JP4307410B2 - 集積回路チップのピックアップ及び分類装置 - Google Patents
集積回路チップのピックアップ及び分類装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4307410B2 JP4307410B2 JP2005166918A JP2005166918A JP4307410B2 JP 4307410 B2 JP4307410 B2 JP 4307410B2 JP 2005166918 A JP2005166918 A JP 2005166918A JP 2005166918 A JP2005166918 A JP 2005166918A JP 4307410 B2 JP4307410 B2 JP 4307410B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- integrated circuit
- circuit chip
- pickup
- chips
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
テーブルであって、試験及び品質分類及びダイシング済みのウエハーを積載し、並びに水平方向に移動調整可能な、上記テーブルと、
カセットローダーであって、ウエハーの送入に用いられ、カセットに積載されたウエハーが該カセットローダーに進入する、上記カセットローダーと、
フレームフィーダーであって、ウエハーの出し入れに用いられる、上記フレームフィーダーと、
ピックアップヘッドであって、該テーブルの上方に設けられ、該ウエハー中のチップを吸い上げ、並びに該ピックアップヘッドの移動を制御する運行軌道を該テーブルの上方に具えた、上記ピックアップヘッドと、
少なくとも一つのトレイであって、該ピックアップヘッドが吸い上げたチップを収容する、上記少なくとも一つのトレイと、
複数のトレイ収集架であって、異なるチップの品質類別に対応する、上記複数のトレイ収集架と、
トレイ輸送モジュールであって、その一端より空のトレイが送入され、チップが積載されたチップを別端に設置された対応する該トレイ収集架の下に輸送して下から上に積み上げ、該トレイ輸送モジュールは、
軌道であって、該軌道の前端より該空のトレイが送入され、該軌道の後端にこれらトレイ収集架が接続された、上記軌道と、
トレイスタンドであって、該トレイの積載及び移動に供される、上記トレイスタンドと、
昇降機構であって、該トレイスタンドを支持し、該軌道上を移動し、且つ上下に該トレイスタンドを移動させられ、該昇降機構により該トレイスタンドが駆動されることで該トレイが該軌道上を移動させられる、上記昇降機構と、
を有する、上記トレイ輸送モジュールと、
を包含したことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、フレームフィーダーが機械アームを具え、該機械アームがカセットローダーよりウエハーを取り出し、並びにそれをテーブルに置くことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項3の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ収集架の配列方向が、トレイ輸送モジュールと同方向とされるか、トレイ輸送モジュールと相互に垂直とされるか、或いは複数のトレイ輸送モジュールがマトリックス方式で配列されることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ暫時保留エリアがバッファ用に設けられ、これにより前のトレイが空のトレイの送入からトレイ収集架にトレイを積み重ねるまでの全ての動作を完成するのを待たずにトレイを連続して送入してチップのピックアップを行え、チップを満載したトレイをトレイ収集架の下に送ることができることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
12 チップ
20 ピックアップヘッド
22 トレイ
24 収容溝
26 トレイ収集架
40 ウエハー
42 カセット
46 トレイ
100 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
102 カセットローダー
104 フレームフィーダー
106 機械アーム
108 テーブル
110 ピックアップヘッド
112 運行軌道
114 トレイ輸送モジュール
116a−c トレイ収集架
118 トレイ暫時保留エリア
500 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
516a−c トレイ収集架
600 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
616a−h トレイ収集架
700 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
1140 軌道
1142 トレイスタンド
1144 昇降機構
Claims (4)
- 集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、
テーブルであって、試験及び品質分類及びダイシング済みのウエハーを積載し、並びに水平方向に移動調整可能な、上記テーブルと、
カセットローダーであって、ウエハーの送入に用いられ、カセットに積載されたウエハーが該カセットローダーに進入する、上記カセットローダーと、
フレームフィーダーであって、ウエハーの出し入れに用いられる、上記フレームフィーダーと、
ピックアップヘッドであって、該テーブルの上方に設けられ、該ウエハー中のチップを吸い上げ、並びに該ピックアップヘッドの移動を制御する運行軌道を該テーブルの上方に具えた、上記ピックアップヘッドと、
少なくとも一つのトレイであって、該ピックアップヘッドが吸い上げたチップを収容する、上記少なくとも一つのトレイと、
複数のトレイ収集架であって、異なるチップの品質類別に対応する、上記複数のトレイ収集架と、
トレイ輸送モジュールであって、その一端より空のトレイが送入され、チップが積載されたチップを別端に設置された対応する該トレイ収集架の下に輸送して下から上に積み上げ、該トレイ輸送モジュールは、
軌道であって、該軌道の前端より該空のトレイが送入され、該軌道の後端にこれらトレイ収集架が接続された、上記軌道と、
トレイスタンドであって、該トレイの積載及び移動に供される、上記トレイスタンドと、
昇降機構であって、該トレイスタンドを支持し、該軌道上を移動し、且つ上下に該トレイスタンドを移動させられ、該昇降機構により該トレイスタンドが駆動されることで該トレイが該軌道上を移動させられる、上記昇降機構と、
を有する、上記トレイ輸送モジュールと、
を包含したことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。 - 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、フレームフィーダーが機械アームを具え、該機械アームがカセットローダーよりウエハーを取り出し、並びにそれをテーブルに置くことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
- 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ収集架の配列方向が、トレイ輸送モジュールと同方向とされるか、トレイ輸送モジュールと相互に垂直とされるか、或いは複数のトレイ輸送モジュールがマトリックス方式で配列されることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
