KR101038047B1 - 소자소팅장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소자소팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 분류등급에 따라서 자동으로 분류하는 소자소팅장치에 관한 것이다.
본 발명은 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 공급받아 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이에 적재하여 언로딩하는 트레이언로딩부와; 상기 보드로부터 상기 언로딩대상소자들을 상기 트레이언로딩부로 이송하는 제1이송암과, 상기 트레이로딩부의 상기 로딩대상소자들을 상기 보드로 이송하는 제2이송암을 가지는 제1이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치를 개시한다.
Figure R1020080104615
소자, 소팅, 자동

Description

소자소팅장치 {Sorting Apparatus for Semiconductor Device}
본 발명은 소자소팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 분류등급에 따라서 자동으로 분류하는 소자소팅장치에 관한 것이다.
반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.
이러한 검사 중에서 번인테스트(Burn-in Test)가 있는데, 번인테스트는 번인보드에 다수의 소자들을 삽입하고, 이 번인보드를 번인테스트장치 내에 수납시켜 일정시간 동안 열이나 압력을 가한 뒤 소자에 불량이 발생하는지 판별하는 테스트이다.
일반적으로 번인테스트용 소자소팅장치는 번인테스트를 마친 소자를 적재하고 있는 번인보드로부터 양품 등 각 소자별로 부여된 등급에 따라서 소자를 트레이로 분류하면서, 소자가 위치하고 있던 번인보드의 비어있는 자리(소켓)에 다시 번인테스트를 수행할 새로운 소자를 삽입하는 장치를 말한다.
도 1은 종래의 소자소팅장치를 보여주는 개념도이다.
종래의 소자소팅장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 일측에 보드를 공급하기 위한 보드수급부가 설치되고, 보드수급부로부터 소자들이 적재된 보드를 공급받은 후에 소자들을 분류등급에 따라서 분류하여 트레이에 적재하도록 구성된다. 이때 보드수급부는 다수개의 보드들이 수납된 랙을 로봇의 이동에 의하여 교환이 이루어지는데 반하여 소자들이 적재된 트레이는 보드수급부와는 수직방향 쪽에 위치되며 작업자의 수작업에 의하여 교환이 이루어진다.
그런데 상기와 같은 종래의 소자소팅장치의 구조는 번인테스트공정 후 번인보드를 공급받아 트레이에 분류하여 적재하는 분류(소팅)공정 전체에서 트레이의 교환 등 수작업 등이 존재하여 전체공정이 자동화하기 어려운 문제점이 있어 생산성을 향상시키는 데에는 한계가 있었다.
한편 상기와 같은 소자소팅장치의 성능은 단위 시간당 소팅 개수(UPH: Units Per Hour)로 평가되며, UPH는 소자소팅장치를 구성하는 각 구성요소 사이에서 소자의 이송, 보드의 이송에 소요되는 시간에 따라서 결정된다.
따라서 소자소팅장치의 성능인 UPH를 높이기 위하여 각 구성요소의 구조 및 배치를 개선할 필요가 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 소자소팅장치의 한계, 문제점 및 필요성을 인식하여, 소자소팅장치의 구조를 변경하여 테스트공정을 마친 소자들을 보드로 공급받아 각 분류등급에 따라서 트레이로 분류하는 전 공정을 자동으로 수행할 수 있는 소자소팅장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 보드 상에 적재된 소자들의 분류 및 적재를 위하여 다수개의 보드들이 적층된 보드수급부 및 소팅부 사이에서의 보드교환을 신속히 수행할 수 있는 소자소팅장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 보드에서 소자의 인출 및 적재가 신속히 이루어질 수 있는 구조를 가지는 소팅부를 구비하는 소자소팅장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 공급받아 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이에 적재하여 언로딩하는 트레이언로딩부와; 상기 보드로부터 상기 언로딩대상소자들을 상기 트레이언로딩부로 이송하는 제1이송암과, 상기 트레이로딩부의 상기 로딩대상소자들을 상기 보드로 이송하는 제2이송암을 가지는 제1이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치를 개시한다.
상기 제1이송암과 제2이송암은 직각을 이루도록 구성될 수 있으며, 하나의 구동축 또는 별도의 구동축에 의해 회전 구동될 수 있다.
본 발명에 따른 소자소팅장치는 상기 트레이로딩부의 로딩트레이에 적재된 상기 로딩대상소자들이 임시로 적재되는 로딩버퍼와; 상기 트레이로딩부의 트레이에 적재된 상기 로딩대상소자들을 상기 로딩버퍼로 이송하는 제2이송로봇을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자소팅장치는 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 언로딩버퍼와; 상기 언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제3이송로봇을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자소팅장치는 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 제1언로딩버퍼와; 상기 제1언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 제2언로딩버퍼와; 상기 제1언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 회전시켜 상기 제2언로딩버퍼에 적재하는 제4이송로봇과; 상기 제2언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제3이송로봇을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자소팅장치는 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 제1위치에서 교번하여 임시 적재하고, 상기 제1위치에서 임시 적재된 상기 언로딩대상소자들을 제2위치에서 교번하여 상기 제3이송로봇을 통해 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼와; 상기 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼를 회동시켜 상기 제1위치와 제2위치에 각각 위치시키는 회동축을 더 포함할 수 있다.
