JP2002255315A - トレイ収容装置 - Google Patents

トレイ収容装置

Info

Publication number
JP2002255315A
JP2002255315A JP2001050422A JP2001050422A JP2002255315A JP 2002255315 A JP2002255315 A JP 2002255315A JP 2001050422 A JP2001050422 A JP 2001050422A JP 2001050422 A JP2001050422 A JP 2001050422A JP 2002255315 A JP2002255315 A JP 2002255315A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
stocker
holding device
holding
trays
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001050422A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyuki Tezuka
利之 手塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
Priority to JP2001050422A priority Critical patent/JP2002255315A/ja
Priority to US10/071,806 priority patent/US20020117383A1/en
Priority to KR1020020009860A priority patent/KR20020069492A/ko
Publication of JP2002255315A publication Critical patent/JP2002255315A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置構成がシンプルでコストを抑えることが
できるとともに、メンテナンス性や設置作業性が良好な
トレイ収容装置を提供する。 【解決手段】 トレイ収容装置Sは、水平方向に並列配
置され、上部のそれぞれに開口部22を有し、ICを載
置可能な複数のトレイを積層状態でそれぞれ収容可能な
複数のストッカー10〜14と、トレイを保持可能な保
持装置1と、保持装置1を水平及び昇降方向に移動可能
に支持する移動装置2とを備えている。保持装置1は、
移動装置2によって開口部22のそれぞれから複数のス
トッカー10〜14のそれぞれの内部に対して係合可能
に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC等のデバイス
を載置可能なトレイを複数保有するトレイ収容装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】ICテスタと接続して、ICを選別する
水平搬送式オートハンドラでは、トレイに複数のICを
載置し、トレイからICを移送したり、試験済のICを
空のトレイに選別する。また、ICが移送された空のト
レイを分類用のトレイに移動することも行われている。
オートハンドラはトレイ収容装置でトレイを搬送制御す
る。図4はICを載置可能なトレイを複数保有するトレ
イ収容装置の従来例である。図4に示すように、トレイ
収容装置SJは、供給用のストッカー40と、収容用の
第1から第3のストッカー41〜43と、空のストッカ
ー44とを備えており、これらストッカーのそれぞれは
複数のトレイを収容する。
【0003】ストッカー40〜44のそれぞれは、トレ
イを下方から保持して昇降可能な昇降装置51と、昇降
装置51によって最上部まで上昇したトレイを保持する
ストッカー保持機構52とを備えている。また、トレイ
収容装置SJは、トレイの上面を吸着保持する保持装置
53と、保持装置53を水平方向に移動可能に支持する
水平移動機構54とを備えている。保持装置53は、ス
トッカー保持機構52のそれぞれに対して係合可能に設
けられ、各ストッカー40〜44のストッカー保持機構
52の間でトレイを搬送する。
【0004】ストッカー40には、不図示のICテスタ
で試験されるべきICを複数載置したトレイT0が収容
される。ICを載置したトレイT0はストッカー40内
に積層状態で複数収容されている。ストッカー41、ス
トッカー42、ストッカー43のそれぞれには、ICテ
スタの試験結果に応じて分類されたICをそれぞれ載置
するトレイT1、T2、T3が収容されている。例えば、
ICテスタによって良品と判定されたICはストッカー
41のトレイT1に載置され、再選別を要すると判定さ
れたICはストッカー42のトレイT2に載置され、不
良品と判定されたICはストッカー43のトレイT3
載置される。ストッカー44には、ICを載置していな
い空のトレイT4が収容されている。
【0005】ストッカー40内のトレイT0に載置され
ているICをオートハンドラ内に搬送する際には、ま
ず、昇降装置51がストッカー40内に積層状態で収容
