KR100706330B1 - 테스트 핸들러 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 고객 트레이를 이송시키기 위한 제 1 내지 제 3 트랜스퍼와, 상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼를 수평 이동시키는 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치를 포함하고, 상기 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치를 서로 독립적으로 작동되도록 함으로써 상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼가 서로 독립적으로 수평이동을 수행할 수 있도록 하며, 또한, 제 1 내지 제 3 트랜스퍼의 역할을 각각 할당함으로써 궁극적으로 디바이스의 테스트 처리 속도를 향상시킬 수 있는 기술이 개시된다.
테스트 핸들러, 트레이 이송장치

Description

테스트 핸들러{TEST HANDLER}
도 1은, 종래의 테스트 핸들러의 트레이 이송 장치에 대한 블록도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 주요부위에 대한 사시도이다.
도 3은, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 주요부위에 대한 블록도이다.
도 4 내지 도 6은, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 작동상태도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
200', 200'', 200''' : 제 1 내지 제 3 트랜스퍼
21: 파지부 22: 수직 이동 장치
22a: 수직가이드레일 22b: 모터
22c: 이송축 22d: 풀리
22e: 모터풀리 22f: 벨트
22g: 지지판
300', 300'', 300''' : 제 1 내지 제 3 수평이동장치
31a, 31b: 수평가이드레일 32': 제 1 모터
, 32'': 제 2 모터 32''': 제 3 모터
33'a: 제 1 풀리 33'b : 제 1' 풀리
33''a: 제 2 풀리 33''b : 제 2' 풀리
33'''a: 제 3 풀리 33'''b : 제 3' 풀리
34': 제 1 벨트 34'': 제 2 벨트
34''': 제 3 벨트
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로, 더 상세히는 고객 트레이를 이송시키기 위한 트레이 이송 장치에 관한 것이다.
최근에는 반도체 소자(이하, '디바이스'라 함)가 이용되는 환경이 다양화됨에 따라 열악한 환경조건 하에서도 디바이스가 안정적인 제 기능을 수행할 수 있도록 요구되고 있다. 따라서 생산된 디바이스를 출하하기 전에 열악한 환경조건하에서 테스트를 수행하여 그 불량여부를 판별할 수 있도록 하는 과정이 필연적으로 요구된다. 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 그러한 요구에 따라 특정한 환경조건을 조성하고, 조성된 환경조건하에서 디바이스들을 테스트함으로써, 출하에 앞서 생산된 디바이스들의 불량여부를 판별할 수 있도록 하는데 사용되는 장비이다.
이러한 테스트 핸들러와 관련된 기술은, 대한민국 공개실용신안공보 공개번호 실1998-062568호(발명의 명칭 : 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 트레이 캐쳐), 실1998-062567호(발명이 명칭 : 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치), 대한민국 공개특허공보 공개번호 특2003-0062702호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스 트 핸들러의 트레이 이송장치), 10-2004-0043925호(발명의 명칭 : 트레이 이송장치), 특2002-0031461호(발명의 명칭 : 핸들러용 트레이 이송장치), 특2003-0029266호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러) 등에 개시되어 있으며, 그러한 공개공보들에는 테스트 핸들러의 구조들이 비교적 상세하게 제시되어 있다.
위의 공개공보에 개시된 바와 같이, 테스트 핸들러는 로딩플레이트 및 언로딩플레이트의 하측에 구비된 스택커에 적재되어 있는 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 로딩플레이트 및 언로딩플레이트로 이송시키거나, 로딩플레이트 및 언로딩플레이트에 위치한 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 스택커에 적재시키는 등 이송대기상태에 있는 고객 트레이를 이송위치로 이송시키기 위한 트레이 이송 장치를 가지며, 본 발명은 이러한 트레이 이송 장치에 기술적 특징이 있는 것이다. 여기서 이송대기상태라 함은 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이의 경우에는 해당 고객 트레이가 스택커에 적재되어 위치된 상태, 로딩 또는 언로딩 완료된 직후에는 로딩 또는 언로딩플레이트에 위치하는 상태 등과 같이 고객 트레이가 이송이 필요해진 상태를 말하며, 이송위치라 함은 스택커에 적재되어 있는 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이의 경우에는 로딩플레이트, 로딩플레이트에서 로딩이 완료된 빈 고객 트레이의 경우에는 언로딩플레이트 등의 위치 등과 같이 이송대기상태의 고객 트레이가 궁극적으로 이송해야 할 위치를 말하는 것으로 사용하였으며, 이하에서도 동일하게 사용된다.