상기 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼는 상기 회동축을 기준으로 대향되게 설치되어 상기 회동축에 의해 일방향으로 180° 회전 후, 그 일방향과 동일한 방향 및 반대방향 중 어느 하나의 방향으로 180° 회전하여 원위치로 복귀될 수 있다.
상기 보드테이블과의 보드의 교환위치는 일측에 설치되고 상기 트레이의 교환위치는 상기 일측과 대향하는 타측에 설치될 수 있다.
본 발명은 또한 보드 상에 적재된 언로딩대상소자들을 분류등급에 따라 언로분류하여 소팅트레이에 적재하고, 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드 상에 비워진 위치에 적재하는 소팅부를 포함하며, 상기 소팅부는 보드교환위치가 일측에 설치되고, 트레이교환위치가 상기 일측에 대향하는 타측에 설치된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치를 개시한다.
상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 및 인출이 동시에 이루어지도록 하여 보드를 교환하도록 구성될 수 있다.
상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 종료와 동시에 보드의 인출이 개시되도록 하여 보드를 교환하도록 구성될 수 있다.
상기 소팅부는, 상기 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 로딩대상소자가 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이로 이송하고, 상기 로딩대상소자들이 적재된 트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드에 적재하는 하나 이상의 다관절로봇을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 다관절로봇은 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 다관절로봇들은 상호간의 간섭이 회피되는 회전궤적을 가지도록 구성될 수 있다.
상기 소팅부는, 상기 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 로딩대상소자가 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 상기 보드로부터 소팅트레이로의 상기 언로딩대상소자들의 이송과, 상기 로딩대상소자들이 적재된 트레이로부터 상기 보드로의 상기 로딩대상소자들의 이송을 번갈아가면서 수행하는 한 쌍의 다관절로봇을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은 또한 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 다수개의 보드들이 적층되는 보드수급부와; 상기 보드 상에 적재된 언로딩대상소자들을 분류등급에 따라 분류하여 소팅트레이에 적재하고, 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드 상의 비워진 위치에 적재하는 소팅부와; 상기 보드수급부로부터 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 인출하여 상기 소팅부에 인입시키고 상기 소팅부로부터 로딩대상소자들이 적재된 보드를 인출하여 상기 보드수급부에 인입시키는 보드교환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치를 개시한다.
상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 및 인출이 동시에 이루어지도록 하여 보드를 교환할 수 있다.
상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 종료와 동시에 보드의 인출이 개시되도록 하여 보드를 교환할 수 있다.
상기 보드교환부는 보드와 링크되어 이동에 의하여 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부로부터 보드를 인출하거나 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부로 보드를 인입시키는 한 쌍의 링크부재가 설치된 링크부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 보드교환부는 상기 보드수급부 및 상기 소팅부와의 보드교환위치로 이동할 수 있도록, 승하강이 가능하며 상기 소팅부와 상기 보드수급부 사이의 공간을 따라서 수평이동이 가능하도록 설치된 보드교환장치를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 보드교환장치는 다수개의 보드들이 적재된 하나 이상의 랙이 적재된 상기 보드수급부로부터 랙을 교환하고, 상기 소팅부와는 보드만을 교환하도록 구성될 수 있다.
본 발명은 보드의 교환위치와 트레이의 교환위치를 서로 대향되도록 위치시키도록 소자소팅장치를 구성함으로써 소자의 분류공정 전체의 자동화를 가능하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 보드 및 트레이 간의 소자 이송에 회전구동되는 이송로봇을 사용함으로써 보드로부터의 소자의 인출 및 인입이 신속하게 이루어짐으로써 소자소팅장치의 처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자소팅장치는 보드 상에 적재된 소자들의 분류 및 적재를 위하여 보드들이 적층된 보드수급부 및 소팅부 사이에서 보드를 교환함으로써 보드수급부 및 소팅부 사이에서의 보드교환을 신속히 수행하여 장치의 전체적인 처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이하 본 발명에 따른 소자소팅장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자소팅장치는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 소자(1)들이 적재된 보드(3)를 공급받아 각 소자(1)별로 부여된 분류등급에 따라서 소자(1)들을 분류하는 소팅부(100)를 포함하여 구성된다.
상기 소자소팅장치는 소팅부(100)에 분류될 소자(1)-구분을 위하여 '언로딩대상소자'로도 함께 지칭한다-들이 적재된 보드(3)를 공급하고 소팅부(100)에서 분류를 마치고 새로이 테스트될 소자(1)-'언로딩대상소자'와의 구분을 위하여 '로딩대상소자'로도 함께 지칭한다-들이 적재된 보드(3)를 반송받는 보드수급부(400), 소팅부(100) 및 보드수급부(400) 사이에서 보드(3)를 교환하는 보드교환부(500) 등을 추가로 포함하여 구성될 수 있다.
이때 상기 소팅부(100)는 소팅방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 트레이(2)의 공급 및 배출이 보드(3)의 공급 및 배출이 이루어지는 쪽의 반대쪽에서 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 소자소팅장치는 소자(1)가 적재된 보드(3)를 인입, 인출 등 보드(3)의 이동을 제어하기 위한 구성, 소자(1)가 적재된 트레이(2)를 로딩하기 위한 구성, 보드(3)에 적재된 소자(1)를 분류등급에 따라서 소자(1)들을 분류하여 언로딩하기 위한 구성, 트레이(2)를 이동시키기 위한 구성, 소자(1)들을 트레이(2), 보드(3) 등으로 이송하기 위한 구성 등 다양한 구성들에 의하여 이루어진다.
