can be arranged at P3 and P4, respectively.
  • the inter-floor transport system 100 is connected to an overhead transport vehicle system 80.
  • the overhead conveyance vehicle system 80 has a plurality of ceiling conveyance vehicles 81 that can travel on the rail 82, and conveys the article M on the same floor (second floor F2 in this embodiment) in the building.
  • the overhead conveyance vehicle 81 has the same configuration as the transfer device 50 shown in FIG. 4, for example, and moves along the rail 82 while holding the article M.
  • the rail 82 has the same configuration as the rail 6 shown in FIGS. Further, the rail 6 of the transfer device 50 described above is provided so as to branch and merge from the rail 82 of the ceiling transport vehicle system 80. A part of the rail 82 is disposed immediately above or almost immediately above the transport ports 26 and 46.
  • the ceiling transport vehicle 81 receives the article M placed on the transport ports 26 and 46 by stopping immediately above one of the transport ports 26 and 46, and transports it to a desired place on the same floor. can do.
  • the transfer device 50 and the overhead conveyance vehicle 81 can enter from the rail 82 to the rail 6 or from the rail 6 to the rail 82.
  • FIG. 6 (A) to 6 (C) are diagrams showing an example of an operation for putting the article M into the vertical transfer device V from the first loading port 11.
  • the charging device 71 includes a base 71a, an elevating / lowering part 71b, an expansion / contraction part 71c, and an article support part 71d.
  • the raising / lowering part 71b raises / lowers with respect to the base 71a in the Z direction.
  • the expansion / contraction part 71c expands and contracts in the horizontal direction.
  • the article support portion 71d supports the bottom of the article M.
  • FIGS. 8A to 8C are diagrams illustrating an example of an operation for taking out the article M from the first take-out port 31.
  • the take-out device 72 has a base 72a, an elevating part 72b, a telescopic part 72c, and an article support part 72d.
  • the configuration of each part of the take-out device 72 is the same as that of the input device 71 described above, and thus the description thereof is omitted.
  • FIGS. 8A to 8C are diagrams illustrating an example of an operation of loading the article M into the vertical conveyance device from the second loading port 12. As shown in FIG.
  • the charging device 73 includes a base 73a, an elevating part 73b, an expansion / contraction part 73c, and an article support part 73d. Since the configuration of each part of the charging device 73 is the same as that of the charging device 71 described above, description thereof is omitted.
  • FIGS. 9A to 9C are diagrams showing an example of the operation for taking out the article M from the second take-out port 32.
  • the take-out device 74 includes a base 74a, an elevating / lowering part 74b, an expansion / contraction part 74c, and an article support part 74d. Since the configuration of each part of the take-out device 74 is the same as that of the above-described input device 71, description thereof is omitted. The operations of the input devices 71 and 73 and the take-out devices 72 and 74 will be described later.
  • FIG. 10 is a flowchart illustrating an example of the inter-story transport method according to the embodiment.
  • the contents of FIGS. 1 to 9 will be referred to as appropriate.
  • the inter-floor transport system 100 acquires the transport destination of the article M (step S ⁇ b> 01).
  • the detection unit 25 detects the conveyance destination of the article M and transmits the detection result to the control device 60.
  • the control device 60 identifies the transport destination of the article M based on the detection result transmitted from the detection unit 25 of the input transport line 20.
  • the control device 60 controls the input conveyance line 20 and the transfer device 50 according to the conveyance destination of the article M.
  • the control device 60 determines whether or not to transport the article M to another floor (step S02).
  • the article M is carried into the second floor F2 by the input conveyance line 20 (see FIGS. 1 and 2).
  • the article M is transported in the floor (step S03).
  • the article M is transported from the external connection portion 21a to the transport port 26 via the floor transport portion 21d (see FIG. 3).
  • the article M in the transport port 26 is received by the ceiling transport vehicle 81 and transported to a desired location in the second floor F2.
  • the control device 60 determines whether or not the transport destination of the article M is the upper floor (step S04).
  • the conveyance destination of the article M is the upper floor (for example, the third floor F3) (YES in Step S04)
  • the control device 60 starts from the first input port 11 connected to the upstream path Va of the vertical conveyance device V.
  • An instruction is given to insert the article M (step S05).
  • the transport destination of the article M is a lower floor (eg, the third floor F3) (NO in step S04)
  • the control device 60 is connected to the downward path Vb of the vertical transport device V. 12 instructs to put the article M (step S06).
  • the control device 60 instructs to carry the article M without using the transfer device 50.
  • the transfer device 50 is waiting at a predetermined position or performing other work.
  • the article M is conveyed to the first input port 11 via the external connection portion 21a, the linear transfer portion 21b, and the input transfer portion 21c in the input main line 21 of the input transfer line 20, and the vertical transfer device from the first input port 11 To V.
  • the control device 60 instructs the article M to be placed on the vacant one of the two first insertion ports 23.
  • the control device 60 stops the conveyance of the article M just before the first insertion port 23 in the linear conveyance unit 21b. May be instructed to wait.
  • the controller 60 instructs the transfer device 50 to transfer the article M placed on the first input port 23 to one of the second input ports 24.
  • the control device 60 causes the transfer device 50 to move to a position in the X direction (position P1 or position P2) corresponding to the first insertion port 23 where the article M is arranged.
  • the control device 60 instructs the transfer device 50 to be positioned at the position P1. Subsequently, as shown in FIG. 4, the transfer device 50 causes the lateral take-out mechanism 51 to protrude to the ⁇ Y side and arranges the article holding unit 53 directly above the article M. Subsequently, the transfer apparatus 50 holds the article M by lowering the article holding section 53 in the ⁇ Z direction by the lifting drive section 54. The transfer device 50 holds the article M by the article holding unit 53, and then raises the article holding unit 53 in the + Z direction by the elevating drive unit 54.
  • the transfer device 50 After the article holding unit 53 is lifted, the transfer device 50 causes the lateral take-out mechanism 51 to protrude to the + Y side while holding the article M with the article holding unit 53, and causes the article M to move to the ⁇ X side second input port. 24 (see FIG. 5). Subsequently, the transfer device 50 lowers the article holding unit 53 in the ⁇ Z direction by the elevating drive unit 54 and places the article M on the second insertion port 24. After the article M is placed on the second insertion port 24, the transfer device 50 raises the article holding unit 53 by the lifting drive unit 54, and returns the article holding unit 53 to the original position by the side feed mechanism 51. Further, the article M placed on the second input port 24 is transferred to the second input port 12 via the linear transfer unit 22b and the input transfer unit 22c of the input connection line 22, and is vertically transferred from the second input port 12. The device V is charged.
  • the control device 60 instructs to carry the article M without using the transfer device 50.
  • the transfer device 50 is waiting at a predetermined position or performing other work.
  • the article M is discharged outside the building in the discharge main line 41 of the discharge transfer line 40 via the discharge transfer unit 41a, the straight transfer unit 41b, and the external connection unit 41c.
  • the article M is taken out from the vertical conveyance device V via the second take-out port 32, the article M is supplied to the two first discharge ports via the discharge conveyance section 42a and the straight conveyance section 42b of the discharge connection line 42. It is conveyed to any one of 43.
  • the control device 60 instructs the article M to be placed on an empty one of the two first discharge ports 43.
  • the control device 60 stops the conveyance of the article M just before the first discharge port 43 in the linear conveyance section 42b. May be instructed to wait.
  • the control device 60 instructs the transfer device 50 to transfer the article M placed on the first discharge port 43 to one of the second discharge ports 44.
  • the control device 60 moves the transfer device 50 to the position in the X direction (position P3 or position P4) so as to correspond to the first discharge port 43 where the article M is arranged. Instruct to move.
  • the case where the article M is transported to the first discharge port 43 on the ⁇ X side will be described as an example, but the same description applies to the case where the article M is transported to the first discharge port 43 on the + X side. Is possible.
  • the control device 60 instructs the transfer device 50 to be positioned at the position P3. Subsequently, as shown in FIG. 4, the transfer device 50 causes the lateral take-out mechanism 51 to protrude to the ⁇ Y side and arranges the article holding unit 53 directly above the article M. Subsequently, the transfer device 50 lowers the article holding unit 53 in the ⁇ Z direction by the elevating drive unit 54 and holds the article M by the article holding unit 53. The transfer device 50 holds the article M by the article holding unit 53, and then raises the article holding unit 53 in the + Z direction by the elevating drive unit 54.
  • the transfer device 50 After the article holding unit 53 is lifted, the transfer device 50 causes the lateral ejection mechanism 51 to protrude to the + Y side while holding the article M with the article holding unit 53, and causes the article M to move to the ⁇ X side second discharge port. 44 (see FIG. 5). Subsequently, the transfer device 50 lowers the article holding unit 53 in the ⁇ Z direction by the elevating drive unit 54 and places the article M on the second discharge port 44. After the article M is placed on the second discharge port 44, the transfer device 50 raises the article holding unit 53 by the lifting drive unit 54, and returns the article holding unit 53 to the original position by the side feed mechanism 51.
  • the article M placed on the second discharge port 44 is discharged outside the building via the linear conveyance portion 41b and the external connection portion 41c of the discharge main line 41.
