KR100934031B1 - 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법 및 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치 - Google Patents

사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법 및 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법 및 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 언로딩작업의 불필요한 휴지시간을 최소화시킴으로써 언로딩장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
테스트핸들러, 자세변환장치, 개방장치

Description

사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법 및 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치{OPERATING METHOD OF SIDE DOCKING TYPE TEST HANDLER AND ROTATOR FOR SIDE DOCKING TYPE TEST HANDLER}
본 발명은 테스터(TESTER)에 의한 반도체소자 검사를 지원하는 장비인 테스트핸들러(TEST HANDLER)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법 및 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치에 관한 것이다.
생산된 반도체소자는 테스터에 의해 테스트된 다음 양품과 불량품으로 나뉜 후 양품만이 출하되는데, 테스터에 의한 테스트공정을 지원하기 위해 테스트핸들러라 불리는 자동화 검사장비가 이용되고 있다.
테스트핸들러(100)는, 도1의 개략도에 도시된 바와 같이, 다수의 캐리어보드(미도시), 로딩장치(110), 소크챔버(120), 테스트챔버(130), 디소크챔버(140) 및 언로딩장치 등으로 구성된다.
캐리어보드는 로딩위치(LP), 테스트위치(TP) 및 언로딩위치(UP)를 포함하는 일정경로(C)로 순환되며, 반도체소자들을 적재시키기 위한 다수의 인서트들을 행렬형태로 구비하고 있다. 반도체소자들은 캐리어보드에 적재된 상태, 보다 더 구체적으로는, 인서트에 적재 및 파지된 상태로 이동되고, 또한, 테스터(TESTER)에 공급되어 테스트가 이루어지게 된다.
로딩장치(110)는 고객트레이(CT)로부터 로딩위치(LP)에 있는 캐리어보드로 반도체소자들을 로딩하는 역할을 수행한다.
소크챔버(120)는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 테스트조건에 따라 예열/예냉시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(130)는 테스트위치(TP)에 있는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원하기 위해 마련된다.
디소크챔버(140)는 테스트챔버(130)를 거쳐 이송되어 온 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 제열/제냉시키기 위해 마련된다.
언로딩장치는 언로딩위치(UP)에 있는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 테스트등급별로 분류하면서 고객트레이(CT)로 언로딩시키기 위해 마련된다. 이러한 언로딩장치는, 한 쌍의 소팅테이블(151), 다수의 소터(152), 언로더(153), 개방장치(미도시) 등으로 구성된다.
한 쌍의 소팅테이블(151)은 상호 독립적으로 전후진 가능하게 마련되며, 반도체소자들을 테스트등급별로 분류시켜 임시적으로 적재시키기 위해 마련된다.
다수의 소터(152)들은 전후방향으로 일렬로 구비되며, 반도체소자들을 캐리어보드로부터 소팅테이블(151)로 이동시키기 위해 마련된다.
언로더(153)는 소팅테이블(151)에 적재된 반도체소자들을 고객트레이(CT)로 이동시키기 위해 마련된다.
개방장치는 언로딩위치(UP)의 하방에 구비되며, 언로딩위치(UP)에 있는 캐리어보드의 인서트들을 개방시켜 소터(152)에 의해 반도체소자들을 캐리어보드로부터 이탈시키는 작업이 가능하도록 하는 역할을 수행한다. 도2는 그러한 개방장치(154)에 대한 개략적인 사시도이다. 개방장치(154)는, 도2에서 참조되는 바와 같이, 인서트들을 개방시키기 위한 다수의 개방핀(154a-1)들이 형성된 개방판(154a)과, 개방판(154a)을 캐리어보드 측에 정합시키거나 정합을 해제시키기 위한 구동력을 가함으로써 개방판(154a)을 정합거리(L)만큼 승강시키는 구동원(154b, 도2의 개방장치에는 실린더가 적용됨)으로 구성된다.
한편, 테스트핸들러에는 반도체소자들을 적재한 캐리어보드가 수평상태에서 테스터에 도킹되는 언더헤드도킹식(일본국의 어드반테스트사에서 주로 생산됨)과 수직상태에서 테스터와 도킹되는 사이드도킹식(대한민국의 테크윙사 및 미래산업사에서 주로 생산됨)이 있다. 특히, 사이드도킹식 테스트핸들러의 경우에는 수평상태의 캐리어보드를 수직으로 자세변환시키거나 수직상태의 캐리어보드를 수평으로 자세변환시키는 과정 및 장치가 필요한데, 본 발명은 이러한 사이드도킹식 테스트핸들러에 밀접히 관련된다.
