JP2006295098A - 集積回路チップのピックアップ及び分類装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のトレイ収集架を包含し、各トレイ収集架はチップの品質による類別に対応する。同じ品質類別に属するチップはピックアップヘッドにより移送されてトレイ中に置かれる。その後、満杯になったトレイが対応するトレイ収集架に移送される。ゆえに、チップのピックアップ及び分類が各品質類別の全てのチップが収集されるまで、中断なく行われる。
【選択図】 図5
Description
テーブルであって、試験及び品質分類及びダイシング済みのウエハーを積載し、並びに水平方向に移動調整可能な、上記テーブルと、
カセットローダーであって、ウエハーの送入に用いられ、カセットに積載されたウエハーが該カセットローダーに進入する、上記カセットローダーと、
フレームフィーダーであって、ウエハーの出し入れに用いられる、上記フレームフィーダーと、
ピックアップヘッドであって、該ウエハー中のチップを吸い上げ、並びに該ピックアップヘッドの移動を制御する運行軌道を具えた、上記ピックアップヘッドと、
少なくとも一つのトレイであって、該ピックアップヘッドが吸い上げたチップを収容する、上記少なくとも一つのトレイと、
複数のトレイ収集架であって、異なるチップの品質類別に対応する、上記複数のトレイ収集架と、
トレイ輸送モジュールであって、その一端が空のトレイの送入に用いられ、トレイを運送し、トレイ収集架が該トレイ輸送モジュールの別端に設置され、チップが満載されたトレイを対応するトレイ収集架の下に運送し、下から上に積み上げる、上記トレイ輸送モジュールと、
を包含したことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、フレームフィーダーが機械アームを具え、該機械アームがカセットローダーよりウエハーを取り出し、並びにそれをテーブルに置くことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項3の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ収集架の配列方向が、トレイ輸送モジュールと同方向とされるか、トレイ輸送モジュールと相互に垂直とされるか、或いは複数のトレイ輸送モジュールがマトリックス方式で配列されることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、トレイ輸送モジュールが、
軌道と、
トレイスタンドであって、該トレイの積載及び移動に供される、上記トレイスタンドと、
昇降機構であって、該トレイスタンドを支持し、該軌道上の移動し、且つ上下に該トレイスタンドを移動させられる、上記昇降機構と、
を包含することを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
請求項5の発明は、請求項4記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ暫時保留エリアがバッファ用に設けられ、これにより前のトレイが空のトレイの送入からトレイ収集架にトレイを積み重ねるまでの全ての動作を完成するのを待たずにトレイを連続して送入してチップのピックアップを行え、チップを満載したトレイをトレイ収集架の下に送ることができることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置としている。
12 チップ
20 ピックアップヘッド
22 トレイ
24 収容溝
26 トレイ収集架
40 ウエハー
42 カセット
46 トレイ
100 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
102 カセットローダー
104 フレームフィーダー
106 機械アーム
108 テーブル
110 ピックアップヘッド
112 運行軌道
114 トレイ輸送モジュール
116a−c トレイ収集架
118 トレイ暫時保留エリア
500 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
516a−c トレイ収集架
600 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
616a−h トレイ収集架
700 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
1140 軌道
1142 トレイスタンド
1144 昇降機構
Claims (5)
- 集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、
テーブルであって、試験及び品質分類及びダイシング済みのウエハーを積載し、並びに水平方向に移動調整可能な、上記テーブルと、
カセットローダーであって、ウエハーの送入に用いられ、カセットに積載されたウエハーが該カセットローダーに進入する、上記カセットローダーと、
フレームフィーダーであって、ウエハーの出し入れに用いられる、上記フレームフィーダーと、
ピックアップヘッドであって、該ウエハー中のチップを吸い上げ、並びに該ピックアップヘッドの移動を制御する運行軌道を具えた、上記ピックアップヘッドと、
少なくとも一つのトレイであって、該ピックアップヘッドが吸い上げたチップを収容する、上記少なくとも一つのトレイと、
複数のトレイ収集架であって、異なるチップの品質類別に対応する、上記複数のトレイ収集架と、
トレイ輸送モジュールであって、その一端が空のトレイの送入に用いられ、トレイを運送し、トレイ収集架が該トレイ輸送モジュールの別端に設置され、チップが満載されたトレイを対応するトレイ収集架の下に運送し、下から上に積み上げる、上記トレイ輸送モジュールと、
を包含したことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。 - 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、フレームフィーダーが機械アームを具え、該機械アームがカセットローダーよりウエハーを取り出し、並びにそれをテーブルに置くことを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
- 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ収集架の配列方向が、トレイ輸送モジュールと同方向とされるか、トレイ輸送モジュールと相互に垂直とされるか、或いは複数のトレイ輸送モジュールがマトリックス方式で配列されることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
- 請求項1記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、トレイ輸送モジュールが、
軌道と、
トレイスタンドであって、該トレイの積載及び移動に供される、上記トレイスタンドと、
昇降機構であって、該トレイスタンドを支持し、該軌道上の移動し、且つ上下に該トレイスタンドを移動させられる、上記昇降機構と、
を包含することを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。 - 請求項4記載の集積回路チップのピックアップ及び分類装置において、複数のトレイ暫時保留エリアがバッファ用に設けられ、これにより前のトレイが空のトレイの送入からトレイ収集架にトレイを積み重ねるまでの全ての動作を完成するのを待たずにトレイを連続して送入してチップのピックアップを行え、チップを満載したトレイをトレイ収集架の下に送ることができることを特徴とする、集積回路チップのピックアップ及び分類装置。
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