예를 들면 상기 소자소팅장치는 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 보드테이 블(340)과; 트레이로딩부(110)와; 소자언로딩부(210, 220)와; 제1이송암(331)과, 제2이송암(332)을 포함하는 제1이송로봇(330)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 보드테이블(340)은 다수개의 소자(1)들-언로딩대상소자-이 적재된 보드(3)를 공급받아 보드(3)에서 소자(1)를 인출하고 및 빈자리에 로딩대상소자를 인입하기 위하여 정렬, 예를 들면 X-Y방향으로 이동시키도록 구성된다.
상기 보드테이블(340)은 보드(3) 상의 소자(1)들에 대한 인출 및 인입 위치로 이동시키기 위하여 평면방향으로 선형이동, 회전 등 그 조합에 의하여 보드(3)를 이동시키는, 소위 X-Y테이블, 또는 X-Y-θ테이블로 구성될 수 있다.
또한 상기 보드테이블(340)은 후술하는 보드수급부(500) 또는 보드교환부(400)로부터 보드(3)를 교환하기 위한 보드교환장치가 추가로 설치될 수 있다.
이때 상기 보드교환장치는 다양한 방식에 의하여 보드(3) 교환이 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 보드교환장치는 소팅작업을 마친 보드(3)를 보드수급부(500) 또는 보드교환부(400)로 인입시킨 후 바로 소팅작업을 할 보드(3)를 인출하도록, 즉 보드(3)의 인입 종료와 동시에 보드(3)의 인출이 개시되도록 하여 보드(3)의 교환이 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 보드교환장치는 상기 보드(3)의 인입 및 인출이 동시에 이루어지도록, 즉 소팅작업을 마친 보드(3)를 보드수급부(500) 또는 보드교환부(400)로 인입과 동시에 소팅작업을 할 보드(3)를 인출하도록 하여 보드(3)의 교환이 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 보드교환장치는 보드(3)와 링크되어 이동에 의하여 보드교환부(400)에 적재된 보드(3)를 인출하거나 분류를 마친 보드(3)를 보드교환부(400)로 반납하도록 상하로 설치된 한 쌍의 링크부재(미도시)가 설치된 링크부와; 상하이동이 가능하도록 설치됨과 아울러 링크부를 선형이동시켜 링크부에 링크된 보드를 보드교환부(400)로부터 인출하거나 보드교환부(400)로 반납하도록 하는 본체부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 링크부재는 보드(3)에 형성된 걸림부에 회전에 의하여 링크되거나 링크가 해제되는 훅킹부재와, 훅킹부재를 회전시키기 위한 회전장치를 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 훅킹부재는 링크부에 지지되어 설치되는 지지부재에 회전가능하게 설치될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 보드교환부(400)와 소팅부(100) 사이에서 보드교환부장치에 의하여 보드(3)의 인출 및 반납되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
상기 보드교환장치의 링크부재는 보드테이블(340)에 있는 분류를 마친 보드(3)를 인출하여 보드교환부(400)로 전진하여 이동한다.
여기서 최초로 보드(3)를 인출하는 경우에는 보드(3) 없이 보드교환부(400)로 접근하게 되며, 보드(3)가 있는 경우에는 보드(3)가 상측에 위치된 링크부재의 훅킹부재에 걸린 상태로 보드교환부(400)로 접근하게 된다.
이때 상기 보드교환부(400)는 그 자체가 승하강하여 보드(3)가 빈자리에 삽입될 수 있도록 링크부재에 이송되는 보드(3)의 높이로 보드교환부(400)의 빈자리를 이동시키 위한 높이로 이동된다.
한편 상기 링크부재는 보드(3)를 보드교환부(400)의 빈자리에 삽입시키는 동 시에 다른 링크부재의 훅킹부재는 보드(3)에 형성된 걸림부에 링크상태가 되고, 링크부재는 다시 후퇴에 의하여 보드(3)를 이동시키게 된다.
한편 상기 보드테이블(340) 상측에는 보드(3)의 일부만이 노출되도록 개구부(21)가 형성될 수 있다.
상기 트레이로딩부(110)는 로딩대상소자가 적재된 로딩트레이를 소팅부(100)로 로딩하기 위한 구성으로서, 분류될 소자(1)-언로딩대상소자-가 인출 된 후 빈 자리(소켓)에 후속 테스트(번인테스트)를 위한 소자(1)-로딩대상소자-를 삽입하기 위하여 다수개의 소자들이 적재된 트레이(2)-구분을 위하여 '로딩트레이'로도 지칭한다-들을 로딩하도록 구성된다.
상기 트레이로딩부(110)는 다수개의 트레이(2)들이 적재되는 트레이적재부(미도시)와, 트레이적재부로부터 순차적으로 트레이(2)가 로딩버퍼(230) 쪽으로 이송되는 것을 가이드하는 트레이가이드부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 트레이적재부는 자동으로 트레이(2)를 공급받을 수 있도록 장치의 일측에 설치되어 하나 또는 복수 개의 트레이(2)를 한꺼번에 공급받도록 구성될 수 있다. 이때 상기 트레이(2)는 일정개수의 트레이(2)들을 하나의 세트, 즉 LOT으로 하고 각 LOT을 구분하기 위한 커버트레이(2a)가 복개될 수 있다.