도3은, 앞서 설명된 바와 같이, 사이드도킹식 테스트핸들러에서 요구되는 자세변환장치(310)에 대한 개략도이다.
자세변환장치(310)는 파지부재(311)와 구동원(312)을 포함하여 구성된다.
파지부재(311)는 캐리어보드를 파지한 상태에서 수평(0°)상태와 수직(90°)상태로 자세변환이 가능하게 마련되며, 양단에는 캐리어보드의 양 측변을 파지하기 위하여 캐리어보드가 안내되면서 삽입될 수 있도록 각각 안내홈(311Ra, 311La)이 형성된 한 쌍의 안내레일(311R, 311L)을 가진다.
참고로 파지부재(311)에는 안내홈(311Ra, 311La)에 삽입된 캐리어보드의 흘러내림에 따른 이탈을 방지하기 위한 스토퍼(미도시)가 더 구비되는데, 그에 관한 기술은 주지된 것이므로 생략한다.
구동원(312)은 파지부재(311)를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시키거나 수직상태에 수평상태로 자세변환시키기 위한 회전력을 공급하기 위해 마련되며, 도3의 자세변환장치(310)에는 구동원(312)의 일예로서 실린더가 적용되어 있다. 실린더의 경우에는 파지부재(311)의 회전점(R)에서 일정 거리 이격된 지점에 실린더로드(312a)의 끝단이 힌지결합되고 그 반대 측은 테스트핸들러의 프레임(P)에 힌지결합된다. 따라서 실린더로드(312a)의 진퇴에 따라 파지부재(311)가 수평 또는 수직으로 자세변환하게 되는 것이다.
계속하여, 도4를 참조하여, 사이드도킹식 테스트핸들러의 자세변환위치 및 언로딩위치 부근에서 캐리어보드가 이송되는 방식을 설명한다.
캐리어보드(CB)는, 도4에 도시된 바와 같이, 자세변환위치에서 자세변환장치에 의해 자세변환(수직상태에서 수평상태로 자세변환)된 후 언로딩위치까지 이송[도4의 (a), (b) 및 (c)]되는데, 종래방식은 한 번의 이송과정에 의해 캐리어보드(CB)가 자세변환장치로부터 완전히 벗어나 언로딩위치에 위치될 수 있도록 되어 있었다. 그리고 캐리어보드(CB)가 언로딩위치로 이송되어 오면 개방장치(154)가 작동하여 개방판(154a)이 상승[도4의 (d)]됨으로써 캐리어보드(CB)의 인서트들을 개방시킨 상태에서 언로딩장치에 의한 언로딩작업이 이루어지게 된다.
그런데 도4와 같은 방식의 종래기술(이하 ‘종래기술1’이라 함)에 의하면 소터들이 X-Y운동을 수행하여야만 되며, X-Y운동 및 소터들 간의 간섭방지(다수의 소터가 구비된 경우), 언로더를 비롯한 다른 장치들과의 간섭방지를 위한 설계를 하게 되면 소터의 구성 및 무게가 복잡하고 무거워져 동작특성이 나쁠뿐더러 설계 및 제어가 곤란한 문제점이 있었다.
따라서 종래기술1의 문제점을 해결하기 위해, 먼저 캐리어보드(CB)의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드(CB)를 이송(도5a, b 및 c)시킨 후 개방장치(154)가 작동하여 개방판(154a)을 정합거리만큼 상승[도5d]시킴으로써 캐리어보드(CB)의 일부분의 인서트들을 개방시킨 상태에서 캐리어보드(CB)의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시킨 다음, 개방장치(154)가 작동하여 개방판(154a)을 정합거리만큼 하강(도5e)시킨 후 캐리어보드(CB)의 나머지 부분을 언로딩위치로 이송(도5f)시킨 다음 다시 개방장치(154)가 작동하여 개방판(154a)을 정합거리만큼 상승(도5g)시켜 캐리어보드(CB)의 나머지 부분의 인서트들을 개방시킨 상태에서 캐리어보드(CB)의 나머지 부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 방식이 제안되어졌다. 이러한 방식에 의하면, 소터들이 X방향으로의 운동만 수행하면 족하므로, 다수의 소터를 구비시켜도 소터들 간의 간섭, 언로더를 비롯한 다른 장치들과의 간섭을 고려할 필요가 없을 뿐더러 소터의 구성 및 무게를 단순하고 가볍게 할 수 있 으면서도 설계 및 제어가 용이한 이점이 있었다.
