KR100815131B1 - 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러 - Google Patents

트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러 Download PDF

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Abstract

본 발명은 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것으로, 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 로딩부와, 상기 반도체 소자를 테스트하기 위해 테스트부에서 픽업이 모두 완료된 빈 트레이를 적재하는 엠프티적재부와, 상기 테스트부로 전달되지 못한 상기 반도체 소자를 회수하는 반도체 회수부와, 테스트가 수행된 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 언로딩부를 포함하는 트레이 로딩/언로딩장치를 구성하고, 상기 로딩부에 적재된 트레이를 픽업하여 상기 트레이 로딩/언로딩장치의 각 부를 따라 왕복운동되는 이송장치와, 상기 이송장치를 따라 이동되는 상기 트레이에 적재된 반도체 패키지를 개별적으로 픽업하는 픽커장치를 포함하는 테스트 핸들러이다.
본 발명에 의하면, 반도체 소자를 픽업하여 테스트를 수행하기 전에 상기 반도체 소자를 픽업하지 못한 트레이는 반도체 회수부에서 트레이와 반도체 소자를 분리시킬 수 있다.
Figure R1020060097131
테스트, 핸들러, 스택커, 스태커, 적재부, 테스트

Description

트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러{Tray Loading/Un Loading Device and Test Handler Comprising the Same}
도 1은 종래의 반도체 소자를 테스트하는 핸들러 구성의 일예를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 도 1의 테스트 핸들러에 구비된 트레이 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도,
도 3은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 사시도,
도 4는 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 정면도,
도 5는 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치에 구비된 반도체 회수부의 사시도,
도 6은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치에 구비된 반도체 회수부의 평면도,
도 7은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치에 구비된 반도체 회수부의 정면도,
도 8은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치에 구비된 반도체 회수부의 측면도,
도 9는 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치에 구비된 반도체 회수부가 동작된 상태를 도시한 사시도,
도 10은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치가 구비된 테스트 핸들러의 개략적인 사시도,
도 11은 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치가 구비된 테스트 핸들러의 정면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 트레이 로딩/언로딩장치 100 : 로딩부
200 : 엠프티적재부 300 : 언로딩부
400 : 반도체회수부 410 : 지지체
420 : 회동부 420' : 플레이트
421 : 힌지 430 : 구동부
440 : 가이드부 450 : 클램프
460a : 트레이감지센서 460b : 회동감지센서
470 : 반도체 저장부 500 : 멀티적재부
600 : 이송장치 700 : 픽커장치
800 : 버퍼부 T1,T1',T2,T2',T3 : 트레이
PKG : 반도체 소자 1000 : 테스트 핸들러
본 발명은 트레이에 안착된 반도체 소자의 테스트를 수행하는 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 소자를 픽업하여 검사하는 과정에서 픽업되지 못한 반도체 소자를 트레이와 분리시키는 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자 등의 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 최종 제품이 완성된다. 그리고, 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되는 장치가 핸들러(Handler)이다.
이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하여 상기 반도체 소자 및 모듈 등이 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
첨부된 도 1은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러 구성의 일예를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 테스트 핸들러에 구비된 트레이 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도이다.
도시된 도면에서 보는 바와 같이, 핸들러의 전방부에는 트레이 로딩/언로딩장치(10)가 설치된다. 상기 트레이 로딩/언로딩장치(10)는 로딩스택커(11)와 언로 딩스택커(12)로 구성된다. 상기 로딩스택커(11)는 테스트할 반도체 소자들이 다수개 수납되어 있는 트레이들이 적재되는 것이다.
또한, 상기 언로딩스택커(12)는 로딩스택커(11)의 일 측부에 구비되고, 테스트가 완료된 반도체 소자들이 테스트 결과에 따라 분류되어 고객용 트레이에 수납되는 것이다.
그리고, 핸들러의 중간 부분의 양 측부에는 상기 로딩스택커(11)로부터 이송되어 온 반도체 소자들을 일시적으로 장착하는 복수개의 버퍼(13)가 설치되어 있다. 이들 버퍼(13) 사이에는 테스트할 반도체 소자를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이(T)의 테스트 완료된 반도체 소자를 버퍼(13)로 반송하여 장착하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(14)가 설치되어 있다.
상기 로딩스택커(11) 및 언로딩스택커(12)가 배치된 핸들러 전방부와, 상기 교환부(14) 및 버퍼(13)에 배치된 핸들러의 중간부 사이에는 X-Y축으로 선형 운동하며 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 제 1픽커(15)(picker)와 제 2픽커(16)가 각각 설치된다. 상기 제 1픽커(15)는 로딩스택커(11) 및 언로딩스택커(12)와 버퍼(13) 사이를 이동하며 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 역할을 하고, 상기 제 2픽커(16)는 X축 방향으로 이동하면서 버퍼(13)과 교환부(14)의 반도체 소자들을 픽업하여 이송하는 역할을 한다.
이러한 상기 핸들러의 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 대한민국 특허 등록번호 제031280호와 제0551996호를 참조하도록 하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 전술한 바와 같이 구성된 종래의 스택커 및 이를 포함하는 테스트 핸들러는 상기 제1픽커(15)가 로딩스택커(11) 및 언로딩스택커(12)와 버퍼 사이를 이동하면서 반도체 소자를 픽업하게 되는데, 이때, 상기 제1픽커(15)가 상기 반도체 소자를 픽업하지 못하는 경우가 발생된다.
즉, 상기 제1픽커(15)는 상기 반도체 소자를 개별적으로 진공 흡착하게 되는데, 이러한 공정이 매우 신속하게 이루어지고 상기 반도체 소자의 크기가 매우 작은 크기를 갖기 때문에 상기한 바와 같은 문제점이 발생되고 있는 것이다.
현재 이러한 문제점을 해결하기 위해서 버퍼 및 픽커(15)장치의 개량화로 반도체 소자의 픽업 에러를 최소화하고 있으나 픽업 에러를 0%화 할 수 없는 것이 현실이다.
따라서, 제1픽커(15)가 픽업하지 못한 반도체 소자는 트레이에 그대로 안착된 상태에서 별도의 회수부에 적재시킨 뒤 작업자가 일괄적으로 빼낸 후 수작업에 의해서 상기 반도체 소자를 분리시키고 있다.
그러므로, 반도체 소자를 제조하는 시간 및 픽업, 검사의 에러가 발생되고 있는 것이다.
즉, 별도의 회수부에 적재되는 허용 수량을 초과하게 되면 로딩스택커(11)와 언로딩스택커(12)가 적재를 중단하게 되고, 이는 테스트 핸들러의 전체 공정이 정지하게 되는 문제점이 발생되는 것이다. 따라서, 작업자는 상기 테스트 핸들러의 장비에 항상 대기 상태로 있어야만 하고, 상기 회수부에 트레이가 적재량을 초과하지 않도록 수시로 빼내야만 하는 것이다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 픽커장치가 픽업하지 못한 반도체 소자를 트레이에서 분리시킬 수 있는 트레이 로딩/언로딩장치를 제공하는 데 있다.
또한, 반도체 소자가 분리된 빈 트레이를 별도의 적재부로 이송시켜 반도체 소자를 상기 트레이에 안착시킬 수 있는 트레이 로딩/언로딩장치를 제공하는 데 있다.
그리고, 픽업되지 못한 반도체 소자를 트레이에서 분리시키는 공정과, 빈 트레이를 적재부로 이송시키는 공정을 자동화로 구현할 수 있는 트레이 로딩/언로딩장치를 제공하는 데 있다.
뿐만 아니라, 상기한 바와 같은 목적을 갖는 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러를 제공하는 데 다른 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치는, 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 로딩부; 상기 반도체 소자를 테스트하기 위해 테스트부에서 픽업이 모두 완료된 빈 트레이를 적재하는 엠프티적재부; 상기 테스트부로 전달되지 못한 상기 반도체 소자를 회수하는 반도체 회수부; 테스트가 수행된 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 언로딩부;를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도 체 회수부는, 상기 트레이를 일측 방향으로 회동시켜 상기 반도체 소자를 상기 트레이와 분리시킨다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 트레이를 일측 방향으로 회동시키는 구동부; 상기 구동부의 동작에 따라 상기 트레이가 회동되고, 상기 반도체 소자를 수용하는 반도체 저장부;가 더 포함된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 트레이 로딩/언로딩장치는, 상기 트레이를 개별적으로 픽업/이송하는 이송장치;가 더 포함된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송장치는, 상기 반도체 소자의 픽업이 완료된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송하고, 적어도 하나 이상의 상기 반도체 소자의 픽업을 수행하지 못한 트레이를 상기 반도체 회수부로 이송된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 트레이 로딩/언로딩장치는, 검사가 완료된 반도체 소자를 트레이에 안착시키기 위한 버퍼부;가 더 구비된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송장치는, 상기 엠프티적재부에 적재된 상기 빈 트레이를 상기 버퍼부로 이송한다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 엠프티적재부는 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에 배치되고, 상기 반도체 회수부는 상기 언로딩부와 인접되도록 배치되며, 상기 언로딩부는, 상기 반도체 소자를 개별 적으로 픽업하여 검사를 수행한 후 양품 등급에 따라 트레이를 분류하여 적재한다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러는, 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 로딩부; 상기 반도체 소자를 테스트하기 위한 테스트부; 상기 테스트부에서 픽업이 모두 완료된 빈 트레이를 적재하는 엠프티적재부; 상기 테스트부로 전달되지 못한 상기 반도체 소자를 회수하는 반도체 회수부; 테스트가 수행된 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 언로딩부;를 포함하는 트레이 로딩/언로딩장치; 및 상기 트레이에 적재된 반도체 소자를 개별적으로 픽업하는 픽커장치;를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도체 회수부는, 상기 트레이를 일측 방향으로 회동시키는 구동부; 상기 구동부의 동작에 따라 상기 트레이가 회동되고, 상기 반도체 소자를 수용하는 반도체 저장부;가 더 포함된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도체 회수부는, 수직으로 설치되어 상기 반도체 소자의 낙하를 유도하는 가이드부;가 더 포함된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도체 회수부는, 상기 트레이를 고정/분리하는 클램프;가 더 구비된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도체 회수부는, 상기 트레이가 적재된 상태를 감지하는 트 레이감지센서;가 더 구비된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 언로딩부는, 상기 반도체 소자의 양품 등급에 따라 소량의 반도체 소자를 적재시키는 멀티적재부;가 더 포함된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송장치는, 상기 반도체 소자의 픽업이 완료된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송하고, 적어도 하나 이상의 상기 반도체 소자의 픽업을 수행하지 못한 트레이는 상기 반도체 회수부로 이송된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송장치는, 상기 반도체 회수부에서 상기 반도체 소자가 분리된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송한다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 테스트 핸들러는, 검사가 완료된 반도체 소자를 트레이에 안착시키기 위한 버퍼부;가 더 구비된다.
본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치를 포함하는 테스트 핸들러의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 이송장치는, 상기 엠프티적재부에 적재된 상기 빈 트레이를 상기 버퍼부로 이송한다.
한편, 본원발명의 스태커장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러의 트레이 이송방법은, 로딩부에 적재되고 반도체 소자가 안착된 트레이를 이송장치가 개별적으로 픽업하는 단계; 상기 트레이에 안착된 반도체 소자를 픽커장치가 픽업하여 테스 트부로 이송하여 반도체 소자의 테스트를 수행하는 단계; 테스트가 완료된 상기 반도체 소자의 양품 등급에 따라 분류된 트레이를 상기 이송장치가 언로딩부로 적재하는 단계; 상기 픽커장치가 상기 반도체 소자를 픽업하지 못한 트레이를 상기 이송장치가 반도체 회수부로 공급하는 단계; 및 상기 반도체 회수부로 공급된 트레이에 안착된 반도체 소자를 분리하는 단계;를 갖는다.