- 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ暫時保留エリアがバッファ用に設けられ、これにより前のトレイが空のトレイの送入からトレイ収集架にトレイを積み重ねるまでの全ての動作を完成するのを待たずにトレイを連続して送入してチップのピックアップを行え、チップを満載したトレイをトレイ収集架の下に送ることができることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW94111734A TWI310580B (en) | 2005-04-13 | 2005-04-13 | Ic pick-and-place apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006295098A JP2006295098A (ja) | 2006-10-26 |
JP4307410B2 true JP4307410B2 (ja) | 2009-08-05 |
Family
ID=37415301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005166918A Expired - Fee Related JP4307410B2 (ja) | 2005-04-13 | 2005-06-07 | 集積回路チップのピックアップ及び分類装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4307410B2 (ja) |
TW (1) | TWI310580B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI416655B (zh) * | 2008-09-08 | 2013-11-21 | Gallant Prec Machining Co Ltd | Carrying plate holding device and sorting system |
TWI417967B (zh) * | 2009-11-02 | 2013-12-01 | Chroma Ate Inc | A method for marking a grain bearing tray, a sorting machine and a characteristic mark |
TWI394225B (zh) * | 2010-02-06 | 2013-04-21 | Chroma Ate Inc | Quickly sorting machine and its method |
TWI501349B (zh) * | 2012-02-24 | 2015-09-21 | Dawning Leading Technology Inc | Wafer adsorption head |
TWI485786B (zh) * | 2012-04-16 | 2015-05-21 | Gallant Micro Machining Co Ltd | Grain Stripping Method and Device |
JP2022013070A (ja) * | 2020-07-03 | 2022-01-18 | キヤノン株式会社 | 物品の製造装置、物品の製造方法、プログラム、記録媒体 |
CN115254683A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-11-01 | 重庆工业职业技术学院 | 一种集成电路板条检测台 |
CN115138597A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-10-04 | 深圳市海铭德科技有限公司 | 一种芯片测试及分装设备 |
-
2005
- 2005-04-13 TW TW94111734A patent/TWI310580B/zh active
- 2005-06-07 JP JP2005166918A patent/JP4307410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006295098A (ja) | 2006-10-26 |
TWI310580B (en) | 2009-06-01 |
TW200636799A (en) | 2006-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4307410B2 (ja) | 集積回路チップのピックアップ及び分類装置 | |
JP4879181B2 (ja) | ワークハンドリング装置 | |
KR100982478B1 (ko) | 반도체 패키지의 절단 및 소팅 시스템 | |
US6383844B2 (en) | Multi-chip bonding method and apparatus | |
KR20100088633A (ko) | 전자 회로의 판들을 저장하기 위한 자동 저장 장치 및 방법 | |
KR101062803B1 (ko) | 반도체 패키지 분류장치 및 그 방법 | |
US6547902B2 (en) | Die bonding method and apparatus | |
KR102106884B1 (ko) | 본딩 장치 및 본딩 방법 | |
JP2000118681A (ja) | トレイ搬送装置及び方法 | |
CN105599951B (zh) | 自动化包装设备 | |
CN218370397U (zh) | 上下料机构及外观检测装置 | |
KR100917001B1 (ko) | 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법 | |
KR20020079653A (ko) | 반도체 패키지 싱귤레이션 시스템 | |
KR101267840B1 (ko) | 테스트 핸들러용 트레이 이송장치 및 이를 이용한 트레이이송방법 | |
KR102143715B1 (ko) | 테이핑 시스템 및 테이핑 방법 | |
JP6549310B2 (ja) | 基板供給ユニット及びボンディング装置 | |
KR100914923B1 (ko) | 워크 핸들링 장치 | |
KR101327454B1 (ko) | 테스트 핸들러용 트레이 이송장치 및 이를 이용한 트레이이송방법 | |
JP2589100B2 (ja) | チップボンディング装置 | |
TW200945464A (en) | Buffering and classifying device for bare chip tester and the tester | |
CN117443752A (zh) | 芯片分拣机及芯片分拣方法 | |
KR20130111700A (ko) | 트레이 소팅 장치 | |
KR20220076884A (ko) | 반도체 자재 처리 장치 및 이의 튜브 오프로딩 방법 | |
JP2023130637A (ja) | 果菜取出し装置、果菜取出し方法 | |
KR101233218B1 (ko) | 소잉 소터 시스템의 로딩장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080401 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080701 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081028 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090115 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20090220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20090407 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20090428 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120515 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |