KR100376772B1 - 수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법에 관한 것으로, 디바이스를 집어서 놓는 작업(pick place)의 횟수를 대폭 줄이면서 디바이스의 상온상태 테스트 및 고온상태 테스트를 하나의 핸들러에서 용이하게 수행할 수 있도록 하여 테스트효율을 극대화한 것이다.

이를 위해 본 발명은, 핸들러의 베이스 상에 설치되어, 테스트할 디바이스들이 놓여진 트레이들이 적재되어 있는 로딩부와; 상기 로딩부의 트레이에 놓여진 디바이스들이 이송되어 재장착되는 로딩셔틀과; 디바이스의 고온상태 테스트시 상기 로딩셔틀이 통과하면서 로딩셔틀 상의 디바이스들이 예열되는 예열부와; 상기 예열부를 통과한 로딩셔틀이 이송되어 위치된 후 로딩셔틀 상의 디바이스가 연속적으로 이송되며 장착되어 테스트가 수행되는 테스트소켓과, 상기 테스트소켓 상에서 테스트완료된 디바이스가 이송되어 장착되는 언로딩셔틀과, 상기 로딩셔틀의 디바이스를 테스트소켓으로, 테스트소켓의 테스트 완료된 디바이스를 상기 언로딩셔틀로 연속적으로 이송시켜 주는 인덱스장치와, 고온상태 테스트시 상기 테스트소켓에 고온의 열기를 공급하는 열공급수단을 구비한 테스트챔버와; 상기 테스트챔버의 언로딩셔틀에 장착된 디바이스를 테스트 결과에 따라 분류하여 적재하는 복수개의 트레이로 이루어진 언로딩부와; 상기 로딩부의 디바이스를 로딩셔틀로, 상기 언로딩셔틀의 디바이스를 언로딩부로 이송시키는 이송장치를 포함하여 구성된 수평식 디바이스 테스트 핸들러를 제공한다.

Description

수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법{Handler of horizontal type for testing device and method for operating the same}

본 발명은 디바이스를 테스트하기 위한 수평식 테스트 핸들러에 관한 것으로, 특히 로직 디바이스의 상온 및 고온 상태 테스트가 가능하도록 된 수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법에 관한 것이다.

일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 디바이스(Device)는 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되는데, 수평식 핸들러는 이러한 디바이스들 중 주로 비메모리 반도체 패키지인 QFP, BGA, PGA, SOP 등의 각종 로직 디바이스들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 트레이에 담겨진 디바이스를 공정간에 수평상태로 이송시키면서 수평하게 놓인 테스트부에서 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하도록 된 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래의 수평식 핸들러들은 디바이스를 집어서 놓는 작업(Pick Place)의 횟수가 많아 작업도중 고가의 디바이스가 파손되는 경우가 많았고, 인덱스 타임(Index Time)이 길어 작업의 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 디바이스를 집어서는 놓는 작업(Pick Place)의 횟수를 획기적으로 줄임으로써, 디바이스의 파손을 최소화함과 더불어 인덱스타임을 줄일 수 있는, 상온 테스트 및 고온 테스트가 모두 가능한 수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법을 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 수평식 핸들러의 구성을 나타낸 평면 구성도