されているトレイT0を上昇し、最上段にあるトレイT0
をストッカー保持機構52に配置する。次に、ストッカ
ー保持機構52が昇降装置51で上昇された最上段のト
レイT0を保持する。次に、ストッカー40のストッカ
ー保持機構52に保持されているトレイT0内の複数の
ICを逐次移送する。トレイT0が空になったら、保持
装置53が水平移動してストッカー40のストッカー保
持機構52に保持されている空のトレイT0に係合し、
空のトレイT0の上面を吸着保持する。空のトレイT0
保持した保持装置53は供給ストッカー40からストッ
カー44のストッカー保持機構52に向かって水平移動
する。ストッカー44のストッカー保持機構52は、保
持装置53によって供給ストッカー40から搬送されて
きた空のトレイT0を保持する。ストッカー44のスト
ッカー保持機構52が空のトレイT0を保持したら、ス
トッカー44の昇降装置51が上昇するとともに、この
空のトレイT0をストッカー保持機構52から受け取
る。空のトレイT0を下方から受け取ったストッカー4
4の昇降装置51は下降し、この空のトレイT0をスト
ッカー44内に収容する。
【0006】一方、良品と判断されたICは、ストッカ
ー41のストッカー保持機構52に保持されているトレ
イT1に搬送され載置される。ここで、トレイT1は、ス
トッカー44内からストッカー44の昇降装置51によ
って上昇し保持装置53によってストッカー41のスト
ッカー保持機構52まで搬送されたものである。ICが
満杯のトレイT1は、ストッカー41に設けられている
昇降装置51が上昇してトレイT1に係合し、このトレ
イT1をストッカー保持機構52から受け取る。トレイ
1を下方から受け取った昇降装置51は下降し、良品
のICを満載したトレイT1をストッカー41内に収容
する。ストッカー42、ストッカー43に関する動作は
ストッカー41と同様なので説明を省略する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のトレイ収容装置
SJにおいては、各ストッカー40〜44のそれぞれに
昇降装置51が設けられているため装置構成が複雑であ
り、これに伴ってコストが上昇する。また、メンテナン
ス時においても、各ストッカー40〜44のそれぞれに
設けられた昇降装置51をメンテナンスする必要がある
ためメンテナンス時の作業性も低い。また、各ストッカ
ー40〜44のそれぞれに昇降装置51を備える構成で
は、例えばストッカーを増設したい際に、コストがかか
るとともに設置作業が煩雑になる。更に、トレイは昇降
装置51上に積層状態で配置される構成であるため、ト
レイの積層数は、昇降装置51が安定して作動可能な程
度の重量を超えない数に設定する必要があり、ストッカ
ー内におけるトレイの積層数が制限される。更に、供給
用のストッカー及び収容用のストッカーの配置が固定さ
れ、自由度に欠けるので、ICの試験ロット数の増減に
対応できないという問題や、オートハンドラの処理能力
も向上できない。
【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、デバイスを載置可能なトレイを複数収容する
トレイ収容装置において、装置構成が簡易であり、メン
テナンス性や設置作業性が良好で自由度のあるトレイ収
容装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1に記載のトレイ収容装置は、トレイを複数
保有するトレイ収容装置において、水平方向に並列配置
され、上部に開口部を有し、複数のトレイを積層状態で
それぞれ収容する複数のトレイ収容部と、前記トレイを
保持する保持装置と、前記保持装置を水平及び昇降方向
に移動可能に支持する移動装置とを備え、前記保持装置
は、前記移動装置によって前記開口部のそれぞれから前
記複数のトレイ収容部のそれぞれの内部に対して係合す
ることを特徴とする。
【0010】本発明によれば、トレイを保持する保持装
置が移動装置によって水平方向及び昇降方向のそれぞれ
に移動可能に設けられているので、シンプルな構造で複
数のトレイ収容部のそれぞれの間でトレイを搬送でき
る。また、複数のトレイ収容部のそれぞれの間における
トレイは、移動装置に移動可能に支持された保持装置に
よって搬送されるので、各トレイ収容部には従来のよう
な昇降装置などの他の搬送装置を設ける必要がない。し
たがって、装置の製造コストを抑えることができるとと
もに、メンテナンスが容易となり、トレイ収容部の増設
も容易となる。
【0011】請求項2に記載のトレイ収容装置は前記保
持装置は、前記トレイを上方から把持する把持部を備え
ることを特徴とする。
【0012】本発明によれば、保持装置は把持部によっ
てトレイを上方から把持するので、トレイ収容部に積層
状態で配置されているトレイを上段側から容易に保持す
ることができる。
【0013】請求項3に記載のトレイ収容装置は、前記
保持装置は、積層状態の前記トレイを複数同時に保持す
ることを特徴とする。
【0014】本発明によれば、保持装置は、積層状態の
トレイを複数同時に保持可能に設けられているので、効
率良くできる。この場合、把持部によって複数枚のトレ
イを上方から同時に把持することにより、保持動作が安