상기 트레이적재부에 적재된 트레이(2)는 하측 또는 상측에서부터 하나씩 순차적으로 트레이가이드부를 통하여 트레이(2)가 후술하는 로딩버퍼(230) 쪽으로 이송된다.
상기 트레이가이드부는 트레이(2)가 로딩버퍼(230) 쪽으로 이송되는 것을 가 이드하는 구성으로서, 한 쌍의 가이드레일 및 트레이(2)의 이동을 구동하기 위한 구동부 등으로 구성될 수 있다.
한편 상기 트레이로딩부(110)는 도 3에 도시된 바와 같이, 2개 이상의 열로 배치될 수 있으며, 이 경우 한쪽 트레이로딩부(110)의 트레이(2)에서 소자(1)가 다 비워진 경우 후술하는 제2이송로봇(미도시)이 다른 트레이로딩부(110)의 트레이(2)에서 소자(1)를 이송함으로써 끊김 없이 소자(1)의 로딩과정을 계속하여 수행할 수 있다.
상기 트레이언로딩부(210, 220)는 소팅부(100)으로부터 언로딩대상소자들이 적재된 언로딩트레이를 언로딩하는 구성으로서, 보드테이블(340)에 위치된 보드(3)로부터 각 소자(1) 별로 부여된 분류등급에 따라 소자(1)-언로딩대상소자-들을 분류하여 각각의 트레이(2)-로딩트레이와의 구분을 위하여 '언로딩트레이'라고도 지칭한다-에 적재하도록 구성된다.
상기 트레이언로딩부(210, 220)는 트레이로딩부(110)와 유사한 구성을 가지며, 다수개의 트레이(2)들이 적재되는 트레이적재부와, 언로딩버퍼(240) 쪽에 위치된 트레이(2)를 트레이적재부로 이송하는 트레이가이드부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 트레이적재부는 트레이(2)를 반출될 수 있도록 장치의 일측에 설치되어 자동 또는 수동으로 하나 또는 복수개의 트레이(2)를 한꺼번에 반출되도록 구성될 수 있다.
이때 상기 트레이(2)는 일정개수의 트레이(2)들을 하나의 세트로 하고 각 세 트의 트레이(2)를 식별하기 위하여 커버트레이부(140)에 위치된 커버트레이(2a)가 복개될 수 있다.
상기 커버트레이(2a)는 트레이로딩부(110)에 공급된 커버트레이가 활용되거나 미리 커버트레이부(130)에 적재된 커버트레이(2a)를 공급받을 수 있으며, 식별을 위한 표지가 부착 또는 인쇄되거나, 인식장치에 의하여 인식가능한 표지가 설치될 수 있다.
한편 상기 트레이언로딩부(210, 220)는 별도로 설치된 공트레이부(130)에 적재된 소자(1)가 적재되어 있지 않은-즉 비어있는-트레이(2)를 공급받도록 구성될 수 있다. 이때 상기 공트레이부(130)는 트레이로딩부(110)에서 비워진 트레이(2)를 공급받아 순차적으로 적층하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 트레이언로딩부(210, 220)는 분류등급 및 연속적인 이송을 고려하여, 분류등급(양호(Good), 불량1(Contact Reject), 불량2(DC Failure) 등)에 따라서 복수개의 열로 설치될 수 있다. 이때 양호한 소자(1)들이 가장 많음을 고려하여 양호한 등급의 트레이언로딩부(210)를 2열 이상으로 구성하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 트레이로딩부(110) 및 트레이 언로딩부(210, 220)에 있어서, 트레이(2), 로딩트레이 및 언로딩트레이의 교환위치는 도 2에 도시된 바와 같이, 소자소팅장치의 일측에 위치되며, 후술하는 보드테이블(340) 및 보드수급부(500)와의 보드교환위치는 타측에 설치되는 것이 바람직하다.
한편 상기 트레이로딩부(110), 트레이언로딩부(210) 등 각 구성들 사이에서 트레이를 이송하기 위한 트레이이송부가 추가로 설치되며, 설계 및 디자인에 따라 서 다양한 구성이 가능하다.
또한 트레이이송부 이외에 트레이이송부의 원활한 이송을 위하여 임시로 트레이(2)가 적재될 수 있는 하나 이상의 트레이버퍼부(150) 및 트레이로딩부(110)에서 비워진 트레이(2)에서 소자(1)가 잔류될 경우가 있으므로 트레이(2)를 회전하여 잔류된 소자(1)를 제거하기 위한 트레이회전부(120)가 추가로 설치될 수 있다.
한편 상기 트레이로딩부(110)와 보드테이블(340) 사이에는 다수개의 소자(1)들이 임시로 적재되도록 로딩버퍼(230)가, 트레이언로딩부(210, 220) 사이에는 언로딩버퍼(240)가 각각 설치될 수 있다.
상기 로딩버퍼(230)는 보드(3) 상에 소자(1)를 적재하기 전에 임시로 적재되는 장소로서 후술하는 제2이송로봇의 이송가능 개수에 대응되는 개수의 소자(1)가 적재될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.
한편 상기 로딩버퍼(230)는 제2이송로봇 및 제1이송로봇(330) 간의 간섭을 막으면서 이송과정이 원활하게 이루어질 수 있도록 제2이송로봇의 적재위치와, 제1이송로봇(330)의 인출위치로 이동할 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 제1이송로봇(330)의 인출위치는 제1이송로봇(330)의 제1이송암(331)의 직하방에 위치되는 것이 바람직하다.
