KR100312860B1 - 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커 - Google Patents

번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커 Download PDF

Info

Publication number
KR100312860B1
KR100312860B1 KR1019990014906A KR19990014906A KR100312860B1 KR 100312860 B1 KR100312860 B1 KR 100312860B1 KR 1019990014906 A KR1019990014906 A KR 1019990014906A KR 19990014906 A KR19990014906 A KR 19990014906A KR 100312860 B1 KR100312860 B1 KR 100312860B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sorting
tray
burn
picker
pickup
Prior art date
Application number
KR1019990014906A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20000067263A (ko
Inventor
정기현
이기현
Original Assignee
정문술
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업 주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR1019990014906A priority Critical patent/KR100312860B1/ko
Publication of KR20000067263A publication Critical patent/KR20000067263A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100312860B1 publication Critical patent/KR100312860B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 번인 테스터용 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼(transfer) 기능을 갖는 소팅 픽커에 관한 것으로, 테스트 결과에 따라 소팅부측으로 디바이스를 소팅하는 소팅 픽커에 적재스택커내의 빈 트레이를 운반하는 트랜스퍼 픽업을 구비하여 소팅부상의 트레이내에 디바이스가 가득 채워지더라도 작업자가 소팅부로부터 트레이를 교체하지 않고도 계속적인 동작이 가능해지도록 한 것이다.
이를 위해, 테스트 결과 불량으로 판정된 디바이스를 등급별로 분류하여 소팅하는 소팅부(22)가 구비되고 소팅부의 상측에는 불량 디바이스를 소팅부의 트레이(32)로 이송시키는 소팅 픽커(48)가 X - Y축(16)을 따라 이동 가능하게 설치된 번인 테스터용 소팅 핸들러에 있어서, X - Y축을 따라 이동하는 설치판(17)과, 상기 설치판에 승강가능하게 설치된 승강블럭(18)과, 상기 설치판 및 승강블럭사이에 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 안내부재(20)와, 상기 설치판에 설치되어 승강블럭을 설정된 범위내에서 승강운동시키는 구동수단과, 상기 승강블럭의 하단에 소팅 픽커(48)의 상사점보다 낮고, 하사점보다는 높은 위치가 되게 설치되어 적재스택커(31)내의 빈 트레이(32)를 홀딩하는 홀딩수단으로 구성된 것이다.