  • the article M is transported from the external connection portion 41c to the transport port 46 via the floor transport portion 41d (see FIG. 3). ).
  • the article M in the transport port 46 is received by the ceiling transport vehicle 81 and transported to a desired location in the second floor F2.
  • the input device 71 receives the article M conveyed by the input conveyance unit 21c. Subsequently, when the rising shelf R reaches a predetermined position in the Z direction, the loading device 71 extends the expansion / contraction portion 71c toward the inside of the first loading port 11 as shown in FIG.
  • the expansion / contraction part 71c is extended after the shelf part R, which is placed one above the shelf part R on which the article M is placed, passes the side of the article support part 71d, and the target shelf. This is before the portion R reaches the height position of the article support portion 71d.
  • the article support 71d is disposed above the shelf R by extending the stretchable part 71c. Subsequently, as shown in FIG. 6 (C), the shelf R rises further along the upward path Va to scoop up and receive the article M placed on the article support portion 71d.
  • the article support portion 71d passes through the notch Ra (see FIG. 1) of the shelf portion R. In this way, the article M is loaded by the loading device 71 from the loading conveyance unit 21c (the loading conveyance line 20) to the shelf portion R of the upward path Va of the vertical conveyance device V.
  • the article support part 71d retracts from the upward path Vb of the vertical conveyance device V by contracting the expansion / contraction part 71c.
  • the take-out device 72 waits until the shelf R on which the article M to be taken out is placed approaches. . Subsequently, as illustrated in FIG. 7B, when the shelf R on which the article M is placed approaches from above, the take-out device 72 directs the extendable portion 72 c toward the inside of the first take-out port 31. Elongate. The expansion / contraction part 72c is extended after the shelf part R arranged below the shelf part R on which the article M to be taken out is placed passes below the side of the article support part 72d, and This is before the shelf R on which the target article M is placed reaches the height position of the article support 72d.
  • the article support 72d is disposed below the shelf R by extending the stretchable part 72c. Subsequently, as the shelf R descends, as shown in FIG. 7C, the article M is delivered from the shelf R descending along the down route Vb to the article support 72d. Note that the notch Ra (see FIG. 1) of the shelf R passes through the article support 72d.
  • the article support part 72d retracts from the downward path Vb of the vertical conveyance device V by contracting the expansion / contraction part 72c, and places the article M on the discharge conveyance part 41a. In this way, the article M is taken out from the shelf R on the down path Vb of the vertical transport device V to the discharge transport unit 41a by the take-out device 72.
  • the input device 73 receives the article M that has been conveyed to the input conveyance unit 22c. Subsequently, the input device 73 waits until the shelf R that descends in the descending path Vb passes the side of the article support part 73d in a state where the article support part 73d is raised by the elevating part 73b. As shown in FIG. 8 (B), the throwing device 73 moves the expansion / contraction part 73c to the second filling port 12 at the timing when the shelf part R on which the article M is placed passes the side of the article support part 73d. Extend toward the inside. By this operation, the article support portion 73d is disposed above the shelf portion R on which the article M is placed.
  • the input device 73 lowers the article support portion 73d by the elevating portion 73b at a speed higher than the speed at which the shelf R descends.
  • the article support part 73d passes through the notch Ra of the shelf part R downward, and the article M on the article support part 73d is passed to the shelf part R of the downward path Vb.
  • the article support portion 73d that has moved below the shelf portion R retracts from the downward path Vb of the vertical conveyance device V by contracting the stretchable portion 73c.
  • the take-out device 74 takes out in the upward path Va in a state where the article support part 74d is lowered by the elevating part 74b. It waits until the shelf R on which the target article M is placed passes the side of the article support part 74d. 9B, the take-out device 74 extends the expansion / contraction part 74c toward the inside of the second take-out port 32 at the timing when the target shelf R passes the side of the article support part 74d. . By this operation, the article support portion 74d is disposed below the shelf portion R.
  • the take-out device 74 raises the elevating part 74b at a speed larger than the speed at which the shelf R rises.
  • the article support portion 74d passes the notch Ra of the shelf portion R upward, and picks up and receives the article M placed on the shelf portion R.
  • the article support part 74d moved above the shelf R retracts from the upward path Va of the vertical conveyance device V by contracting the expansion / contraction part 74c, and places the article M on the discharge conveyance part 42a. In this way, the article M is taken out from the shelf R in the upward path Va of the vertical transport device V to the discharge transport unit 42a by the take-out device 74.
  • the article M transported to the upper floor is thrown into the first input port 11 of the up route Va and the second take-out of the up route Va.
  • the article M taken out at the port 31 and conveyed to the lower floor is put into the second insertion port 12 of the down route Vb and taken out at the first take out port 31 of the down route Vb.
  • FIG. 11 is a plan view illustrating another example of the inter-floor transport system according to the embodiment.
  • the structure of the upper layer part F2a and the lower layer part F2b of the second floor F2 is shown separately.
  • components that are the same as or equivalent to those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.
  • the transfer devices 50A, 50B, 50C, and 50D are positioned at positions P1, + X between the first input port 23 on the -X side and the second input port 24 on the -X side.
  • the first discharge port 43 on the side and the first discharge port 44 on the + X side are respectively arranged at positions P4.
  • the transfer devices 50A to 50D are arranged at the respective positions P1 to P4, the transfer of articles from the first input port 23 to the second input port 24, and the second discharge port 43 to the second position. Since the transfer to the discharge port 44 is performed by the individual transfer device 50A or the like, the articles M can be transferred efficiently, and even when there are many articles M to be transferred, it is possible to respond quickly.
  • FIG. 12 is a plan view illustrating another example of the inter-floor transport system according to the embodiment.
  • the configuration of the upper layer part F2a and the lower layer part F2b of the second floor F2 is shown separately.
  • components that are the same as or equivalent to those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted or simplified.
  • the ceiling transport vehicle system 80 ⁇ / b> A includes a ceiling transport vehicle 81 and rails 82.
  • the rail 82 extends from the building exterior, and is continuously laid over the straight conveyance unit 21b of the input conveyance line 20A and the linear conveyance unit 41b of the discharge conveyance line 40B. It extends. Further, the rail 82 is the same as the above-described embodiment in that the rail 82 is connected to the rail 6 of the transfer device 50. Further, the rail 82 is laid not only on the inside and outside of the building but also on the same floor so that the article M can be transported by the ceiling transport vehicle 81 in the same floor as in the above-described ceiling transport system 80. Has been.
  • the article M transported by the ceiling transport vehicle 81 from the outside of the building is transported to the first input port 11, the article M is transferred by the ceiling transport vehicle 81 to the transport port 26 of the input transport line 20A. Placed on.
  • the article M is transported to the first input port 11 by the linear transport unit 21b and the input transport unit 21c.
  • the article M is placed on the transport port 26 of the input transport line 20 ⁇ / b> A by the ceiling transport vehicle 81.
  • the article M is conveyed from the straight conveyance unit 21b to the first insertion port 23.
  • the article M placed on the first input port 23 is transferred to the second input port 24 of the input connection line 22 by the transfer device 50, and is transferred by the linear transfer unit 21b and the input transfer unit 22c of the first input port 23. It is conveyed to the second inlet 12.
  • the ceiling transport vehicle 81 does not pass the article M to the inter-floor transport system 100B and is desired as it is. Can be transported to any location.
  • the article M taken out from the first take-out port 31 of the vertical transfer device V is placed on the transfer port 46 via the discharge transfer unit 41a, the straight transfer unit 41b, and the floor transfer unit 41d of the discharge transfer line 40B. Is done.
  • the article M placed on the transport port 46 is received by the ceiling transport vehicle 81 and discharged to the outside of the building or transported to a desired place on the same floor (second floor F2 in this embodiment).
  • the article M taken out from the second take-out port 32 of the vertical transfer device V is placed on the first discharge port 43 by the discharge transfer unit 42a and the linear transfer unit 42b.
  • the article M placed on the first discharge port 43 is transferred to the second discharge port 44 of the discharge conveyance line 40B by the transfer device 50.
  • the article M transferred to the second discharge port 44 is placed on the transport port 46 via the linear transport unit 41b and the floor transport unit 41d, and is received by the ceiling transport vehicle 81. It is discharged outdoors or conveyed to a desired location on the same floor.
  • the article M is carried in from the building exterior by the ceiling transport vehicle system 80A, and the article M is discharged to the building exterior.
  • the ceiling transport vehicle system 80A By extending the rails to the outside of the building and carrying the article M between the building outside and the inter-floor conveyance system 100B, installation of a conveyor or the like over a long distance can be omitted as in the above-described embodiment.