그러나 도5a 내지 도5g를 참조하여 설명한 종래기술(이하 ‘종래기술2’라 함)에 따르면, 도5h에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드(CB)를 이송시킨 상태에서는 캐리어보드(CB)의 후단이 자세변환장치(310)의 안내홈(311Ra, 311La)에서 완전히 이탈되지 못하기 때문에 자세변환장치(310)가 그 작동이 정지된 상태로 캐리어보드(CB)의 나머지 부분을 언로딩위치로 위치시킬 때까지 대기하고 있어야만 한다. 이러한 점은 다음 순서로 오는 캐리어보드(CB)의 원활한 이송을 방해하여 궁극적으로 언로딩장치의 불필요한 휴지시간을 요구하기 때문에 언로딩장치의 가동률을 떨어뜨리는 원인이 된다.
또한, 적재된 반도체소자들의 언로딩이 모두 완료된 캐리어보드(CB)는, 도6에서 참조되는 바와 같이, 일정거리(s) 하강된 상태로 언로딩위치에서 로딩위치로 이송(테크윙사의 테스트핸들러에서 이루어지는 이송방식)되는데, 이를 위해 개방판(154a)의 정합거리(L)는 개방판(154a)이 하강하였을 시에 개방판(154a)과 언로딩위치에 있는 캐리어보드(CB) 사이에 적어도 한 장의 캐리어보드(CB)가 더 배치될 수 있는 간격만큼 확보되어야만 한다. 그런데 이렇게 확보된 정합거리(L)는 캐리어보드(CB)의 나머지 부분을 언로딩위치에 위치시키기 위해 캐리어보드(CB)를 이송시키고자 하는 경우에는 불필요하게 긴 시간을 소요시키는 결과로 되어 개방판(154a)의 긴 정합거리(L)만큼 언로딩장치의 가동률을 떨어뜨리는 요인이 된다.
특히, 스피드테스트에서는 테스트핸들러의 가동률이 주로 언로딩작업의 속도에 의해 제한되고 있기 때문에 언로딩작업의 불필요한 휴지시간을 줄이는 것은 테 스트핸들러의 가동률을 향상시키기 위해 가장 시급히 해결해야 하는 과제이다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 본 발명은 다음과 같은 목적을 가진다.
첫째, 본 발명의 제1목적은 종래기술2와 같은 방식에서 앞의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치된 상태에서도 자세변환장치가 뒤의 캐리어보드를 파지하기 위한 동작을 수행할 수 있는 기술을 제공하는 것이며, 더 나아가, 파지된 뒤의 캐리어보드를 일정정도 자세변환까지 시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
둘째, 본 발명의 제2목적은 종래기술2와 같은 방식에서 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치된 상태에서 캐리어보드의 나머지 부분을 언로딩위치에 위치시키기 위해 캐리어보드를 이송시키는 경우 개방판의 정합거리를 짧게 할 수 있는 기술을 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법은, 로딩위치에 있는 수평(0°)상태의 캐리어보드로 반도체소자들을 로딩시키는 A단계; 수평상태의 캐리어보드를 제1자세변환위치로 이송시키는 B단계; 제1자세변환위치에 있는 수평상태의 캐리어보드를 수직(90°)으로 자세변환시키는 C단계; 수직상태의 캐리어보드를 테스트위치로 이송시키는 D단계; 테스트위치에 있는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원하는 E단계; 적재된 반도체소자들의 테스트가 완료된 캐리어보드를 제2자세변환위치로 이송시키는 F단계; 제2자세변환위치에서 제1각도(θ, 0°< θ < 90°)로 자세변환시키는 G단계; 제1각도의 캐리어보드를 수평으로 자세변환시키는 H단계; 수평상태의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시키는 I단계; 언로딩위치에 있는 캐리어보드의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 J단계; 수평상태의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시키는 K단계; 및 언로딩위치에 있는 캐리어보드의 나머지 부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 L단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