도 1은 종래의 트레이 이송 장치(100)에 대한 블록도이다. 도 1을 참조하면 종래의 트레이 이송 장치(100)는 고객 트레이를 선택적으로 파지 또는 파지 해제하 는 한 쌍의 파지부(11a, 11b)와 상기 한 쌍의 파지부(11a, 11b)를 각각 수직 이동시키는 한 쌍의 수직 이동 장치(12a, 12b)를 포함하는 트랜스퍼(101), 상기 트랜스퍼(101)를 수평 이동시키는 수평 이동 장치(102), 상기 한 쌍의 수직 이동 장치(12a, 12b)와 상기 수평 이동 장치(102)를 제어하는 콘트롤러(103)를 가진다. 이러한 종래의 트레이 이송 장치(100)에 관련하여서는 위에 제시된 공개실용신안공보 공개번호 실1998-062567호(이하, '인용기술'이라 함)의 도면2 및 그 설명에 의해 비교적 명확하게 제시되고 있는데, 다만, 인용기술에서는 트레이 이송 장치를 트랜스퍼 장치로, 한 쌍의 파지부를 트랜스퍼 헤드 등으로 표현하고 있다.
그런데, 종래 기술에 따른 트레이 이송 장치(100)에 의하면, 한 쌍의 파지부(11a, 11b)가 수직방향으로는 서로 독립적으로 이동하지만, 수평방향으로는 항상 함께 이동하기 때문에, 로딩플레이트 및 언로딩플레이트에서 동시에 이벤트(로딩플레이트 또는 언로딩플레이트 상의 고객 트레이가 로딩이 완료되거나 언로딩이 완료됨으로써 고객 트레이가 이송대기상태로 된 상황, 이하 같은 의미로 사용됨)가 발생하면 어느 한 쪽에 이송대기 중인 고객 트레이는 지속적으로 이송대기상태에 있게 됨으로 인하여 처리 속도의 저하를 가져오는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 고객 트레이 이송 장치(100)는 하나의 트랜스퍼(101)에 함께 구성됨으로써 수평 방향으로 함께 이동하는 한 쌍의 파지부(11a, 11b)에 의해 모든 이송작업이 수행되고, 로딩플레이트 또는 언로딩플레이트 중 어디에서 먼저 이벤트가 발생될지 모르기 때문에, 사전 준비 작업이 없는, 즉, 이송대기상태에 있는 고객 트레이를 미리 파지한 후 이동 대기하고 있을 수 없는 것이기 때문에 이 또한 처리 속도의 저하를 가져오는 문제점이 되었다.
또한, 종래의 고객 트레이 이송 장치(100)는 한 쌍의 파지부(11a, 11b)가 모두 로딩플레이트 구간으로부터 언로딩플레이트 구간까지 전체에 걸쳐 수평 이동해야 하기 때문에 수평 이동거리가 길어지게 됨으로써 이 또한 처리 속도의 저하를 가져오는 문제점이 되었다.
그리고 상기한 문제점들은, 향후 테스트 핸들러에서 대용량의 디바이스를 처리하는 방향으로 기술이 발전하게 될 것을 고려해볼 때, 더욱 심각하게 대두될 것임은 분명하다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 가진다.
첫째, 파지부와 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 가지는 3개의 트랜스퍼를 구비하고, 3 개의 트랜스퍼는 서로 독립적으로 수평 이동할 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는 것을 목적으로 한다.