定している。
【0015】請求項4に記載のトレイ収容装置は、前記
移動装置は、前記トレイ収容部の外部に設けられ、前記
保持装置を昇降方向に移動可能に支持する昇降移動機構
と、前記保持装置を含む前記昇降移動機構を水平方向に
移動可能に支持する水平移動機構とを備え、前記トレイ
収容部のうち、少なくとも前記昇降移動機構と対向する
部分には、前記保持装置の昇降方向に沿って溝部が形成
されていることを特徴とする。
【0016】本発明によれば、保持装置を移動可能に支
持する移動装置は、トレイ収容部の外部に設けられた昇
降移動機構及び水平移動機構によって構成されており、
トレイ収容部とは独立して設けられている。したがっ
て、トレイ収容部自体の構造をシンプルにすることがで
き、トレイ収容部を容易に増設できる。また、トレイ収
容部のうち昇降移動機構と対向する部分に、保持装置の
昇降方向に沿って溝部が形成されているので、保持装置
が昇降移動機構によってトレイ収容部の内部に係合する
際、保持装置の移動はトレイ収容部に妨げられない。
【0017】請求項5に記載のトレイ収容装置は、前記
トレイ収容部の上部のそれぞれに設けられた前記開口部
に、トレイを保持可能な第2の保持装置を備えることを
特徴とする。
【0018】本発明によれば、トレイ収容部の開口部に
トレイを保持する第2の保持装置を設けたことにより、
トレイに対するデバイスの搬送動作時やトレイ収容部に
対する保持装置によるトレイの搬送動作時において、こ
の第2の保持装置にトレイを保持させることにより、効
率良く搬送できる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明のトレイ収容装置に
ついて図1、図2、図3を参照しながら説明する。図1
は本発明のトレイ収容装置の一実施形態を示す斜視図で
ある。また、図2はトレイを保持可能な保持装置を示す
斜視図であり、図3はストッカー(トレイ収容部)を示
す斜視図である。
【0020】図1に示すように、トレイ収容装置Sは、
供給用のストッカー(トレイ収容部)10と、第1のス
トッカー(トレイ収容部)11と、第2のストッカー
(トレイ収容部)12と、第3のストッカー(トレイ収
容部)13と、空のストッカー(トレイ収容部)14と
を備えている。これら複数のストッカー10,11,1
2,13,14のそれぞれは、水平方向に並列配置され
ており、その内部に複数のトレイを積層状態で収容可能
となっている。ストッカーに収容されるトレイは、IC
等のデバイスを載置可能となっている。
【0021】さらに、トレイ収容装置Sは、トレイを保
持する保持装置1と、保持装置1を水平方向及び昇降方
向に移動可能に支持する移動装置2とを備えている。移
動装置2は、保持装置1を昇降方向に移動可能に支持す
る昇降移動機構2Aと、昇降移動機構2Aを保持装置1
とともに水平方向に移動可能に支持する水平移動機構2
Bとを備えている。水平移動機構2Bは、複数のストッ
カー10〜14の配列方向に沿うようにストッカー10
〜14の側方に設けられている。すなわち、水平移動機
構2Bは、保持装置1を含む昇降移動機構2Aをストッ
カー10〜14の配列方向に沿うように移動可能に支持
している。このとき、昇降移動機構2A及び水平移動機
構2Bを備える移動装置2は、水平方向に並列配置され
たストッカー10〜14の外部に設けられている構成と
なっている。
【0022】図2に示すように、保持装置1は、本体部
4と、本体部4の下方に設けられた基板部5と、本体部
4に連結され、トレイを上方から把持する把持部1A・
1B・1C・1Dとを備えている。対向する把持部1A
・1B及び把持部1C・1Dのそれぞれは、図2に示す
矢印のように本体部4の中心に対してスライド可能に開
閉する。すなわち、把持部1A〜1Dのそれぞれはトレ
イの端面に対して接近・離間するように本体部4に結合
している。把持部1A〜1Dのそれぞれがトレイの端面
に対して接近するように移動することにより保持装置1
はトレイを保持し、一方、把持部1A〜1Dのそれぞれ
がトレイの端面に対して離間するように移動することに
より保持装置1はトレイを解放する。基板5には、基板
5の下方にトレイが保持されているかどうかを検出する
センサ6が設けられている。センサ6の検知信号は、不
図示の制御装置に出力される。把持部1A〜1Dがトレ
イを把持している際、基板5とトレイの上面とは当接す
る。
【0023】ここで、把持部1A〜1Dは、積層状態の
トレイを複数同時に保持できる。
【0024】保持装置1は、昇降移動機構2Aの一部で
あるベルト7に連結する連結部3を備えており、連結部
3と本体部4とは固定連結されている。そして、昇降移
動機構2Aに基づくベルト7の移動によって、ベルト7
に連結されている連結部3が昇降し、トレイを把持する
把持部1A〜1Dも一体となって昇降する。
【0025】図3に示すように、ストッカー10〜14
のそれぞれは4本の立柱20A〜20Dと、底板21と
を備えている。立支柱20A〜20Dのそれぞれは内部
に収容する矩形状に形成されているトレイの4隅を覆う
形で配置されている。そして、4立柱20A〜20Dを
備えたストッカー10〜14の上部には開口部22が設