서로 인접하는 두 장의 캐리어보드 중 앞의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 상기 I단계를 통해 앞의 캐리어보드를 이송시킨 후 뒤의 캐리어보드를 상기 G단계를 통해 제1각도로 자세변환시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 앞의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 상기 K단계를 통해 캐리어보드를 이송시킨 후 상기 뒤의 캐리어보드를 상기 H단계를 통해 수평상태로 자세변환시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법은, 캐리어보드를 로딩위치[반도체소자들을 캐리어보드로 로딩시키는 위치], 제1자세변환위치[수평(0°)상태의 캐리어보드를 수직(90°)으로 자세변환시키는 위치], 테스트위치[캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트가 이루어지는 위치], 제2자세변환위치[수직상태의 캐리어보드를 수평으로 자세변환시키는 위치] 및 언로딩위치[캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 위치]를 거쳐서 다시 로딩위치로 이송시키되, 제2자세변환위치에서는 캐리어보드를 제1각도[θ, 0°< θ < 90°]로 자세변환시킨 다음 일정 시간을 대기한 후 수평으로 자세변환시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치는, 수평(0°)상태와 수직(90°)상태로 자세변환이 가능하게 마련되며, 캐리어보드의 양 측변을 파지하기 위하여 캐리어보드가 안내되면서 삽입될 수 있도록 각각 안내홈이 형성된 한 쌍의 안내레일을 가지는 파지부재; 및 상기 파지부재를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시키거나 수직상태에서 수평상태로 자세변환시키는 회전력을 공급하는 구동원; 을 포함하고, 상기 한 쌍의 안내레일에 각각 형성된 상기 안내홈은 파지된 캐리어보드의 양 측변의 앞 부분이 개방되게 형성됨으로써 캐리어보드가 상기 파지부재를 완전히 이탈하지 않은 상태에서도 상기 구동원을 동작시켜 상기 파지부재를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구동원은 상기 파지부재를 수평상태, 제1각도(θ, 0 < θ < 90°)로 기울어진 상태 및 수직상태 중에서 어느 한 상태로 선택적으로 유지시킬 수 있는 있는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 구동원은 수직상태의 상기 파지부재를 제1각도(θ , 0 < θ < 90°)만큼 회전시킨 후 시간 간격을 두고 제2각도(φ, φ + θ = 90°)만큼 더 회전시킴으로써 수평으로 자세변환시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 구동원은, 상기 파지부재의 회전점에서 일정 거리 이격된 지점에 실린더로드a의 끝단이 힌지결합 되어서 상기 실린더로드a의 진퇴에 의해 상기 파지부재를 제1각도(θ, 0 < θ < 90°)만큼 회전시킬 수 있는 제1실린더; 및 상기 제1실린더의 후단에 일체로 결합되며, 테스트핸들러의 프레임에 실린더로드b의 끝단이 힌지결합 되어서 상기 실린더로드b의 진퇴에 의해 상기 파지부재를 제2각도(φ, φ + θ = 90°)만큼 더 회전시킬 수 있는 제2실린더; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치는, 캐리어보드의 인서트들을 개방시키기 위한 개방핀들을 가지는 개방판; 및 상기 개방판을 캐리어보드에 정합시킴으로써 개방핀들에 의해 인서트들이 개방될 수 있도록 상기 개방판을 캐리어보드 측으로 정합거리(L)만큼 이동시킬 수 있는 이동력을 공급하는 구동원; 을 포함하며, 상기 구동원은, 상기 개방판을 캐리어보드 측으로 제1거리(L1, 0 < L1 < L)만큼 이동시키는 제1실린더; 및 상기 개방판을 캐리어보드 측으로 제2거리(L2, L2 + L1 = L)만큼 더 이동시키는 제2실린더; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1실린더 및 제2실린더는 서로 독립적으로 동작될 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
위와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 종래기술2와 같은 방식에서 앞의 캐리어보드가 자세변환장치로부터 완전히 이탈되지 않은 상태에서도 자세변환장치의 작동이 가능하기 때문에 뒤의 캐리어보드를 자세변환시키기 위한 대기시간을 줄임으로써 궁극적으로 언로딩작업의 휴지시간을 줄여 언로딩장치의 가동률을 향상시킬 수 있으며, 더 나아가 뒤의 캐리어보드를 일정정도까지 자세변환시켜 놓을 수 있게 되어 언로딩장치의 가동률을 더욱 향상시킬 수 있다.