둘째, 서로 독립적으로 수평 이동할 수 있는 3 개의 트랜스퍼를 구비하고, 각 트랜스퍼에 각자의 역할을 할당시킴으로써 이벤트발생 이전에 미리 사전작업이 가능하면서도, 각 트랜스퍼의 이동거리가 짧은 테스트 핸들러를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트 핸들러는, 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제 1 내지 제 3 트랜스퍼와, 상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼를 각각 수평 이동시키는 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치를 포함하며, 상기 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치는 서로 독립적으로 작동하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제 1 트랜스퍼는 제 1 구간내에서 수평 이동하고, 상기 제 3 트랜스퍼는 상기 제 1구간과 구분된 제 3 구간내에서 수평 이동하도록 하여 각 트랜스퍼의 수평 이동 거리를 짧게 함으로써 고객 트레이의 이송속도를 빠르게 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트 핸들러는, 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 파지하여 상기 고객 트레이를 로딩플레이트에 안착시키는 제 1 트랜스퍼와, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지하여 언로딩플레이트에 안착시키는 제 2 트랜스퍼와, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하여 스택커에 안착시키는 제 3 트랜스퍼를 포함하고, 상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼는 각각 독립적으로 수평 이동하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제 1 트랜스퍼가 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 파지한 상태로 상기 로딩플레이트 주위에 대기한 상태에서, 상기 제 2 트랜스퍼가 상기 로 딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지하고 나면, 상기 제 1 트랜스퍼는 상기 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 상기 로딩플레이트에 안착시키도록 구현하는 것이 처리속도를 향상시킬 수 있어서 바람직하다.
또, 상기 제 2 트랜스퍼가 상기 로딩플레이트로에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지한 후 상기 언로딩플레이트 주위에 대기한 상태에서 상기 제 3 트랜스퍼가 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하고 나면, 상기 제 2 트랜스퍼는 상기 빈 고객 트레이를 상기 언로딩플레이트에 안착시키도록 구현하면 처리속도를 더 향상시킬 수 있어서 더욱 바람직하다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트 핸들러는, 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 스택커로부터 파지한 후 로딩플레이트 주위에 대기하고 있다가, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료된 빈 고객 트레이가 상기 로딩플레이트로부터 제거되고 나면 상기 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 상기 로딩플레이트로 안착시키고, 다시 상기 스택커로 이동하여 피시험 디바이스가 담긴 다른 고객 트레이를 파지한 후 상기 로딩플레이트 주위에 다시 대기하는 제 1 트랜스퍼와, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료된 빈 고객 트레이를 파지한 상태로 상기 언로딩플레이트 주위에 대기하고 있다가, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료된 고객 트레이가 상기 언로딩플레이트로부터 제거되고 나면 상기 빈 고객 트레이를 상기 언로딩플레이트 로 안착시킨 후, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료되는 다른 고객 트레이를 파지하기 위해 다시 상기 로딩플레이트 주위에 대기하는 제 2 트랜스퍼와, 상기 언로딩플레이 주위에 대기하고 있다가, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료된 고객 트레이가 발생하면 상기 언로딩이 완료된 고객 트레이를 파지하여 상기 스택커에 안착시킨 후, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료되는 다른 고객 트레이를 파지하기 위해 다시 상기 언로딩플레이트 주위에 대기하는 제 3 트랜스퍼를 포함하고, 상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼는 각각 독립적으로 수평 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 테스트 핸들러의 트레이 이송장치는, 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 구비함으로써, 이송대기상태에 있는 고객 트레이를 이송위치로 이송시킬 수 있는 적어도 둘 이상의 트랜스퍼와, 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼에 대응되게 마련되어, 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼를 수평 이동시키는 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치와, 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼에 각각 구비되는 수직 이동 장치들의 작동을 각각 독립적으로 제어하며, 상기 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치가 서로 독립적으로 작동되도록 함으로써 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼가 서로 독립적으로 수평 이동될 수 있도록 제어하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼는, 고객 트레이를 스택커로부터 로 딩플레이트로 이송시키기 위한 제 1 트랜스퍼와, 상기 로딩플레이트에서 로딩이 완료된 빈 고객 트레이를 언로딩플레이트로 이송시키기 위한 제 2 트랜스퍼와, 상기 언로딩플레이트에서 언로딩이 완료된 고객 트레이를 스택커로 이송시키기 위한 제 3 트랜스퍼를 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트 핸들러는, 이송대기상태의 고객 트레이를 이송위치로 이송시키기 위하여 서로 다른 수평 이동 구간 내에서 이동할 수 있도록 구비되는 적어도 둘 이상의 트랜스퍼와, 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼에 대응되게 마련되어, 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼를 각각의 수평 이동 구간 내에서 수평 이동시키는 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치와, 상기 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치의 동작을 제어하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 주요부위에 대한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 주요부위에 대한 블록도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는, 이송대기상태의 고객 트레이를 이송위치로 이송시키는 3 개의 트랜스퍼(200', 200'', 200''')와, 상기 3개의 트랜스퍼(200', 200'', 200''')를 서로 독립적으로 수평 이동시키는 3 개의 수평 이동 장치(300', 300'', 300''')와, 콘트롤러(400) 등을 포함하는 트레이 이송 장치를 가진다. 미설명부호 "T"는 상기한 각 구성이 설치되는 설치판이다.
상기한 트레이 이송 장치의 구성을 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
상기 3 개의 트랜스퍼(200', 200'', 200''')는, 제 1 구간(A) 내에서 이동하는 제 1 트랜스퍼(200')와, 제 2 구간(B) 내에서 이동하는 제 2 트랜스퍼(200'')와, 제 3 구간(C) 내에서 이동하는 제 3 트랜스퍼(200''')로 구성된다. 그리고 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''')는, 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부(21)와 상기 파지부(21)를 수직 이동시키는 수직 이동 장치(22)를 각각 구비한다.
상기 파지부(21)는 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 역할을 수행하는 것으로, 이러한 파지부(21)에 대한 구성은 인용기술 등에 상세히 제시되어 있으므로 그 상세한 설명은 생략한다.
상기 수직 이동 장치(22)는, 상기 파지부(21)가 수직으로 승하강할 수 있도록 가이드 하는 수직가이드레일(22a)과, 상기 파지부(21)가 승하강하는 동력을 공급하는 모터(22b)를 구비하며, 상기 모터(22b)의 동력을 상기 파지부(21)로 전달하기 위하여 이송축(22c)과, 이송축(22c)의 일단에 설치된 풀리(22d)와, 상기 모터(22b)의 회전축에 설치된 모터풀리(22e)와, 상기 풀리(22d)와 모터풀리(22e)를 연결하는 벨트(22f)를 구비한다. 그리고 상기한 수직가이드레일(22a) 등을 지지하는 지지판(22g) 등을 더 구비하고 있다. 이러한 수직 이동 장치(22)는 모터(22b)의 정역회전에 따라서 모터(22b)의 동력이 모터풀리(22e), 풀리(22d) 및 이송축(22c)을 통해 파지부(21)로 전달되어서 파지부(21)를 승하강시키게 된다.
물론, 파지부(21) 및 수직 이동 장치(22)는 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''') 별로 구비되는 것이지만, 설명의 편의를 위해서 각 트랜스퍼(200', 200'', 200''')에 구성된 파지부(21) 및 수직 이동 장치(22)의 각 구성에 대한 부호는 통일시켜 설명하도록 한다.
상기 3 개의 수평 이동 장치(300', 300'', 300''')는, 상기 제 1 트랜스퍼(200')를 제 1 구간(A) 내에서 수평 이동시키기 위한 제 1 수평 이동 장치(300')와, 상기 제 2 트랜스퍼(200'')를 제 2 구간(B) 내에서 수평 이동시키기 위한 제 2 수평 이동 장치(300'')와, 상기 제 3 트랜스퍼(200''')를 제 3 구간(C) 내에서 수평 이동시키기 위한 제 3 수평 이동 장치(300''')로 구성된다.
상기 제 1 수평 이동 장치(300')는, 상기 제 1 트랜스퍼(200')가 로딩플레이트(미도시) 하 측에 위치하는 스택커(미도시)에 적재된 피시험 디바이스(미도시)가 담긴 이송대기상태의 고객 트레이(미도시)를 이송위치인 로딩플레이트 상으로 이송시키기 위하여 수평이동 가능해야 하는 구간인 제 1 구간(A) 내에서 상기 제 1 트랜스퍼(200')를 수평 이동시키도록 구성된다. 이를 위해 상기 제 1 수평 이동 장치(300')는, 상기 제 1 트랜스퍼(200')의 지지판(22g)이 수평 이동될 수 있도록 안내하는 수평가이드레일(31a, 31b)과, 상기 제 1 트랜스퍼(200')의 수평 이동에 따른 동력을 공급하는 제 1 모터(32')와, 상기 제 1 모터(32')의 회전축에 설치된 제 1 풀리(33'a)와, 상기 제 1 풀리(33'a)와 수평방향으로 대응되게 설치되는 제 1' 풀리(33'b)와, 상기 제 1 풀리(33'a), 제 1' 풀리(33'b) 및 상기 제 1 트랜스퍼 (200')의 지지판(22g)을 연결하는 제 1 벨트(34') 등을 포함한다. 여기서 상기 제 1 풀리(33'a)와 제 1' 풀리(33'b)는 도면에 도시된 바와 같이 제 1 구간(A)의 양 측 끝 지점에 위치되어짐을 알 수 있다.
상기 제 2 수평 이동 장치(300'')는, 상기 제 2 트랜스퍼(200'')가 로딩플레이트 상에서 이송대기상태로 위치하고 있는 빈 고객 트레이를 파지하는 지점으로부터 언로딩플레이트 상에 빈 고객 트레이를 위치시키는 지점인 이송위치까지의 구간인 제 2 구간(B) 내에서 상기 제 2 트랜스퍼(200'')를 수평 이동시키도록 구성된다. 이를 위해 상기 제 2 수평 이동 장치(300'')는, 상기 제 2 트랜스퍼(200'')의 지지판(22g)이 수평 이동될 수 있도록 안내하는 수평가이드레일(31a, 31b, 이 수평가이드레일은 본 실시예에서 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치가 공유하는 것으로 도시되어 있지만, 실시예 따라서는 별개로 구비될 수도 있을 것이다)과, 상기 제 2 트랜스퍼(200'')의 수평 이동에 따른 동력을 공급하는 제 2 모터(32'')와, 상기 제 2 모터(32'')의 회전축에 설치된 제 2 풀리(33''a)와, 상기 제 2 풀리(33''a)와 수평 방향으로 대응되게 설치되는 제 2' 풀리(33''b)와, 상기 제 2 풀리(33''a), 제 2' 풀리(33''b) 및 상기 제 2 트랜스퍼(200'')의 지지판(22g)을 연결하는 제 2 벨트(34'') 등을 포함한다. 여기서 상기 제 2 풀리(33''a)와 제 2' 풀리(33''b)는 도면에 도시된 바와 같이 제 2 구간(B)의 양 측 끝 지점에 위치되어짐을 알 수 있다.