Description

번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커{sorting picker with function for transjerring tray of sorting handler in Burn-In tester}
본 발명은 생산 완료된 디바이스(device)의 전기적인 특성을 테스트할 때, 사용되는 번인 테스터용 소팅 핸들러(Burn-in tester sorting handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 디바이스의 반복적인 테스트로 소팅(sorting)되는 디바이스가 소팅부의 트레이내에 가득 채워지더라도 소팅부로부터 트레이를 교체하지 않고도 적재스택커내의 빈 트레이를 순차적으로 홀딩하여 소팅부측으로 공급할 수 있도록 하는 번인 테스터용 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼(transfer) 기능을 갖는 소팅 픽커에 관한 것이다.
도 1은 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 나타낸 평면도이고 도 2는 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도로서, 그 구성을 설명하면 다음과 같다.
본체(1)의 상부 일측에 번인보드 로더부(2)와 언로더부(3)가 설치되어 있고그 일측에는 DC 리젝트부(4)와 트레이 로더부(5) 및 DC 테스트부(6)가 설치되어 있으며, 그 일측 저면에는 90°회전하는 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y테이블(8)이 설치되어 있고 그 일측에는 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10) 그리고 소팅부(11)가 차례로 설치되어 있다.
그리고 DC 리젝트부(4)와 트레이 로더부(5) 및 DC 테스트부(6)의 상부에는 서브모터에 의해 좌, 우, 상, 하로 작동하는 1번툴(12)이 설치되어 있고 DC 테스트부(6)와 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y 테이블(8)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 2번툴(13)이 설치되어 있다.
또한, Y테이블(8)과 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10)의 상부에는 그 간격 사이에서 작동되는 3번툴(14)이 설치되어 있고 빈포켓부(9)와 소팅부(11)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 4번툴(15)이 설치되어 있다.
따라서 번인 테스트할 디바이스가 채워진 트레이를 트레이 로더부(5)에 놓은 다음 번인보드 로더부(2)에는 번인 테스트 완료된 디바이스가 테스트 소켓에 삽입되어 있는 번인보드를 놓는다.
또한, 트레이 언로더부(10)와 소팅부(11)에는 번인 테스트 또는 DC 테스트 후, 등급별로 분류된 디바이스를 담기 위한 빈 트레이를 각각 놓는다.
이러한 상태에서 번인보드 로더부(2)에 번인보드가 위치되면 번인보드는 Y테이블(8)의 상부에 설치되어 있는 회전판(도시는 생략함)에 위치됨과 동시에 핸들러의 컨넥터에 결합된 상태가 되므로 Y테이블(8)로 이송되어 턴리턴 장치부(7)에 의해 90°회전하게 된다.
상기한 바와 같이 회전판이 90°회전하면 서브모터에 의해 볼스크류가 회전하게 되므로 Y테이블(8)은 1, 2, 3번툴(12)(13)(14)이 작동하는 프로세스라인까지 이동하게 된다.
따라서 번인 테스트가 끝난 상태로 번인보드의 테스트 소켓에 꽂혀 있던 4개의 디바이스는 상부에 설치되어 있는 3번툴(14)에 의해 동시에 꺼내져 등급에 따라 빈포켓부(9)나 트레이 언로더부(10)로 이송되며, 불량으로 판정된 디바이스는 4번툴(15)에 의해 등급별로 분류되어 빈포켓부(9)에서 소팅부(11)로 이송된다.
한편, 상기한 바와 같은 작동으로 번인보드의 테스트 소켓에 삽입되어 있던 번인 테스트 완료된 디바이스가 빠져 나가면 로더부의 트레이에 있는 4개의 디바이스를 1번툴(12)이 작동하여 DC 테스트부(6)로 이송하여 DC 테스트를 실시하게 되는데, 그 이전에 DC 테스트부에 있던 디바이스는 2번툴(13)에 의해 번인보드상의 테스트 소켓에 삽입된다.
즉, 번인보드의 테스트 소켓에 꽂혀져 있던 디바이스는 번인 테스트가 완료된 것으로, 그 등급별로 3번툴(13)과 4번툴(15)에 의해 이송되어 분류되고, 3번툴(14)과 4번툴(15)에 의해 테스트 소켓으로부터 디바이스가 빠져 나가면 그 빈 공간에 1, 2번툴(12)(13)이 작동하여 다시 번인 테스트할 다른 디바이스를 삽입하게 되는 것이다.
그러나 이러한 종래의 소팅 핸들러는 계속되는 작업으로 소팅부(11)에 위치된 트레이내에 디바이스가 가득 채워지면 장비의 구동을 중단하고 부저 등이 울려 이를 작업자에게 알리도록 구성되어 있어 반드시 작업자가 소팅부로부터 트레이를교체하여 주어야만 계속적으로 작업을 실시할 수 있게 되므로 트레이의 교체에 따른 장비의 가동 중단으로 고가 장비의 가동률이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 테스트 결과에 따라 소팅부측으로 디바이스를 소팅하는 소팅 픽커에 적재스택커내의 빈 트레이를 운반하는 트랜스퍼 픽업을 구비하여 소팅부상의 트레이내에 디바이스가 가득 채워지더라도 작업자가 소팅부로부터 트레이를 교체하지 않고도 계속적인 동작이 가능해지도록 하므로써 장비의 가동률을 극대화시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 번인 테스트 또는 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 디바이스를 등급별로 분류하여 소팅하는 소팅부가 구비되고 소팅부의 상측에는 불량 디바이스를 소팅부의 트레이로 이송시키는 소팅 픽커가 X - Y축을 따라 이동 가능하게 설치된 번인 테스터용 소팅 핸들러에 있어서, X - Y축을 따라 이동하는 설치판과, 상기 설치판에 승강가능하게 설치된 승강블럭과, 상기 설치판 및 승강블럭사이에 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 안내부재와, 상기 설치판에 설치되어 승강블럭을 설정된 범위내에서 승강운동시키는 구동수단과, 상기 승강블럭의 하단에 상사점이 소팅픽커의 상사점보다 낮고, 하사점보다는 높은 위치가 되게 설치되어 적재스택커내의 빈 트레이를 홀딩하는 홀딩수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커가 제공된다.