도 2는 도 1의 수평식 핸들러의 구성을 나타내기 위하여 주요부분만을 나타낸 사시도

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *

1 - 베이스 10 - 로딩부

11 - 트레이 20 - 언로딩부

21 - 양품 적재용 트레이 22 - 재검사품 적재용 트레이

23 - 불량품 적재용 트레이 31 - 가이드프레임

32 - 로딩헤드 33 - 제 1언로딩헤드

34 - 제 2언로딩헤드 40 - 예열부

41 - 가열플레이트 42 - 이송실린더

45 - 로딩셔틀 직송장치 51 - 로딩셔틀

55 - 언로딩셔틀 60 - 테스트챔버

61 - 테스트소켓 62 - 인덱스장치

71 - 버퍼부 80 - 트레이 트랜스

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 관점에 따르면, 핸들러의 베이스 상에 설치되어, 테스트할 디바이스들이 놓여진 트레이들이 적재되어 있는 로딩부와; 상기 로딩부의 트레이에 놓여진 디바이스들이 이송되어 재장착되는 로딩셔틀과; 디바이스의 고온상태 테스트시 상기 로딩셔틀이 통과하면서 로딩셔틀 상의 디바이스들이 예열되는 예열부와; 상기 예열부를 통과한 로딩셔틀이 이송되어 위치된 후 로딩셔틀 상의 디바이스가 연속적으로 이송되며 장착되어 테스트가 수행되는 테스트소켓과, 상기 테스트소켓 상에서 테스트완료된 디바이스가 이송되어 장착되는 언로딩셔틀과, 상기 로딩셔틀의 디바이스를 테스트소켓으로, 테스트소켓의 테스트 완료된 디바이스를 상기 언로딩셔틀로 연속적으로 이송시켜 주는 인덱스장치와, 고온상태 테스트시 상기 테스트소켓에 고온의 열기를 공급하는 열공급수단을 구비한 테스트챔버와; 상기 테스트챔버의 언로딩셔틀에 장착된 디바이스를 테스트 결과에 따라 분류하여 적재하는 복수개의 트레이로 이루어진 언로딩부와; 상기 로딩부의 디바이스를 로딩셔틀로, 상기 언로딩셔틀의 디바이스를 언로딩부로 이송시키는 이송장치를 포함하여 구성된 수평식 디바이스 테스트 핸들러가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 예열부는 상기 로딩셔틀이 얹혀져 이송되면서 가열되는 가열플레이트로 이루어진다.

이에 따르면, 디바이스를 집어서 놓는 작업의 횟수가 줄어들면서 핸들러 자체에서 디바이스의 상온 및 고온 상태 테스트가 모두 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 수평식 핸들러에 따르면, 상기 언로딩부는 양품으로 판정되어 분류된 디바이스가 놓여져 적재되는 다수의 양품 적재용 트레이와, 재검사품으로 판정되어 분류된 디바이스들이 놓여져 적재되는 다수의 재검사품 적재용 트레이와, 불량품으로 판정되어 분류된 디바이스들이 놓여져 적재되는 다수의 불량품 적재용 트레이로 구성됨으로써 디바이스들을 테스트 결과에 따라 분류 적재할 수 있다.

그리고, 본 발명에 의하면 상기 이송장치는 핸들러의 베이스 상부를 수평하게 가로지르도록 설치된 가이드프레임과, 이 가이드프레임의 일측부에 이동가능하게 설치되어 가이드프레임을 따라 이동하면서 로딩부의 테스트될 디바이스를 파지하여 로딩셔틀에 재장착하는 로딩헤드와, 상기 가이드프레임의 타측부에 이동가능하게 설치되어 가이드프레임을 따라 이동하면서 언로딩셔틀 상의 테스트 완료된 디바이스들을 파지하여 언로딩부의 각 트레이에 분류 적재하는 언로딩헤드를 포함하여 구성된다.

이에 따라 디바이스를 이송하는 이송장치가 핸들러 상에서 일축으로 운동하게 되므로 작업의 안전성이 향상될 수 있게 된다.

본 발명의 다른 형태에 의하면, 수평식 핸들러는 상기 언로딩셔틀의 디바이스를 언로딩부로 이송하기 전에 불량품으로 판정된 디바이스들을 일시적으로 적재하게 되는 버퍼부를 추가로 구비하고, 상기 이송장치는 상기 버퍼부에 적재된 불량디바이스를 언로딩부의 불량품 적재용 트레이에 별도로 이송하는 제 2언로딩헤드를 추가로 구비한다.

이에 따라 불량으로 판정된 디바이스들이 별도로 언로딩부의 불량품 적재용 트레이에 적재되므로 디바이스 언로딩 작업이 효율적으로 이루어질 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 수평식 핸들러는 디바이스의 상온상태 테스트시 상기 로딩셔틀이 상기 예열부를 거치지 않고 바로 테스트챔버 쪽으로 이송되도록 하는 로딩셔틀 직송장치를 추가로 구비한다.

이로써 상온 상태 테스트를 실시할 경우 로딩셔틀의 이동경로를 단축하여 테스트작업이 더욱 효율적으로 이루어질 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 수평식 핸들러는 상기 로딩부의 트레이에서 디바이스가 모두 이송된 후 빈 트레이를 상기 언로딩부에 분배 공급하는 트레이 분배장치를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

이에 따르면, 핸들러 상에서 빈 트레이를 재순환하며 사용할 수 있게 되어 테스트 작업의 효율성이 높아지고 작업이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.

