JP2009505417A - テストハンドラー - Google Patents

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Abstract

【課題】相互独立的に水平移動できるテストハンドラーと、各トランスファーの移動距離が短いテストハンドラーを提供する。
【解決手段】顧客トレーを移送させるための第１乃至第３トランスファーと、前記第１乃至第３トランスファーを水平移動させる第１乃至第３水平移動装置を含んで、前記第１乃至第３水平移動装置を相互独立的に作動するようにすることによって、前記第１乃至第３トランスファーが相互独立的に水平移動を遂行できるようにし、かつ、第１乃至第３トランスファーの役割を各々割り当てることによって窮極的にデバイスのテスト処理速度を向上させることができる技術が開示される。
【選択図】図２

Description

本発明は、テストハンドラーに関し、より詳しくは、顧客トレーを移送させるためのトレー移送装置に関するものである。
最近では、半導体素子(以下、「デバイス」という。)が利用される環境の多様化によって、劣悪な環境条件下でもデバイスが安定した機能を遂行することができるように要求されている。したがって、生産されたデバイスを出荷する前に劣悪な環境条件下でテストを遂行し、その不良の有無を判別する過程が必然的に要求される。本発明に係るテストハンドラーは、そういう要求により特定の環境条件を作って、造成された環境条件下でデバイスをテストすることによって、出荷に先立ち生産されたデバイスの不良の有無を判別するに使われる装備である。
このようなテストハンドラーに係る技術は、大韓民国公開実用新案公報公開番号実１９９８-０６２５６８号(発明の名称:半導体デバイステスト用ハンドラーシステムのトレーキャッチャ―)、実１９９８-０６２５６７号(発明の名称:ハンドラーシステムのトランスファー装置)、大韓民国公開特許公報公開番号特２００３-００６２７０２号(発明の名称:半導体素子テストハンドラーのトレー移送装置)、１０-２００４-００４３９２５号(発明の名称:トレー移送装置)、特２００２-００３１４６１号(発明の名称:ハンドラー用トレー移送装置)、特２００３-００２９２６６号(発明の名称:テストハンドラー)等に開示されており、それらの公開公報にはテストハンドラーの構造が比較的詳細に提示されている。
前記の公開公報の開示通り、テストハンドラーはローディングプレート及びアンローディングプレートの下側に備わったスタッカーに積載されている顧客トレーを把持後移動しローディングプレート及びアンローディングプレートに移送させたり、ローディングプレート及びアンローディングプレートに位置した顧客トレーを把持後移動してスタッカーに積載させるなど移送待機状態にある顧客トレーを移送位置へ移送させるためのトレー移送装置を有し、かつ、本発明はこのようなトレー移送装置に技術的な特徴がある。ここで移送待機状態というのは被試験デバイスが入れられた顧客トレーの場合には当該顧客トレーがスタッカーに積載され、位置された状態、ローディングまたはアンローディングが完了した直後はローディングまたはアンローディングプレートに位置する状態などのように顧客トレーの移送が必要になった状態をいい、移送位置というのはスタッカーに積載されている被試験デバイスが入れられた顧客トレーの場合には、ローディングプレートでローディングが完了された空の顧客トレーの場合にはアンローディングプレートなどの位置などのように移送待機状態の顧客トレーが窮極的に移送しなければならない位置をいうものとして使っており、以下でも同一に使われる。
図１は、従来のトレー移送装置１００に対するブロックである。図１を参照すると、従来のトレー移送装置１００は顧客トレーを選択的に把持または把持解除する一組の把持部１１ａ、１１ｂと、前記一組の把持部１１ａ、１１ｂを各々垂直移動させる一組の垂直移動装置１２ａ、１２ｂとを含むトランスファー１０１、前記トランスファー１０１を水平移動させる水平移動装置１０２、前記一組の垂直移動装置１２ａ、１２ｂと前記水平移動装置１０２とを制御するコントローラー１０３を有する。このような従来のトレー移送装置１００につきましては前記に提示された公開実用新案公報公開番号実１９９８-０６２５６７号(以下、「引用技術」という。)の図面２及びその説明により比較的に明確に提示されている。ただし、引用技術ではトレー移送装置をトランスファー装置で、一組の把持部をトランスファーヘッドなどで表現している。