けられている。さらに、ストッカー10〜14の前後側
及び左右側も開口した構成となっている。ここで、スト
ッカーの後側、すなわち、移動装置2の昇降移動機構2
Aと対向する部分に設けられた開口部によって、保持装
置1の昇降方向に沿って形成されている溝部23が構成
されている。
【0026】ストッカー10〜13のそれぞれの上部に
設けられた開口部22にはトレイを保持可能なチャック
部(第2の保持装置)25が設けられている。なお、本
実施形態においては、図1に示すように、ストッカー1
4にはチャック部25は設けられていない。チャック部
25は、チャックガイド26に沿ってトレイの端面に対
して接近・離間する方向に開閉する。チャック部25は
断面視L字型に形成された溝を有しており、チャック部
25のそれぞれが互いに接近することにより(閉じるこ
とにより)、この溝にトレイを保持する。一方、チャッ
ク部25のそれぞれが互いに離間することにより(開放
することにより)、トレイを解放する。ここで、チャッ
ク部25が閉じていてトレイを保持している状態のとき
に保持装置1の把持部1A〜1Dがチャック部25に係
合する場合があるが、把持部1A〜1Dが係合した際に
も、チャック部25と把持部1A〜1Dとが干渉しない
ように、チャック部25には図3に示すように空間部2
5aが設けられている。そして、把持部1A〜1Dはこ
の空間部25aからトレイの端面を把持するようになっ
ている。
【0027】例えば、ストッカー10には、ICを満載
したトレイが収容される。すなわち、ストッカー10に
は、不図示のICテスタで試験されるICを載置したト
レイT0が収容される。ICを載置したトレイT0は、ス
トッカー10内に積層状態で複数収容されている。スト
ッカー11、ストッカー12、ストッカー13のそれぞ
れには、ICテスタの試験結果に応じて分類されたIC
を載置するトレイが収容される。すなわち、第1から第
3のストッカー11〜13のそれぞれは、試験結果に応
じて分類されたICをそれぞれ載置するトレイT1
2、T3が収容される。例えば、ICテスタによって良
品と判定されたICはストッカー11のトレイT1に載
置され、再選別を要すると判定されたICはストッカー
12のトレイT2に載置され、不良品と判定されたIC
はストッカー13のトレイT3に載置される。ストッカ
ー14には、ICが載置されていない空のトレイT4
収容されている。
【0028】次に、トレイ収納装置Sの動作について説
明する。はじめに、ICテスタによって試験されるべき
ICを供給用のストッカー10から移送する動作につい
て説明する。まず、ICを複数載置したトレイT0が、
ストッカー10の前側の開口部からストッカー10内に
収容される。この際、ICを複数載置したトレイT
0は、ストッカー10内において積層状態で収容され
る。そして、ストッカー10内のトレイT0に載置され
ているICを測定部に移送する際には、まず、保持装置
1が移動装置2によってストッカー10の上部開口部2
2まで移動する。そして、移動装置2のうち昇降移動機
構2Aによって、保持装置1が下降し、ストッカー10
の内部に収容されているトレイT0に係合する。このと
き、チャック部25は開いている。
【0029】保持装置1はストッカー10の内部に係合
したら、積層状態のトレイT0のうち、最上段に配置さ
れているトレイT0を保持する。すなわち、開放されて
いた把持部1A〜1Dを閉じてトレイT0を把持する。
保持装置1はトレイT0を把持した状態で移動装置2に
よって上昇される。移動装置2は、トレイT0を把持し
ている保持装置1をストッカー10の上部開口部22に
設けられているチャック部25まで上昇する。このと
き、チャック部25は開いている。
【0030】トレイT0 を保持した保持装置1はストッ
カー10のチャック部25まで移動したら、トレイT0
をチャック部25に渡す。すなわち、チャック部25が
閉じてトレイT0 を保持する。こうして、ICを複数載
置したトレイT0 が供給ストッカー10の上部開口部2
2に現れる。そして、不図示のハンドが、ストッカー1
0のチャック部25に保持されているトレイT0上の複
数のICを逐次、移送する。ハンドによる移送動作が行
われている際には、保持装置1は移動装置2によってス
トッカー10から離れた位置(例えば、ストッカー14
上方など)に退避している。やがて、前記ハンドによっ
てトレイT0内のICが全て搬送され、トレイT0が空に
なる。
【0031】トレイT0 が空になったら、退避していた
保持装置1が移動装置2によってこのトレイT0 に係合
する。そして、保持装置1は空になったトレイT0 を把
持部1A〜1Dによって把持する。把持部1A〜1Dが
空のトレイT0 を把持したら、チャック部25が開く。
【0032】次に、保持装置1は空のトレイT0 を保持
した状態で、ストッカー10の内部に下降し、ストッカ
ー10内に収容されている他のトレイT0 に係合する。
この他のトレイT0 にはICが満載されている。空のト
レイT0 を保持している保持装置1が、満載のトレイT
0 に係合したら、一旦、把持部1A〜1Dによる空のト
レイT0 に対する把持を解き、空のトレイT0 を満載の