  • V Vertical transfer device Va ... Up route Vb ... Down route M ... Article 100 ... Interstory transfer system 11 ... First input port 12 ... Second input port 20, 20B: Loading transfer line 21: Loading main line 22 ... Loading connection line 23 ... First loading port 24 ... Second loading port 31 ... First extraction port 32 ... First 2 outlet 40, 40B ... discharge conveyance line 41 ... discharge main line 42 ... discharge connection line 43 ... first discharge port 44 ... second discharge port 50, 50A, 50B, 50C, 50D ... Transfer device (ceiling transport vehicle) 60 ... Control device

Abstract

【課題】物品を現在のフロアから他のフロアに搬送する時間を短縮することが可能な階間搬送システム及び階間搬送方法を提供する。 【解決手段】階間搬送システム100は、一方向に周回する垂直搬送装置Vの上り経路Vaと下り経路Vbとを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システム100であって、少なくとも一つのフロアにおいて、別のフロアへ搬送する物品を垂直搬送装置Vまで搬送する投入搬送ライン20と、垂直搬送装置Vの上り経路Vaに物品を投入する第1投入口11と、垂直搬送装置Vの下り経路Vbに物品を投入する第2投入口12と、投入搬送ライン20により搬送されてきた物品を第1投入口11、あるいは第2投入口12のいずれかに選択的に移載する移載装置50と、物品の行先に応じて移載装置50を制御する制御装置60と、を備える。

Description

階間搬送システム及び階間搬送方法
 本発明は、階間搬送システム及び階間搬送方法に関する。
 半導体製造工場等の製造工場では、建屋内の複数のフロアにそれぞれ生産設備を配置する場合がある。このような生産設備では、例えば、処理対象である半導体ウエハを収容した搬送容器(FOUP)などの物品を現在のフロアから他のフロアに搬送する場合があり、そのような搬送を実行する階間搬送システムが知られている(例えば、特許文献1参照)。特に、物品が別の建屋等の建屋の外側から特定のフロアを介して各フロアに搬送される場合は、この物品を建屋内に搬入したフロアから他のフロアに搬送するために階間搬送システムが必要となる。
 特許文献1に記載の階間搬送システムは、複数のフロアに渡って設置され、物品を上下方向に搬送する垂直搬送装置と、垂直搬送装置に対して物品を搬入又は排出するコンベアとを備えている。この階間搬送システムは、コンベアにより搬送されてきた物品を垂直搬送装置により搬送先の他のフロアまで搬送し、また、垂直搬送装置により他のフロアから搬送されてきた物品をコンベアによりフロア内の所望の場所に搬送している。
特開2006-111421号公報
 上記した階間搬送システムの垂直搬送装置は、物品を上下の一方向に周回させ、上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送するように運用される。この運用の場合、各フロアには上り経路に物品の投入口が設けられ、下り経路に物品の取り出し口が設けられている。従って、物品を他のフロアに搬送する場合、垂直搬送装置に投入された物品は、垂直搬送装置内の上り経路で最上部まで搬送されてから下り経路で他のフロアに向かうといった周回搬送を余儀なくされるので、物品の階間搬送に時間がかかってしまう。特に現在のフロアより下のフロアに搬送する場合、物品を最上部で折り返して搬送してから下り経路で現在のフロアを通過した後に下のフロアに向かうといった長い周回搬送が生じるので、物品の階間搬送に長い時間を要するといった問題がある。
 以上のような事情に鑑み、本発明は、物品を現在のフロアから他のフロアに搬送する時間を短縮することが可能な階間搬送システム及び階間搬送方法を提供することを目的とする。
 本発明に係る階間搬送システムは、一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、少なくとも一つのフロアにおいて、別のフロアへ搬送する物品を垂直搬送装置まで搬送する投入搬送ラインと、垂直搬送装置の上り経路に物品を投入する第1投入口と、垂直搬送装置の下り経路に物品を投入する第2投入口と、投入搬送ラインにより搬送されてきた物品を第1投入口、あるいは第2投入口のいずれかに選択的に移載する移載装置と、物品の行先に応じて移載装置を制御する制御装置と、を備える。
 また、投入搬送ラインは、第1投入口及び第2投入口のいずれか一方に接続されており、第1投入口及び第2投入口のいずれか他方に搬送される物品を移載装置に渡す第1投入ポートと、移載装置により第1投入ポートから移載される物品を載置する第2投入ポートと、第2投入ポートから第1投入口及び第2投入口のいずれか他方に物品を搬送する投入接続ラインと、を備えてもよい。また、第1投入ポート及び第2投入ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、移載装置は、複数の第1投入ポートどうしの間、又は第2投入ポートどうしの間で移動可能であってもよい。また、第1投入ポート及び第2投入ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、移載装置は、複数の第1投入ポート、又は第2投入ポートごとに配置されてもよい。
 また、本発明に係る階間搬送システムは、一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、少なくとも一つのフロアにおいて、別のフロアから搬送され、垂直搬送装置から取り出された物品を搬送する排出搬送ラインと、垂直搬送装置の下り経路から物品を取り出す第1取り出し口と、垂直搬送装置の上り経路から物品を取り出す第2取り出し口と、第1取り出し口、あるいは第2取り出し口から取り出された物品を排出搬送ラインに移載する移載装置と、移載装置を制御する制御装置と、を備える。
 また、排出搬送ラインは、第1取り出し口及び第2取り出し口のいずれか一方に接続されており、第1取り出し口及び第2取り出し口のいずれか他方から取り出された物品を搬送する排出接続ラインと、排出接続ラインにより搬送されてきた物品を移載装置に渡す第1排出ポートと、移載装置により第1排出ポートから移載される物品を載置し、この物品を排出搬送ラインに送る第2排出ポートと、を備えてもよい。また、第1排出ポート及び第2排出ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、移載装置は、複数の第1排出ポートどうしの間、又は第2排出ポートどうしの間で移動可能であってもよい。また、第1排出ポート及び第2排出ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、移載装置は、複数の第1排出ポート、又は第2排出ポートごとに配置されてもよい。
 また、本発明に係る階間搬送システムは、一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、少なくとも一つのフロアにおいて、別のフロアへ搬送する物品を垂直搬送装置まで搬送する投入搬送ラインと、垂直搬送装置の上り経路に物品を投入する第1投入口と、垂直搬送装置の下り経路に物品を投入する第2投入口と、別のフロアから搬送され、垂直搬送装置から取り出された物品を搬送する排出搬送ラインと、垂直搬送装置の下り経路から物品を取り出す第1取り出し口と、垂直搬送装置の上り経路から物品を取り出す第2取り出し口と、投入搬送ラインにより搬送されてきた物品を第1投入口、あるいは第2投入口のいずれかに選択的に移載し、第1取り出し口、あるいは第2取り出し口から取り出された物品を排出搬送ラインに移載する移載装置と、移載装置を制御する制御装置と、を備える。
 また、移載装置は、天井又は天井近傍に設置されたレールに沿って移動し、物品を移載可能な移載機構を備える天井搬送車であってもよい。
 また、本発明に係る階間搬送方法は、一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送方法であって、少なくとも一つのフロアにおいて、搬送されてきた物品の搬送先を取得することと、取得した搬送先に基づいて、物品を別のフロアへ搬送する場合に、垂直搬送装置の上り経路に設けられた第1投入口に物品を投入するか、又は、垂直搬送装置の下り経路に設けられた第2投入口に物品を投入するかを判定することと、を含む。
 本発明に係る階間搬送システム及び階間搬送方法によれば、上のフロアに搬送する物品は垂直搬送装置の上り経路の第1投入口に投入し、下のフロアに搬送する物品は垂直搬送装置の下り経路の第2投入口に投入するので、上のフロアに物品を搬送するときには第1投入口に物品を投入して物品を短時間で搬送でき、垂直搬送装置の上側をまわるといった周回搬送を回避して物品の搬送時間を短縮することができ、生産効率の低下を抑制することができる。
