KR101734397B1 - 검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치 - Google Patents

검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 실시예에 따라, 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하는 트레이 로더 유닛; 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송시키는 트레이 셔틀 유닛; 운반 트레이로부터 셔틀 트레이로 옮겨지는 전자부품을 스캔하여 식별 감지하는 스캐너; 트레이 로더 유닛의 운반 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 스캐너를 거쳐 트레이 셔틀 유닛의 셔틀 트레이로 옮기고 셔틀 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 보드로 옮기는 픽업 어셈블리 유닛; 및 스캐너로부터 스캔 결과를 받고 적어도 트레이 셔틀 유닛 및 픽업 어셈블리 유닛을 제어하는 제어유닛;을 포함하는 검사용 전자부품 로딩 장치가 제안된다. 또한, 전자부품 테스트 장치가 제안된다.

Description

검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치{APPARATUS FOR LOADING ELECTRONIC COMPONENT FOR TESTING AND FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENT}
본 발명은 검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 집적회로 등의 반도체 소자나 SSD 등과 같은 드라이브 기기 등과 같은 전자부품 또는 전자기기는 양품 또는 불량품을 가리기 위한 여러 가지 테스트 과정을 거쳐 제조된다.
이때, 전자부품 또는 전자기기를 테스트하는 과정에서 테스트 핸들러라는 장비가 사용된다. 테스트 핸들러 또는 핸들러 시스템은 전자부품을 테스트하는 별도의 테스트장비에 전자부품을 접속시키고, 테스트가 완료된 부품들을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 장비이다. 이러한, 핸들러 시스템은 테스트 대상의 디바이스를 수용한 트레이가 이송되는 이송영역과 디바이스를 테스트하기 위한 테스트영역 그리고, 테스트가 완료된 디바이스를 양품 및 불량품 카테고리별로 분배하기 위한 분배영역으로 구획되어 이들의 영역을 순차적으로 진행하면서 디바이스를 테스트하고 배분한다. 또는 달리 표현하면, 핸들러 시스템은 크게 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정을 수행하고, 전자부품을 장착할 수 있는 모듈이 다수 개 구비되는 트레이에 전자부품 소자들을 장착하여 상기 공정들을 수행한다.
하드 디스크나 솔리드 스테이트 드라이브(SSD, Solid State Drive)와 같은 저장용 드라이브 기기도 반도체 소자와 마찬가지로 핸들러 시스템을 통해 테스트가 시행된다. 이때, 전자부품소자와 마찬가지로 트레이에 적재시켜 테스터기기로 운반시키고 테스터에서 테스트가 시행된다.
이 과정에서, 테스트 기기로 피검사 부품을 로딩하는 과정이 수행되고, 테스트 장비에 피검사 부품을 실장하기 전에 피검사 부품을 식별 검사하고, 예컨대 이때, 피검사 부품의 위치가 바로 실장되어 있는지 등을 확인할 필요가 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2009-0085454호 (2009년 8월 7일 공개)
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 검사용 전자부품을 트레이로 이송하는 과정에서 전자부품을 스캔함으로써 식별 또는 나아가 역삽입을 방지할 수 있는 검사용 전자부품 로딩 장치 및 전자부품 테스트 장치를 제안하고자 한다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 하나의 모습에 따라, 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하는 트레이 로더 유닛; 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송시키는 트레이 셔틀 유닛; 운반 트레이로부터 셔틀 트레이로 옮겨지는 전자부품을 스캔하여 식별 감지하는 스캐너; 트레이 로더 유닛의 운반 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 스캐너를 거쳐 트레이 셔틀 유닛의 셔틀 트레이로 옮기고 셔틀 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 보드로 옮기는 픽업 어셈블리 유닛; 및 스캐너로부터 스캔 결과를 받고 적어도 트레이 셔틀 유닛 및 픽업 어셈블리 유닛을 제어하는 제어유닛;을 포함하는 검사용 전자부품 로딩 장치가 제안된다.
이때, 하나의 예에서, 검사용 전자부품 로딩 장치는 픽업 어셈블리 유닛에 의해 회수되는 전자부품을 회수하는 회수 트레이를 더 포함한다. 이때, 스캐너는 픽업 어셈블리 유닛에 의해 옮겨지는 전자부품의 식별코드를 스캔하고, 제어유닛은 스캐너에 의해 식별코드 미감지된 전자부품을 역삽입으로 판단하고, 픽업 어셈블리 유닛은 제어유닛의 제어에 따라 역삽입 판단된 픽업 운반 중인 전자부품을 회수 트레이로 옮겨 담는다.
이때, 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛은 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하는 제1 트레이 로더 및 픽업 어셈블리 유닛으로부터 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 제2 트레이 로더를 구비할 수 있다.
또 하나의 예에서, 트레이 셔틀 유닛은 픽업 어셈블리 유닛에 의해 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제1 트레이 셔틀 및 검사 완료 후 픽업 어셈블리 유닛을 통해 테스트 보드로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제2 트레이 셔틀을 구비할 수 있다. 게다가, 픽업 어셈블리 유닛은: 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 전자부품을 픽업하여 스캐너를 거쳐 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 그리고 픽업 운반 중 역삽입 판단된 전자부품을 회수 트레이로 옮기고 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 제2 트레이 로더의 빈 운반 트레이로 그리고 검사 미통과 제품을 회수 트레이로 옮기는 제1 픽업 어셈블리; 및 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 전자부품을 테스트 보드로 옮기고 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드로부터 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 옮기는 제2 픽업 어셈블리;를 구비할 수 있다.
다른 또 하나의 예에서, 검사용 전자부품 로딩 장치는 전자부품을 담은 테스트 보드를 제공받아 적재하고 제2 픽업 어셈블리를 통해 전자부품을 공급받을 빈 테스트 보드를 제공하는 테스트 보드 적재 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 하나의 예에서, 픽업 어셈블리 유닛은 전자부품을 픽업하는 피커, 피커의 수평 방향 이동을 안내하는 수평 레일 및 수평 레일의 수직 방향 이동을 안내하는 사이드 가이드 레일을 포함한다. 이때, 양측에 형성된 사이드 가이드 레일의 사이에 트레이 로더 유닛, 트레이 셔틀 유닛, 스캐너, 테스트 보드 및 회수 트레이가 배치될 수 있다.
또 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛은 운반 트레이를 하강 또는 상승시키는 주 승강부, 주 승강부와 반대 방향으로 동작하는 부 승강부 및 각 승강부의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부에서 운반 트레이가 하강 또는 상승 되도록 운반 트레이를 로테이션시키는 로테이션부를 포함할 수 있다. 이때, 주 승강부의 운반 트레이가 하강되는 경우 주 승강부의 최상층 운반 트레이에 담긴 전자부품이 픽업 어셈블리 유닛에 의해 픽업되고 빈 운반 트레이가 순차로 하강된다.