상기 로딩버퍼(230)에 설치된 소켓은 제2이송로봇 및 제1이송로봇(330)의 이송가능 개수와 동일한 수로 설치되는 것이 바람직하다.
상기 언로딩버퍼(240)는 보드테이블(340)과 트레이언로딩부(210) 사이에 설치되며 다수개의 소자(1)들이 임시로 적재되도록 구성되며, 로딩버퍼(230)와 유사 한 구성을 가질 수 있다.
한편 상기 언로딩버퍼(240)는 제1이송로봇(330)의 이송원리상 소자(1)의 적재상태(도 2에서 'A' 및 'C')가 도 6a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 트레이(2)에서 달라져 소자의 단자위치가 변하여 후속 공정 등에 문제가 될 수 있다.
다시 말하면, 도 6a에서는 소자에 표시된 도트(Dot)와 같은 표식이 제1이송로봇(330)을 거쳐 회전하면서 언로딩버퍼(240)에 위치되었을 때에는 도 6c에 도시된 바와 같이, 180°회전된 상태로 된다.
따라서 언로딩버퍼(240)에 위치된 소자(1)를 원래의 적재상태로 환원하기 위해서는 도 6d에 도시된 바와 같이 소자(1)를 180° 회전시킬 필요가 있다.
따라서 상기 언로딩버퍼(240)는 소자(1)들을 제1위치에서 교번하여 임시 적재하고, 제1위치에서 임시 적재된 소자(1)들을 제2위치에서 교번하여 제3이송로봇(미도시)을 통해 분류하여 트레이언로딩부(210, 220)의 트레이(2)로 이송하는 제1언로딩버퍼(241) 및 제2언로딩버퍼(242)와; 제1언로딩버퍼(241) 및 제2언로딩버퍼(242)를 회동시켜 제1위치와 제2위치에 각각 위치시키는 회동축을 더 포함하여 구성될 수 있다.
보다 구체적인 예로서, 상기 언로딩버퍼(240)는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1언로딩버퍼(241) 및 제2언로딩버퍼(242)를 회동축(243)을 중심으로 대향되게 설치하고, 제1언로딩버퍼(241) 및 제2언로딩버퍼(242)는 회동축(243)에 의해 일방향으로 180° 회전 후 반대방향으로 180° 회전하여 원위치로 복귀되도록 구성될 수 있다.
여기서 상기 제1언로딩버퍼(241) 및 제2언로딩버퍼(242)는 회동축(243)에 의해 일방으로 180° 회전 후, 다시 동일한 방향으로 180° 회전하여 원위치로 복귀되도록 구성될 수 있다.
한편 다른 실시예로서 상기 언로딩버퍼(240)는 보드(3)에 적재된 소자(1)들이 임시로 적재되는 제1언로딩버퍼(241)와, 제1언로딩버퍼(241)에 적재된 소자(1)들이 임시로 적재되는 제2언로딩버퍼(242)와, 제1언로딩버퍼(241)에 적재된 소자(1)들을 회전시켜 제2언로딩버퍼(242)에 적재하는 제4이송로봇(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제2이송로봇은 트레이로딩부(110)의 트레이(2)에 적재된 소자(1)들을 로딩버퍼(230)로 이송하도록 구성되며, 제3이송로봇은 언로딩버퍼(240)로부터 트레이언로딩부(210, 220)의 트레이(2)로 소자(1)들을 적재하도록 구성된다.
상기 제2이송로봇 및 제3이송로봇은 끝단에 소자(1)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 X-Y-Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치를 포함하여 구성될 수 있다.
이때 상기 제2이송로봇 및 제3이송로봇은 복수개의 픽커들로 구성된 경우 각 소자(1)들 간의 피치변화를 고려하여 각 픽커들 간의 피치가 변동될 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 제1이송로봇(330)은 도 3 및 도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 트레이로딩부(110), 즉 로딩버퍼(230)로부터 보드테이블(340)에 위치된 보드(3)로 소자(1)들을 이송하는 제1이송암(331)과, 보드(3)로부터 트레이언로딩부, 즉 언로딩 버퍼(240)로 소자(1)들을 이송하는 제2이송암(332)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 하나의 구동축 또는 별도의 구동축에 의하여 회전구동될 수 있으며, 각각 독립적으로 회전가능하게 설치될 수 있으며, 도 3 및 도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 서로 직교, 즉 서로 90°의 위상차를 가지고 설치될 수 있으며, 로딩버퍼(230)로부터 보드테이블(340)에 위치된 보드(3)로의 소자(1) 이송 및 보드(3)로부터 언로딩버퍼(240)로 소자(1)의 이송을 번갈아 수행하도록 구성될 수 있다.
그리고 상기 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)의 회전각도는 설계 및 디자인에 따라서 달라질 수 있으며, 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)이 이루는 각도가 90°인 경우 90°가 바람직하다.
한편 상기 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 끝단에 소자(1)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치가 설치될 수 있다.