 また、投入搬送ラインが、第1投入口及び第2投入口のいずれか一方に接続されており、第1投入口及び第2投入口のいずれか他方に搬送される物品を移載装置に渡す第1投入ポートと、移載装置により第1投入ポートから移載される物品を載置する第2投入ポートと、第2投入ポートから第1投入口及び第2投入口のいずれか他方に物品を搬送する投入接続ラインと、を備える場合、移載装置により物品を投入接続ラインから第1投入口又は第2投入口のいずれかに効率よく投入できる。また、第1投入ポート及び第2投入ポートのいずれか一方又は双方が、複数配置され、移載装置が、複数の第1投入ポートどうしの間、又は第2投入ポートどうしの間で移動可能である場合、複数の第1投入ポートどうしの間等を移載装置が移動可能であるので、複数の第1投入ポート等より少ない数の移動装置で物品の移載を行うことができ、設備コストを低減できる。また、第1投入ポート及び第2投入ポートのいずれか一方又は双方が、複数配置され、移載装置が、複数の第1投入ポート、又は第2投入ポートごとに配置される場合、第1投入ポートから第2投入ポートへの物品の移載を複数の移載装置で行うため、物品の投入効率を向上できる。
 また、本発明に係る階間搬送システムによれば、垂直搬送装置の下り経路と上り経路とのそれぞれに第1取り出し口と第2取り出し口とを備えるので、上のフロアから物品が搬送されてきたときには下のフロアの下り経路の第1取り出し口によって物品を取り出し、下のフロアから物品が搬送されてきたときには上のフロアの上り経路の第2取り出し口によって物品を取り出すので、垂直搬送装置の下側あるいは上側をまわるといった周回搬送を回避して物品の搬送時間を短縮することができ、生産効率の低下を抑制することができる。
 また、排出搬送ラインが、第1取り出し口及び第2取り出し口のいずれか一方に接続されており、第1取り出し口及び第2取り出し口のいずれか他方から取り出された物品を搬送する排出接続ラインと、排出接続ラインにより搬送されてきた物品を移載装置に渡す第1排出ポートと、移載装置により第1排出ポートから移載される物品を載置し、この物品を排出搬送ラインに送る第2排出ポートと、を備える場合、移載装置により物品をスムーズに第1取り出し口又は第2取り出し口から排出搬送ラインに排出することができる。また、第1排出ポート及び第2排出ポートのいずれか一方又は双方が、複数配置され、移載装置が、複数の第1排出ポートどうしの間、又は第2排出ポートどうしの間で移動可能である場合、複数の第1排出ポートどうしの間等を移載装置が移動可能であるので、複数の第1排出ポート等より少ない数の移動装置で物品の移載を行うことができ、設備コストを低減できる。また、第1排出ポート及び第2排出ポートのいずれか一方又は双方が、複数配置され、移載装置は、複数の第1排出ポート、又は第2排出ポートごとに配置される場合、第1排出ポートから第2排出ポートへの物品の移載を複数の移載装置で行うため、物品の排出効率を向上できる。
 また、本発明に係る階間搬送システムによれば、第1投入口により投入されて上り経路で搬送されてきた物品は、上のフロアの上り経路の第2取り出し口で取り出し、第2投入口により投入されて下り経路で搬送されてきた物品は、下のフロアの下り経路の第1取り出し口で取り出すことによって周回搬送を回避しつつ、物品を最短経路で搬送するので、物品の搬送時間を短縮することができ、生産効率の低下を抑制することができる。
 また、移載装置が、天井又は天井近傍に設置されたレールに沿って移動し、物品を移載可能な移載機構を備える天井搬送車である場合、天井搬送車の移載機構を用いることにより、別途移載装置を設ける必要がなく、設備コストを低減できる。
実施形態に係る階間搬送システムの一例を示す斜視図である。 垂直搬送装置の一例を模式的に示す図である。 図1に示す階間搬送システムを上方から見た平面図である。 移載装置としての天井搬送車の一例を示す図である。 移載装置としての天井搬送車で物品を移載する一例を示す図である。 (A)~(C)は、第1投入口から物品を垂直搬送装置に投入する動作の一例を示す図である。 (A)~(C)は、第1取り出し口から物品を取り出す動作の一例を示す図である。 (A)~(C)は、第2投入口から物品を垂直搬送装置に投入する動作の一例を示す図である。 (A)~(C)は、第2取り出し口から物品を取り出す動作の一例を示す図である。 実施形態に係る階間搬送方法の一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る階間搬送システムの他の例を上方から見た平面図である。 実施形態に係る階間搬送システムの他の例を上方から見た平面図である。
 以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する構成に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、XYZ座標系を用いて図中の方向を説明する。このXYZ座標系においては、水平面に平行な平面をXY平面とする。また、XY平面に垂直な方向はZ方向と表記する。X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が+方向であり、矢印の方向とは反対の方向が-方向であるとして説明する。
 図1は、実施形態に係る階間搬送システム100の一例を示す斜視図である。図2は、階間搬送システム100に備える垂直搬送装置Vを模式的に示す図である。階間搬送システム100は、例えば、建屋内の複数のフロアにそれぞれ生産ラインが配置されている半導体製造工場などの生産設備において、処理対象である物品Mを、現在のフロアから他のフロアに搬送する。また、物品Mは、階間搬送システム100によって、別の建屋等の建屋の外側から特定のフロアに搬送され、必要に応じてこの特定のフロアから他のフロアに搬送される。
 物品Mは、例えば、内部をパージ可能なFOUP、SMIF Pod、レチクルPodなどであり、内部に半導体素子の製造に用いられるウエハ、あるいはレチクルなどを収容する。本実施形態においては、物品MがFOUPの例を示している。なお、各物品Mは、搬送先を示すタグ、バーコード又は二次元コード、あるいは搬送先の情報を送信可能なRFIDなどを備えている。本実施形態の階間搬送システム100は、各物品Mの搬送先の情報を読み取りあるいは受信し、搬送先の情報に基づいて搬送先のフロアに各物品Mを搬送する。
 図1及び図2に示すように、階間搬送システム100は、物品Mが別の建屋等の建屋外から特定のフロアに搬送される場合、一方向に周回する垂直搬送装置Vの上り経路Vaと下り経路Vbとを用いて、物品Mを異なるフロアへ搬送する。また、建屋内において物品Mを現在のフロアから他のフロアに搬送する場合も、垂直搬送装置Vの上り経路Vaと下り経路Vbとを用いて物品Mを搬送する。垂直搬送装置Vの上り経路Vaは、物品Mを載置した状態で鉛直方向の上方(+Z方向)に移動させる。下り経路Vbは、物品Mを載置した状態で鉛直方向の下方(-Z方向)に移動させる。上り経路Va及び下り経路Vbは、上側循環経路Vc及び下側循環経路Vdにより接続される。
 垂直搬送装置Vは、物品Mを載置する複数の棚部Rと、この複数の棚部Rを上り経路Va、上側循環経路Vc、下り経路Vb、下側循環経路Vdに沿って一方向に周回移動させる不図示の駆動機構とを有する。各棚部Rのそれぞれは、後述の投入装置71、73及び取り出し装置72、74の一部(図6~図8の物品支持部71d、72d、73d、74d参照)を通過させる寸法および形状の切り欠きRaを有する。
 階間搬送システム100は、投入口10と、投入搬送ライン20と、取り出し口30と、排出搬送ライン40と、移載装置50と、制御装置60とを備える。階間搬送システム100は、建屋内の少なくとも1つのフロアに配置される。本実施形態では、例えば、建屋の2階フロアF2に階間搬送システム100が配置される場合を例に挙げて説明するが、この構成に限定されず、他のフロアに配置されてもよい。また、階間搬送システム100は、複数のフロアのそれぞれに配置されてもよい。
 図3は、2階フロアF2に配置される階間搬送システム100の一例を上方から見た平面図である。図3では、2階フロアF2を上層部F2aと下層部F2bとに構成を分けて示している。
 図1~図3に示すように、投入口10は、垂直搬送装置Vに対して物品を投入する部分である。投入口10は、第1投入口11と、第2投入口12とを有する。第1投入口11は、垂直搬送装置Vの上り経路Vaに物品Mを投入するために用いられる。第1投入口11は、各階(1階フロアF1、2階フロアF2、3階フロアF3~n階フロアFn:図2参照)に配置される。第1投入口11は、2階フロアF2において、上層部F2aに配置される。第1投入口11には、後述する投入装置71が配置される。投入装置71は、物品Mを投入搬送ライン20から受け取って垂直搬送装置Vの棚部Rに載置する。第2投入口12は、垂直搬送装置Vの下り経路Vbに物品Mを投入するために用いられる。第2投入口12は、2階フロアF2の下層部F2bに配置される。第2投入口12には、後述する投入装置73が配置される。
 投入搬送ライン20は、投入主ライン21と、投入接続ライン22と、第1投入ポート23と、第2投入ポート24とを有する。投入主ライン21は、第1投入口11及び第2投入口12のいずれか一方に接続される。本実施形態では、投入主ライン21が第1投入口11に接続される場合を例に挙げて説明する。投入主ライン21は、建屋外から搬送された物品Mを第1投入口11に搬送する。投入主ライン21は、2階フロアF2の上層部F2aに配置され、例えば、ローラコンベア、ベルトコンベア等の搬送機構を有する。投入主ライン21は、外部から-Y方向に延びる外部接続部21aと、外部接続部21aから垂直搬送装置Vに向けて-X方向に延びる直線搬送部21bと、直線搬送部21bから第1投入口11に向けて物品Mを搬送する投入搬送部21cと、を有する。また、投入主ライン21は、この建屋内において同一フロア内(2階フロアF2内)に物品Mを搬送するためのフロア搬送部21dを有している。フロア搬送部21dは、外部接続部21aの-Y側端部から-X方向に延びて形成される。