또한, 하나의 예에서, 전자부품은 데이터 저장용 드라이브 기기일 수 있다.
다음으로, 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 하나의 모습에 따라, 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하고 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 트레이 로더 유닛; 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송시키는 트레이 셔틀 유닛; 운반 트레이로부터 셔틀 트레이로 옮겨지는 전자부품을 스캔하여 식별 감지하는 스캐너; 트레이 로더 유닛의 운반 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 스캐너를 거쳐 트레이 셔틀 유닛의 셔틀 트레이로 옮겨 담고 셔틀 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 유닛의 테스트 보드로 옮겨 담고 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드로부터 셔틀 트레이로 그리고 셔틀 트레이로부터 트레이 로더 유닛의 빈 운반 트레이로 옮기는 픽업 어셈블리 유닛; 픽업 어셈블리 유닛에 의해 피검사용 전자부품이 탑재되는 테스트 보드 및 테스트 보드에 탑재된 전자부품을 검사하는 테스트 기기를 포함하는 테스트 유닛; 및 스캐너의 스캔 결과 및 테스트 기기의 검사 결과를 제공받아 판단하고 적어도 트레이 셔틀 유닛 및 픽업 어셈블리 유닛을 제어하는 제어유닛;을 포함하는 전자부품 테스트 장치가 제안된다.
이때, 하나의 예에서, 전자부품 테스트 장치는 픽업 어셈블리 유닛에 의해 회수되는 전자부품을 회수하는 회수 트레이를 더 포함한다. 이때, 스캐너는 픽업 어셈블리 유닛에 의해 옮겨지는 전자부품의 식별코드를 스캔하고, 제어유닛은 스캐너에 의해 식별코드 미감지된 전자부품을 역삽입으로 판단하고, 픽업 어셈블리 유닛은 제어유닛의 제어에 따라 운반 트레이에서 셔틀 트레이로 픽업 운반 중인 전자부품 중 역삽입 판단된 전자부품 및 검사 완료된 전자부품이 담겨진 셔틀 트레이로부터 검사 미통과로 판단된 전자부품을 회수 트레이로 옮긴다.
이때, 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛은 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하는 제1 트레이 로더 및 픽업 어셈블리 유닛으로부터 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 제2 트레이 로더를 구비할 수 있고, 트레이 셔틀 유닛은 픽업 어셈블리 유닛에 의해 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제1 트레이 셔틀 및 검사 완료 후 픽업 어셈블리 유닛을 통해 테스트 보드로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제2 트레이 셔틀을 구비할 수 있다.
또한, 하나의 예에서, 픽업 어셈블리 유닛은: 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 전자부품을 픽업하여 스캐너를 거쳐 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 그리고 픽업 운반 중 역삽입 판단된 전자부품을 회수 트레이로 옮기고 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 제2 트레이 로더의 빈 운반 트레이로 그리고 검사 미통과 제품을 회수 트레이로 옮기는 제1 픽업 어셈블리; 및 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 전자부품을 테스트 보드로 옮기고 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드로부터 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 옮기는 제2 픽업 어셈블리;를 구비할 수 있다.
또한, 하나의 예에서, 픽업 어셈블리 유닛은 전자부품을 픽업하는 피커, 피커의 수평 방향 이동을 안내하는 수평 레일 및 수평 레일의 수직 방향 이동을 안내하는 사이드 가이드 레일을 포함한다. 이때,양측에 형성된 사이드 가이드 레일의 사이에 트레이 로더 유닛, 트레이 셔틀 유닛, 스캐너, 테스트 유닛 및 회수 트레이가 배치될 수 있다.
또 하나의 예에서, 제1 및 제2 트레이 로더는 운반 트레이를 하강 또는 상승시키는 주 승강부, 주 승강부와 반대 방향으로 동작하는 부 승강부 및 각 승강부의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부에서 운반 트레이가 하강 또는 상승 되도록 운반 트레이를 로테이션시키는 로테이션부를 포함할 수 있다. 이때, 제1 트레이 로더의 주 승강부는 제1 트레이 로더의 부 승강부로부터 이송받은 최상층 운반 트레이에 담긴 전자부품의 픽업 후 빈 운반 트레이를 순차로 하강시켜 하향 적층시키고, 제2 트레이 로더의 주 승강부는 제1 픽업 어셈블리에 의해 검사 통과 전자부품을 제공받은 최상층 운반 트레이를 부 승강부로 이송시키며 주 승강부의 차상층 빈 운반 트레이를 순차 상승시킬 수 있다.
또한 하나의 예에서, 전자부품은 데이터 저장용 드라이브 기기일 수 있다.
본 발명의 하나의 실시예에 따라, 검사용 전자부품을 트레이로 이송하는 과정에서 전자부품을 스캔함으로써 테스트될 전자부품을 식별할 수 있고, 나아가 스캔을 통하여 역삽입 여부를 판단함으로써 역삽입을 방지할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따라 직접적으로 언급되지 않은 다양한 효과들이 본 발명의 실시예들에 따른 다양한 구성들로부터 당해 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에 의해 도출될 수 있음은 자명하다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치 또는 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2a 및 2b는 각각 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 나타내는 개략적인 평면 구성도이다.
도 3은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치 또는 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 평면 구성도이다.
전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명될 것이다. 본 설명에 있어서, 동일부호는 동일한 구성을 의미하고, 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 이해를 도모하기 위하여 부차적인 설명은 생략될 수도 있다.
본 명세서에서 하나의 구성요소가 다른 구성요소와 연결, 결합 또는 배치 관계에서 '직접'이라는 한정이 없는 이상, '직접 연결, 결합 또는 배치'되는 형태뿐만 아니라 그들 사이에 또 다른 구성요소가 개재됨으로써 연결, 결합 또는 배치되는 형태로도 존재할 수 있다.
본 명세서에 비록 단수적 표현이 기재되어 있을지라도, 발명의 개념에 반하거나 명백히 다르거나 모순되게 해석되지 않는 이상 복수의 구성 전체를 대표하는 개념으로 사용될 수 있음에 유의하여야 한다. 본 명세서에서 '포함하는', '갖는', '구비하는', '포함하여 이루어지는' 등의 기재는 하나 또는 그 이상의 다른 구성요소 또는 그들의 조합의 존재 또는 부가 가능성이 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 참조된 도면들은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 예시로써, 모양, 크기, 두께 등은 기술적 특징의 효과적인 설명을 위해 과장되게 표현될 수 있다.