ところで、従来技術に係るトレー移送装置１００によると、一組の把持部１１ａ、１１ｂが垂直方向では相互独立的に移動するが、水平方向では常に共に移動するのでローディングプレート及びアンローディングプレートで同時にイベント（ローディングプレートまたはアンローディングプレート上の顧客トレーがローディング完了されたり、アンローディング完了になることによって、顧客トレーが移送待機状態になった状況。以下同一意味で使われる。）が発生するとどちらか一方に移送待機中の顧客トレーは持続的に移送待機状態にあるようになることによって、処理速度の低下を引き起こすという問題点があった。また、従来の顧客トレー移送装置１００は、一つのトランスファー１０１と一緒に構成されることによって、水平方向に一緒に移動する一組の把持部１１ａ、１１ｂによりすべての移送作業が随行され、ローディングプレートまたはアンローディングプレートの中でどこで先にイベントが発生されるか知らないので、事前準備作業のない、つまり、移送待機状態にある顧客トレーを、あらかじめ把持した後、移動待機していることができないのでこれもまた処理速度の低下を引き起こすという問題点となった。
また、従来の顧客トレー移送装置１００は一組の把持部１１ａ、１１ｂが皆ローディングプレート区間からアンローディングプレート区間まで全体にかけて水平移動しなければならないので、水平移動距離が長くなることによって、これもまた処理速度の低下を引き起こすという問題点となった。
なお、前記の問題点などは今後テストハンドラーで大容量のデバイスを処理する方向に技術が発展していくことを考慮する時、より一層深刻に台頭するということは明らかである。
本発明は、以上の問題点に鑑みなされたもので、本発明の目的は、一番目、把持部と把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々有する３個のトランスファーを具備し、３個のトランスファーは相互独立的に水平移動できるテストハンドラーを提供することにある。二番目、相互独立的に水平移動できる３個のトランスファーを具備し、各トランスファーに各自の役割を割当させることによって、イベントが発生する前に事前作業が可能でありながらも、各トランスファーの移動距離が短いテストハンドラーを提供することにある。
前記のような目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーは、顧客トレーを選択的に把持及び把持解除する把持部と、前記把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々具備して水平方向に順次的に配列された第１乃至第３トランスファーと、前記第１乃至第３トランスファーを各々水平移動させる第１乃至第３水平移動装置を包含し、前記第１乃至第３水平移動装置は相互独立的に作動することを特徴とする。
それから前記第１トランスファーは、第１区間内で水平移動し、前記第３トランスファーは前記第１区間と区分された第３区間内で水平移動するようにし、各トランスファーの水平移動距離を短くすることによって、顧客トレーの移送速度を早くするほうが好ましい。 また、前記した目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーは、被試験デバイスが入れられた顧客トレーを把持し前記顧客トレーをローディングプレートに定着させる第１トランスファーと、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持してアンローディングプレートに定着させる第２トランスファーと、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングを完了した顧客トレーを把持してスタッカーに定着させる第３トランスファーを包含し、記第１乃至第３トランスファーは各々独立的に水平移動することを特徴とする。
そして前記第１トランスファーが被試験デバイスが入れられた顧客トレーを把持した状態で前記ローディングプレートの周りに待機した状態で、前記第２トランスファーが前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持した後は、前記第１トランスファーは前記被試験デバイスが入れられた顧客トレーを前記ローディングプレートに定着させるように具現したほうが処理速度を向上させることができて好ましい。
また、前記第２トランスファーが前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持した後前記アンローディングプレートの周りに待機した状態で前記第３トランスファーが前記アンローディングプレートからテストトレーからアンローディングを完了した顧客トレーを把持した後は、前記第２トランスファーは前記空の顧客トレーを前記アンローディングプレートに定着させるように具現すると処理速度をさらに向上させることができより一層好ましい。