 また、投入搬送ライン20は、外部から搬送される物品Mの搬送先を検出する検出部25を有する。検出部25は、物品Mに設けられた上記のタグ等に含まれる識別IDを読み取ることにより、不図示の上位コントローラから識別IDの搬送先を取得し、その物品Mの搬送先に関する情報を制御装置60に送信する。また、上記のタグ等に物品Mの搬送先の情報を含む場合、検出部25は、上記したタグ等から搬送先の情報を直接読み取って、その情報を制御装置60に送信する。
 投入接続ライン22は、第1投入口11及び第2投入口12のうち投入主ライン21の接続先とは異なるいずれか他方に接続される。本実施形態では、投入接続ライン22が第2投入口12に接続される場合を例に挙げて説明する。投入接続ライン22は、2階フロアF2の下層部F2bに配置され、例えば、投入主ライン21と同様に、ローラコンベア、ベルトコンベア等の搬送機構を有する。投入接続ライン22は、垂直搬送装置Vに向けて-X方向に延びる直線搬送部22bと、直線搬送部22bから第2投入口12に向けて物品を搬送する投入搬送部22cとを有する。
 第1投入ポート23は、投入主ライン21の直線搬送部21bから+Y方向に延びた位置に設けられる。第1投入ポート23は、直線搬送部21bにおける物品Mの搬送方向(X方向)に複数(例えば2つ)並んだ状態で配置される。第1投入ポート23は、後述する移載装置50に物品Mを渡すために物品Mを載置する場所として用いられる。
 第2投入ポート24は、投入接続ライン22の直線搬送部22bから-Y方向に延びた位置に設けられる。第2投入ポート24は、直線搬送部22bにおける物品Mの搬送方向(X方向)に複数(例えば2つ)並んだ状態で配置される。第2投入ポート24は、後述する移載装置50から渡される物品Mを載置する場所として用いられる。なお、上方から見た場合、第2投入ポート24は、それぞれ第1投入ポート23に対して、後述の移載装置50の移動経路を挟んで+Y側の位置に対向して配置される。なお、第1投入ポート23及び第2投入ポート24の数は同一であるが、異なってもよい。また、フロア搬送部21dには、複数(例えば2つ)の搬送用ポート26がX方向に並んで設けられている。搬送用ポート26は、フロア搬送部21dから搬送された物品Mを載置し、後述する天井搬送車81によって受け取り可能な位置に設けられる。なお、図1においては、フロア搬送部21d及び搬送用ポート26を一点鎖線で表記している。
 取り出し口30は、垂直搬送装置Vから物品Mを取り出すために用いられる。取り出し口30は、第1取り出し口31と、第2取り出し口32とを有する。第1取り出し口31は、垂直搬送装置Vの下り経路Vbから物品Mを取り出すために用いられる。第1取り出し口31は、各階(1階フロアF1、2階フロアF2、3階フロアF3、…、n階フロアFn:図2参照)に配置される。第1取り出し口31は、2階フロアF2においては上層部F2aに配置される。
 第1取り出し口31には、後述する取り出し装置72が配置される。取り出し装置72は、垂直搬送装置Vの棚部Rに載置された物品Mを排出搬送部41aに搬送する。第2取り出し口32は、垂直搬送装置Vの上り経路Vaから物品Mを取り出すのに用いられる。第2取り出し口32は、2階フロアF2の下層部F2bに配置される。第2取り出し口32には、後述する取り出し装置74が配置される。取り出し装置74は、垂直搬送装置Vの棚部Rに載置された物品Mを排出搬送部42aに搬送する。
 排出搬送ライン40は、排出主ライン41と、排出接続ライン42と、第1排出ポート43と、第2排出ポート44とを有する。排出主ライン41は、第1取り出し口31及び第2取り出し口32のいずれか一方に接続される。本実施形態では、排出主ライン41が第1取り出し口31に接続される場合を例に挙げて説明する。排出主ライン41は、第1取り出し口31から取り出された物品Mを建屋外に搬送する。排出主ライン41は、2階フロアF2の上層部F2aに配置され、例えば、ローラコンベア、ベルトコンベア等の搬送機構を有する。排出主ライン41は、第1取り出し口31から取り出された物品Mを搬出する排出搬送部41aと、排出搬送部41aから+X方向に延びる直線搬送部41bと、直線搬送部41bから建屋外に向けて+Y方向に延びる外部接続部41cとを有する。また、排出主ライン41は、この建屋内において同一フロア内(2階フロアF2内)に物品Mを搬送するためのフロア搬送部41dを有している。フロア搬送部41dは、外部接続部41cの途中から-X方向に延びて形成される。
 排出接続ライン42は、第1取り出し口31及び第2取り出し口32のうち排出主ライン41の接続先とは異なるいずれか他方に接続される。本実施形態では、排出接続ライン42が第2取り出し口32に接続される場合を例に挙げて説明する。排出接続ライン42は、2階フロアF2の下層部F2bに配置され、排出主ライン41と同様に、例えば、ローラコンベア、ベルトコンベア等の搬送機構を有する。排出接続ライン42は、第2取り出し口32から取り出された物品Mを搬出する排出搬送部42aと、排出搬送部42aから+X方向に延びる直線搬送部42bとを有する。
 第1排出ポート43は、排出接続ライン42の直線搬送部42bから+Y方向に延びた状態で設けられる。第1排出ポート43は、直線搬送部42bにおける物品Mの搬送方向(X方向)に複数(例えば2つ)並んだ状態で配置される。第1排出ポート43は、後述する移載装置50に物品Mを渡すために物品Mを載置する場所として用いられる。
 第2排出ポート44は、排出主ライン41の直線搬送部41bから-Y方向に延びた位置に設けられる。第2排出ポート44は、直線搬送部41bにより物品Mを搬送する方向(X方向)に複数(例えば2つ)並んだ状態で配置される。第2排出ポート44は、後述する移載装置50から渡される物品Mを載置する場所として用いられる。なお、上方から見た場合、第2排出ポート44は、それぞれ第1排出ポート43に対して、後述の移載装置50の移動経路を挟んで+Y側の位置に対向して配置される。なお、第1排出ポート43及び第2排出ポート44の数は同一であるが、異なってもよい。また、フロア搬送部41dには、複数(例えば2つ)の搬送用ポート46がX方向に並んで設けられている。搬送用ポート46は、フロア搬送部41dから搬送された物品Mを載置し、後述する天井搬送車81によって受け取り可能な位置に設けられる。
 また、排出搬送ライン40は、建屋外に搬送する物品Mの情報を検出する検出部を有してもよい。検出部は、例えば、物品Mに設けられた上記のタグ等に含まれる情報を読み取ることにより、物品Mの情報を制御装置60に送信してもよい。制御装置60は、物品Mの情報を、不図示の上位コントローラに送信してもよいし、物品Mの搬送先である別の建屋内の搬送システムに送信してもよい。
 移載装置50は、投入搬送ライン20により搬送されてきた物品Mを第1投入口11、あるいは第2投入口12のいずれかに選択的に移載する。また、移載装置50は、第1取り出し口31、あるいは第2取り出し口32から取り出された物品Mを排出搬送ライン40に移載する。図4は、移載装置50の一例を示す図である。図5は、移載装置50により物品Mを移載する一例を示す図である。移載装置50としては、天井搬送車が用いられる。
 移載装置(天井搬送車)50は、走行部5と、移載機構3とを備える。走行部5は、不図示の駆動装置によってレール6に沿って走行する。レール6は、例えば、2階フロアF2の天井又は天井の近傍に設置される。レール6は、第1投入ポート23と第2投入ポート24との間の上方と、第1排出ポート43と第2排出ポート44との間の上方とに亘って、X方向に延びて配置される。したがって、移載装置50は、第1投入ポート23と第2投入ポート24との間、第1排出ポート43と第2排出ポート44との間で、それぞれ移動可能である。
 走行部5は、走行輪7と、駆動用モータ(図示せず)、エンコーダ(図示せず)などを有する。走行輪7は、レール6に接するように配置される。エンコーダは、走行輪7の回転数などを検出し、その検出結果を移載装置(天井搬送車)50に搭載された車載コントローラ(図示せず)に出力する。車載コントローラは、エンコーダの検出結果に基づいて駆動用モータを制御し、移載装置50の速度あるいは停止位置などの制御を行う。移載装置(天井搬送車)50は、走行部5から下方に延びる支持軸9が取り付けられている。支持軸9の下部には移載機構3が取り付けられている。なお、移載装置(天井搬送車)50の駆動方式等は特に限定されない。
 移載機構3は、物品Mを保持する物品保持部53と、物品保持部53を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部54と、昇降駆動部54を移動させる横出し機構51とを有する。物品保持部53は、物品Mのフランジ部Mgを把持することにより、物品Mを吊り下げて保持する。物品保持部53は、例えば、水平方向に移動可能な爪部53aを有するチャックであり、爪部53aを物品Mのフランジ部Mgの下方に侵入させ、物品保持部53を上昇させることで、物品Mを吊り下げて保持する。物品保持部53は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材53bと接続されている。
 昇降駆動部54は、例えばホイストであり、吊り下げ部材53bを繰り出すことにより物品保持部53を降下させ、吊り下げ部材53bを巻き取ることにより物品保持部53を上昇させる。昇降駆動部54は、車載コントローラによって制御され、所定の速度で物品保持部53を降下あるいは上昇させ、物品保持部53を目標の高さに移動させる。