トレイT0 上に載置する。
【0033】満載のトレイT0 上に空のトレイT0 が載
置されたら、保持装置1は、これら2枚のトレイT0
同時に保持する。つまり、保持装置1の把持部1A〜1
Dが2枚のトレイT0 を上方から同時に把持する。そし
て、移動装置2の昇降移動機構2Aがこの2枚のトレイ
0 を保持した状態の保持装置1をチャック部25まで
上昇する。
【0034】2枚のトレイT0 を保持している保持装置
1がストッカー10のチャック部25の上方まで移動し
たら、チャック部25が閉じる。チャック部25の上方
に移動した保持装置1は2枚のトレイT0 に対する保持
を解き、この2枚のトレイT0 をチャック部25上に載
置する。このとき、2枚のトレイT0 のうち下側にある
満載のトレイT0 はチャック部25に保持された状態と
なっている。そして、満載のトレイT0 がチャック部
25に保持されている状態で、保持装置1が移動装置2
によって若干上昇し、2枚のトレイT0 のうち上側にあ
る空のトレイT0 のみを保持する。チャック部25に保
持された満載のトレイT0 には前記ローダが係合する。
【0035】空のトレイT0 を保持した保持装置1は、
移動装置2によってストッカー14に移動される。スト
ッカー14の上方に移動された保持装置1は、昇降移動
機構2Aによって下降する。そして、保持装置1は空の
トレイT0 をストッカー14内に収容する。このとき、
ストッカー14内に他のトレイがない場合には、保持装
置1は空のトレイT0 をストッカー14の底部21に載
置する。一方、ストッカー14内に、他の空のトレイが
既に収容されている場合には、保持装置1は空のトレイ
0 を既に収容されている他の空のトレイ上に載置す
る。
【0036】次に、試験済のICをトレイ上に分類する
動作について説明する。ここでは、ICテスタによって
良品と判定されたICを第1の収容用ストッカー11の
トレイに載置する手順について説明する。まず、ICを
載置すべき空のトレイをストッカー14からストッカー
11に搬送する。すなわち、移動装置2によって保持装
置1がストッカー14内に収容されている空のトレイに
係合し、空のトレイを保持する。空のトレイを保持した
保持装置1はストッカー11の上方まで移動する。空の
トレイを保持した保持装置1がストッカー11の上方ま
で移動したらストッカー11のチャック部25が閉じ
る。チャック部25が閉じたら移動装置2の昇降移動機
構2Aによって保持装置1が下降し、保持していた空の
トレイをストッカー11のチャック部25に渡す。チャ
ック部25は空のトレイを保持する。
【0037】ストッカー11のチャック部25に空のト
レイT1が保持されたら、良品判定のICはストッカー
11のチャック部25のトレイT1に不図示のハンドに
よって搬送載置される。ハンドによる搬送動作が行われ
ている際には、保持装置1は移動装置2によって第1ス
トッカー11から離れた位置、例えば、ストッカー14
上方などに退避されている。やがて、ハンドによってト
レイT1にはICが満載される。
【0038】ストッカー11のチャック部25に保持さ
れているトレイT1 にICが満載されたら、退避してい
た保持装置1が移動装置2によってストッカー11に係
合する。このとき、保持装置1はストッカー14から空
のトレイを保持した状態でストッカー11に係合する。
【0039】空のトレイを保持してストッカー11に係
合した保持装置1は、保持していた空のトレイに対する
保持を解き、この空のトレイをストッカー11のチャッ
ク部25に保持されている満載のトレイT1上に載置す
る。すなわち、ストッカー11のチャック部25におい
て、満載のトレイT1 と空のトレイとが重なりあった状
態となっている。
【0040】満載のトレイT1 上に空のトレイが載置さ
れたら、保持装置1は移動装置2の昇降移動機構2Aに
よって若干下降し、この2枚のトレイを同時に保持す
る。すなわち、保持装置1は、把持部1A〜1Dによっ
てこれら2枚のトレイを上方から同時に把持する。
【0041】保持装置1が2枚のトレイを保持したら、
ストッカー11のチャック部25が開く。保持装置1は
移動装置2によって下降し、ストッカー11の内部に係
合する。そして、保持装置1は保持している2枚のトレ
イに対する保持を解除する。このとき、ストッカー11
内に他のトレイがない場合には、保持装置1は保持して
いた2枚のトレイのうち下方側にある満載のトレイT1
をストッカー11の底部21に載置する。一方、ストッ
カー11内に、他のトレイが既に収容されている場合に
は、保持装置1は満載のトレイT1 を既に収容されてい
る他のトレイ上に載置する。
【0042】保持装置1が、保持していた2枚のトレイ
のうち、満載のトレイT1 をストッカー11内に収容し
たら、移動装置2が保持装置1を若干上方に移動する。
保持装置1は、満載のトレイT1上に載置されている空
のトレイのみを把持部1A〜1Dによって保持する。空
のトレイを保持した保持装置1は移動装置2によって上
昇する。移動装置2は空のトレイを保持した保持装置1
をストッカー11のチャック部25まで移動する。
【0043】ストッカー11のチャック部25まで移動