그리고, 본 발명의 다른 관점에 따르면, 상기와 같은 구성으로 이루어진 수평식 핸들러의 작동방법으로서, 로딩부에 테스트할 디바이스가 채워진 트레이를 적재하는 단계; 상기 로딩부에 적재된 디바이스들을 이송장치의 로딩헤드로 파지하여 로딩셔틀로 이송하여 재장착하는 단계; 디바이스의 고온상태 테스트시, 상기 로딩셔틀에 디바이스들이 장착된 후 상기 로딩셔틀을 예열부를 통과시키면서 로딩셔틀 상의 디바이스들을 예열하는 단계; 예열부를 통과한 로딩셔틀을 테스트챔버로 이송하는 단계; 디바이스의 상온상태 테스트시, 상기 로딩셔틀에 디바이스들이 장착된 후 상기 로딩셔틀을 예열부를 거치지 않고 직송장치로써 테스트챔버로 이송하는 단계; 테스트챔버 내로 이송된 로딩셔틀 상의 디바이스를 인덱스장치에 의해 테스트소켓에 장착하여 테스트를 수행한 후 언로딩셔틀에 언로딩하는 단계; 언로딩셔틀 상에 채워진 테스트완료된 디바이스들을 테스트 결과에 따라 분류하여 제 1언로딩헤드로써 양품 및 재검사품으로 판정된 디바이스들은 언로딩부의 양품 및 재검사품 적재용 트레이들로 이송하여 장착하고, 불량품으로 판정된 디바이스들은 버퍼부에 일시 장착하도록 한 단계; 상기 버퍼부에 장착된 디바이스들을 이송장치의 제 2언로딩헤드로써 언로딩부의 불량품 적재용 트레이로 이송하여 장착하는 단계로 구성된 수평식 디바이스 테스트 핸들러의 작동방법이 제공된다.

이하, 본 발명의 수평식 핸들러의 구성 및 작동방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1과 도 2는 본 발명에 따른 수평식 핸들러의 구성을 나타낸 것으로, 핸들러의 베이스(1) 전방부 일측에는 테스트할 디바이스들이 채워진 트레이(11)들이 상하로 적층되어 있는 로딩부(10)가 설치되어 있고, 이 로딩부(10)의 양측으로는 테스트완료된 디바이스들 중 양품 및 재검사품으로 분류된 디바이스들이 각각 적재되는 다수의 양품 적재용 트레이(21)와 재검사품 적재용 트레이(22)를 구비하는 언로딩부가 배치된다.

그리고, 상기 베이스(1)의 전방부 타측에는 테스트 완료된 디바이스들중 불량품으로 판정된 디바이스들을 불량 등급에 따라 분류 적재하게 되는 다수의 불량품 적재용 트레이(23)들이 구비되어 있는 바, 실질적으로 상기 양품 적재용 트레이(21)와 재검사품 적재용 트레이(22) 및 불량품 적재용 트레이(23)들이 언로딩부를 이루게 된다.

상기 로딩부(10)와 언로딩부의 각 트레이들은 핸들러의 베이스(1) 상에서 전후로 이동가능하게 되어 있다.

또한, 상기 베이스(1)의 중앙부분에는 상기 로딩부(10)의 트레이(11)로부터 이송되어 온 디바이스들을 재장착하기 위해 다수의 칸으로 구획되어 있는 로딩셔틀(51)이 구비되어 있다.

그리고, 베이스(1)의 중간부분에는 베이스(1)의 상부를 가로지르도록 가이드프레임(31)이 설치되어 있으며, 이 가이드프레임(31)의 양측부에는 가이드프레임(31)을 따라 이동가능하도록 된 로딩헤드(32)와 제 1언로딩헤드(33) 및 제 2언로딩헤드(34)가 설치되어 있는데, 상기 로딩헤드(32)와 제 2언로딩헤드(34)는 가이드프레임(31)의 동일 측면상에 설치되어 서로 겹치지 않는 범위 내에서 각각 가이드프레임(31)의 일부분을 이동하도록 되어 있다.

상기 로딩헤드(32)는 로딩부(10)의 트레이(11)에 적재되어 있는 디바이스들을 파지하여 상기 로딩셔틀(51)로 이송하여 장착하는 역할을 하고, 상기 제 1,2언로딩헤드(33, 34)는 테스트 완료된 디바이스들을 언로딩부의 각 트레이(21, 22, 23)에 분류 적재하는 역할을 담당하게 된다.