이때 상기 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 복수개의 픽커들로 구성된 경우 각 소자(1)들 간의 피치변화를 고려하여 각 픽커들 간의 피치가 변동될 수 있도록 구성될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 제1이송로봇(330)의 작동과정을 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 도 7a에 도시된 바와 같이, 제1이송암(331)은 로딩버퍼(230)의 상방에 위치되어 로딩버퍼(230)에 적재된 소자(1)들을, 제2이송암(332)은 보드(3)에 적재 된 소자(1)들을 들어올린다.
이와 동시에 언로딩버퍼(240)는 회동축(243)을 중심으로 회전하고 제3이송로봇에 의하여 트레이언로딩부(210, 220)의 트레이(2)로 소자(1)들을 이송한다.
이후, 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 90°회전하여 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1이송암(331)은 보드(3) 상에, 제2이송암(332)은 언로딩버퍼(240)의 상방에 위치된다. 그리고 제1이송암(331)은 제2이송암(332)이 소자(1)들을 들어올린 빈자리에 로딩버퍼(230)에서 들어올린 소자(1)들을 인입시키고, 제2이송암(331)은 보드(3)에서 들어올린 소자(1)들을 언로딩버퍼(240)에 적재한다.
이때 제2이송로봇은 트레이로딩부(110)의 트레이(2)로부터 소자(1)들을 이송하여 로딩버퍼(230)에 적재한다. 특히 상기 로딩버퍼(230)는 제2이송로봇이 제1이송로봇(330)과의 간섭없이 트레이로딩부(110)의 트레이(2)로부터 소자(1)들을 이송하여 적재할 수 있는 적재위치로 이동하여 적재된 후 다시 인출위치로 이동할 수 있다.
다시 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 90° 반대로 회전하여 도 7c에 도시된 바와 같이, 제2이송암(331)은 보드(3) 상에, 제1이송암(332)은 로딩버퍼(230)의 직상방에 위치된다.
그리고 앞서 설명한 바와 같이, 제1이송암(331)은 로딩버퍼(230)의 상방에 위치되어 로딩버퍼(230)에 적재된 소자(1)들을, 제2이송암(332)은 보드(3)에 적재된 소자(1)들을 들어올린다.
이와 동시에 언로딩버퍼(240)는 회동축(243)을 중심으로 회전하고 제3이송로 봇에 의하여 트레이언로딩부(210, 220)의 트레이(2)로 소자(1)들을 이송한다.
한편 상기 제1이송로봇(330)은 상기와 같은 "L"자형 로봇(이하 '스칼라로봇'이라 한다) 이외에 하나 이상의 다관절로봇 등 다양한 로봇이 사용될 수 있음은 물론이다.
즉, 상기 제1이송로봇(330)은 도 8에 도시된 바와 같이, 도 2의 스칼라로봇을 대신하여 한 쌍의 다관절로봇(333, 334)들로 구성될 수 있다.
상기 제1이송암(331) 및 제2이송암(332)은 끝단에 소자(1)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치가 설치된다.
여기서 상기 제1이송로봇(330)이 다관절로봇(333, 334)들로 사용하는 경우 픽커이송장치의 이동경로(도 8에서 점선으로 표시됨)를 자유롭게 구성함으로써 스칼라로봇을 사용하는 경우보다 장치의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다. 또한 스칼라로봇과는 달리 다관절로봇의 경우 이송되는 소자(1)의 적재상태가 변하지 않도록 구성도 가능하여 언로딩버퍼(240)가 반드시 회전되도록 구성될 필요가 없는 이점이 있다.
또한 상기 제1이송로봇(330)이 다관절로봇(333, 334)들로 사용하는 경우, 다관절로봇(333, 334)들은 로딩버퍼(230)와 보드(3) 사이, 보드(3)와 언로딩버퍼(240) 사이에서 자유로이 이동하면서 소자(1)들을 인출하거나 적재할 수 있으며, 작업의 효율성을 위하여 서로 번갈아가면서 인출 및 적재(Pick & Place)에 의한 소자(1)의 이송을 수행하게 된다.
한편 상기 복수개, 특히 한 쌍의 다관절로봇(333, 334)들은 로봇암의 회전에 간섭되는 것을 방지하기 위하여 다관절로봇(333, 334)의 회전축들은 다관절로봇(333, 334)의 로봇암의 회전반경보다 크게 떨어져서 설치되거나, 각 로봇암들이 높이차를 두고 설치, 즉 상기 복수개의 다관절로봇들은 상호간의 간섭이 회피되는 회전궤적을 갖도록 구성될 수 있다.
상기 소자소팅장치는 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 다수개의 보드(3)들이 외부에서 자동 또는 수동으로 공급되어 적층되는 보드수급부(500)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 보드수급부(500)의 보드교환위치는 이웃하는 소자소팅장치와의 관계를 고려하여, 소팅부(100)의 일측에 설치되며, 트레이의 교환위치와 반대편인 타측에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 보드수급부(500)는 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 2단2열로 구성되어 하나의 열에서는 소팅부(100)와의 보드(3)의 교환을 위한 엘리베이터 등이 설치되고 다른 열에는 2단에 다수개의 보드(3)가 적재된 랙(4)이 적재될 수 있다. 이때 상기 랙(4)은 보드이송장치에 의하여 자동으로 적재되거나 교환될 수 있다.
한편 보드수급부(500)에 보드(3) 또는 랙(4)을 제어하기 위한 구성이 설치된 경우 소팅부(100)와의 보드교환 시간 동안 소팅부(100)가 작동을 멈추어야 하므로 장치의 처리속도가 저하될 수 있다.