した保持装置1は保持していた空のトレイをこのチャッ
ク部25に渡す。つまり、保持装置1が把持部1A〜1
Dによるトレイに対する保持を解除するとともに、チャ
ック部25が閉じる。チャック部25は空のトレイを保
持する。チャック部25に空のトレイが保持されたら、
上述と同様、ハンドによって試験済のICが、ストッカ
ー11のチャック部25に搬送される。
【0044】以上、良品と判定されたICを載置するト
レイT1を収容するストッカー11に関する動作につい
て説明した。ここで、再選別を要すると判断されたIC
を載置するトレイT2 を収容するストッカー12、不良
品と判断されたICを載置するトレイT3 を収容するス
トッカー13に関する動作はストッカー11と同等なの
で説明を省略する。
【0045】以上説明したように、トレイを保持する保
持装置1が移動装置2によって水平方向及び昇降方向の
それぞれに移動可能に設けられているので、シンプルな
構造で複数のストッカー10〜14のそれぞれの間での
トレイを搬送できる。また、複数のストッカー10〜1
4のそれぞれの間におけるトレイは、移動装置2に移動
可能に支持された保持装置1によって搬送されるので、
各ストッカー10〜14には従来のような昇降装置など
の他の搬送装置を設ける必要がない。したがって、装置
の製造コストを抑えることができるとともに、メンテナ
ンスが容易となり、ストッカーを容易に増設できる。
【0046】また、保持装置1は把持部1A〜1Dによ
ってトレイを上方から把持するので、ストッカー10〜
14内に積層状態で配置されているトレイを上段側から
容易に保持できる。
【0047】保持装置1は、把持部1A〜1Dを備えて
おり、積層状態のトレイを複数同時に保持可能に設けら
れているので、効率良く搬送できる。
【0048】保持装置1を移動可能に支持する移動装置
2は、ストッカー10〜14の外部に設けられた昇降移
動機構2A及び水平移動機構2Bによって構成されてお
り、ストッカー10〜14とは独立して設けられてい
る。したがって、ストッカー自体の構造を簡易にでき、
ストッカーを容易に増設できる。また、ストッカーのう
ち昇降移動機構2Aと対向する部分に、保持装置1の昇
降方向に沿って溝部23が形成されているので、保持装
置1が連結部3を介して昇降移動機構2Aによってスト
ッカー10〜14の内部に係合する際においても、保持
装置1の移動はストッカー10〜14に妨げられず、安
定した搬送動作を行うことができる。
【0049】ストッカー10〜13の上部開口部22に
トレイを保持可能なチャック部25を設けたことによ
り、トレイに対するICの搬送動作時やストッカーに対
する保持装置1によるトレイの搬送動作時において、こ
のチャック部25にトレイを保持させることにより、効
率良く搬送できる。なお、本実施形態においては、回収
用のストッカー14にはチャック部25が設けられてい
ないが、このストッカー14にもチャック部25を設け
ることはもちろん可能である。
【0050】保持装置1の把持部1A〜1Dはトレイを
複数枚(本実施形態においては2枚)把持可能となって
いる。把持部1A〜1Dがトレイを所定枚数(1枚ある
いは2枚)把持したかどうかはセンサ6によって検知可
能となっている。そして、センサ6が、保持装置1はト
レイを所定枚数保持していないことを検出したら、保持
装置1を再度保持させてもよい。
【0051】本実施形態においては、試験後のICを載
置したトレイを収容するトレイ収容部は、ストッカー1
1〜13の3つに特定したが、ICテスタの試験結果に
応じて、ストッカーの数を任意に設定することができ
る。例えば、検査処理後のICを良品と不良品との2種
類に分類したい場合には供給用のストッカー10及び回
収用のストッカー14以外のストッカーは2つでよい。
一方、試験後のICを4分類したい場合には、供給用の
ストッカー10及び回収用のストッカー14以外のスト
ッカーは4種類以上の任意の数でよい。また、本実施形
態においては、供給用のストッカー10及び回収用のス
トッカー14はそれぞれ1つずつであるが、任意の数に
することが可能である。さらに、供給用のストッカー及
び収容用のストッカーの位置もソフトウエア処理によっ
て自在に設定できる。
【0052】本実施形態においては、昇降移動機構2A
及び水平移動機構2Bを備える移動装置2はストッカー
10〜14の側方に配置されている構成であるが、この
移動装置をトレイ収容部の上方に配置してもよい。この
場合、保持装置1は移動装置によって吊り下げられるよ
うに支持され移動する。
【0053】本実施形態において、試験されるべきIC
を複数載置したトレイT0は、供給用のストッカー10
の前側に設けられた開口からストッカー10内に搬入さ
れる構成であるが、この検査されるべきICを複数載置
したトレイT0を移動装置2によって移動する保持装置
1が係合可能な位置に保管しておき、保持装置1によっ
て供給ストッカー1内に上部開口部22から搬入するよ
うにしてもよい。同様に、ICを複数載置したトレイT
1〜T3を第1〜第3のストッカーから搬出する際にも、
ストッカー11〜13のそれぞれの前方に設けられた開
口から搬出する構成の他に、移動装置2によって移動す