둘째, 종래기술2와 같은 방식에서 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치된 상태에서 캐리어보드의 나머지 부분을 언로딩위치에 위치시키기 위해 캐리어보드를 이송시키고자 하는 경우 개방판의 정합거리를 짧게 하여 캐리어보드의 이송에 필요한 시간을 줄임으로써 궁극적으로 언로딩작업의 휴지시간을 줄여 언로딩장치의 가동률을 향상시킬 수 있게 된다.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 대한 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법(이하 ‘작동방법’으로 약칭 함)에 대한 실시예를 설명하기에 앞서 먼저 본 발명에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러에 적용된 자세변환장치 및 개방장치에 대한 설명부터 하도록 한다.
<자세변환장치에 대한 실시예 >
도7은 본 발명의 실시예에 따른 자세변환장치(700)에 대한 개략적인 사시도이다.
자세변환장치(700)는, 도7에서 참조되는 바와 같이, 파지부재(710) 및 구동원(720)을 포함하여 구성된다.
파지부재(710)는 수평(0°)상태와 수직(90°)상태로 자세변환이 가능하도록 양단의 일지점이 회전점(R)이 되게 테스트핸들러의 프레임(미도시)에 힌지결합되고, 캐리어보드의 양 측변을 파지하기 위하여 캐리어보드가 안내되면서 삽입될 수 있도록 각각 안내홈(711a, 712a)이 형성된 한 쌍의 안내레일(711, 712)을 가진다.
캐리어보드는 안내홈(711a, 712a)에 삽입되어 파지부재에(710) 의해 파지된 상태의 캐리어보드의 양 측변의 앞 부분이 개방되게끔 형성되어 있다.
구동원(720)은 파지부재(710)를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시키거나 수직상태에서 수평상태로 자세변환시키는 회전력을 공급하기 위한 것으로, 제1실린더(721) 및 제2실린더(722)로 구성된다.
제1실린더(721)는 파지부재(710)의 회전점(R)에서 일정 거리 이격된 지점에 실린더로드a(721a)의 끝단이 힌지결합 되어서 실린더로드a(721a)의 진퇴에 의해 파지부재(710)를 제1각도(θ, 0°< θ < 90°)만큼 회전시킬 수 있다.
제2실린더(722)는 제1실린더(721)의 후단에 일체로 결합되며, 테스트핸들러의 프레임(P)에 실린더로드b(722a)의 끝단이 힌지결합 되어서 실린더로드b(722a)의 진퇴에 의해 파지부재(710)를 제2각도(φ, φ + θ = 90°)만큼 더 회전시킬 수 있다.
그리고 제1실린더(721) 및 제2실린더(722)는 독립적으로 작동된다.
이어서 위와 같은 자세변환장치(700)의 동작에 대하여 설명한다.
도8a에 도시된 바와 같이 수직상태로 자세변환장치(700)의 하방에 위치된 앞의 캐리어보드(CB1)가 상승되면서 수직으로 세워진 파지부재(710)의 안내홈(711a, 712a)에 안내 및 삽입되면, 스토퍼(미도시)가 작동하여 앞의 캐리어보드(CB1)의 하방향 이탈을 방지시킨다.
도8a의 상태에서 제1실린더(721) 및 제2실린더(722)가 동작하여 파지부재(710)를 회전시켜 수평으로 자세변환시킴으로써 파지부재(710)에 파지된 앞의 캐리어보드(CB1)를 수평으로 자세변환(도8b)시킨다.
도8b의 상태에서 앞의 캐리어보드(CB1)의 일부분을 언로딩위치로 위치시키기 위해 앞의 캐리어보드(CB1)를 이송(도8c)시키게 되는데, 도8c에서 참조되는 바와 같이, 이 이송과정이 완료된 상태에서는 앞의 캐리어보드(CB1)가 자세변환장치(700)로부터 완전히 이탈되지는 않지만 앞의 캐리어보드(CB1)의 양 측변은 안내홈(711a, 712a)으로부터 완전히 이탈되어진 상태에 있게 된다. 따라서 도8c와 같은 상태에서는 언로딩장치가 작동하여 앞의 캐리어보드(CB1)의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 한편 제1실린더(721) 및 제2실린더(722)가 작동하여 파지부재(710)를 다시 수직상태로 자세변환(도8d)시킬 수 있게 된다.