우선, 본 발명의 하나의 모습에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 도면을 참조하여 살펴본다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2a 및 2b는 각각 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 나타내는 개략적인 평면 구성도이고, 도 3은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 개략적으로 나타내는 평면 구성도이다.
도 1 내지 3을 참조하면, 하나의 예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치는 트레이 로더 유닛(110), 트레이 셔틀 유닛(140), 스캐너(120), 픽업 어셈블리 유닛(130) 및 제어유닛(도시되지 않음)을 포함한다. 예컨대, 도 1 내지 3을 참조하면, 하나의 예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치는 회수 트레이(170)를 더 포함할 수 있다. 또한, 도 1 내지 3을 참조하면, 하나의 예에서 검사용 전자부품 로딩 장치는 테스트 보드 적재 유닛(200)을 더 포함할 수 있다. 이하에서 각 구성들을 도면을 참조하여 구체적으로 살펴본다.
먼저, 하나의 예에서 검사용 전자부품 로딩 장치는 데이터 저장용 드라이브 기기(도시되지 않음)를 이송하고 스캔하고 픽업하는 장치일 수 있다. 예컨대, 솔리드 스테이트 드라이브(SSD, Solid State Drive)와 같은 드라이브 기기를 이송하고 스캔하고 픽업하는 검사용 전자부품 로딩 장치일 수 있다.
도 1 내지 3을 참조하면, 트레이 로더 유닛(110)은 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공한다. 예컨대, 도 1 내지 3을 참조하면, 트레이 로더 유닛(110)은 2개의 트레이 로더(111, 113)를 구비할 수 있고, 이에 한정 해석되지 않는다. 예컨대, 이때, 도 2a 및 2b를 참조하면, 2개의 트레이 로더(111, 113)는 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하여 전자부품을 공급하고 이후에 테스트가 완료된 전자부품을 공급받기 위해 빈 운반 트레이(115)를 제공하는 역할을 수행할 수 있다. 즉, 트레이 로더 유닛(110)은 하나의 장치에서 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하고 이후 검사 완료된 전자부품을 채워 옮기기 위해 빈 운반 트레이(115)를 제공하는 역할을 모두 수행할 수 있다. 또는, 도 3을 참조하면, 트레이 로더 유닛(110)은 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하는 트레이 로더(111)와 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이(115)를 제공하는 트레이 로더(113)가 구분될 수 있다. 이때, 트레이 로더 유닛(110)은 제어유닛의 동작 제어에 따라 역할이 구분된 트레이 로더로 각각 동작하거나 하나의 트레이 로더에서 2개의 역할을 순차로 수행하도록 설정될 수 있다.
예컨대, 도 3을 참조하면, 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛(110)은 제1 트레이 로더(111) 및 제2 트레이 로더(113)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 트레이 로더(111) 및 제2 트레이 로더(113)는 역할이 구분될 수 있다. 제1 트레이 로더(111)는 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하고, 반면, 제2 트레이 로더(113)는 후술되는 픽업 어셈블리 유닛(130)으로부터 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이(115)를 제공할 수 있다.
또한, 도 1 내지 3을 종합하여 참조하면, 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛(110)은 주 승강부(110a, 111a, 113a), 부 승강부(110b, 111b, 113b) 및 로테이션부(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 이때, 트레이 로더 유닛(110)이 2개의 트레이 로더(111, 113)를 구비하는 경우 각 트레이 로더는 주 승강부(111a, 113a), 부 승강부(111b, 113b) 및 로테이션부(도시되지 않음)를 포함할 수 있다.
트레이 로더 유닛(110)의 주 승강부(110a)는 운반 트레이(115)를 하강 또는 상승시킨다. 이때, 주 승강부(110a)의 최상층 운반 트레이(115)로부터 전자부품이 픽업되거나 또는 최상층의 빈 운반 트레이(115)로 전자부품이 회수될 수 있다. 예컨대, 도 2a에서는, 2개의 트레이 로더(111, 113) 모두의 주 승강부(111a, 113a)에서 최상층 운반 트레이(115)로부터 전자부품이 픽업되고, 도 2b에서는, 2개의 트레이 로더(111, 113) 모두의 주 승강부(111a, 113a)에서 최상층의 빈 운반 트레이(115)로 전자부품이 회수된다. 또는 도 3을 참조하면, 제1 트레이 로더(111)의 주 승강부(111a)의 최상층 운반 트레이(115)로부터 전자부품이 픽업된다.
다음, 트레이 로더 유닛(110)의 부 승강부(110b)는 주 승강부(110a)와 반대 방향으로 동작한다. 즉, 주 승강부(110a)의 운반 트레이(115)가 하강시 부 승강부(110b)의 운반 트레이(115)는 상승하고 주 승강부(110a)의 운반 트레이(115)가 상승시 부 승강부(110b)의 운반 트레이(115)는 하강한다. 이때, 부 승강부(110b)는 주 승강부(110a)에 연결되어, 주 승강부(110a)의 부 승강부의 최상층 및 최하층에서 운반 트레이(115)가 상대방으로 이송되며 운반 트레이(115)의 순환이 이루어지도록 한다.
또한, 트레이 로더 유닛(110)의 로테이션부(도시되지 않음)는 각 승강부(110a, 110b)의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부(110a, 110b)에서 운반 트레이(115)가 하강 또는 상승 되도록 운반 트레이(115)를 로테이션시킨다.
예컨대, 이때, 도 2a 및/또는 도 3을 참조하면, 도 2a의 트레이 로더 유닛(110)의 주 승강부(110a) 또는/및 도 3의 제1 트레이 로더(111)의 주 승강부(111a)의 운반 트레이(115)가 하강되는 경우 주 승강부(111a)의 최상층 운반 트레이(115)에 담긴 전자부품이 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 픽업되고 빈 운반 트레이(115)가 순차로 하강된다. 또한, 도 2b 및/또는 3을 참조하면, 도 2b의 주 승강부(110a) 및/또는 도 3의 제2 트레이 로더(113)의 주 승강부(113a)의 빈 운반 트레이(115)는 상승하며 최상층 빈 운반 트레이(115)를 제공하고 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 회수되는 검사 완료된 전자부품을 담아 부 승강부(110b, 113b)로 이송된다.
계속하여, 도 1 내지 3을 참조하여, 트레이 셔틀 유닛(140)을 살펴본다.
트레이 셔틀 유닛(140)은 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송시킨다. 이때, 전자부품은 후술되는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 셔틀 트레이(145)에 담아진다. 예컨대, 셔틀 트레이(145)는 컨베이어 등에 장착되어 컨베이어 구동에 의해 이송될 수 있다.