이러한 테스트 핸들러의 트레이 이송방법에 있어서, 상기 단계들 중 어느 하나의 단계에서 빈 트레이를 엠프티적재부로 이송하는 단계;를 더 포함한다.
또한, 테스트 핸들러의 트레이 이송방법에 있어서, 상기 반도체 회수부에 이송된 트레이를 일측 방향으로 회동시키는 단계; 상기 트레이에 적재된 반도체 소자가 낙하되어 반도체 저장부에 수용되는 단계;를 더 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러의 구성 및 작용을 설명하면 다음과 같다.
도시된 도 3과 도 4에서 보는 바와 같이, 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치(10)는 로딩부(100), 엠프티적재부(200), 언로딩부(300), 반도체 회수부로(400) 크게 구성된다.
상기 로딩부(100)는 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이(T1)를 수납하는 공간이고, 상기 언로딩부(300)는 검사가 완료된 반도체 소자가 안착된 트레이(T2)를 수납하는 공간이다. 상기 로딩부(100)와 상기 언로딩부(300)는 종래의 기술을 참조하도록 하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 엠프티적재부(200)는 빈 트레이(T3)를 수납하는 공간이다. 즉, 로딩부(100)에서 픽업된 후의 각 공정에서 상기 트레이(T1)에 안착된 반도체 소자가 완전히 픽업된 빈 트레이(T3)를 수납하는 공간이다. 이러한 엠프티적재부(200)의 작용 설명은 후술하도록 한다.
한편, 도시된 도 5내지 도 8에서 보는 바와 같이, 상기 반도체 회수부(400)는 지지체(410), 회동부(420), 구동부(430), 가이드부(440), 클램프(450), 트레이감지센서(460a), 반도체 저장부(470)를 포함한다.
상기 지지체(410)는 트레이 로딩/언로딩장치(10)에 결합되거나, 상기 트레이 로딩/언로딩장치(10)의 일부분이 될 수 있다. 그러나, 도시된 도면에서는 별도의 부재로 구성하여 상기 지지체(410)를 상기 트레이 로딩/언로딩장치(10)에 결합되도록 하였다. 이 지지체(410)는 평판의 플레이트 형상을 가지며 각종 부재들을 지지하는 역할을 한다.
상기 회동부(420)는 트레이(T1')가 일시적으로 안착될 수 있도록 하는 평판의 플레이트(420')로 구성된다. 그리고, 상기 회동부(420)는 일측 방향으로 회동될 수 있도록 마주보는 길이 방향으로 힌지(421)가 구비되어 있다. 즉, 상기 회동부(420)는 그 일측이 상기 힌지(421)에 의해서 상기 지지체(410)에 고정된다. 여기서, 상기 트레이(T1')는 픽업되지 못한 반도체 소자(PKG)가 구비된 트레이(T1')이다.
상기 구동부(430)는 실린더로 구비될 수 있으며, 모터로 구비될 수도 있다. 상기 구동부(430)는 상기 지지체(410)의 일측 상면에 설치되고, 실질적으로 상기 회동부(420)를 구동하기 위한 수단이다. 상기 구동부(430)가 모터로 구비될 경우, 그 회전축에는 주동기어가 결합된다. 그리고, 상기 주동기어와 맞물리도록 상기 회동부(420)에 형성된 힌지(421)에는 종동기어가 결합된다. 상기 주동기어와 상기 종동기어는 감속기어로 구비되는 것이 바람직하다.