상기 제 3 수평 이동 장치(300''')는, 상기 제 3 트랜스퍼(200''')가 언로딩플레이트 상에서 이송대기상태로 위치하고 있는 지점으로부터 고객 트레이(이 고객 트레이에는 테스트가 완료된 디바이스들이 담겨져 있다)를 이송위치인 언로딩플레 이트의 하 측에 구비된 스택커로 적재시킬 수 있도록 하기 위해 수평이동이 가능해야 하는 구간인 제 3 구간(C) 내에서 상기 제 3 트랜스퍼(200''')를 수평 이동시키도록 구성된다. 이를 위해 상기 제 3 수평 이동 장치(300''')는, 상기 제 3 트랜스퍼(200''')의 지지판(22g)이 수평 이동될 수 있도록 안내하는 수평가이드레일(31a, 31b)과, 상기 제 3 트랜스퍼(200''')의 수평 이동에 따른 동력을 공급하는 제 3 모터(32''')와, 상기 제 3 모터(32''')의 회전축에 설치된 제 3 풀리(33'''a)와, 상기 제 3 풀리(33'''a)와 수평 방향으로 대응되게 설치되는 제 3' 풀리(33'''b)와, 상기 제 3 풀리(33'''a), 제 3' 풀리(33'''b) 및 상기 제 3 트랜스퍼(200''')의 지지판(22g)을 연결하는 제 3 벨트(34''') 등을 포함한다. 여기서 상기 제 3 풀리(33'''a)와 제 3' 풀리(33'''b)는 도면에 도시된 바와 같이 제 3 구간(C)의 양 측 끝 지점에 위치되어짐을 알 수 있다.
상기한 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치는(300', 300'', 300''')는, 콘트롤러(400)의 제어에 의하여 제 1 내지 제 3 모터(32', 32'', 32''')의 작동이 각각 제어되면서 각각의 해당 풀리[(33'a, 33'b)/(33''a, 33''b)/(33'''a, 33'''b)] 및 벨트(34', 34'', 34''')가 연동하게 되고, 그에 따라 각 트랜스퍼(200', 200'', 200''')의 지지판(22g)이 수평가이드레일(31a, 31b)에 안내되기 때문에, 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''')를 수평 방향으로 원활히 이동시킬 수 있는 것이다.
한편, 상기 콘트롤러(400)는, 상기 수직 이동 장치(22)의 모터(22b) 및 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치(300', 300'', 300''')의 제 1 내지 제 3 모터(32', 32'', 32''')의 작동을 제어함으로써, 궁극적으로 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''')의 동작을 제어하게 된다.
상기와 같이 구성되는 테스트 핸들러가 가동되면서 콘트롤러(400)의 제어에 따라 궁극적으로 제어되는 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''')의 동작에 대하여 도 4 이하의 개략적인 동작상태도를 참조하여 설명하되, 설명의 편의상 제 1 내지 제 3 트랜스퍼(200', 200'', 200''') 별로 나누어 수평이동거리만 표기하여 설명한다.
<제 1 트랜스퍼의 동작 - 도 4 참조>
제 1 트랜스퍼(200')는 로딩플레이트(61) 하 측에 위치하는 스택커(71)에서 이송대기상태에 있는 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이(81)를 파지한 후 로딩플레이트(61)의 주위에서 대기하게 된다<S41>[도면상에는 파지부(21)가 로딩플레이트(61)의 바로 좌측에 옆에 위치되는 것으로 도시되어 있다]. 이 후 로딩플레이트(61)에서 테스트 트레이(미도시)로 로딩이 완료된 빈 고객 트레이가 후술되는 바와 같이 제 2 트랜스퍼(200'')에 의해서 로딩플레이트(61)로부터 제거되고 나면, 제 1 트랜스퍼(200')는 파지하고 있던 고객 트레이(81)를 로딩플레이트(61)에 안착<S42>시킨 다음, 계속하여 상기한 동작을 제 1 구간 내에서 반복하게 된다.