예컨대, 도 1 내지 3을 참조하면, 트레이 셔틀 유닛(140)은 2개의 트레이 셔틀(141, 143)을 구비할 수 있고, 이에 한정 해석되지 않는다. 예컨대, 이때, 도 2a 및 2b를 참조하면, 2개의 트레이 셔틀(141, 143)은 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 트레이 로더 유닛(110)으로부터 픽업된 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송하여 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 테스트 보드(155)로 제공되도록 이송하고, 이후에 테스트가 완료된 전자부품을 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 공급받아 셔틀 트레이(145)에 담아 이송하여 트레이 로더 유닛(110)으로 반출시키는 역할을 수행할 수 있다. 또는, 도 3을 참조하면, 2개의 트레이 셔틀(141, 143) 중 하나는 트레이 로더 유닛(110)으로부터 픽업된 전자부품을 테스트 보드(155)로 옮기는 역할을 하고, 나머지 하나는 테스트 보드(155)로부터 픽업된 검사 완료된 전자부품을 반출을 위해 트레이 로더 유닛(110)으로 옮기는 역할을 수행할 수 있다.
예컨대, 도 3을 참조하면, 트레이 셔틀 유닛(140)은 제1 트레이 셔틀(141) 및 제2 트레이 셔틀(143)을 구비할 수 있다. 이때, 제1 트레이 셔틀(141)은 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송한다. 또한, 제2 트레이 셔틀(143)은 검사 완료 후 픽업 어셈블리 유닛(130)을 통해 테스트 보드(155)로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송한다.
계속하여, 도 1 내지 3을 참조하여 스캐너(120)를 살펴본다.
스캐너(120)는 운반 트레이(115)로부터 셔틀 트레이(145)로 옮겨지는 전자부품을 스캔하여 식별 감지한다. 예컨대, 스캐너(120)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 픽업된 전자부품을 기준으로 양측에 배치될 수 있다. 스캐너(120)는 빛을 조사하여 전자부품에 기록된 식별코드, 예컨대 바코드를 판독할 수 있다. 판독된 정보는 제어유닛(도시되지 않음)으로 전송된다. 예컨대, 스캐너(120)는 양측에 배치되고, 식별코드가 감지되는 방향을 제어유닛(도시되지 않음)에서 판단하고 제어유닛에서 픽업 어셈블리 유닛(130)을 제어하여 최종적으로 테스트 보드(155)에 바른 위치로 테스트 보드(155)에 삽입될 수 있도록 픽업 어셈블리 유닛(130)의 픽업 방향을 회전시킬 수 있다. 또한, 양쪽 스캐너(120)에서 식별코드가 감지되지 않는 경우는 전자부품이 역삽입된 형태로 픽업된 것으로 판단될 수 있다.
즉, 하나의 예에서, 스캐너(120)에서 전자부품에 기록된 식별코드가 감지되지 않는 경우가 있다. 이때, 제어유닛은 전자부품의 위치가 역방향으로 픽업된 것으로 판단할 수 있고, 이때, 전자부품이 테스트 보드(155)로 옮겨지지 않고 회수될 수 있다. 예컨대, 회수된 전자부품은 예컨대 작업자에 의해 다시 트레이 상에 바른 방향으로 삽입되어, 본 발명의 예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치로 다시 제공될 수 있다.
다음으로, 도 1을 참조하여 픽업 어셈블리 유닛(130)을 살펴본다.
픽업 어셈블리 유닛(130)은 트레이 로더 유닛(110)의 운반 트레이(115)에 담긴 전자부품을 픽업하여 스캐너(120)를 거쳐 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 옮기고 셔틀 트레이(145)에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 보드(155)로 옮긴다. 예컨대, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 2개의 픽업 어셈블리(131, 133)를 구비할 수 있고, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 하나의 픽업 어셈블리만 구비될 수도 있다. 도 1과 같이 2개의 픽업 어셈블리(131, 133)가 구비되는 경우, 하나는 트레이 로더 유닛(110)의 운반 트레이(115)로부터 전자부품을 픽업하여 스캐너(120)를 거쳐, 예컨대 스캐너(120)에서 스캔되도록 한 후, 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 옮겨 담고, 나머지 하나는 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 보드(155)로 옮긴다. 이때, 도 2b 및/또는 3을 참조하면, 테스트 보드(155)에 실장된 전자부품의 검사 완료 후, 반대의 과정이 수행될 수 있다. 예컨대, 후자의 픽업 어셈블리(133)는 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드(155)로부터 픽업하여 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 옮겨 회수하고, 전자의 픽업 어셈블리(131)는 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)의 전자부품을 픽업하여 트레이 로더 유닛(110)으로 회수할 수 있다.
예컨대, 도 1을 참조하여 살펴보면, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 제1 픽업 어셈블리(131) 및 제2 픽업 어셈블리(133)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 전자부품을 픽업하여 스캐너(120)를 거쳐 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로 옮기고, 전자부품의 검사 완료 후, 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 제2 트레이 로더(113)의 빈 운반 트레이(115)로 옮긴다.
또한, 이때, 도 1과 도 3을 종합하여 참조하면, 하나의 예에서, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로 픽업 운반 중 스캐너(120)를 거치며 제어유닛(도시되지 않음)에서 역삽입 판단된 전자부품을 제어유닛(도시되지 않음)이 제어에 따라 회수 트레이(170)로 옮긴다. 또한, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제어유닛(도시되지 않음)의 제어에 따라, 전자부품의 검사 완료 후, 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 미통과 제품을 회수 트레이(170)로 옮긴다.
다음, 제2 픽업 어셈블리(133)는 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로부터 전자부품을 테스트 보드(155)로 옮기고 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드(155)로부터 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로 옮긴다.
예컨대, 이때, 도 1 및 3에서, 테스트 보드(155)는 테스트 유닛(150) 상에 배치되고, 이때, 도 3을 참조하면, 테스트 보드(155)는 테스트 보드 적재 유닛(200)으로부터 제공받은 것일 수 있다. 또한, 다른 예에서, 도 2a 및 2b를 참조하면, 테스트 보드(155)는 테스트 유닛(150)이 구비되지 않은 검사용 전자부품 로딩 장치 상에서 테스트 보드 적재 유닛(200)가 도킹되는 부분 측 상에 배치될 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 하나의 예에서, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 피커, 수평 레일(131b, 133b) 및 사이드 가이드 레일(131c, 133c)을 포함할 수 있다. 예컨대, 픽업 어셈블리 유닛(130)이 2개의 픽업 어셈블리(131, 133)로 이루어진 경우 각 픽업 어셈블리(131, 133)는 피커, 수평 레일(131b, 133b) 및 사이드 가이드 레일(131c, 133c)을 포함할 수 있다. 이때, 각 픽업 어셈블리(131, 133)의 사이드 가이드 레일(131c, 133c)은 공통으로 사용될 수 있다.