また、前記の目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーは、被試験デバイスが入れられた顧客トレーをスタッカーから把持した後、ローディングプレートの周りに待機していて、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了した空の顧客トレーが前記ローディングプレートから除去されたら、前記被試験デバイスが入れられた顧客トレーを前記ローディングプレートに定着させる。さらに前記スタッカーに移動し被試験デバイスが入れられた他の顧客トレーを把持した後、前記ローディングプレートの周りにまた待機する第１トランスファーと、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了した空の顧客トレーを把持した状態で前記アンローディングプレートの周りに待機していて、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了した顧客トレーが前記アンローディングプレートから除去されたら前記空の顧客トレーを前記アンローディングプレートに定着させた後、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了する他の顧客トレー把持するために再度前記ローディングプレートの周りに待機する第２トランスファーと、前記アンローディングプレートの周りに待機していて、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了した顧客トレーが発生すると前記アンローディングが完了した顧客トレーを把持し、前記スタッカーに定着させた後、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了する他の顧客トレーを把持するために、さらに前記アンローディングプレートの周りに待機する第３トランスファーを包含し、前記第１乃至し第３トランスファーは各々独立的に水平移動することを特徴とする。
また、前記目的を達成するためのテストハンドラーのトレー移送装置は、顧客トレーを選択的に把持及び把持を解除する把持部と前記把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々備えることによって、移送待機状態にある顧客トレーを移送位置に移送させることができる少なくとも二つ以上のトランスファーと、前記少なくとも二つ以上のトランスファーに対応されるように設けられ、前記少なくとも二つ以上のトランスファーを水平移動させる少なくとも二つ以上の水平移動装置と、前記少なくとも二つ以上のトランスファーに各々備わる垂直移動装置の作動を各々独立的に制御しながら、前記少なくとも二つ以上の水平移動装置が相互独立的に作動するようにすることによって、前記少なくとも二つ以上のトランスファーが相互独立的に水平移動できるように制御するコントローラーを包含することを特徴とする。
そして前記少なくとも二つ以上のトランスファーは、顧客トレーをスタッカーからローディングプレートに移送させるための第１トランスファーと、前記ローディングプレートでローディングが完了した空の顧客トレーをアンローディングプレートに移送させるための第２トランスファーと、前記アンローディングプレートでアンローディングが完了した顧客トレーをスタッカーに移送させるための第３トランスファーを包含することをより具体的な特徴とする。
また、前記の目的を達成するための本発明に係るテストハンドラーは、移送待機状態の顧客トレーを移送位置に移送させるために相互異なる水平移動区間内で移動することができるように具備される少なくとも二つ以上のトランスファーと、前記少なくとも二つ以上のトランスファーに対応されるように設けられ、前記少なくとも二つ以上のトランスファーを夫々の水平移動区間内で水平移動させる少なくとも二つ以上の水平移動装置と、前記少なくとも二つ以上の水平移動装置の動作を制御するコントローラーを包含することを特徴とする。
以上で詳細な説明のとおり、本発明によると、把持部と把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々有する３個のトランスファーを具備し、３個のトランスファーを相互独立的に水平移動させる一方、各トランスファーに各自の役割を割当させることによって、イベント発生以前にあらかじめ事前作業が可能で、かつ、各トランスファーの役割に伴なう水平移動区間が区切られ結果的に各トランスファーの移動距離が短くなるので、窮極的に顧客トレーの移動に伴なう処理速度が向上するテストハンドラーが提供される。
以下、好ましい実施例を通して、本発明をより詳しく説明する。図２は本発明に係るテストハンドラーの要部斜視図で、図３は本発明に係るテストハンドラーの要部のブロック図である。図２及び図３を参照すると、本発明に係るテストハンドラーは、移送待機状態の顧客トレーを移送位置に移送させる３個のトランスファー２００'、２００''、２００'''と、前記３個のトランスファー２００'、２００''、２００'''を相互独立的に水平移動させる３個の水平移動装置３００'、３００''、３００'''と、コントローラー４００等を含むトレー移送装置を有する。未説明符号「Ｔ」は前記した各構成が設置される設置板である。