한편, 상기 베이스(1)의 전방부에는 디바이스가 채워진 로딩셔틀(51)이 얹혀져 이송되면서 로딩셔틀(51) 상의 디바이스들이 예열되는 가열플레이트(41) 및, 상기 로딩셔틀(51)을 가열플레이트(41)상에서 이송시키는 이송실린더(42)로 구성된 예열부(40)가 설치되어 있다.

상기 가열플레이트(41)는 온도제어가 용이하도록 전기적 에너지에 의해 작동되는 것이 바람직하다.

상기 예열부(40)의 가열플레이트(41)는 베이스(1)의 후방에 설치되어 디바이스의 테스트를 수행하는 테스트챔버(60)까지 이어져 있는 바, 예열부(40)를 통과한 로딩셔틀(51)은 테스트챔버(60) 내로 이송된다.

한편, 디바이스의 상온상태 테스트를 수행할 때에는 로딩셔틀(51) 상의 디바이스를 예열시킬 필요가 없는 바, 상기 예열부(40)의 로딩셔틀 진입부에는 디바이스의 상온상태 테스트시 상기 로딩셔틀(51)이 예열부(40)의 전경로를 거치지 않고 최단경로로 테스트챔버(60) 인근 위치로 이송될 수 있도록 하기 위한 로딩셔틀 직송장치(45)가 구비되어 있다.

그리고, 상기 테스트챔버(60)는 디바이스의 고온상태 테스트시 주위 온도를 일정상태로 유지하기 위하여 밀폐된 공간을 이루도록 되어 있는데, 상기 테스트챔버(60) 내에는 예열부(40)를 통해 이송된 로딩셔틀(51) 상의 디바이스를 장착하여 테스트를 수행하는 테스트소켓(61)과, 이 테스트소켓(61)에서 테스트 완료된 디바이스를 재장착하는 언로딩셔틀(55)과, 상기 로딩셔틀(51)의 테스트할 디바이스를 테스트소켓(61)으로, 테스트소켓(61)의 테스트 완료된 디바이스를 언로딩셔틀(55)로 연속적으로 이송하여 장착하여 주는 인덱스장치(62) 및, 디바이스의 고온 상태 테스트시 상기 테스트소켓(61)에 고온의 가스를 공급하기 위한 열공급덕트(63)가 설치되어 있다.

상기 로딩셔틀(51)은 테스트챔버(60) 내에서 이동가능하도록 되어 있는 바, 테스트할 디바이스들이 모두 이송되어 빈 로딩셔틀(51)은 테스트챔버(60) 후방측으로 이송된 다음 다시 언로딩셔틀(55) 위치로 이송되어 언로딩셔틀(55)의 역할을 하게 된다.

테스트 완료된 디바이스들이 모두 채워진 언로딩셔틀(55)은 테스트챔버(60)의 외부로 인출되어 베이스(1) 중간의 가이드프레임(31) 위치로 이동가능하도록 되어 있다.

한편, 상기 테스트챔버(60)의 전방 일측에는 테스트 완료된 디바이스들중 불량으로 판정된 디바이스들이 일시적으로 장착되는 버퍼부(71)가 가이드프레임(31)의 일측에서 타측방향으로 왕복이동 가능하게 설치되어 있다.

또한, 상기 베이스(1)의 후방 일측에는 상기 로딩부(10)에서부터 이송되어 온 빈 트레이(11)들을 언로딩부의 양품 적재용 트레이(21)와 재검사품 적재용 트레이(22)로 사용하기 위하여 양측으로 배분하여 주는 트레이 트랜스퍼(80;tray transfer)가 설치되어 있다.

이하, 상기와 같은 구성으로 이루어진 수평식 핸들러의 작동에 대해 설명한다.

먼저, 로딩부(10)에 테스트할 디바이스들이 채워진 다수의 트레이(11)들을 상하로 적층한 상태에서 핸들러의 작동이 개시되면, 상기 로딩부(10)에 적층된 트레이(11)들 중 가장 하단의 트레이부터 순차적으로 베이스 후방으로 이동한다.

로딩부(10)에서 후방으로 이동한 트레이(11)는 베이스(1) 중간의 가이드프레임(31) 전방측에서 일시 정지하며 디바이스의 취출에 따라 단계적으로 진행하게 되는데, 이 때 상기 가이드프레임(31) 상의 로딩헤드(32)가 상기 트레이(11)와 로딩셔틀(51) 사이에서 왕복이동하며 트레이(11) 내의 디바이스를 로딩셔틀(51)로 옮겨 장착하게 된다.