픽업 어셈블리 유닛(130)의 피커는 전자부품을 픽업한다. 도 1에서, 피커가 명시적으로 명시적으로 도시되지 않았으나, 도면부호 131a, 133a는 피커가 수평레일(131b, 133b)을 따라 이동할 수 있도록 연결된 피커 연결라인을 나타내고, 피커 연결라인(131a, 133a)의 말단에 피커가 형성되게 된다. 도 1을 참조하면, 수평 레일(131b, 133b)은 피커의 수평 방향 이동을 안내한다. 사이드 가이드 레일(131c, 133c)은 수평 레일(131b, 133b)의 수직 방향 이동을 안내한다. 수평 레일(131b, 133b)과 사이드 가이드 레일(131c, 133c)에 의해 피커가 X-Y축 방향으로 움직일 수 있다.
이때, 양측에 형성된 사이드 가이드 레일(131c, 133c)의 사이에 트레이 로더 유닛(110), 트레이 셔틀 유닛(140), 스캐너(120), 테스트 보드(155) 및 회수 트레이(170)가 배치될 수 있다. 이때, 트레이 로더 유닛(110)은 예컨대 적어도 주 승강부(110a) 영역이 양측 사이드 가이드 레일(131c, 133c) 사이에 배치될 수 있다.
다음으로, 도시되지 않았으나, 검사용 전자부품 로딩 장치의 제어유닛을 살펴본다. 제어유닛(도시되지 않음)은 스캐너(120)로부터 스캔 결과를 받는다. 또한, 제어유닛(도시되지 않음)은 적어도 트레이 셔틀 유닛(140) 및 픽업 어셈블리 유닛(130)을 제어한다. 또는, 제어유닛(도시되지 않음)은 트레이 로더 유닛(110)도 제어하여 운반 트레이(115)의 공급 및 반출을 조절할 수 있다.
예컨대, 제어유닛(도시되지 않음)은 스캐너(120)로부터 스캔 결과로부터 전자부품의 역삽입을 판단할 수 있다. 예컨대, 스캔 결과 식별코드가 감지되지 않은 경우, 제어유닛(도시되지 않음)은 전자부품의 픽업 상태가 역삽입으로 판단하여 테스트 보드(155) 또는 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 이송 전에 회수할 수 있다.
또한, 도 1 내지 3을 참조하여 또 하나의 예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치를 살펴본다. 이때, 검사용 전자부품 로딩 장치는 회수 트레이(170)를 더 포함한다. 회수 트레이(170)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 회수되는 전자부품을 회수한다.
이때, 스캐너(120)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 옮겨지는 전자부품의 식별코드를 스캔하고, 제어유닛은 스캐너(120)에 의해 식별코드 미감지된 전자부품을 역삽입으로 판단하고, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 제어유닛의 제어에 따라 역삽입 판단된 픽업 운반 중인 전자부품을 회수 트레이(170)로 옮겨 담는다.
도 1 내지 3을 참조하면, 또 하나의 예에서, 검사용 전자부품 로딩 장치는 테스트 보드 적재 유닛(200)을 더 포함할 수 있다. 테스트 보드 적재 유닛(200)은 검사용 전자부품 로딩 장치의 나머지 부분과 도킹되며 결합되거나 분리될 수 있다. 예컨대, 테스트 보드 적재 유닛(200)은 테스트 보드(155)를 테스트 유닛(150)으로 제공할 수 있다.
또는, 다른 예에서, 도 2a 및 2b를 참조하면, 테스트 보드 적재 유닛(200)은 전자부품을 담은 테스트 보드(155)를 제공받아 적재하고 제2 픽업 어셈블리(133)를 통해 전자부품을 공급받을 빈 테스트 보드(155)를 제공할 수 있다. 예컨대, 이때, 검사용 전자부품 로딩 장치는 테스트 유닛(150)이 구비되지 않은 상태에서 제2 픽업 어셈블리(133)에 의해 전자부품을 공급받은 테스트 보드(155)가 별도의 이송장치 또는 매뉴얼로 테스트 보드 적재 유닛(200)으로 옮겨지고, 테스트 보드 적재 유닛(200) 상의 빈 테스트 보드(155)가 제2 픽업 어셈블리(133)에 의한 전자부품의 실장용으로 별도의 이송장치 또는 매뉴얼로 제공될 수 있다. 또한, 테스트 보드 적재 유닛(200)은 테스트 완료된 전자부품이 실장된 테스트 보드(155)가 적재된 채로 검사용 전자부품 로딩 장치의 나머지 부분에 도킹되고 테스트 완료된 전자부품이 실장된 테스트 보드(155)를 별도의 이송장치 또는 매뉴얼로 반환시킬 수 있다. 이때, 반환된 테스트 보드(155) 상의 검사 완료된 전자부품들은 제2 픽업 어셈블리(133)에 의해 픽업되어 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 옮겨질 수 있다.
다음으로, 본 발명의 또 하나의 모습에 따른 전자부품 테스트 장치를 도면을 참조하여 살펴본다. 이때, 전술한 하나의 모습에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치의 실시예들이 참조될 수 있고, 중복되는 설명들은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 평면 구성도이다.
도 1 및/또는 3을 참조하면, 하나의 예에 따른 전자부품 테스트 장치는 트레이 로더 유닛(110), 트레이 셔틀 유닛(140), 스캐너(120), 픽업 어셈블리 유닛(130), 테스트 유닛(150) 및 제어유닛(도시되지 않음)을 포함한다. 예컨대, 도 1 및/또는 3을 참조하면, 하나의 예에 따른 전자부품 테스트 장치는 회수 트레이(170)를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 하나의 예에 따른 전자부품 테스트 장치는 전술한 예에 따른 검사용 전자부품 로딩 장치에 테스트 유닛(150)을 부가함으로써 형성될 수도 있다. 이하에서 각 구성들을 도면을 참조하여 구체적으로 살펴본다.
먼저, 하나의 예에서 전자부품 테스트 장치는 데이터 저장용 드라이브 기기(도시되지 않음)를 이송하고 픽업하고 스캔하고 테스트하는 장치일 수 있다. 예컨대, 솔리드 스테이트 드라이브(SSD, Solid State Drive)와 같은 드라이브 기기를 이송하고 픽업하고 스캔하고 테스트하는 전자부품 테스트 장치일 수 있다.
도 1 및/또는 3을 참조하면, 트레이 로더 유닛(110)은 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하고 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이(115)를 제공한다.