以下、前記トレー移送装置の構成をより詳しく詳細する。前記３個のトランスファー２００'、２００''、２００'''は、第１区間(Ａ)内で移動する第１トランスファー２００'と、第２区間(Ｂ)内で移動する第２トランスファー２００''と、第３区間(Ｃ)内で移動する第３トランスファー２００'''とで構成される。そして第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''は、顧客トレーを選択的に把持及び把持解除する把持部２１と前記把持部２１を垂直移動させる垂直移動装置２２を各々具備する。
前記把持部２１は顧客トレーを選択的に把持及び把持解除する役割を遂行するもので、このような把持部２１に対する構成は引用技術などで詳しく提示されているのでその詳細な説明は省略する。
前記垂直移動装置２２は、前記把持部２１が垂直に昇・下降できるようにガイドする垂直ガイドレール２２ａと、前記把持部２１が昇・下降する動力を供給するモーター２２ｂを具備し、かつ、前記モーター２２ｂの動力を前記把持部２１に伝達するために移送軸２２ｃと、移送軸２２ｃの一端に設置されたフリー２２ｄと、前記モーター２２ｂの回転軸に設置されたモーターフリー２２ｅと、前記フリー２２ｄとモーターフリー２２ｅとを連結するベルト２２ｆを具備する。 そして前記した垂直ガイドレール２２ａ等を支持する支持板２２ｇ等をさらに具備している。このような垂直移動装置２２は、モーター２２ｂの正逆回転によってモーター２２ｂの動力がモーターフリー２２ｅ、フリー２２ｄ及び移送軸２２ｃを通して把持部２１に伝えられ、把持部２１を昇・下降させるようになる。
もちろん、把持部２１及び垂直移動装置２２は第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''別に備わるものであるが、説明の便宜上、各トランスファー２００'、２００''、２００'''に構成された把持部２１及び垂直移動装置２２の各構成に対する符号は統一して説明しなけらばならない。
前記３個の水平移動装置３００'、３００''、３００'''は、前記第１トランスファー２００'を第１区間(Ａ)内で水平移動させるための第１水平移動装置３００'と、前記第２トランスファー２００''を第２区間(Ｂ)内で水平移動させるための第２水平移動装置３００''と、前記第３トランスファー２００'''とを第３区間(Ｃ)内で水平移動させるための第３水平移動装置３００'''とで構成される。
前記第１水平移動装置３００'は、前記第１トランスファー２００'がローディングプレート(図示せず)の下側に位置するスタッカー(図示せず)に積載された被試験デバイス(図示せず)が入れられた移送待機状態の顧客トレー(図示せず)を移送位置のローディングプレートの上に移送させるために水平移動可能でなければならない区間の第１区間(Ａ)内で前記第１トランスファー２００'を水平移動させるように構成される。このために前記第１水平移動装置３００'は、前記第１トランスファー２００'の支持板２２ｇが水平移動できるように案内する水平ガイドレール３１ａ、３１ｂと、前記第１トランスファー２００'の水平移動に係る動力を供給する第１モーター３２'と、前記第１モーター３２'の回転軸に設置された第１フリー３３'ａと、前記第１フリー３３'ａと水平方向に対応されるように設置される第１'フリー３３'ｂと、前記第１フリー３３'ａ、第１'フリー３３'ｂ及び前記第１トランスファー２００'の支持板２２ｇとを連結する第１ベルト３４'等を包含する。ここで前記第１フリー３３'ａと第１'フリー３３'ｂは、図示された通り第１区間(Ａ)の両側端部に位置されることが分かる。
前記第２水平移動装置３００''は、前記第２トランスファー２００''がローディングプレート上で移送待機状態で位置している空の顧客トレーを把持する地点からアンローディングプレート上に空の顧客トレーを位置させる地点の移送位置までの区間の第２区間(Ｂ)内で前記第２トランスファー２００''を水平移動させるように構成される。このために前記第２水平移動装置３００''は、前記第２トランスファー２００''の支持板２２ｇが水平移動できるように案内する水平ガイドレール３１ａ、３１ｂ（この水平ガイドレールは本実施例で第１乃至第３水平移動装置が共有するものとして図示されているが、実施によっては別個で備わることもあり得る。)と、前記第２トランスファー２００''の水平移動に係る動力を供給する第２モーター３２''と、前記第２モーター３２''の回転軸に設置された第２フリー３３''ａと、前記第２フリー３３''ａと水平方向に対応されるように設置される第２'フリー３３''ｂと、前記第２フリー３３''ａ、第２'フリー３３''ｂ及び前記第２トランスファー２００''の支持板２２ｇとを連結する第２ベルト３４''等を包含する。ここで、前記第２フリー３３''ａと第２'フリー３３''ｂは図示のごとく第２区間(Ｂ)の両側端部に位置されることが分かる。