계속하여 도8d의 상태에서 앞의 캐리어보드(CB1)에 인접하면서 뒤따라 순환하는 뒤의 캐리어보드(CB2)가 파지부재(710)에 파지(도8e)되고, 이어서 제1실린더(721)만이 동작하여 파지부재(710)를 제1각도(θ)로 회전(도8f)시킨다. 여기서 제1각도(θ)는 파지부재(710) 및 뒤의 캐리어보드(CB2)가 제1각도(θ)로 회전된 상태에서 앞의 캐리어보드(CB1)의 후단과 간섭을 일으키지 않는 각도이어야 한다.
차후 언로딩장치에 의해 앞의 캐리어보드(CB1)의 일부분에 적재된 반도체소자들이 모두 언로딩되면 앞의 캐리어보드(CB1)의 나머지 부분을 언로딩위치로 위치시키기 위해 앞의 캐리어보드(CB1)를 이송시키게 되고, 이 이송과정이 종료되고 앞의 캐리어보드(CB1)의 나머지 부분에 언로딩이 시작되면 파지부재(710)와 뒤의 캐리어보드(CB2)가 앞의 캐리어보드(CB1)의 후단과 간섭을 일으킬 문제가 없기 때문에 제2실린더(722)가 작동하여 파지부재(710)를 제2각도(φ)만큼 더 회전(도8g)시키게 된다.
물론, 경우에 따라서는 도8f의 상태가 요구되지 않을 수도 있다. 왜냐하면 도8d 및 도8e 과정이 순차적으로 진행된 후 뒤의 캐리어보드(CB2)를 자세변환시키는 시간보다 언로딩장치에 의해 앞의 캐리어보드(CB1)의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시킨 후 앞의 캐리어보드(CB1)의 나머지 부분을 언로딩위치에 위치시키기 위해 이송시키는 시간이 더 짧을 수 있기 때문이다. 따라서 이러한 경우에는 굳이 도8f의 상태를 거칠 필요가 없게 된다.
<개방장치에 대한 실시예 >
도9는 본 발명의 실시예에 따른 개방장치(900)에 대한 개략적인 사시도이다.
개방장치(900)는, 도9에서 참조되는 바와 같이, 개방판(910) 및 구동원(920)을 포함하여 구성된다.
개방판(910)은 캐리어보드의 인서트들을 개방시키기 위한 개방핀(911)들을 가지며 승강 가능하게 마련된다.
구동원(920)은 개방판(910)을 캐리어보드에 정합시킴으로써 개방핀(911)들에 의해 인서트들이 개방될 수 있도록 개방판(910)을 캐리어보드 측으로 정합거리(L)만큼 승강시킬 수 있는 승강력을 공급하며, 제1실린더(921) 및 제2실린더(922)를 포함하여 구성된다.
제1실린더(921)는 실린더로드a(921a)의 진퇴에 의해 개방판(910)을 제1거리(L1)만큼 승강시킬 수 있도록 구비된다.
제2실린더(922)는 실린더로드b(922a)의 진퇴에 의해 개방판(910)을 제2거리(L2 = L - L1)만큼 더 승강시킬 수 있도록 구비된다.
그리고 제1실린더(921) 및 제2실린더(922)는 서로 독립적으로 작동될 수 있도록 되어 있다.
다음은 위와 같은 개방장치(900)의 동작에 대해서 설명한다.
도10a에서 참조되는 바와 같이 개방판(910)이 완전히 하강된 상태에서는 언로딩위치에 있는 캐리어보드와 개방판 사이에 한 장의 캐리어보드가 배치될 수 있는 정합거리(L)가 확보된다. 이러한 상태에서는 언로딩위치에서 언로딩이 완료된 캐리어보드(CB)가 소폭 하강(도10a에 도시된 화살표 참조)하여 로딩위치로 이송될 수 있게 된다.