따라서 상기 소자소팅장치는 보드수급부(500) 및 소팅부(100) 사이에 설치되 어 상하로 이동하여 보드수급부(500)에 적층된 보드(3)를 인출하여 소팅부(100)에 전달하고 소팅부(100)로부터 보드(3)를 인출하여 보드수급부(500)에 전달하는 보드교환부(400)를 추가로 포함할 수 있다. 이때 상기 보드수급부(500)는 랙(4)이나 보드(3)의 이동을 위한 추가 구성없이 간단하게 다수개(2×3 등)의 랙(4)이 적재될 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 보드교환부(400)는 소팅부(100) 및 보드수급부(500) 사이의 보드교환을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 보드교환부(400)는 소팅부(100)가 작동하는 시간 동안 보드수급부(500)로부터 보드(3)를 인출하고 소팅부(100)와의 보드교환 위치에 있다가 소팅부(100)의 소팅작업이 완료된 후 보드(3)를 교환하게 되므로 소팅부(100)와의 보드교환이 신속하게 이루어질 필요가 있다.
따라서 상기 보드교환부(400)는 소팅부(100)의 보드테이블(340)과의 보드교환에 있어서, 소팅작업을 할 보드(3)를 인입시킨 후 바로 소팅작업을 마친 보드(3)를 바로 인출하는 보드교환장치를 포함할 수 있다.
물론 상기 보드테이블(340)에 상술한 보드교환장치를 설치하고, 상기 보드교환장치에 의하여 보드교환부(400)와 보드테이블(340)과의 보드교환이 이루어질 수 있다. 이때 상기 보드교환부(400)은 다수개의 보드(3)들이 적재된 하나 이상의 랙(4)이 적재된 보드수급부(500)와 랙(4)을 교환하고, 상기 소팅부(100)와는 보드(3)를 보드교환하도록 구성될 수 있다.
한편 상기 보드교환장치는 보드테이블(340) 및 보드수급부(500)의 교환위치 로 원활하게 이동할 수 있도록 상하이동 및 소팅부(100) 및 보드수급부(500) 사이의 공간을 따라서 수평이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
그리고 상기 보드교환장치의 구체적 구성은 앞서 설명한 보드테이블(340)에 설치된 보드교환장치와 유사한 구성을 가질 수 있으며, 이때 보드교환부(400)에 보드교환장치가 설치된 경우 보드테이블(340)에는 보드교환장치를 구비하지 않을 수 있다.
또한 상기 보드교환부(400)는 소팅부(100)와의 보드교환을 위한 보드교환장치와, 보드수급부(500)와의 보드교환을 위한 보드교환장치가 하나로 구성되거나 별도로 구성될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 종래의 소자소팅장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 소자소팅장치의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 소자소팅장치의 전체를 나누어 구성 일부를 보여주는 평면도들이다.
도 6a 내지 도 6d는 도 3에서 'A', 'B', 'C', 'D' 각각의 위치에서 소자의 적재상태를 보여주는 확대도이다.
도 7a 및 도 7c 도 2 및 도 3에 도시된 소자소팅장치에서 제1이송로봇의 작동과정을 보여주는 개념도들이다.
도 8은 다관절로봇을 가지는 도 2의 소자소팅장치의 변형례를 보여주는 개념도이다.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****
100 : 소자소팅장치
400 : 보드교환부
500 : 보드수급부

Claims (23)

  1. 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 공급받아 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이에 적재하여 언로딩하는 트레이언로딩부와; 상기 보드로부터 상기 언로딩대상소자들을 상기 트레이언로딩부로 이송하는 제1이송암과, 상기 트레이로딩부의 상기 로딩대상소자들을 상기 보드로 이송하는 제2이송암을 가지는 제1이송로봇을 포함하며,
    상기 트레이로딩부의 로딩트레이에 적재된 상기 로딩대상소자들이 임시로 적재되는 로딩버퍼와; 상기 트레이로딩부의 트레이에 적재된 상기 로딩대상소자들을 상기 로딩버퍼로 이송하는 제2이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1이송암과 제2이송암은 직각을 이루는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1이송암과 제2이송암은 하나의 구동축 또는 별도의 구동축에 의해 회전 구동되는 소자소팅장치.