前記第３水平移動装置３００'''は、前記第３トランスファー２００'''がアンローディングプレート上で移送待機状態で位置している地点から顧客トレー(この顧客トレーにはテストが完了したデバイスが入れられている。)を移送位置のアンローディングプレートの下側に備わったスタッカーに積載させられるようにするために水平移動が可能でなければならない区間の第３区間(Ｃ)内で前記第３トランスファー２００'''を水平移動させるように構成される。このために前記第３水平移動装置３００'''は、前記第３トランスファー２００'''の支持板２２ｇが水平移動できるよう案内する水平ガイドレール３１ａ、３１ｂと、前記第３トランスファー２００'''の水平移動に係る動力を供給する第３モーター３２'''と、前記第３モーター３２'''の回転軸に設置された第３フリー３３'''ａと、前記第３フリー３３'''ａと水平方向に対応されるように設置される第３'フリー３３'''ｂと、前記第３フリー３３'''ａ、第３'フリー３３'''ｂ及び前記第３トランスファー２００'''の支持板２２ｇとを連結する第３ベルト３４'''等を包含する。ここで、前記第３フリー３３'''ａと第３'フリー３３'''ｂは、図示のごとく第３区間(Ｃ)の両側端部に位置されることが分かる。
前記第１乃至第３水平移動装置は３００'、３００''、３００'''は、コントローラー４００の制御によって、第１乃至第３モーター３２',３２'',３２'''の作動が各々制御されながら、夫々の該当フリー[３３'ａ、３３'ｂ/３３''ａ、３３''ｂ/３３'''ａ、３３'''ｂ]及びベルト３４'、３４''、３４'''が連動することになって、それにより各トランスファー２００'、２００''、２００'''の支持板２２ｇが水平ガイドレール３１ａ、３１ｂに案内されるので、第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''を水平方向に円滑に移動させることができる。
一方、前記コントローラー４００は、前記垂直移動装置２２のモーター２２ｂ及び第１乃至第３水平移動装置３００',３００'',３００'''の第１乃至第３モーター３２'、３２''、３２'''の作動を制御することによって、窮極的に第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''の動作を制御するようになる。
前記のように構成されるテストハンドラーが稼動しながらコントローラー４００の制御により窮極的に制御される第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''の動作に対して図４以下の概略的な動作状態度図を参照して説明するものの、説明の便宜上第１乃至第３トランスファー２００'、２００''、２００'''別に分けて水平移動距離のみを表記して説明する。
<第１トランスファーの動作―図４参照>
第１トランスファー２００'は、ローディングプレート６１の下側に位置するスタッカー７１で移送待機状態にある被試験デバイスが入れられた顧客トレー８１を把持した後ローディングプレート６１の周りで待機するようになる＜Ｓ４１＞〔図面上には把持部２１がローディングプレート６１のすぐ左側に位置されるものとして図示されている〕。 この後、ローディングプレート６１からテストトレー(図示せず)にローディングが完了した空の顧客トレーが後述のごとく第２トランスファー２００''によってローディングプレート６１から除去されたら、第１トランスファー２００'は把持していた顧客トレー８１をローディングプレート６１に定着<S４２>させた後、続けて前記動作を第１区間内で繰り返すようになる。
<第２トランスファーの動作―図５参照>
第２トランスファー２００''は、ローディングプレート６１上からテストトレーにローディングが完了して移送待機状態になった空の顧客トレーを把持した後、アンローディングプレート６２の周りに待機する<Ｓ５１>[図面上には把持部２１がアンローディングプレート６２の左側のすぐそばに位置されるものとして図示されている]。この後、アンローディングプレート６２でテストトレーからアンローディングが完了した顧客トレーが後述のごとく、第３トランスファー２００'''によってアンローディングプレート６２から除去されたら第２トランスファー２００''は把持していた空の顧客トレーをアンローディングプレート６２に定着<S５２>させた後、またローディングプレート６１の周りに移動し待機<Ｓ５３>するようになり、〔図面上には把持部２１がローディングプレートの右側すぐそばに位置されるものとして図示されている]。続けて第２区間内で前記した動作を繰り返すようになる。