도10a의 상태에서 캐리어보드(CB)의 일부분이 언로딩위치에 위치되면, 제1실린더(921) 및 제2실린더(922)가 작동하여 개방판(910)을 정합거리(L)만큼 상승(도10b)시켜 캐리어보드(CB)의 일부분에 배열된 인서트들을 개방시키고, 캐리어보드(CB)의 일부분에 적재된 반도체소자들의 언로딩이 모두 이루어지면, 제1실린더(921)가 작동하여 개방판(910)을 제1거리(L1)만큼 하강(도10c)시킨다. 여기서 제1거리(L1)는 개방판(910)이 캐리어보드(CB)의 이송에 간섭하지 않을 최소거리이면 족하다.
도10c의 상태에서 캐리어보드(CB)의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치(도10d)되면, 제1실린더(921)가 작동하여 개방판(910)을 제1거리(L1)만큼 상승(도10e)시켜 캐리어보드(CB)의 나머지 부분에 배열된 인서트들을 개방시킨다. 그리고 캐리어보드(CB)의 나머지 부분에 적재된 반도체소자들이 모두 언로딩되면 제1실린더(921) 및 제2실린더(922)가 작동하여 개방판(910)을 정합거리만큼 하강시킨다.
참고로 도9의 개방장치(700)는 언로딩위치의 하방에 적용되고 있는 것을 예로 설명하고 있지만, 실시하기에 따라서는 로딩위치의 하방에도 적용될 수 있으며, 더 나아가 언더헤드도킹식 테스트핸들러에도 적용될 수 있다.
<작동방법에 대한 실시예 >
도11은 본 발명의 실시예에 따른 작동방법에 대한 흐름도이다.
도11을 참조하여 본 실시예에 따른 작동방법에 대하여 설명하되 편의상 순서를 붙여 설명한다.
1. 로딩< S1101 >
로딩장치에 의해 로딩위치에 있는 수평상태의 캐리어보드로 반도체소자들을 로딩시킨다.
2. 제1자세변환위치로 이송< S1102 >
로딩위치에서 로딩이 완료된 수평상태의 캐리어보드를 제1자세변환위치로 이송시킨다. 여기서 제1자세변환위치는, 주지된 바와 같이, 소크챔버 내부에 있을 수도 있고 소크챔버 외부에 있을 수도 있다.
3. 수직으로 자세변환< S1103 >
자세변환장치에 의해 제1자세변환위치에 있는 수평상태의 캐리어보드를 수직으로 자세변환시킨다.
4. 테스트위치로 이송< S1104 >
제1자세변환위치에서 수직으로 자세변환된 캐리어보드를 테스트위치로 이송시킨다.
5. 테스트지원< S1105 >
테스트위치에 있는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원한다.
6. 제2자세변환위치로 이송< S1106 >
테스트위치에서 적재된 반도체소자들의 테스트가 완료된 캐리어보드를 도7의 자세변환장치가 마련된 제2자세변환위치로 이송시킨다.
7. 제1각도로 자세변환< S1107 >
제2자세변환위치에 있는 캐리어보드를 제1각도로 자세변환시킨다.
8. 수평으로 자세변환< S1108 >
제1각도로 기울어진 상태의 캐리어보드를 수평으로 자세변환시킨다.
9. 캐리어보드의 일단계 이송< S1109 >
수평상태의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시킨다.
10. 일단계 언로딩< S1110 >
언로딩장치가 작동하여 캐리어보드의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시킨다.
11. 캐리어보드의 이단계 이송< S1111 >
수평상태의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시킨다.
12. 이단계 언로딩< S1112 >
언로딩장치가 작동하여 캐리어보드의 나머지 부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시킨다.
그리고 위와 같은 과정이 모두 종료되면 캐리어보드는 언로딩위치에서 소폭 하강한 상태로 로딩위치로 이송되어진다.
한편, 위와 같은 각 과정에서 서로 인접하는 두 장의 캐리어보드 중 앞의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 단계 S1109를 통해 앞의 캐리어보드를 이송시키면 뒤의 캐리어보드를 단계 S1107을 통해 제1각도로 자세변환시키고, 앞의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 단계 S1111을 통해 캐리어보드를 이송시키면 뒤의 캐리어보드를 단계 S1108을 통해 수평상태로 자세변환시킴으로써 앞의 캐리어보드의 언로딩작업이 완료되면 곧바로 뒤의 캐리어보드에 대한 언로딩작업이 수행될 수 있도록 지원한다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
도1 내지 도6은 종래기술을 설명하기 위한 참조도이다.