예컨대, 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛(110)은 2개의 트레이 로더(111, 113)를 구비할 수 있고, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 트레이 로더 유닛(110)은 제1 트레이 로더(111) 및 제2 트레이 로더(113)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 트레이 로더(111)는 전자부품이 담긴 운반 트레이(115)를 제공하고, 제2 트레이 로더(113)는 픽업 어셈블리 유닛(130)으로부터 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이(115)를 제공한다.
도 1 및 3을 참조하면, 또 하나의 예에서, 트레이 로더 유닛(110) 또는 제1 및 제2 트레이 로더(113)는 주 승강부(111a, 113a), 부 승강부(111b, 113b) 및 로테이션부(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 주 승강부(111a, 113a)는 운반 트레이(115)를 하강 또는 상승시킨다. 부 승강부(111b, 113b)는 주 승강부(111a, 113a)와 반대 방향으로 동작한다. 그리고 로테이션부(도시되지 않음)는 각 승강부의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부에서 운반 트레이(115)가 하강 또는 상승 되도록 운반 트레이(115)를 로테이션시킨다. 이때, 제1 트레이 로더(111)의 주 승강부(111a)는 제1 트레이 로더(111)의 부 승강부(111b)로부터 이송받은 최상층 운반 트레이(115)에 담긴 전자부품의 픽업 후 빈 운반 트레이(115)를 순차로 하강시켜 하향 적층시킬 수 있다. 또한, 제2 트레이 로더(113)의 주 승강부(113a)는 제1 픽업 어셈블리(131)에 의해 검사 통과 전자부품을 제공받은 최상층 운반 트레이(115)를 부 승강부(113b)로 이송시키며 주 승강부(113b)의 차상층 빈 운반 트레이(115)를 순차 상승시킬 수 있다.
다음으로, 도 1 및/또는 3을 참조하면, 트레이 셔틀 유닛(140)은 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송시킨다.
예컨대, 도 3을 참조하면, 하나의 예에서, 트레이 셔틀 유닛(140)은 제1 트레이 셔틀(141) 및 제2 트레이 셔틀(143)을 구비할 수 있다. 이때, 제1 트레이 셔틀(141)은 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송한다. 제2 트레이 셔틀(143)은 검사 완료 후 픽업 어셈블리 유닛(130)을 통해 테스트 보드(155)로부터 옮겨지는 전자부품을 셔틀 트레이(145)에 담아 이송한다.
다음으로, 도 1 및/또는 3을 참조하면, 스캐너(120)는 운반 트레이(115)로부터 셔틀 트레이(145)로 옮겨지는 전자부품을 스캔하여 식별 감지한다.
계속하여, 도 1 및/또는 3을 참조하여, 픽업 어셈블리 유닛(130)을 살펴본다.
픽업 어셈블리 유닛(130)은 트레이 로더 유닛(110)의 운반 트레이(115)에 담긴 전자부품을 픽업하여 스캐너(120)를 거쳐 트레이 셔틀 유닛(140)의 셔틀 트레이(145)로 옮겨 담는다. 또한, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 셔틀 트레이(145)에 담긴 전자부품을 픽업하여 테스트 유닛(150)의 테스트 보드(155)로 옮겨 담는다. 또한, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드(155)로부터 셔틀 트레이(145)로 그리고 셔틀 트레이(145)로부터 트레이 로더 유닛(110)의 빈 운반 트레이(115)로 옮긴다.
예컨대, 픽업 어셈블리 유닛(130)은 제1 픽업 어셈블리(131) 및 제2 픽업 어셈블리(133)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 전자부품을 픽업하여 스캐너(120)를 거쳐 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로 옮긴다. 또한, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 제2 트레이 로더(113)의 빈 운반 트레이(115)로 옮긴다. 다음. 제2 픽업 어셈블리(133)는 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로부터 전자부품을 테스트 보드(155)로 옮기고, 검사 완료된 전자부품을 테스트 보드(155)로부터 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로 옮긴다.
또한, 이때, 하나의 예에서, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제1 트레이 로더(111)의 운반 트레이(115)로부터 제1 트레이 셔틀(141)의 셔틀 트레이(145)로의 전자부품 픽업 운반 중 스캐너(120)를 거치며 제어유닛에 의해 역삽입으로 역삽입 판단된 전자부품을 회수 트레이(170)로 옮긴다. 또한, 제1 픽업 어셈블리(131)는 제2 트레이 셔틀(143)의 셔틀 트레이(145)로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 미통과 제품을 회수 트레이(170)로 옮긴다.
또한, 하나의 예에서, 픽업 어셈블리 유닛(130) 또는 제1 및 제2 픽업 어셈블리(133) 각은 피커, 수평 레일(131b, 133b) 및 사이드 가이드 레일(131c, 133c)을 포함할 수 있다. 피커는 전자부품을 픽업한다. 도 1에서, 피커가 명시적으로 명시적으로 도시되지 않았으나, 도면부호 131a, 133a는 피커가 수평레일(131b, 133b)을 따라 이동할 수 있도록 연결된 피커 연결라인을 나타내고, 피커 연결라인(131a, 133a)의 말단에 피커가 형성되게 된다. 수평 레일(131b, 133b)은 피커의 수평 방향 이동을 안내하고, 사이드 가이드 레일(131c, 133c)은 수평 레일(131b, 133b)의 수직 방향 이동을 안내한다. 이때, 양측에 형성된 사이드 가이드 레일(131c, 133c)의 사이에 트레이 로더 유닛(110), 트레이 셔틀 유닛(140), 스캐너(120), 테스트 유닛(150) 및 회수 트레이(170)가 배치될 수 있다.
계속하여, 도 1 및/또는 3을 참조하여 테스트 유닛(150)을 살펴본다. 테스트 유닛(150)은 테스트 보드(155) 및 테스트 기기(도시되지 않음)를 포함한다. 이때, 테스트 보드(155)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 피검사용 전자부품이 탑재된다. 테스트 기기(도시되지 않음)는 테스트 보드(155)에 탑재된 전자부품을 검사한다. 예컨대, 테스트 기기(도시되지 않음)는 테스트 유닛(150) 상의 테스트 보드(155)의 하부에 배치될 수 있다. 테스트 기기(도시되지 않음)는 전자부품의 전류, 전압 등에 대한 검사를 수행한다. 이에 따라 검사 결과에 따라 제어유닛에서 양품 내지 불량 여부를 판단할 수 있다.
다음으로, 도 1 및/또는 3을 참조하면, 제어유닛(도시되지 않음)은 스캐너(120)의 스캔 결과 및 테스트 기기(도시되지 않음)의 검사 결과를 제공받아 판단한다. 또한, 제어유닛(도시되지 않음)은 적어도 트레이 셔틀 유닛(140) 및 픽업 어셈블리 유닛(130)을 제어한다. 예컨대, 제어유닛(도시되지 않음)은 트레이 로더 유닛(110)도 제어할 수 있다.