 横出し機構51は、移載機構3に設けられた不図示のY方向ガイド及び電動モータ等のY方向駆動部と、Z方向に重ねて配置された可動板とを有する。横出し機構51は、車載コントローラによって制御され、Y方向駆動部によって可動板を+Y方向又は-Y方向に移動させ、物品保持部53及び昇降駆動部54を格納位置から+Y方向又は-Y方向の突出位置に移動させる。昇降駆動部54には回動部52が設けられている。回動部52は、不図示の回動駆動部により物品保持部53及び昇降駆動部54を上下方向(Z方向)の軸周りに回転させる。この構成により、物品保持部53で保持する物品Mを上下方向の軸周りに回転させることができる。なお、移載装置50は回動部52を備えなくてもよい。
 移載装置50は、図4に示すように、第1投入ポート23に載置された物品Mを第2投入ポート24に移載することができ、第2排出ポート44に載置された物品Mを第1排出ポート43に移載することができる。また、移載装置50は、図5に示すように、走行部5がレール6に沿って走行することにより、+X方向又は-X方向に移動可能である。移載装置50は、X方向に移動することで、複数の第1投入ポート23又は複数の第1排出ポート43のいずれかの位置P1~P4に対応することが可能となる。なお、移載装置50の動作については後述する。
 制御装置60は、階間搬送システム100の動作を統括して制御する。制御装置60は、移載装置50に動作指令を送信し、この動作指令を受信した移載装置50の車載コントローラが走行部5、横出し機構51、物品保持部53、及び昇降駆動部54の動作を制御する。また、制御装置60は、移載装置50を、第1投入ポート23と第2投入ポート24との間の位置P1、P2と、第1排出ポート43と第4排出ポート44との間の位置P3、P4とにそれぞれ配置させることができる。
 また、図3に示すように、階間搬送システム100は、天井搬送車システム80に接続されている。天井搬送車システム80は、レール82を走行可能な複数の天井搬送車81を有し、建屋内における同一フロア(本実施形態では2階フロアF2)で物品Mを搬送する。天井搬送車81は、例えば、図4に示す移載装置50と同様の構成を有し、物品Mを保持した状態でレール82に沿って移動する。レール82は、図4及び図5に示すレール6と同様の構成を有する。また、上記した移載装置50のレール6は、天井搬送車システム80のレール82から分岐及び合流するように設けられている。レール82の一部は、搬送用ポート26、46の直上又はほぼ直上に配置されている。従って、天井搬送車81は、搬送用ポート26、46のいずれかの直上で停止することにより、搬送用ポート26、46に載置された物品Mを受け取り、同一フロア内の所望の場所に搬送することができる。また、移載装置50及び天井搬送車81は、レール82からレール6へ、又はレール6からレール82へ乗り入れ可能である。
 図6(A)~(C)は、第1投入口11から物品Mを垂直搬送装置Vに投入する動作の一例を示す図である。投入装置71は、図6に示すように、基部71aと、昇降部71bと、伸縮部71cと、物品支持部71dとを有する。昇降部71bは、基部71aに対してZ方向に昇降する。伸縮部71cは、水平方向に伸縮する。また、物品支持部71dは、物品Mの底部を支持する。
 図7は、(A)~(C)は、第1取り出し口31から物品Mを取り出す動作の一例を示す図である。取り出し装置72は、図7に示すように、基部72aと、昇降部72bと、伸縮部72cと、物品支持部72dとを有する。取り出し装置72の各部の構成は、上記の投入装置71と同様であるため、説明を省略する。図8は、(A)~(C)は、第2投入口12から物品Mを垂直搬送装置に投入する動作の一例を示す図である。投入装置73は、図8に示すように、基部73aと、昇降部73bと、伸縮部73cと、物品支持部73dとを有する。投入装置73の各部の構成は、上記の投入装置71と同様であるため、説明を省略する。図9は、(A)~(C)は、第2取り出し口32から物品Mを取り出す動作の一例を示す図である。取り出し装置74は、図9に示すように、基部74aと、昇降部74bと、伸縮部74cと、物品支持部74dとを有する。取り出し装置74の各部の構成は、上記の投入装置71と同様であるため、説明を省略する。なお、投入装置71、73及び取り出し装置72、74の動作については後述する。
 次に、上記のように構成された階間搬送システム100の動作を説明する。図10は、実施形態に係る階間搬送方法の一例を示すフローチャートである。図10のフローチャートを説明するに際して、適宜図1~図9の内容を参照する。図10に示すように、建屋外から投入搬送ライン20によって物品Mが搬送される場合、階間搬送システム100は、物品Mの搬送先を取得する(ステップS01)。投入搬送ライン20において、検出部25(図1参照)は、物品Mの搬送先を検出し、検出結果を制御装置60に送信する。制御装置60は、投入搬送ライン20の検出部25から送信される検出結果に基づいて、物品Mの搬送先を識別する。制御装置60は、物品Mの搬送先に応じて、投入搬送ライン20及び移載装置50を制御する。
 続いて、制御装置60は、物品Mを他のフロアに搬送するか否かを判断する(ステップS02)。物品Mは、投入搬送ライン20によって2階フロアF2に搬入されている(図1及び図2参照)。物品Mを他のフロアに搬送しない場合(ステップS02のNOであり、2階フロアF2において搬送する場合)、物品Mは、フロア内で搬送される(ステップS03)。ステップS03において、物品Mは、外部接続部21aからフロア搬送部21dを介して搬送用ポート26に搬送される(図3参照)。搬送用ポート26の物品Mは、天井搬送車81が受け取って、2階フロアF2内の所望の場所に搬送される。また、物品Mを他のフロアに搬送する場合(ステップS02のYES)、制御装置60は、物品Mの搬送先が上のフロアか否かを判定する(ステップS04)。物品Mの搬送先が上のフロア(例えば3階フロアF3等)である場合(ステップS04のYES)、制御装置60は、垂直搬送装置Vの上り経路Vaに接続される第1投入口11から物品Mを投入するように指示する(ステップS05)。また、物品Mの搬送先が下のフロア(例えば3階フロアF3等)である場合(ステップS04のNO)、制御装置60は、垂直搬送装置Vの下り経路Vbに接続される第2投入口12から物品Mを投入するように指示する(ステップS06)。
 物品Mを第1投入口11から投入する場合、制御装置60は、移載装置50を用いることなく物品Mの搬送を行うように指示する。このとき、移載装置50は、所定の位置に待機しているか、又は他の作業を行っている。物品Mは、投入搬送ライン20の投入主ライン21において、外部接続部21a、直線搬送部21b及び投入搬送部21cを介して第1投入口11に搬送され、第1投入口11から垂直搬送装置Vに投入される。
 また、物品Mを第2投入口12から投入する場合、物品Mは、投入主ライン21の外部接続部21a及び直線搬送部21bを介して2つの第1投入ポート23のいずれか一方に載置される。制御装置60は、例えば、2つの第1投入ポート23のうち空いている方に物品Mを載置するように指示する。なお、制御装置60は、例えば、2つの第1投入ポート23の双方に既に物品Mが載置されている場合、直線搬送部21bにおける第1投入ポート23の手前で物品Mの搬送を停止させて待機させるように指示してもよい。
 制御装置60は、第1投入ポート23に載置された物品Mを移載装置50により第2投入ポート24の1つに移載するように指示する。この場合、制御装置60は、図5に示すように、物品Mが配置される第1投入ポート23に対応するX方向上の位置(位置P1または位置P2)に移載装置50が移動するように指示する。以下、物品Mが-X側の第1投入ポート23に搬送される場合を例に挙げて説明するが、物品Mが+X側の第1投入ポート23に搬送される場合についても同様の説明が可能である。
 物品Mが投入主ライン21によって-X側の第1投入ポート23に載置された場合、制御装置60は、移載装置50が位置P1に位置するように指示する。続いて、移載装置50は、図4に示すように、横出し機構51を-Y側に突出させて物品保持部53を物品Mの真上に配置させる。続いて、移載装置50は、昇降駆動部54により物品保持部53を-Z方向に下降させて、物品Mを保持する。移載装置50は、物品保持部53で物品Mを保持した後、昇降駆動部54により物品保持部53を+Z方向に上昇させる。
 移載装置50は、物品保持部53を上昇させた後、物品保持部53で物品Mを保持したまま、横出し機構51を+Y側に突出させ、物品Mを-X側の第2投入ポート24(図5参照)の真上に配置する。続いて、移載装置50は、昇降駆動部54により物品保持部53を-Z方向に下降させて、物品Mを第2投入ポート24に載置する。移載装置50は、物品Mを第2投入ポート24に載置した後、昇降駆動部54により物品保持部53を上昇させ、横出し機構51により物品保持部53を元の位置に戻す。また、第2投入ポート24に載置された物品Mは、投入接続ライン22の直線搬送部22b及び投入搬送部22cを介して第2投入口12に搬送され、第2投入口12から垂直搬送装置Vに投入される。
 一方、垂直搬送装置Vから第1取り出し口31を介して物品Mが取り出された場合、制御装置60は、移載装置50を用いることなく物品Mの搬送を行うように指示する。このとき、移載装置50は、所定の位置に待機しているか、又は他の作業を行っている。物品Mは、排出搬送ライン40の排出主ライン41において、排出搬送部41a、直線搬送部41b及び外部接続部41cを介して建屋外に排出される。
 また、垂直搬送装置Vから第2取り出し口32を介して物品Mが取り出された場合、物品Mは、排出接続ライン42の排出搬送部42a及び直線搬送部42bを介して2つの第1排出ポート43のいずれか一方に搬送される。制御装置60は、例えば、2つの第1排出ポート43のうち空いている方に物品Mを載置するように指示する。なお、制御装置60は、例えば、2つの第1排出ポート43の双方に既に物品Mが載置されている場合、直線搬送部42bにおける第1排出ポート43の手前で物品Mの搬送を停止させて待機するように指示してもよい。