<제 2 트랜스퍼의 동작 - 도 5 참조>
제 2 트랜스퍼(200'')는 로딩플레이트(61) 상에서 테스트 트레이로 로딩이 완료되어 이송대기상태가 된 빈 고객 트레이를 파지한 후, 언로딩플레이트(62) 주위에 대기한다<S51>[도면상에는 파지부(21)가 언로딩플레이트(62)의 좌측 바로 옆에 위치되는 것으로 도시되어 있다]. 이 후, 언로딩플레이트(62)에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료된 고객 트레이가 후술하는 바와 같이 제 3 트랜스퍼(200''')에 의하여 언로딩플레이트(62)로부터 제거되고 나면, 제 2 트랜스퍼(200'')는 파지하고 있던 빈 고객 트레이를 언로딩플레이트(62)로 안착<S52>시킨 후, 다시 로딩플레이트(61)의 주위로 이동하여 대기<S53>하게 되며[도면상에는 파지부(21)가 로딩플레이트의 우측 바로 옆에 위치되는 것으로 도시되어 있다), 계속하여 제 2 구간 내에서 상기한 동작을 반복하게 된다.
한편, 이러한 제 2 트랜스퍼(200'')는 또 다른 역할도 수행하는 데, 만일 로딩플레이트(61)상의 고객 트레이에 담긴 디바이스가 테스트 트레이로 모두 로딩되지 않았는데 이벤트가 발생한 경우에, 로딩플레이트(61)상의 해당 고객 트레이에는 디바이스가 남아 있기 때문에, 해당 고객 트레이를 언로딩플레이트 상으로 이동시키기는 부적절한 것이므로, 부호 74의 스택커에 적재시킨다. 물론 응용에 따라서는 별도의 수납공간에 수납시키도록 구현할 수도 있다.
그리고 만일 로딩플레이트(61)상에서는 이벤트가 발생되지 않았는데, 언로딩플레이트(62)에서 이벤트가 발생된 경우에는, 제 2 트랜스퍼(200'')는 부호 73의 스택커(이 스택커에는 빈 고객 트레이가 적재되어 있다)로부터 빈 고객 트레이를 파지한 후, 이벤트가 발생한 언로딩플레이트(62)로 이송시킴으로써, 지연 없이 원활히 언로딩작 업이 이루어질 수 있도록 한다.
<제 3 트랜스퍼의 동작 - 도 6 참조>
제 3 트랜스퍼(200''')는 언로딩플레이트(62) 주위에 대기하고 있다[도면상에는 파지부(21)가 언로딩플레이트(62)의 우측 바로 옆에 대기하고 있다]가, 언로딩플레이트(62)에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료되어 이송대기상태가 된 고객 트레이가 발생하면, 언로딩이 완료된 고객 트레이를 파지<S61>한 다음 언로딩플레이트(62)의 하측에 위치하는 스택커(72)에 적재<S62>시킨 후, 계속하여 상기한 동작을 제 3 구간 내에서 반복한다.
이상과 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 파지부와 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 가지는 3개의 트랜스퍼를 구비하고, 3 개의 트랜스퍼를 서로 독립적으로 수평 이동시키는 한편, 각 트랜스퍼에 각자의 역할을 할당시킴으로써 이벤트발생 이전에 미리 사전 작업이 가능하면서도 각 트랜스퍼의 역할에 따른 수평 이동 구간이 구획되어 결과적으로 각 트랜스퍼의 이동거리가 짧 아지기 때문에, 궁극적으로 고객 트레이의 이동에 따른 처리속도가 향상되는 테스트 핸들러가 제공된다.