또한, 도 1 및/또는 3을 참조하여 또 하나의 예를 살펴본다. 이때, 하나의 예에서, 검사용 전자부품 로딩 장치는 회수 트레이(170)를 더 포함할 수 있다. 회수 트레이(170)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 회수되는 전자부품을 회수한다.
이때, 스캐너(120)는 픽업 어셈블리 유닛(130)에 의해 옮겨지는 전자부품의 식별코드를 스캔한다. 또한, 제어유닛(도시되지 않음)은 스캐너(120)에 의해 식별코드 미감지된 전자부품을 역삽입으로 판단한다. 픽업 어셈블리 유닛(130)은 제어유닛의 제어에 따라 운반 트레이(115)에서 셔틀 트레이(145)로 픽업 운반 중인 전자부품 중 역삽입 판단된 전자부품 및 검사 완료된 전자부품이 담겨진 셔틀 트레이(145)로부터 검사 미통과로 판단된 전자부품을 회수 트레이(170)로 옮긴다.
이상에서, 전술한 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 범주를 제한하는 것이 아니라 본 발명에 대한 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자의 이해를 돕기 위해 예시적으로 설명된 것이다. 또한, 전술한 구성들의 다양한 조합에 따른 실시예들이 앞선 구체적인 설명들로부터 당업자에게 자명하게 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다양한 실시예는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 범위는 특허청구범위에 기재된 발명에 따라 해석되어야 하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 다양한 변경, 대안, 균등물들을 포함하고 있다.
110: 트레이 로더 유닛 110a, 111a, 113a: 주 승강부
110b, 111b, 113b: 부 승강부 111: 제1 트레이 로더
113: 제2 트레이 로더 115: 운반 트레이
120: 스캐너 130: 픽업 어셈블리 유닛
131: 제1 픽업 어셈블리 131a, 133a: 피커 연결라인
131b, 133b: 수평 레일 131c, 133c: 사이드 가이드 레일
133: 제2 픽업 어셈블리 140: 트레이 셔틀 유닛
141: 제1 트레이 셔틀 143: 제2 트레이 셔틀
145: 셔틀 트레이 150: 테스트 유닛
155: 테스트 보드 170: 회수 트레이
200: 테스트 보드 적재 유닛

Claims (13)

  1. 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하는 트레이 로더 유닛;
    상기 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송시키는 트레이 셔틀 유닛;
    상기 운반 트레이로부터 상기 셔틀 트레이로 옮겨지는 상기 전자부품을 스캔하여 식별 감지하는 스캐너;
    상기 트레이 로더 유닛의 상기 운반 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 상기 스캐너를 거쳐 상기 트레이 셔틀 유닛의 상기 셔틀 트레이로 옮기고 상기 셔틀 트레이에 담긴 상기 전자부품을 픽업하여 테스트 보드로 옮기는 픽업 어셈블리 유닛;
    상기 스캐너로부터 스캔 결과를 받고 적어도 상기 트레이 셔틀 유닛 및 픽업 어셈블리 유닛을 제어하는 제어유닛; 및
    상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 회수되는 상기 전자부품을 회수하는 회수 트레이;를 포함하고,
    상기 스캐너는 상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 옮겨지는 상기 전자부품의 식별코드를 스캔하고,
    상기 제어유닛은 상기 스캐너에 의해 식별코드 미감지된 상기 전자부품을 역삽입으로 판단하고,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은 상기 제어유닛의 제어에 따라 역삽입 판단된 픽업 운반 중인 상기 전자부품을 상기 회수 트레이로 옮겨 담고,
    상기 트레이 로더 유닛은 상기 전자부품이 담긴 상기 운반 트레이를 제공하는 제1 트레이 로더 및 상기 픽업 어셈블리 유닛으로부터 검사 완료된 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 제2 트레이 로더를 구비하고,
    상기 트레이 셔틀 유닛은 상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 상기 제1 트레이 로더의 상기 운반 트레이로부터 옮겨지는 상기 전자부품을 상기 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제1 트레이 셔틀 및 검사 완료 후 상기 픽업 어셈블리 유닛을 통해 상기 테스트 보드로부터 옮겨지는 상기 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제2 트레이 셔틀을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에서,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은: 상기 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 상기 전자부품을 픽업하여 상기 스캐너를 거쳐 상기 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 그리고 픽업 운반 중 역삽입 판단된 상기 전자부품을 상기 회수 트레이로 옮기고 상기 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 상기 제2 트레이 로더의 빈 운반 트레이로 그리고 검사 미통과 제품을 상기 회수 트레이로 옮기는 제1 픽업 어셈블리; 및 상기 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 상기 전자부품을 상기 테스트 보드로 옮기고 검사 완료된 상기 전자부품을 상기 테스트 보드로부터 상기 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 옮기는 제2 픽업 어셈블리;를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  4. 청구항 3에서,
    상기 검사용 전자부품 로딩 장치는 상기 전자부품을 담은 상기 테스트 보드를 제공받아 적재하고 상기 제2 픽업 어셈블리를 통해 상기 전자부품을 공급받을 빈 상기 테스트 보드를 제공하는 테스트 보드 적재 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  5. 청구항 1에서,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은 상기 전자부품을 픽업하는 피커, 상기 피커의 수평 방향 이동을 안내하는 수평 레일 및 상기 수평 레일의 수직 방향 이동을 안내하는 사이드 가이드 레일을 포함하고,
    양측에 형성된 상기 사이드 가이드 레일의 사이에 상기 트레이 로더 유닛, 트레이 셔틀 유닛, 스캐너, 테스트 보드 및 회수 트레이가 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  6. 청구항 1, 3, 4, 5 중 어느 하나에서,
    상기 트레이 로더 유닛은 상기 운반 트레이를 하강 또는 상승시키는 주 승강부, 상기 주 승강부와 반대 방향으로 동작하는 부 승강부 및 각 승강부의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부에서 상기 운반 트레이가 하강 또는 상승 되도록 상기 운반 트레이를 로테이션시키는 로테이션부를 포함하고,
    상기 주 승강부의 상기 운반 트레이가 하강되는 경우 상기 주 승강부의 최상층 운반 트레이에 담긴 상기 전자부품이 상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 픽업되고 빈 운반 트레이가 순차로 하강되는 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  7. 청구항 1, 3, 4, 5 중 어느 하나에서,
    상기 전자부품은 데이터 저장용 드라이브 기기인 것을 특징으로 하는 검사용 전자부품 로딩 장치.