 制御装置60は、第1排出ポート43に載置された物品Mを移載装置50により第2排出ポート44の1つに移載するように指示する。この場合、制御装置60は、図5に示すように、物品Mが配置される第1排出ポート43に対応するように、移載装置50がX方向上の位置(位置P3または位置P4)に移動するように指示する。以下、物品Mが-X側の第1排出ポート43に搬送される場合を例に挙げて説明するが、物品Mが+X側の第1排出ポート43に搬送される場合についても同様の説明が可能である。
 物品Mが排出接続ライン42によって-X側の第1排出ポート43に載置された場合、制御装置60は、移載装置50が位置P3に位置するように指示する。続いて、移載装置50は、図4に示すように、横出し機構51を-Y側に突出させて物品保持部53を物品Mの真上に配置させる。続いて、移載装置50は、昇降駆動部54により物品保持部53を-Z方向に下降させて、物品Mを物品保持部53で保持する。移載装置50は、物品保持部53で物品Mを保持した後、昇降駆動部54により物品保持部53を+Z方向に上昇させる。
 移載装置50は、物品保持部53を上昇させた後、物品保持部53で物品Mを保持したまま、横出し機構51を+Y側に突出させ、物品Mを-X側の第2排出ポート44(図5参照)の真上に配置する。続いて、移載装置50は、昇降駆動部54により物品保持部53を-Z方向に下降させて、物品Mを第2排出ポート44に載置する。移載装置50は、物品Mを第2排出ポート44に載置した後、昇降駆動部54により物品保持部53を上昇させ、横出し機構51により物品保持部53を元の位置に戻す。また、第2排出ポート44に載置された物品Mは、排出主ライン41の直線搬送部41b及び外部接続部41cを介して建屋外に排出される。なお、物品Mを同一フロア(本実施形態では2階フロアF2)において搬送する場合、物品Mは、外部接続部41cからフロア搬送部41dを介して搬送用ポート46に搬送される(図3参照)。搬送用ポート46の物品Mは、天井搬送車81が受け取って、2階フロアF2内の所望の場所に搬送される。
 次に、垂直搬送装置Vに対する物品Mの投入動作及び取り出し動作について説明する。先ず、2階フロアF2の上層部F2aにおける物品Mの投入動作及び取り出し動作を説明する。図6(A)に示すように、投入装置71は、投入搬送部21cにより搬送されてきた物品Mを受け取る。続いて、上昇する棚部RがZ方向の所定位置に到達すると、図6(B)に示すように、投入装置71は、伸縮部71cを第1投入口11の内部に向けて伸長させる。伸縮部71cを伸長させるタイミングは、物品Mを載置する対象の棚部Rの1つ上方に配置される棚部Rが物品支持部71dの側方を通過した後で、かつ、対象の棚部Rが物品支持部71dの高さ位置に到達する前である。
 伸縮部71cを伸長させることにより、物品支持部71dは、棚部Rの上方に配置される。続いて、図6(C)に示すように、棚部Rは、上り経路Vaに沿ってさらに上昇することにより、物品支持部71d上に載置された物品Mを掬い上げて受け取る。なお、物品支持部71dは、棚部Rの切り欠きRa(図1参照)を通過する。このように、物品Mは、投入装置71によって投入搬送部21c(投入搬送ライン20)から垂直搬送装置Vの上り経路Vaの棚部Rへ投入される。物品支持部71dは、伸縮部71cを収縮させることにより垂直搬送装置Vの上り経路Vbから退避する。
 また、第1取り出し口31から物品Mを取り出す場合、図7(A)に示すように、取り出し装置72は、取り出し対象となる物品Mが載置された棚部Rが近付いてくるまで待機する。続いて、図7(B)に示すように、物品Mが載置された棚部Rが上方から近づいてくると、取り出し装置72は、伸縮部72cを第1取り出し口31の内部に向けて伸長させる。伸縮部72cを伸長させるタイミングは、取り出し対象となる物品Mを載置した棚部Rの1つ下方に配置される棚部Rが物品支持部72dの側方を下方に通過した後で、かつ、対象の物品Mを載置する棚部Rが物品支持部72dの高さ位置に到達する前である。
 伸縮部72cを伸長させることにより、物品支持部72dは、棚部Rの下方に配置される。続いて、棚部Rが下降することにより、図7(C)に示すように、下り経路Vbに沿って下降する棚部Rから物品Mが物品支持部72dに渡される。なお、棚部Rの切り欠きRa(図1参照)は、物品支持部72dを通過する。物品支持部72dは、伸縮部72cを収縮させることにより垂直搬送装置Vの下り経路Vbから退避し、物品Mを排出搬送部41aに載置する。このように、物品Mは、取り出し装置72によって垂直搬送装置Vの下り経路Vbの棚部Rから排出搬送部41aに取り出される。
 次に、2階フロアF2の下層部F2bにおける物品Mの投入動作及び取り出し動作を説明する。図8(A)に示すように、投入装置73は、投入搬送部22cに搬送されてきた物品Mを受け取る。続いて、投入装置73は、昇降部73bにより物品支持部73dを上昇させた状態で、下り経路Vbにおいて下降する棚部Rが物品支持部73dの側方を通過するまで待機する。投入装置73は、図8(B)に示すように、物品Mを載置する対象の棚部Rが物品支持部73dの側方を通過したタイミングで、伸縮部73cを第2投入口12の内部に向けて伸長させる。この動作により、物品支持部73dは、物品Mの載置先である棚部Rの上方に配置される。
 この状態から、図8(C)に示すように、投入装置73は、棚部Rが下降する速度よりも大きな速度で昇降部73bにより物品支持部73dを下降させる。この動作により、物品支持部73dは、棚部Rの切り欠きRaを下方に通過し、物品支持部73d上の物品Mが下り経路Vbの棚部Rに渡される。棚部Rの下方に移動した物品支持部73dは、伸縮部73cを収縮させることにより垂直搬送装置Vの下り経路Vbから退避する。
 また、第2取り出し口32から物品Mを取り出す場合、図9(A)に示すように、取り出し装置74は、昇降部74bにより物品支持部74dを下降させた状態で、上り経路Vaにおいて、取り出し対象となる物品Mを載置した棚部Rが物品支持部74dの側方を通過するまで待機する。取り出し装置74は、図9(B)に示すように、対象の棚部Rが物品支持部74dの側方を通過したタイミングで、伸縮部74cを第2取り出し口32の内部に向けて伸長させる。この動作により、物品支持部74dが棚部Rの下方に配置される。
 この状態から、図9(C)に示すように、取り出し装置74は、棚部Rの上昇する速度よりも大きい速度で昇降部74bを上昇させる。この動作により、物品支持部74dは、棚部Rの切り欠きRaを上方に通過し、棚部Rに載置された物品Mを掬い上げて受け取る。棚部Rの上方に移動した物品支持部74dは、伸縮部74cを収縮させることにより垂直搬送装置Vの上り経路Vaから退避し、物品Mを排出搬送部42aに載置する。このように、物品Mは、取り出し装置74によって垂直搬送装置Vの上り経路Vaの棚部Rから排出搬送部42aに取り出される。
 以上のように、本実施形態に係る階間搬送システム100によれば、上のフロアに搬送される物品Mは、上り経路Vaの第1投入口11に投入されて上り経路Vaの第2取り出し口31で取り出され、下のフロアに搬送される物品Mは、下り経路Vbの第2投入口12に投入されて下り経路Vbの第1取り出し口31で取り出される。その結果、物品Mは、垂直搬送装置Vで周回搬送されることなく、最短経路によって搬送されるので、物品Mの階間搬送に要する時間を短縮することができ、生産効率の低下を抑制することができる。
 上記した実施形態では、移載装置(天井搬送車)50がX方向に移動可能な構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。図11は、実施形態に係る階間搬送システムの他の例を示す平面図である。図11では、2階フロアF2の上層部F2aと下層部F2bとの構成を分けて示している。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
 図11に示す階間搬送システム100Aは、移載装置50A、50B、50C、50Dが、-X側の第1投入ポート23と-X側の第2投入ポート24との間の位置P1、+X側の第1投入ポート23と+X側の第2投入ポート24との間の位置P2、-X側の第1排出ポート43と-X側の第2排出ポート44との間の位置P3、+X側の第1排出ポート43と+X側の第1排出ポート44との間の位置P4に、それぞれ配置される。
 このように、各位置P1~P4に移載装置50A~50Dが配置されるので、第1投入ポート23から第2投入ポート24への物品の移載、及び、第1排出ポート43から第2排出ポート44への移載が個別の移載装置50A等により行われるので、物品Mを効率よく移載することができ、移載する物品Mが多い場合でも素早く対応することができる。
 また、上記した実施形態では、コンベア等により構成された投入搬送ライン20及び排出搬送ライン40を用いて、建屋外から物品Mを搬入し、また、建屋外に物品Mを排出する構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。図12は、実施形態に係る階間搬送システムの他の例を示す平面図である。図12では、2階フロアF2の上層部F2aと下層部F2bとの構成を分けて示している。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図12に示す階間搬送システム100Bは、天井搬送車システム80Aによって建屋外から物品Mを搬入し、また、建屋外に物品Mを排出する。天井搬送車システム80Aは、天井搬送車システム80と同様に、天井搬送車81と、レール82とを有する。
 レール82は、建屋外から延びて設けられ、投入搬送ライン20Aの直線搬送部21bの上方と、排出搬送ライン40Bの直線搬送部41bの上方にわたって連続して敷設されており、建屋外に向けて延びている。また、レール82は、移載装置50のレール6に接続される点は上記した実施形態と同様である。また、レール82は、建屋の内外に渡って敷設されるだけでなく、上記した天井搬送車システム80と同様に、同一フロア内において物品Mを天井搬送車81で搬送できるようにレール82が敷設されている。