る保持装置1を用いて上部開口部22のそれぞれから搬
出するようにしてもよい。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のトレイ収
容装置によれば、トレイを保持する保持装置が移動装置
によって水平方向及び昇降方向のそれぞれに移動可能に
設けられているので、シンプルな構造で複数のトレイ収
容部のそれぞれの間でのトレイを搬送できる。また、複
数のトレイ収容部のそれぞれの間におけるトレイは、移
動装置に移動可能に支持された保持装置によって搬送さ
れるので、各トレイ収容部には従来のような昇降装置な
どの他の搬送装置を設ける必要がない。したがって、装
置の製造コストを抑えることができるとともに、メンテ
ナンスが容易となり、トレイ収容部を容易に増設でき
る。更に、供給用のストッカーと収容用のストッカーの
配置を固定することなく、ソフトウエアによって供給と
収容とが相互に入れ換わる自由度の高い構造を提供し、
生産性の向上に役立つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のトレイ収容装置の一実施形態を示す
斜視図である。
【図2】 保持装置を示す斜視図である。
【図3】 トレイ収容部を示す斜視図である。
【図4】 従来のトレイ収容装置を示す図である。
【符号の説明】
1 保持装置 1A,1B,1C,1D 把持部 2 移動装置 2A 昇降移動機構 2B 水平移動機構 10 ストッカー(トレイ収容部) 11 ストッカー(トレイ収容部) 12 ストッカー(トレイ収容部) 13 ストッカー(トレイ収容部) 14 ストッカー(トレイ収容部) 22 開口部 23 溝部 25 チャック部(第2の保持装置) S トレイ収容装置

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 トレイを複数保有するトレイ収容装置に
    おいて、 水平方向に並列配置され、上部に開口部を有し、複数の
    トレイを積層状態でそれぞれ収容する複数のトレイ収容
    部と、 前記トレイを保持する保持装置と、 前記保持装置を水平及び昇降方向に移動可能に支持する
    移動装置とを備え、 前記保持装置は、前記移動装置によって前記開口部のそ
    れぞれから前記複数のトレイ収容部のそれぞれの内部に
    対して係合することを特徴とするトレイ収容装置。
  2. 【請求項2】 前記保持装置は前記トレイを上方から把
    持する把持部を備えることを特徴とする請求項1に記載
    のトレイ収容装置。
  3. 【請求項3】 前記保持装置は、積層状態の前記トレイ
    を複数同時に保持することを特徴とする請求項1又は2
    に記載のトレイ収容装置。
  4. 【請求項4】 前記移動装置は、前記トレイ収容部の外
    部に設けられ、前記保持装置を昇降方向に移動可能に支
    持する昇降移動機構と、前記保持装置を含む前記昇降移
    動機構を水平方向に移動可能に支持する水平移動機構と
    を備え、 前記トレイ収容部のうち、少なくとも前記昇降移動機構
    と対向する部分には、前記保持装置の昇降方向に沿って
    溝部が形成されていることを特徴とする請求項1〜3の
    いずれかに記載のトレイ収容装置。
  5. 【請求項5】 前記トレイ収容部の上部のそれぞれに設
    けられた前記開口部に、トレイを保持可能な第2の保持
    装置を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
    に記載のトレイ収容装置。
JP2001050422A 2001-02-26 2001-02-26 トレイ収容装置 Withdrawn JP2002255315A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001050422A JP2002255315A (ja) 2001-02-26 2001-02-26 トレイ収容装置
US10/071,806 US20020117383A1 (en) 2001-02-26 2002-02-07 Tray accommodation unit
KR1020020009860A KR20020069492A (ko) 2001-02-26 2002-02-25 트레이 수용장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001050422A JP2002255315A (ja) 2001-02-26 2001-02-26 トレイ収容装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002255315A true JP2002255315A (ja) 2002-09-11

Family

ID=18911377

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001050422A Withdrawn JP2002255315A (ja) 2001-02-26 2001-02-26 トレイ収容装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20020117383A1 (ja)