  8. 전자부품이 담긴 운반 트레이를 제공하고 검사 완료된 상기 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 트레이 로더 유닛;
    상기 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송시키는 트레이 셔틀 유닛;
    상기 운반 트레이로부터 상기 셔틀 트레이로 옮겨지는 상기 전자부품을 스캔하여 식별 감지하는 스캐너;
    상기 트레이 로더 유닛의 상기 운반 트레이에 담긴 전자부품을 픽업하여 상기 스캐너를 거쳐 상기 트레이 셔틀 유닛의 상기 셔틀 트레이로 옮겨 담고 상기 셔틀 트레이에 담긴 상기 전자부품을 픽업하여 테스트 유닛의 테스트 보드로 옮겨 담고 검사 완료된 상기 전자부품을 상기 테스트 보드로부터 상기 셔틀 트레이로 그리고 상기 셔틀 트레이로부터 상기 트레이 로더 유닛의 빈 운반 트레이로 옮기는 픽업 어셈블리 유닛;
    상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 피검사용 전자부품이 탑재되는 상기 테스트 보드 및 상기 테스트 보드에 탑재된 상기 전자부품을 검사하는 테스트 기기를 포함하는 테스트 유닛;
    상기 스캐너의 스캔 결과 및 상기 테스트 기기의 검사 결과를 제공받아 판단하고 적어도 상기 트레이 셔틀 유닛 및 픽업 어셈블리 유닛을 제어하는 제어유닛; 및
    상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 회수되는 상기 전자부품을 회수하는 회수 트레이;를 포함하고,
    상기 스캐너는 상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 옮겨지는 상기 전자부품의 식별코드를 스캔하고,
    상기 제어유닛은 상기 스캐너에 의해 식별코드 미감지된 상기 전자부품을 역삽입으로 판단하고,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은 상기 제어유닛의 제어에 따라 상기 운반 트레이에서 상기 셔틀 트레이로 픽업 운반 중인 상기 전자부품 중 역삽입 판단된 상기 전자부품 및 검사 완료된 상기 전자부품이 담겨진 상기 셔틀 트레이로부터 검사 미통과로 판단된 상기 전자부품을 상기 회수 트레이로 옮기고,
    상기 트레이 로더 유닛은 상기 전자부품이 담긴 상기 운반 트레이를 제공하는 제1 트레이 로더 및 상기 픽업 어셈블리 유닛으로부터 검사 완료된 상기 전자부품을 받아 담는 빈 운반 트레이를 제공하는 제2 트레이 로더를 구비하고,
    상기 트레이 셔틀 유닛은 상기 픽업 어셈블리 유닛에 의해 상기 제1 트레이 로더의 상기 운반 트레이로부터 옮겨지는 상기 전자부품을 상기 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제1 트레이 셔틀 및 검사 완료 후 상기 픽업 어셈블리 유닛을 통해 상기 테스트 보드로부터 옮겨지는 상기 전자부품을 셔틀 트레이에 담아 이송하는 제2 트레이 셔틀을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
  9. 삭제
  10. 청구항 8에서,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은: 상기 제1 트레이 로더의 운반 트레이로부터 상기 전자부품을 픽업하여 상기 스캐너를 거쳐 상기 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 그리고 픽업 운반 중 역삽입 판단된 상기 전자부품을 상기 회수 트레이로 옮기고 상기 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 검사 완료 전자부품 중 검사 통과 제품을 상기 제2 트레이 로더의 빈 운반 트레이로 그리고 검사 미통과 제품을 상기 회수 트레이로 옮기는 제1 픽업 어셈블리; 및 상기 제1 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로부터 상기 전자부품을 상기 테스트 보드로 옮기고 검사 완료된 상기 전자부품을 상기 테스트 보드로부터 상기 제2 트레이 셔틀의 셔틀 트레이로 옮기는 제2 픽업 어셈블리;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
  11. 청구항 8에서,
    상기 픽업 어셈블리 유닛은 상기 전자부품을 픽업하는 피커, 상기 피커의 수평 방향 이동을 안내하는 수평 레일 및 상기 수평 레일의 수직 방향 이동을 안내하는 사이드 가이드 레일을 포함하고,
    양측에 형성된 상기 사이드 가이드 레일의 사이에 상기 트레이 로더 유닛, 트레이 셔틀 유닛, 스캐너, 테스트 유닛 및 회수 트레이가 배치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
  12. 청구항 10에서,
    상기 제1 및 제2 트레이 로더는 상기 운반 트레이를 하강 또는 상승시키는 주 승강부, 상기 주 승강부와 반대 방향으로 동작하는 부 승강부 및 각 승강부의 최상층 및 최하층 트레이를 상대방으로 이송시키며 각 승강부에서 상기 운반 트레이가 하강 또는 상승 되도록 상기 운반 트레이를 로테이션시키는 로테이션부를 포함하고,
    상기 제1 트레이 로더의 상기 주 승강부는 상기 제1 트레이 로더의 상기 부 승강부로부터 이송받은 최상층 운반 트레이에 담긴 상기 전자부품의 픽업 후 빈 운반 트레이를 순차로 하강시켜 하향 적층시키고,
    상기 제2 트레이 로더의 상기 주 승강부는 상기 제1 픽업 어셈블리에 의해 검사 통과 전자부품을 제공받은 최상층 운반 트레이를 상기 부 승강부로 이송시키며 상기 주 승강부의 차상층 빈 운반 트레이를 순차 상승시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
  13. 청구항 8, 10, 11, 12 중 어느 하나에서,
    상기 전자부품은 데이터 저장용 드라이브 기기인 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200121190A (ko) 2019-04-15 2020-10-23 주식회사 아테코 테스트 트레이 비전 검사기능이 구비된 전자부품 테스트 핸들러
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KR102227346B1 (ko) 2019-11-07 2021-03-12 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러
KR20210044110A (ko) 2019-10-14 2021-04-22 주식회사 아테코 테스트트레이 및 이를 이용한 테스트 핸들러
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109720817A (zh) * 2019-02-18 2019-05-07 东莞科视自动化科技有限公司 一种pcb在线检测设备及其检测方法
KR102627016B1 (ko) * 2022-09-26 2024-01-19 에스에스오트론 주식회사 반도체 칩의 트레이 이송장치

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210071932A (ko) 2019-04-15 2021-06-16 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
US11965926B2 (en) 2019-04-15 2024-04-23 Ateco Inc. Electronic component test handler having flying scan function
US11802906B2 (en) 2019-04-15 2023-10-31 Ateco Inc. Electronic component test handler having hand teaching function and hand teaching method using same
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US11802907B2 (en) 2019-04-15 2023-10-31 Ateco Inc. Stacker of electronic component test handler, and electronic component test handler including same
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