一方、このような第２トランスファー２００''は、また他の役割も遂行するが、万が一、ローディングプレート６１上の顧客トレーに含まれたデバイスがテストトレーに全部ローディングされなかったのにイベントが発生した場合、ローディングプレート６１上の該当顧客トレーにはデバイスが残っているので、該当顧客トレーをアンローディングプレート上に移動させるのは不適切なので、符号７４のスタッカーに積載させる。
もちろん、応用によっては別途の収納空間に収納させるように具現する。
そして万が一、ローディングプレート６１上ではイベントが発生しなかったのにアンローディングプレート６２でイベントが発生した場合には、第２トランスファー２００''は符号７３のスタッカー(このスタッカーには空の顧客トレーが積載されている。)から空の顧客トレーを把持した後、イベントが発生したアンローディングプレート６２に移送させることによって、遅延なしで円滑にアンローディング作業が行えるようにする。
<第３トランスファーの動作―図６参照>
第３トランスファー２００'''は、アンローディングプレート６２の周りに待機している途中〔図面上には把持部２１がアンローディングプレート６２の右側のすぐそばに待機している〕、アンローディングプレート６２でテストトレーからアンローディングが完了して移送待機状態になった顧客トレーが発生すると、アンローディングが完了した顧客トレーを把持<Ｓ６１>した後、アンローディングプレート６２の下側に位置するスタッカー７２に積載<Ｓ６２>させた後、続けて前記の動作を第３区間内で繰り返す。
以上のように、本発明に対する具体的な説明は添付図面に依拠した実施例によって成り立っているが、詳述した実施例は本発明の好ましい例を挙げて説明しただけで、本発明が前記の実施例だけに限定されるものとして理解されてはならなく、本発明の権利範囲は後述する請求範囲及びその等価概念として理解されられなければならない。
従来のテストハンドラーのトレー移送装置のブロック図である。 本発明に係るテストハンドラーの要部斜視図である。 本発明に係るテストハンドラーの要部ブロックである。 本発明に係るテストハンドラーの作動状態図である。 本発明に係るテストハンドラーの作動状態図である。 本発明に係るテストハンドラーの作動状態図である。
符号の説明
２００’、２００”、２００''' 第１乃至第３トランスファー
２１ 把持部
２２ 垂直移動装置
２２ａ 垂直ガイドレール
２２ｂ モーター
２２ｃ 移送軸
２２ｄ フリー
２２ｅ モーターフリー
２２ｆ ベルト
２２ｇ 支持板
３００'、３００''、３００''' 第１乃至第３水平移動装置
３１ａ、３１ｂ 水平ガイドレール
３２' 第１モーター
３２'' 第２モーター
３２''' 第３モーター
３３'ａ 第１フリー
３３'ｂ 第１'フリー
３３''ａ 第２フリー
３３''ｂ 第２'フリー
３３'''ａ 第３フリー
３３'''ｂ 第３'フリー
３４' 第１ベルト
３４'' 第２ベルト
３４''' 第３ベルト

Claims (9)

  1. 顧客トレーを選択的に把持及び把持解除する把持部と、前記把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々具備して水平方向に順次的に配列された第１乃至第３トランスファーと、
    前記第１トランスファーを第一区間内で水平移動させる第１乃至第３水平移動装置を包含し、
    前記第１乃至第３水平移動装置は相互独立的に作動することを特徴とするテストハンドラー。
  2. 前記第１トランスファーは、第１区間内で水平移動し、前記第３トランスファーは前記第１区間と区分された第３区間内で水平移動することを特徴とする請求項１記載のテストハンドラー。
  3. 被試験デバイスが入れられた顧客トレーを把持し前記顧客トレーをローディングプレートに定着させる第１トランスファーと、
    前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持してアンローディングプレートに定着させる第２トランスファーと、
    前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングを完了した顧客トレーを把持してスタッカーに定着させる第３トランスファーを包含し、
    記第１乃至第３トランスファーは各々独立的に水平移動することを特徴とするテストハンドラー。