상기 가이드부(440)는 상기 지지체(410)의 일측에서 수직 방향으로 설치된다. 이 가이드부(440)의 하단은 상기 지지체(410)와 일부분이 이격된 상태로 결합 된다. 상기 가이드부(440)는 반도체 소자(PKG)를 트레이에서 분리할 때, 하측으로 낙하될 수 있도록 안내역할을 하는 것이다. 즉, 상기 가이드부(440)는 그 높이가 트레이(T1') 또는 상기 회동부(420)보다 높게 구비되어 상기 반도체 소자(PKG)가 자유 낙하될 수 있도록 하는 것이다.
상기 클램프(450)는 전술된 상기 회동부(420)에 설치된다. 상기 클램프(450)는 상기 회동부(420)에 안착되어지는 트레이(T1')의 양 끝단을 일시적으로 잡아주기 위한 역할을 한다. 이 클램프(450)는 한 쌍으로 구비되고, 서로 마주보는 형태로 배치된다. 그리고, 상기 클램프(450)는 상기 트레이(T1')의 양측에서 각각 내ㆍ외측 방향으로 슬라이딩 된다. 따라서, 상기 트레이(T1')를 일시적으로 잡아주거나 분리시키게 된다.
상기 트레이감지센서(460a)는 상기 회동부(420)의 하측에 설치된다. 상기 트레이감지센서(460a)는 상기 트레이(T1')가 상기 회동부(420)에 안착된 유ㆍ무를 판단하고, 그 결과에 따라 상기 구동부(430)를 동작하기 위한 것이다. 따라서, 별도의 제어부(미도시)와 연결되고 상기 트레이(T1')가 상기 회동부(420)에 안착되면 상기 구동부(430)를 동작하기 위한 것이다. 또한, 상기 회동부(420)의 일측에는 회동감지센서(460b)가 설치되어 상기 회동부 및 가이드부(440)가 회동된 상태를 감지하는 역할을 한다. 이러한 센서는 각종 기계분야에서 널리 사용되고 있는 것이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 반도체 저장부(470)는 상기 지지체(410)의 하측에 설치된다. 즉, 상기 회동부(420)가 회동되면 상기 가이드부(440)를 따라 하측으로 자유낙하 되는 반도체 소자를 수용하기 위한 것이다.
상기한 바와 같이 구성된 반도체 회수부(400)가 트레이 로딩/언로딩장치(10)에 설치된다. 즉, 전술되어진 언로딩부(300)와 인접된 위치에 설치되는 것이다.
한편, 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치(10)에는 멀티적재부(500)가 더 구비된다. 상기 멀티적재부(500)는 검사가 완료된 반도체 소자의 양품 등급에 따라 분류되는 소량의 반도체 소자를 적재하는 것이다.
또한, 상기 트레이 로딩/언로딩장치(10)는 이송장치(600)와 버퍼부(800)를 더 포함한다. 상기 이송장치(600)는 트레이(T1, T1', T2, T3)를 개별적으로 픽업하고 이송하는 장치이다. 여기서, 상기 이송장치(600)는 로딩부(100)에 적재된 트레이(T1)를 픽업하여 버퍼부(800)로 이송하고, 검사가 완료된 트레이(T2)를 픽업하여 양품 등급에 따라 언로딩부(300)에 적재시키는 역할을 한다.
상기 이송장치(600)에 의해서 로딩부(100)에서 픽업된 트레이(T1)는 상기 버퍼부(800)로 이송되는데, 상기 버퍼부(800)에서는 픽커장치(700)가 상기 트레이(T2)에 안착된 반도체 소자(PKG)를 개별적으로 픽업하여 또 다른 트레이에 적재시키게 된다. 여기서, 상기 로딩부(100)에 적재된 트레이(T1)는 커스터머 트레이이고, 버퍼부(800)에서 픽업되어 공정챔버(검사부)로 이송되는 트레이는 테스트 트레이이다.
뿐만 아니라, 상기 이송장치(600)는 반도체 소자의 픽업 에러가 발생된, 즉 상기 픽커장치(700)가 반도체 소자(PKG)를 한 개라도 픽업하지 못한 트레이(T1')가 있을 경우, 이 트레이(T1')를 반도체 회수부(400)로 전달하는 역할도 한다.