JP (1) JP2002255315A (ja)
KR (1) KR20020069492A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102259095A (zh) * 2010-04-20 2011-11-30 涩谷工业株式会社 物品分类装置
WO2015025399A1 (ja) * 2013-08-22 2015-02-26 株式会社安川電機 ロボットハンドおよびロボット

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1786706A2 (en) * 2004-09-02 2007-05-23 FKI Logistex Inc. Conveyor/sorter apparatus and method
CN105858085B (zh) * 2016-05-18 2018-05-11 深圳市天一智能科技有限公司 一种翻转下料机
CN105858171B (zh) * 2016-05-18 2018-05-04 河北凯瑞管件制造股份有限公司 一种翻转下料机的传送翻转机构
JP7192723B2 (ja) * 2019-09-12 2022-12-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102259095A (zh) * 2010-04-20 2011-11-30 涩谷工业株式会社 物品分类装置
KR101776855B1 (ko) * 2010-04-20 2017-09-08 시부야 코교 가부시키가이샤 물품 분류 장치
WO2015025399A1 (ja) * 2013-08-22 2015-02-26 株式会社安川電機 ロボットハンドおよびロボット
JPWO2015025399A1 (ja) * 2013-08-22 2017-03-02 株式会社安川電機 ロボットハンドおよびロボット

Also Published As

Publication number Publication date
US20020117383A1 (en) 2002-08-29
KR20020069492A (ko) 2002-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3016982B2 (ja) 自動テスト用ハンドラーのトレイを取り扱う装置およびその方法
JP2921937B2 (ja) Ic検査装置
US9299597B2 (en) Scalable stockers with automatic handling buffer
US11515189B2 (en) Automatic handling buffer for bare stocker
US20030091410A1 (en) Reduced footprint tool for automated processing of microelectronic substrates
US10515835B2 (en) High density Tec-Cell carrier
JPH0643212A (ja) オートマチックテストハンドラー
US10395960B2 (en) High density stocker with interlocking nubs
KR20200129812A (ko) 심카드 트레이 분류시스템
JP4307410B2 (ja) 集積回路チップのピックアップ及び分類装置
JP2002255315A (ja) トレイ収容装置
KR100917001B1 (ko) 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법
CN110875228A (zh) 工件储存系统、工件储存方法、及使用其传输工件的方法
JP5628372B2 (ja) 半導体素子ハンドリングシステム
KR20220103075A (ko) 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
KR20180112527A (ko) 다이 본딩 장치
KR20190095777A (ko) 반도체 소자 핸들러
EP2245656B1 (en) Automatic handling buffer for bare stocker
KR101487278B1 (ko) 인라인 테스트 핸들러
JP3873983B2 (ja) マイクロプレートの供給装置
KR102227346B1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
JP3512404B2 (ja) 真空処理装置および試料の真空処理方法
KR100247752B1 (ko) 반도체 디바이스 검사장비의 프리사이징 방법
KR20230074864A (ko) 반도체 장치용 테스트 핸들러
CN113690103A (zh) 铁芯与铁架绞合设备

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080513