 この階間搬送システム100Bは、建屋外から天井搬送車81により搬送されてきた物品Mを第1投入口11に搬送する場合、天井搬送車81によって物品Mを投入搬送ライン20Aの搬送用ポート26に載置する。この動作により、物品Mは、直線搬送部21b及び投入搬送部21cによって第1投入口11まで搬送される。また、物品Mを第2投入口12に搬送する場合、天井搬送車81によって物品Mを投入搬送ライン20Aの搬送用ポート26に載置する。物品Mは、直線搬送部21bから第1投入ポート23に搬送される。第1投入ポート23に載置された物品Mは、移載装置50によって投入接続ライン22の第2投入ポート24に移載され、第1投入ポート23の直線搬送部21b及び投入搬送部22cにより第2投入口12に搬送される。また、天井搬送車81は、建屋外から搬送されてきた物品Mを同一フロア(本実施形態では2階フロアF2)において搬送する場合、物品Mを階間搬送システム100Bに渡すことなく、そのまま所望の場所まで搬送することができる。
 また、垂直搬送装置Vの第1取り出し口31から取り出された物品Mは、排出搬送ライン40Bの排出搬送部41a、直線搬送部41b、及びフロア搬送部41dを介して搬送用ポート46に載置される。搬送用ポート46に載置された物品Mは、天井搬送車81により受け取られて、建屋外に排出又は同一フロア(本実施形態では2階フロアF2)の所望の場所まで搬送される。また、垂直搬送装置Vの第2取り出し口32から取り出された物品Mは、排出搬送部42a及び直線搬送部42bにより第1排出ポート43に載置される。第1排出ポート43に載置された物品Mは、移載装置50によって排出搬送ライン40Bの第2排出ポート44に移載される。第2排出ポート44に移載された物品Mは、直線搬送部41b及びフロア搬送部41dを介して搬送用ポート46に載置され、天井搬送車81により受け取られて、上記と同様に、建屋外に排出又は同一フロアの所望の場所まで搬送される。
 このように、階間搬送システム100Bにおいては、天井搬送車システム80Aによって建屋外から物品Mを搬入し、また、建屋外に物品Mを排出するので、例えば、フロアに既設の天井搬送車システムのレールを建屋外まで延長して、建屋外と階間搬送システム100Bとの間の物品Mの搬送を行うことにより、上記した実施形態のように長距離にわたるコンベア等の設置を省くことができる。
 以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記した実施形態では、移載装置50として天井搬送車が用いられるが、この構成に限定されない。例えば、天井搬送車に代えて、物品Mを移載するための専用の移載装置が設置されてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願2017-111474、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
 V・・・垂直搬送装置
 Va・・・上り経路
 Vb・・・下り経路
 M・・・物品
 100・・・階間搬送システム
 11・・・第1投入口
 12・・・第2投入口
 20、20B・・・投入搬送ライン
 21・・・投入主ライン
 22・・・投入接続ライン
 23・・・第1投入ポート
 24・・・第2投入ポート
 31・・・第1取り出し口
 32・・・第2取り出し口
 40、40B・・・排出搬送ライン
 41・・・排出主ライン
 42・・・排出接続ライン
 43・・・第1排出ポート
 44・・・第2排出ポート
 50、50A、50B、50C、50D・・・移載装置(天井搬送車)
 60・・・制御装置

Claims (11)

  1.  一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、
     少なくとも一つのフロアにおいて、
     別のフロアへ搬送する物品を前記垂直搬送装置まで搬送する投入搬送ラインと、
     前記垂直搬送装置の前記上り経路に前記物品を投入する第1投入口と、
     前記垂直搬送装置の前記下り経路に前記物品を投入する第2投入口と、
     前記投入搬送ラインにより搬送されてきた物品を前記第1投入口、あるいは前記第2投入口のいずれかに選択的に移載する移載装置と、
     前記物品の行先に応じて前記移載装置を制御する制御装置と、を備える、階間搬送システム。
  2.  前記投入搬送ラインは、
     前記第1投入口及び前記第2投入口のいずれか一方に接続される投入主ラインと、
     前記第1投入口及び前記第2投入口のいずれか他方に搬送される物品を前記移載装置に渡す第1投入ポートと、
     前記移載装置により前記第1投入ポートから移載される物品を載置する第2投入ポートと、
     前記第2投入ポートから前記第1投入口及び前記第2投入口のいずれか他方に物品を搬送する投入接続ラインと、を備える、請求項1に記載の階間搬送システム。
  3.  前記第1投入ポート及び前記第2投入ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、
     前記移載装置は、複数の前記第1投入ポートどうしの間、又は前記第2投入ポートどうしの間で移動可能である、請求項1又は請求項2に記載の階間搬送システム。
  4.  前記第1投入ポート及び前記第2投入ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、
     前記移載装置は、複数の前記第1投入ポート、又は前記第2投入ポートごとに配置される、請求項1又は請求項2に記載の階間搬送システム。
  5.  一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、
     少なくとも一つのフロアにおいて、
     別のフロアから搬送され、前記前記垂直搬送装置から取り出された物品を搬送する排出搬送ラインと、
     前記垂直搬送装置の前記下り経路から物品を取り出す第1取り出し口と、
     前記垂直搬送装置の前記上り経路から物品を取り出す第2取り出し口と、
     前記第1取り出し口、あるいは前記第2取り出し口から取り出された物品を前記排出搬送ラインに移載する移載装置と、
     前記移載装置を制御する制御装置と、を備える、階間搬送システム。
  6.  前記排出搬送ラインは、
     前記第1取り出し口及び前記第2取り出し口のいずれか一方に接続される排出主ラインと、
     前記第1取り出し口及び前記第2取り出し口のいずれか他方から取り出された物品を搬送する排出接続ラインと、
     前記排出接続ラインにより搬送されてきた物品を前記移載装置に渡す第1排出ポートと、
     前記移載装置により前記第1排出ポートから移載される物品を載置し、この物品を前記排出搬送ラインに送る第2排出ポートと、を備える、請求項5に記載の階間搬送システム。
  7.  前記第1排出ポート及び前記第2排出ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、
     前記移載装置は、複数の前記第1排出ポートどうしの間、又は前記第2排出ポートどうしの間で移動可能である、請求項5又は請求項6に記載の階間搬送システム。
  8.  前記第1排出ポート及び前記第2排出ポートのいずれか一方又は双方は、複数配置され、
     前記移載装置は、複数の前記第1排出ポート、又は前記第2排出ポートごとに配置される、請求項5又は請求項6に記載の階間搬送システム。
  9.  一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送システムであって、
     少なくとも一つのフロアにおいて、
     別のフロアへ搬送する物品を前記垂直搬送装置まで搬送する投入搬送ラインと、
     前記垂直搬送装置の前記上り経路に物品を投入する第1投入口と、
     前記垂直搬送装置の前記下り経路に物品を投入する第2投入口と、
     別のフロアから搬送され、前記前記垂直搬送装置から取り出された物品を搬送する排出搬送ラインと、
     前記垂直搬送装置の前記下り経路から物品を取り出す第1取り出し口と、
     前記垂直搬送装置の前記上り経路から物品を取り出す第2取り出し口と、
     前記投入搬送ラインにより搬送されてきた物品を前記第1投入口、あるいは前記第2投入口のいずれかに選択的に移載し、前記第1取り出し口、あるいは前記第2取り出し口から取り出された物品を前記排出搬送ラインに移載する移載装置と、
     前記移載装置を制御する制御装置と、を備える、階間搬送システム。
  10.  前記移載装置は、天井又は天井近傍に設置されたレールに沿って移動し、物品を移載可能な移載機構を備える天井搬送車である、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の階間搬送システム。
  11.  一方向に周回する垂直搬送装置の上り経路と下り経路とを用いて異なるフロア間で物品を搬送する階間搬送方法であって、
     少なくとも一つのフロアにおいて、搬送されてきた物品の搬送先を取得することと、
     取得した前記搬送先に基づいて、物品を別のフロアへ搬送する場合に、前記垂直搬送装置の前記上り経路に設けられた第1投入口に前記物品を投入するか、又は、前記垂直搬送装置の前記下り経路に設けられた第2投入口に前記物品を投入するかを判定することと、を含む、階間搬送方法。
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