그리고, 상기 이송장치(600)는 상기 픽커장치(700)가 반도체 소자(PKG)를 모두 픽업한 빈 트레이(T3)를 엠프티적재부(200)로 이송시키는 역할도 한다.
또한, 상기 이송장치(600)는 검사가 완료된 트레이(T2')를 멀티적재부(500)로 공급하는 역할도 한다. 즉, 상기 이송장치(600)는 트레이 로딩/언로딩장치(10)에서 트레이(T1, T1', T2, T2', T3)를 각 부로 전달하는 역할을 모두 수행하게 되는 것이다.
한편, 전술된 버퍼부(800)는 한 개 또는 다수개로 구성될 수 있다. 즉, 로딩부(100)에서 픽업된 트레이(T1)를 픽커장치(700)로 이송시킨 후 상기 픽커장치(700)가 상기 트레이(T1)에 안착된 반도체 소자(PKG)를 개별적으로 픽업하거나, 검사가 완료된 반도체 소자를 픽커장치(700)가 개별적으로 픽업하여 양품 등급에 따라 상기 버퍼부(800)에서 분류시킨 후, 상기 버퍼부(800)에 안착된 반도체 소자(PKG)를 개별적으로 다시 픽업하여 트레이에 안착시키는 것이다. 따라서, 상기 버퍼부(800)는 다수개로 구성되는 것이 매우 바람직하다.
한편, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러의 사용상태 설명은 다음과 같다.
먼저, 로딩부(100)에 적재된 다수개의 트레이(T1)는 반도체 소자(PKG)를 테스트하기 위한 트레이(T1)들이다. 이송장치(600)가 상기 트레이(T1)를 개별적으로 픽업하여 픽커장치(700)로 이송한다. 그리고, 상기 픽커장치(700)는 상기 트레이(T1)에 안착된 반도체 소자(PKG)들을 개별적으로 픽업하여 버퍼부(800)에 안착시키거나, 픽업된 반도체 소자(PKG)를 테스트 트레이에 안착시키게 된다.
상기 테스트 트레이에 반도체 소자(PKG)가 모두 안착되면 상기 반도체 소자(PKG)를 테스트하기 위한 테스트부(공정 챔버)로 이송된다. 이후, 상기 테스트부에서는 상기 반도체 소자(PKG)의 테스트를 수행하게 된다. 즉, 고온 및 저온 등 다양한 조건에서 상기 반도체 소자(PKG)들을 테스트하는 것이다.
이때, 상기 픽커장치(700)는 상기 트레이에서 반도체 소자(PKG)를 모두 픽업할 경우와, 상기 반도체 소자(PKG)를 한 개라도 픽업하지 못하는 경우가 발생 된다.
전자의 경우, 상기 트레이는 빈 트레이(T3)가 되기 때문에, 상기 이송장치(600)는 이 빈 트레이(T3)를 엠프티적재부(200)로 이송시킨다.
후자의 경우, 상기 트레이는 반도체 소자(PKG)가 픽업되지 못한 트레이(T1')가 되기 때문에, 이러한 트레이는 반도체 회수부(400)로 이송시킨다.
상기 엠프티적재부(200)에 이송된 트레이(T3)는 검사가 완료된 반도체 소자(PKG)를 안착시켜 언로딩부(300)로 이송시키기 위한 트레이(T3)이다. 즉, 상기 엠프티적재부(200)에 적재된 트레이(T3)는 재활용하기 위한 트레이이다.
종래에는 작업자가 빈 트레이를 일정한 개수만큼 상기 엠프티적재부(200)로 일괄적으로 공급하였으나, 본 발명에서는 상기 이송장치(600)를 이용하여 빈 트레이를 상기 엠프티적재부(200)로 자동 공급/픽업하는 것이다.