이어서, 디바이스가 모두 취출된 트레이는 베이스 후방의 트레이 트랜스퍼(80)로 이송되는 한편, 디바이스가 모두 채워진 로딩셔틀(51)은 예열부(40)의 가열플레이트(41) 상으로 이송되어 예열되거나, 혹은 로딩셔틀 직송장치(45)에 의해 예열부(40)의 후방부로 바로 이송된다.

상기 예열부(40)를 경유한 로딩셔틀(51)은 베이스(1) 후방의 테스트챔버(60)로 이송되고, 이 테스트챔버(60) 내에서는 인덱스장치(62)에 의해 로딩셔틀(51)의 디바이스들이 연속적으로 이송되며 테스트소켓(61)에 장착되어 테스트가 수행된 다음, 테스트 완료된 디바이스들은 다시 인덱스장치(62)에 의해 로딩셔틀(51) 반대편에 위치한 언로딩셔틀(55)에 장착된다.

상기 언로딩셔틀(55)에 테스트 완료된 디바이스들이 모두 장착되면, 언로딩셔틀(55)은 테스트챔버(60)의 전방부를 통해 인출되어 가이드프레임(31) 바로 하측에 위치하게 되고, 이어서 가이드프레임(31)의 제 1언로딩헤드(33)가 가이드프레임(31)을 따라 이동하면서 언로딩셔틀(55)의 디바이스를 테스트결과에 따라 언로딩부의 각 트레이(21, 22, 23)에 분류 적재하게 되는데, 양품으로 판정된 디바이스들은 양품 적재용 트레이(21)에, 재검사가 필요한 재검사품으로 판정된 디바이스들은 재검사품 적재용 트레이(22)에 적재되고, 불량으로 판정된 디바이스들은 일단 버퍼부(71)에 적재된다.

이어, 버퍼부(71)가 가이드프레임(31)의 반대편 위치로 이동하면 가이드프레임(31)의 제 2언로딩헤드(34)가 이동하면서 버퍼부(71) 상의 불량 디바이스들을 불량품 적재용 트레이(23)들에 적재한다.

한편, 로딩부에 적재되어 있던 디바이스들의 테스트가 완료되면, 자동으로 언로딩부의 재검사품 적재용 트레이(22)에 적재된 디바이스들에 테스트가 이루어지게 되는바, 베이스(1)의 전방에 위치되어 있던 재검사품 적재용 트레이(22)는 후방으로 이동하여 트레이 트랜스퍼(80) 위치까지 이동한 다음, 다시 로딩부(10)와 일치하는 위치에서 베이스(1)의 전방으로 이동하여 가이드프레임(31)의 바로 하부에서 일시 정지하며 디바이스의 취출 여부에 따라 단계적으로 전진한다.

이 때, 가이드프레임(31) 상의 로딩헤드(32)가 재검사품 적재용 트레이(22)의 디바이스를 집어 로딩셔틀(51)로 이송 장착하며, 이후의 과정은 전술한 바와 동일하며, 재검사품 적재용 트레이(22)의 디바이스들이 모두 테스트 완료되어 언로딩되면 작업은 종료된다.

이상에서와 같이 본 발명에 의한 수평식 핸들러는 디바이스를 집어서 놓는 작업(pick place)의 횟수를 대폭 줄임으로써 작업중에 발생할 수 있는 디바이스의 파손을 대폭적으로 줄일 수 있음과 더불어, 인덱스타임(Index Time)을 줄여 테스트의 효율성이 극대화할 수 있는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 핸들러의 베이스 상에서 전후진 가능하게 설치되고, 테스트할 디바이스들이 놓여진 트레이들이 적재되어 있는 로딩부와;

   상기 로딩부의 트레이에 놓여진 디바이스들이 이송되어 재장착되는 로딩셔틀과;

   디바이스의 고온상태 테스트시 상기 로딩셔틀이 얹혀져 이송되면서 가열되는 가열플레이트 및 가열플레이트 상의 로딩셔틀을 이동시키는 이동수단으로 이루어진 예열부와;

   상기 예열부를 통과한 로딩셔틀이 이송되어 위치된 후 로딩셔틀 상의 디바이스가 연속적으로 이송되며 장착되어 테스트가 수행되는 테스트소켓과, 상기 테스트소켓 상에서 테스트완료된 디바이스가 이송되어 장착되는 언로딩셔틀과, 상기 로딩셔틀의 디바이스를 테스트소켓으로, 테스트소켓의 테스트 완료된 디바이스를 상기 언로딩셔틀로 연속적으로 이송시켜 주는 인덱스장치와, 고온상태 테스트시 상기 테스트소켓에 고온의 열기를 공급하는 열공급수단을 구비한 테스트챔버와;