  4. 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 공급받아 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이에 적재하여 언로딩하는 트레이언로딩부와; 상기 보드로부터 상기 언로딩대상소자들을 상기 트레이언로딩부로 이송하는 제1이송암과, 상기 트레이로딩부의 상기 로딩대상소자들을 상기 보드로 이송하는 제2이송암을 가지는 제1이송로봇을 포함하며,
    상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 언로딩버퍼와; 상기 언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제3이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 언로딩버퍼와;
    상기 언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제3이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 제1언로딩버퍼와;
    상기 제1언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들이 임시로 적재되는 제2언로딩버퍼와;
    상기 제1언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 회전시켜 상기 제2언로딩버퍼에 적재하는 제4이송로봇과;
    상기 제2언로딩버퍼에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제3이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  7. 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과; 다수개의 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 공급받아 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 보드에 적재된 상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이에 적재하여 언로딩하는 트레이언로딩부와; 상기 보드로부터 상기 언로딩대상소자들을 상기 트레이언로딩부로 이송하는 제1이송암과, 상기 트레이로딩부의 상기 로딩대상소자들을 상기 보드로 이송하는 제2이송암을 가지는 제1이송로봇을 포함하며,
    언로딩대상소자들을 제1위치에서 교번하여 임시 적재하고, 상기 제1위치에서 임시 적재된 상기 언로딩대상소자들을 제2위치에서 교번하여 제3이송로봇을 통해 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼와; 상기 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼를 회동시켜 상기 제1위치와 제2위치에 각각 위치시키는 회동축을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼는 상기 회동축을 기준으로 대향되게 설치되어 회동축에 의해 일방향으로 180° 회전 후, 그 일방향과 동일한 방향 및 반대방향 중 어느 하나의 방향으로 180° 회전하여 원위치로 복귀되도록 구성된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 보드테이블과의 보드의 교환위치는 일측에 설치되고 상기 트레이의 교환위치는 상기 일측에 대향되는 타측에 설치된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  10. 보드 상에 적재된 언로딩대상소자들을 분류등급에 따라 분류하여 소팅트레이에 적재하고, 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드 상에 비워진 위치에 적재하는 소팅부와; 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이를 상기 소팅부로 로딩하는 트레이로딩부와; 상기 소팅부로부터 언로딩대상소자들이 적재된 언로딩트레이를 언로딩하는 트레이언로딩부를 포함하며,
    상기 소팅부는 보드교환위치가 일측에 설치되고, 트레이교환위치가 상기 일측에 대향되는 타측에 설치되며,
    상기 트레이로딩부와 트레이언로딩부는 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급하고 로딩대상소자들이 적재된 보드를 반송받는 보드수급부와 대향하도록 배치되며,
    상기 트레이로딩부에 적재된 로딩대상소자들이 임시로 적재되는 로딩버퍼와; 상기 트레이로딩부의 로딩트레이에 적재된 로딩대상소자들을 상기 로딩버퍼로 이송하는 제2이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 소팅부는,
    상기 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 로딩대상소자가 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과;
    상기 언로딩대상소자들을 소팅트레이로 이송하는 제1이송암과, 상기 로딩대상소자들이 적재된 트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드에 적재하는 제2이송암으로 구성된 제1이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 언로딩대상소자들을 제1위치에서 교번하여 임시 적재하고, 상기 제1위치에서 임시 적재된 상기 언로딩대상소자들을 제2위치에서 교번하여 제3이송로봇을 통해 분류하여 상기 트레이언로딩부의 언로딩트레이로 이송하는 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼와; 상기 제1언로딩버퍼 및 제2언로딩버퍼를 회동시켜 상기 제1위치와 제2위치에 각각 위치시키는 회동축을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  15. 청구항 10에 있어서,
    상기 소팅부는,
    상기 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 로딩대상소자가 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과;
    상기 언로딩대상소자들을 상기 보드로부터 소팅트레이로 이송하고, 상기 로딩대상소자들이 적재된 트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드에 적재하는 하나 이상의 다관절로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 다관절로봇은 복수개로 구성되며,
    상기 복수개의 다관절로봇들은 상호간의 간섭이 회피되는 회전궤적을 갖는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  17. 청구항 10에 있어서,
    상기 소팅부는,
    상기 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 공급받고 로딩대상소자가 적재된 보드를 배출하는 보드테이블과;
    상기 보드로부터 소팅트레이로의 상기 언로딩대상소자들의 이송과, 상기 로딩대상소자들이 적재된 트레이로부터 상기 보드로의 상기 로딩대상소자들의 이송을 번갈아가면서 수행하는 한 쌍의 다관절로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  18. 다수개의 언로딩대상소자들이 적재된 다수개의 보드들이 적층되는 보드수급부와; 상기 보드 상에 적재된 언로딩대상소자들을 분류등급에 따라 분류하여 소팅트레이에 적재하고, 로딩대상소자들이 적재된 로딩트레이로부터 상기 로딩대상소자들을 상기 보드 상의 비워진 위치에 적재하는 소팅부와; 상기 보드수급부로부터 언로딩대상소자들이 적재된 보드를 인출하여 상기 소팅부에 인입시키고 상기 소팅부로부터 로딩대상소자들이 적재된 보드를 인출하여 상기 보드수급부에 인입시키는 보드교환부를 포함하며,
    상기 보드교환부는 상기 보드수급부 및 상기 소팅부와의 보드교환위치로 이동할 수 있도록, 승하강이 가능하며 상기 소팅부와 상기 보드수급부 사이의 공간을 따라서 수평이동이 가능하도록 설치된 보드교환장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 및 인출이 동시에 이루어지도록 하여 보드를 교환하도록 구성된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  20. 청구항 18에 있어서,
    상기 보드교환부는 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부에서 보드의 인입 종료와 동시에 보드의 인출이 개시하여 보드를 교환하도록 구성된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  21. 청구항 18에 있어서,
    상기 보드교환부는
    보드와 링크되어 이동에 의하여 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부로부터 보드를 인출하거나 상기 보드수급부 또는 상기 소팅부로 보드를 인입시키는 한 쌍의 링크부재가 설치된 링크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
  22. 삭제
  23. 청구항 18에 있어서,
    상기 보드교환장치는 다수개의 보드들이 적재된 하나 이상의 랙이 적재된 상기 보드수급부로부터 랙을 교환하고, 상기 소팅부와는 보드만을 교환하도록 구성된 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
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