Claims (8)

  1. 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 구비하고 수평 방향으로 순차적으로 배열된 제 1 내지 제 3 트랜스퍼와,
    상기 제 1 트랜스퍼를 제 1 구간 내에서 수평 이동시키는 제 1 수평 이동 장치와,
    상기 제 2 트랜스퍼를 제 2 구간 내에서 수평 이동시키는 제 2 수평 이동 장치와,
    상기 제3 트랜스퍼를 상기 제1 구간과 구분된 제 3 구간 내에서 수평 이동시키는 제 3 수평 이동장치를 포함하며,
    상기 제 1 내지 제 3 수평 이동 장치는 서로 독립적으로 작동하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  2. 삭제
  3. 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 파지하여 상기 고객 트레이를 로딩플레이트에 안착시키는 제 1 트랜스퍼와,
    상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지하여 언로딩플레이트에 안착시키는 제 2 트랜스퍼와,
    상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하여 스택커에 안착시키는 제 3 트랜스퍼를 포함하고,
    상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼는 각각 독립적으로 수평 이동하며, 상기 제 2 트랜스퍼가 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지한 후 상기 언로딩플레이트 주위에 대기한 상태에서 상기 제 3 트랜스퍼가 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하고 나면, 상기 제 2 트랜스퍼는 상기 빈 고객 트레이를 상기 언로딩플레이트에 안착시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러
  4. 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 파지하여 상기 고객 트레이를 로딩플레이트에 안착시키는 제 1 트랜스퍼와,
    상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지하여 언로딩플레이트에 안착시키는 제 2 트랜스퍼와,
    상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하여 스택커에 안착시키는 제 3 트랜스퍼를 포함하고,
    상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼는 각각 독립적으로 수평 이동하며, 상기 제 1 트랜스퍼가 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 파지한 상태로 상기 로딩플레이트 주위에 대기한 상태에서, 상기 제 2 트랜스퍼가 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지하고 나면, 상기 제 1 트랜스퍼는 상기 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 상기 로딩플레이트에 안착시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 트랜스퍼가 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩을 완료한 빈 고객 트레이를 파지한 후 상기 언로딩플레이트 주위에 대기한 상태에서 상기 제 3 트랜스퍼가 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩을 완료한 고객 트레이를 파지하고 나면, 상기 제 2 트랜스퍼는 상기 빈 고객 트레이를 상기 언로딩플레이트에 안착시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러
  6. 피시험 디바이스가 담긴 고객 트레이를 스택커로부터 파지한 후 로딩플레이트 주위에 대기하고 있다가, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료된 빈 고객 트레이가 상기 로딩플레이트로부터 제거되고 나면 상기 피시험 디바이 스가 담긴 고객 트레이를 상기 로딩플레이트로 안착시키고, 다시 상기 스택커로 이동하여 피시험 디바이스가 담긴 다른 고객 트레이를 파지한 후 상기 로딩플레이트 주위에 다시 대기하는 제 1 트랜스퍼와,
    상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료된 빈 고객 트레이를 파지한 상태로 상기 언로딩플레이트 주위에 대기하고 있다가, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료된 고객 트레이가 상기 언로딩플레이트로부터 제거되고 나면 상기 빈 고객 트레이를 상기 언로딩플레이트로 안착시킨 후, 상기 로딩플레이트에서 테스트 트레이로 로딩이 완료되는 다른 고객 트레이를 파지하기 위해 다시 상기 로딩플레이트 주위에 대기하는 제 2 트랜스퍼와,
    상기 언로딩플레이 주위에 대기하고 있다가, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료된 고객 트레이가 발생하면 상기 언로딩이 완료된 고객 트레이를 파지하여 상기 스택커에 안착시킨 후, 상기 언로딩플레이트에서 테스트 트레이로부터 언로딩이 완료되는 다른 고객 트레이를 파지하기 위해 다시 상기 언로딩플레이트 주위에 대기하는 제 3 트랜스퍼를 포함하고,
    상기 제 1 내지 제 3 트랜스퍼는 각각 독립적으로 수평 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  7. 고객 트레이를 선택적으로 파지 및 파지 해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직 이동시키는 수직 이동 장치를 각각 구비함으로써, 이송대기상태에 있는 고객 트레이를 목적위치로 이송시킬 수 있는 적어도 둘 이상의 트랜스퍼와,
    상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼에 대응되게 마련되어 상기 적어도 둘 이상의 트랜스퍼를 수평 이동시키며, 각각 독립적으로 작동하는 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치를 포함하며,
    상기 적어도 둘 이상의 수평 이동 장치 중 적어도 두 개는 각각 대응하는 트랜스퍼를 구분된 서로 다른 구간 내에서 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  8. 삭제
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