   상기 베이스 상에서 전후진 이동가능하게 설치되며, 상기 테스트챔버의 언로딩셔틀에 장착된 디바이스를 테스트 결과에 따라 분류하여 적재하는 복수개의 트레이로 이루어진 언로딩부와;

   상기 로딩부의 디바이스를 로딩셔틀로, 상기 언로딩셔틀의 디바이스를 언로딩부의 트레이로 이송시키는 이송장치 및;

   디바이스의 상온상태 테스트시 상기 로딩셔틀이 상기 예열부를 거치지 않고 바로 테스트챔버의 전방으로 이송되도록 하는 로딩셔틀 직송장치를 포함하여 구성된 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서, 상기 언로딩부는 양품으로 판정되어 분류된 디바이스가 놓여져 적재되는 다수의 양품 적재용 트레이와, 재검사품으로 판정되어 분류된 디바이스들이 놓여져 적재되는 다수의 재검사품 적재용 트레이와, 불량품으로 판정되어 분류된 디바이스들이 놓여져 적재되는 다수의 불량품 적재용 트레이로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
4. 제 1항에 있어서, 상기 이송장치는 핸들러의 베이스 상부를 수평하게 가로지르도록 설치된 가이드프레임과, 이 가이드프레임의 일측부에 이동가능하게 설치되어 가이드프레임을 따라 이동하면서 로딩부의 테스트될 디바이스를 파지하여 로딩셔틀에 재장착하는 로딩헤드와, 상기 가이드프레임의 타측부에 이동가능하게 설치되어 가이드프레임을 따라 이동하면서 언로딩셔틀 상의 테스트 완료된 디바이스들을 파지하여 언로딩부의 각 트레이에 분류 적재하는 언로딩헤드를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
5. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 언로딩셔틀의 디바이스를 언로딩부로 이송하기 전에 불량품으로 판정된 디바이스들을 일시적으로 적재하게 되는 버퍼부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
6. 제 5항에 있어서, 상기 이송장치는 상기 버퍼부에 적재된 불량 디바이스를 언로딩부의 불량품 적재용 트레이에 별도로 이송하는 제 2언로딩헤드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
7. 삭제
8. 제 1항에 있어서, 상기 로딩부의 트레이에서 디바이스가 모두 이송된 후 빈 트레이를 상기 언로딩부에 분배 공급하는 트레이 분배장치를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
9. 제 1항에 있어서, 상기 이송장치는 핸들러의 가로방향의 일축으로만 좌우 이송하도록 된 것을 특징으로 하는 수평식 디바이스 테스트 핸들러.
10. 로딩부에 테스트할 디바이스가 채워진 트레이를 적재하는 단계;

    상기 로딩부에 적재된 디바이스들을 이송장치의 로딩헤드로 파지하여 로딩셔틀로 이송하여 재장착하는 단계;

    디바이스의 고온상태 테스트시, 상기 로딩셔틀에 디바이스들이 장착된 후 상기 로딩셔틀을 예열부를 통과시키면서 로딩셔틀 상의 디바이스들을 예열하는 단계;

    예열부를 통과한 로딩셔틀을 테스트챔버로 이송하는 단계;

    디바이스의 상온상태 테스트시, 상기 로딩셔틀에 디바이스들이 장착된 후 상기 로딩셔틀을 예열부를 거치지 않고 직송장치로써 테스트챔버로 이송하는 단계;

    테스트챔버 내로 이송된 로딩셔틀 상의 디바이스를 인덱스장치에 의해 테스트소켓에 장착하여 테스트를 수행한 후 언로딩셔틀에 언로딩하는 단계;

    언로딩셔틀 상에 채워진 테스트완료된 디바이스들을 테스트 결과에 따라 분류하여 제 1언로딩헤드로써 양품 및 재검사품으로 판정된 디바이스들은 언로딩부의 양품 및 재검사품 적재용 트레이들로 이송하여 장착하고, 불량품으로 판정된 디바이스들은 버퍼부에 일시 장착하도록 한 단계;

    상기 버퍼부에 장착된 디바이스들을 이송장치의 제 2언로딩헤드로써 언로딩부의 불량품 적재용 트레이로 이송하여 장착하는 단계로 구성된 수평식 디바이스 테스트 핸들러의 작동방법.