  4. 前記第１トランスファーが被試験デバイスが入れられた顧客トレーを把持した状態で前記ローディングプレートの周りに待機した状態で、前記第２トランスファーが前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持した後は、前記第１トランスファーは前記被試験デバイスが入れられた顧客トレーを前記ローディングプレートに定着させることを特徴とする請求項３記載のテストハンドラー。
  5. 前記第２トランスファーが前記ローディングプレートからテストトレーにローディングを完了した空の顧客トレーを把持した後前記アンローディングプレートの周りに待機した状態で前記第３トランスファーが前記アンローディングプレートからテストトレーからアンローディングを完了した顧客トレーを把持した後は、前記第２トランスファーは前記空の顧客トレーを前記アンローディングプレートに定着させることを特徴とする請求項３または４記載のテストハンドラー。
  6. 被試験デバイスが入れられた顧客トレーをスタッカーから把持した後、ローディングプレートの周りに待機していて、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了した空の顧客トレーが前記ローディングプレートから除去されたら、前記被試験デバイスが入れられた顧客トレーを前記ローディングプレートに定着させてさらに前記スタッカーに移動し被試験デバイスが入れられた他の顧客トレーを把持した後、前記ローディングプレートの周りにまた待機する第１トランスファーと、
    前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了した空の顧客トレーを把持した状態で前記アンローディングプレートの周りに待機していて、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了した顧客トレーが前記アンローディングプレートから除去されたら前記空の顧客トレーを前記アンローディングプレートに定着させた後、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了する他の顧客トレー把持するために再度前記ローディングプレートの周りに待機する第２トランスファーと、
    前記アンローディングプレートの周りに待機していて、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了した顧客トレーが発生すると前記アンローディングが完了した顧客トレーを把持し、前記スタッカーに定着させた後、前記アンローディングプレートでテストトレーからアンローディングが完了する他の顧客トレーを把持するために、さらに前記アンローディングプレートの周りに待機する第３トランスファーを包含し、
    前記第１乃至し第３トランスファーは各々独立的に水平移動することを特徴とするテストハンドラー。
  7. 顧客トレーを選択的に把持及び把持を解除する把持部と、前記把持部を垂直移動させる垂直移動装置を各々備えることによって、移送待機状態にある顧客トレーを移送位置に移送させることができる少なくとも二つ以上のトランスファーと、
    前記少なくとも二つ以上のトランスファーに対応されるように設けられ、前記少なくとも二つ以上のトランスファーを水平移動させる少なくとも二つ以上の水平移動装置と、
    前記少なくとも二つ以上のトランスファーに各々備わる垂直移動装置の作動を各々独立的に制御し、前記少なくとも二つ以上の水平移動装置が相互独立的に作動するようにすることによって、前記少なくとも二つ以上のトランスファーが相互独立的に水平移動できるように制御するコントローラーを包含することを特徴とするテストハンドラー。
  8. 前記少なくとも二つ以上のトランスファーは、
    顧客トレーをスタッカーからローディングプレートに移送させるための第１トランスファーと、
    前記ローディングプレートでローディングが完了した空の顧客トレーをアンローディングプレートに移送させるための第２トランスファーと、
    前記アンローディングプレートでアンローディングが完了した顧客トレーをスタッカーに移送させるための第３トランスファーを包含することを特徴とする請求項７記載のテストハンドラー。
  9. 被試験デバイスが入れられた顧客トレーをステッカーから把持した後ローディングプレートの周囲に待機していて、前記ローディングプレートからテストトレーにローディングが完了した空の顧客トレーが前記ローディングプレートから除去されたら前記被試験デバイスが入れられた顧客トレーを前記ローディングプレートで定着させ、また前記ステッカーに移動し被試験デバイスが入れられた他の顧客トレーを把持した後前記ローディングプレートの周囲にまた待機する第１トランスファーを包含することを特徴とするテストハンドラー。
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