한편, 상기 반도체 회수부(400)로 공급된 트레이(T1')는 각각 개별적으로 회동시켜 반도체 소자(PKG)를 상기 트레이(T1')에서 분리시키는 공정을 진행한다. 즉, 전술되어진 회동부(420)에 상기 트레이(T1')가 안착되면 트레이감지센서(460a)가 이를 감지하여 구동부(430)가 동작된다. 이후, 상기 구동부(430)의 동작에 따라 상기 회동부(420)가 일측 방향으로 회동된다. 이때, 상기 회동부(420)의 회동각은 수평상태에서 일측 방향으로 90°회동되어 상기 트레이(T1')에서 픽업되지 못한 반도체 소자(PKG)가 가이드부(440)를 따라 하측 방향으로 자유낙하 된다. 이 반도체 소자(PKG)는 반도체 저장부(470)에 저장되고, 추후에 별도의 공정을 통해 반도체 소자(PKG)의 테스트를 수행하게 된다.
이러한 공정을 마치게 되면, 상기 반도체 회수부(400)에 위치된 트레이(T1')는 빈 트레이가 된다. 이 빈 트레이는 이송장치(600)가 픽업하여 엠프티적재부(200)로 이송시킨다.
한편, 검사가 완료된 반도체 소자(PKG)는 픽커장치(700)에 의해서 개별적으로 버퍼부(800)에 놓여진다. 이때, 상기 반도체 소자(PKG)는 그 양품 등급에 따라 분류되어 다수개의 버퍼부(800)에 각각 놓여지게 된다. 그리고, 버퍼부(800)에 놓여진 반도체 소자(PKG)는 트레이에 개별적으로 적재되어 언로딩부(300)로 각각 공급되는 것이다.
즉, 이송장치(600)는 엠프티적재부(200)에 적재된 빈 트레이(T3)를 개별적으로 픽업하여 상기 버퍼부(800)에 놓여진 반도체 소자(PKG)를 트레이에 안착시킬 수 있도록 상기 빈 트레이(T3)를 공급하게 된다.
다수개의 트레이에서 등급별로 안착된 트레이를 상기 이송장치(600)가 픽업하여 다수개의 적재부를 갖고 있는 언로딩부(300)로 각각 공급하게 되는 것이다.
한편, 검사가 완료된 반도체 소자의 등급에 따라 소량으로 발생되는 반도체 소자(PKG)는 각각 트레이에 안착된 상태에서 멀티적재부(500)로 공급하게 된다. 이 멀티적재부(500)로 공급하는 것 또한 상기 이송장치(600)가 수행하게 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 반도체 소자를 픽업하지 못한 트레이는 반도체 회수부(400)로 공급되어 반도체 소자(PKG)를 트레이(T1')에서 자동으로 분리시킬 수가 있다.
그리고, 이송장치(600)는 로딩부(100), 엠프티적재부(200), 언로딩부(300), 반도체 회수부(400), 멀티적재부(500) 의 각 부에 해당되는 트레이(T1, T1', T2, T2', T3)의 이동을 모두 자동으로 수행하게 된다. 또한, 상기 이송장치(600)는 로딩부(100)와 픽커장치(700), 언로딩부(300)와 픽커장치(700), 또는 언로딩부(300)와 버퍼부(800)에 트레이를 공급하는 역할도 하는 것이다. 상기 이송장치(600)는 본 발명의 스택커 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에서 그 개수를 한정하지 않았지만 다수개로 구성될 수도 있다. 즉, 각 부에 트레이를 공급하는 이송장치(600)와, 로딩ㆍ언로딩부(100,300)와 픽커장치(700), 또는 로딩ㆍ언로딩부(100,300)와 버퍼부(800)에 트레이를 공급하는 이송장치(600)로 구분될 수도 있는 것이다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러는, 반도체 소자를 픽업하여 테스트를 수행하기 전에 상기 반도체 소자를 픽업하지 못한 트레이는 반도체 회수부에서 트레이와 반도체 소자를 분리시킬 수 있다.
또한, 반도체 소자의 픽업이 완료된 트레이는 엠프티적재부로 이송하여 후속공정, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자를 안착시킬 수 있는 버퍼부로 공급할 수 있다.