도7은 본 발명의 실시예에 따른 자세변환장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도8a 내지 8g는 도7의 자세변환장치의 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도9는 본 발명의 실시예에 따른 개방장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도10a 내지 도10e는 도9의 개방장치의 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도11은 본 발명의 실시예에 따른 사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법에 대한 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
700 : 자세변환장치
710 : 파지부재
711, 712 : 안내레일
711a, 712a : 안내홈
720 : 구동원
721 : 제1실린더 722 : 제2실린더
900 : 개방장치
910 : 개방판
920 : 구동원
921 : 제1실린더 922 : 제2실린더

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 로딩위치에 있는 수평(0°)상태의 캐리어보드로 반도체소자들을 로딩시키는 A단계;
    수평상태의 캐리어보드를 제1자세변환위치로 이송시키는 B단계;
    제1자세변환위치에 있는 수평상태의 캐리어보드를 수직(90°)으로 자세변환시키는 C단계;
    수직상태의 캐리어보드를 테스트위치로 이송시키는 D단계;
    테스트위치에 있는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트를 지원하는 E단계;
    적재된 반도체소자들의 테스트가 완료된 캐리어보드를 제2자세변환위치로 이송시키는 F단계;
    제2자세변환위치에서 제1각도(θ, 0°< θ < 90°)로 자세변환시키는 G단계;
    제1각도의 캐리어보드를 수평으로 자세변환시키는 H단계;
    수평상태의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시키는 I단계;
    언로딩위치에 있는 캐리어보드의 일부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 J단계;
    수평상태의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시키는 K단계; 및
    언로딩위치에 있는 캐리어보드의 나머지 부분에 적재된 반도체소자들을 언로딩시키는 L단계; 를 포함하며,
    서로 인접하는 두 장의 캐리어보드 중 앞의 캐리어보드의 일부분이 언로딩위치에 위치되도록 상기 I단계를 통해 앞의 캐리어보드를 이송시킨 후 뒤의 캐리어보드를 상기 G단계를 통해 제1각도로 자세변환시키는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 앞의 캐리어보드의 나머지 부분이 언로딩위치에 위치되도록 상기 K단계를 통해 캐리어보드를 이송시킨 후 상기 뒤의 캐리어보드를 상기 H단계를 통해 수평상태로 자세변환시키는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러의 작동방법.
  4. 삭제
  5. 수평(0°)상태와 수직(90°)상태로 자세변환이 가능하게 마련되며, 캐리어보드의 양 측변을 파지하기 위하여 캐리어보드가 안내되면서 삽입될 수 있도록 각각 안내홈이 형성된 한 쌍의 안내레일을 가지는 파지부재; 및
    상기 파지부재를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시키거나 수직상태에서 수평상태로 자세변환시키는 회전력을 공급하는 구동원; 을 포함하고,
    상기 한 쌍의 안내레일에 각각 형성된 상기 안내홈은 파지된 캐리어보드의 양 측변의 앞 부분이 개방되게 형성됨으로써 캐리어보드가 상기 파지부재를 완전히 이탈하지 않은 상태에서도 상기 구동원을 동작시켜 상기 파지부재를 수평상태에서 수직상태로 자세변환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 구동원은 상기 파지부재를 수평상태, 제1각도(θ, 0° < θ < 90°)로 기울어진 상태 및 수직상태 중에서 어느 한 상태로 선택적으로 유지시킬 수 있는 있는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 구동원은 수직상태의 상기 파지부재를 제1각도(θ, 0° < θ < 90°)만큼 회전시킨 후 시간 간격을 두고 제2각도(φ, φ + θ = 90°)만큼 더 회전시킴으로써 수평으로 자세변환시키는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 구동원은,
    상기 파지부재의 회전점에서 일정 거리 이격된 지점에 실린더로드a의 끝단이 힌지결합 되어서 상기 실린더로드a의 진퇴에 의해 상기 파지부재를 제1각도(θ, 0° < θ < 90°)만큼 회전시킬 수 있는 제1실린더; 및
    상기 제1실린더의 후단에 일체로 결합되며, 테스트핸들러의 프레임에 실린더로드b의 끝단이 힌지결합 되어서 상기 실린더로드b의 진퇴에 의해 상기 파지부재를 제2각도(φ, φ + θ = 90°) 더 회전시킬 수 있는 제2실린더; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    사이드도킹식 테스트핸들러용 자세변환장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
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