그리고, 반도체 회수부에서 반도체와 트레이가 분리된 빈 트레이는 엠프티적재부로 이송시킬 수가 있다.

Claims (18)

  1. 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 로딩부;
    상기 반도체 소자를 테스트하기 위해 테스트부에서 픽업이 모두 완료된 빈 트레이를 적재하는 엠프티적재부;
    상기 테스트부로 전달되지 못한 상기 반도체 소자를 회수하는 반도체 회수부;
    테스트가 수행된 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 언로딩부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 로딩/언로딩장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    상기 트레이를 일측 방향으로 회동시켜 상기 반도체 소자를 상기 트레이와 분리시키는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    상기 트레이를 일측 방향으로 회동시키는 구동부; 및
    상기 구동부의 동작에 따라 상기 트레이가 회동되어 낙하되는 상기 반도체 소자를 수용하는 반도체 저장부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 트레이 로딩/언로딩장치는,
    상기 트레이를 개별적으로 픽업/이송하는 이송장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 이송장치는,
    상기 반도체 소자의 픽업이 완료된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송하고,
    적어도 하나 이상의 상기 반도체 소자의 픽업을 수행하지 못한 트레이를 상기 반도체 회수부로 이송하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 트레이 로딩/언로딩장치는,
    검사가 완료된 반도체 소자를 트레이에 안착시키기 위한 버퍼부;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 이송장치는,
    상기 엠프티적재부에 적재된 상기 빈 트레이를 상기 버퍼부로 이송하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  8. 제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 엠프티적재부는 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에 배치되고,
    상기 반도체 회수부는 상기 언로딩부와 인접되도록 배치되며,
    상기 언로딩부는,
    상기 반도체 소자를 개별적으로 픽업하여 검사를 수행한 후 양품 등급에 따라 트레이를 분류하여 적재하는 것을 특징으로 하는 상기 트레이 로딩/언로딩장치.
  9. 검사 전의 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 로딩부;
    상기 반도체 소자를 테스트하기 위한 테스트부;
    상기 테스트부에서 픽업이 모두 완료된 빈 트레이를 적재하는 엠프티적재부;
    상기 테스트부로 전달되지 못한 상기 반도체 소자를 회수하는 반도체 회수부;
    테스트가 수행된 반도체 소자가 안착된 트레이를 적재하는 언로딩부;를 포함하는 트레이 로딩/언로딩장치; 및
    상기 트레이에 적재된 반도체 소자를 개별적으로 픽업하는 픽커장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    상기 트레이를 일측 방향으로 회동시키는 구동부; 및
    상기 구동부의 동작에 따라 상기 트레이가 회동되어 낙하되는 상기 반도체 소자를 수용하는 반도체 저장부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    수직으로 설치되어 상기 반도체 소자의 낙하를 유도하는 가이드부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    상기 트레이를 고정/분리하는 클램프;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  13. 제 9항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반도체 회수부는,
    상기 트레이가 적재된 상태를 감지하는 트레이감지센서;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 언로딩부는,
    상기 반도체 소자의 양품 등급에 따라 소량의 반도체 소자를 적재시키는 멀티적재부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  15. 제 9항에 있어서,
    상기 트레이 로딩/언로딩 장치는,
    상기 반도체 소자의 픽업이 완료된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송하고, 적어도 하나 이상의 상기 반도체 소자의 픽업을 수행하지 못한 트레이를 상기 반도체 회수부로 이송하는 이송장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 이송장치는,
    상기 반도체 회수부에서 상기 반도체 소자가 분리된 빈 트레이를 상기 엠프티적재부로 이송하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 테스트 핸들러는,
    검사가 완료된 반도체 소자를 트레이에 안착시키기 위한 버퍼부;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 이송장치는,
    상기 엠프티적재부에 적재된 상기 빈 트레이를 상기 버퍼부로 이송하는 것을 특징으로 하는 상기 테스트 핸들러.
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