도 1은 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 나타낸 평면도
도 2는 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명이 적용된 번인 테스터용 소팅 핸들러를 일부 생략하여 나타낸 사시도
도 4는 본 발명이 적용된 번인 테스터용 소팅 핸들러를 나타낸 정면도
도 5는 도 4의 평면도
도 6은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 도 6의 측면도로서,
도 7a는 트레이 트랜스퍼 픽커가 빈 트레이 적재스택커의 직상부에 위치된 상태도
도 7b는 트레이 트랜스퍼 픽커가 하사점까지 하강하여 빈 트레이 적재스택커상의 빈 트레이에 접속된 상태도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
16 : X - Y축 17 : 설치판
18 : 승강블럭 20 : 안내부재
22 : 소팅부 23 : 소팅 픽업
25 : 서보모터 27 : 볼 스크류
31 : 적재스택커 34 : 트랜스퍼 픽업
48 : 소팅 픽커
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 3 내지 도 7을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이고 도 7a 및 도 7b는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 도 6의 측면도로서, 본 발명은 X - Y축(16)을 따라 이동하는 설치판(17)에 승강블럭(18)이 LM가이드와 같은 안내부재(20)에 의해 승강가능하게 설치되어 있다.
상기 승강블럭(18)의 일측면에는 구동실린더(19) 및 소팅 실린더(21)의 구동에 따라 피치가 가변됨과 동시에 승강운동하면서 테스트결과 불량으로 판정된 디바이스를 소팅 포지션에서 홀딩하여 소팅부(22)상의 트레이로 소팅하는 소팅 픽업(23)이 설치되어 있다.
상기 설치판(17)에 설치된 승강블럭(18)은 구동수단에 의해 설정된 범위내에서 승강운동하도록 되어 있는데, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 구동수단이 설치판(17)에 브라켓(24)으로 고정되어 동력을 발생시키는 서보모터(25)와, 상기 승강블럭(18)의 일측에 고정된 연결구(26)에 회전가능하게 결합된 볼 스크류(27)와, 상기 서보모터(25)의 축 및 볼 스크류의 상단에 각각 고정된 구동풀리(28) 및 종동풀리(29)와, 상기 구동풀리 및 종동풀리사이에 감겨져 서보모터(25)의 동력을 볼 스크류(27)로 전달하는 타이밍벨트(30)로 구성되어 있다.
상기 구동수단으로 실린더를 사용하지 않고 서보모터(25) 및 볼 스크류(27)를 사용한 이유는 설치판(17)이 X - Y축(16)에 매달린 상태로 설치되므로 인해 설치판(17) 상측으로 공간제약을 받기 때문이다.
그리고 상기 승강블럭(18)의 하부 끝단에는 승강블럭이 상사점에 위치되었을 때, 소팅 픽업(23)의 상사점보다 낮은 위치가 되게 설치되어 적재스택커(31)내의 빈 트레이(32)를 홀딩하는 홀딩수단이 구비되어 있다.
상기 홀딩수단은 승강블럭(18)의 끝단에 고정된 고정판(33)과, 상기 고정판에 설치된 트랜스퍼 픽업(34)과, 상기 고정판 및 트랜스퍼 픽업사이에 탄력 설치된 탄성부재(35)와, 상기 트랜스퍼 픽업에 진공압이 걸리도록 하는 호스(36)로 구성되어 있다.
상기 고정판(33)에 트랜스퍼 픽업(34)을 1개 설치하여도 빈 트레이(32)의 운반이 가능하지만, 트레이의 형상의 제약으로 흡착 면적이 비교적 좁고 무게가 무겁기 때문에 상기 트랜스퍼 픽업(34)을 복수개 설치하는 것이 바람직하다.
본 발명으로 예시한 도 6에서는 트랜스퍼 픽업(34)이 4개 설치된 상태를 나타내고 있다.
상기 트랜스퍼 픽업(34)은 소팅 실린더(21)의 구동에 따라 승강하는 소팅 픽업(23)의 상사점보다 하측에 위치되고, 하사점보다는 낮은 위치가 되게 설정되어 있다.
이는, 소팅 픽업(23)이 디바이스를 홀딩하거나, 또는 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이(32)를 홀딩시 상호 간섭이 발생되지 않도록 하기 위함이다.
도 3은 본 발명이 적용된 번인 테스터용 소팅 핸들러를 일부 생략하여 나타낸 사시도이고 도 4는 본 발명이 적용된 번인 테스터용 소팅 핸들러를 나타낸 정면도이며 도 5는 도 4의 평면도이다.
참고적으로 본 발명이 적용된 번인 테스터용 소팅 핸들러의 동작을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 로딩부(37)에 테스트할 디바이스가 채워진 트레이(32a)를 위치시킨 상태에서 로딩 픽커(38)가 X축 주축(39)을 따라 이송되어 트레이로부터 복수개의 디바이스를 홀딩하고 나면 로딩 픽커(38)가 DC 테스트부(40)측으로 이송하여 홀딩하고 있던 디바이스를 테스트 소켓내에 로딩하게 되므로 번인보드(41)에 로딩될 디바이스의 DC 테스트가 설정된 시간동안 이루어지게 된다.
상기 DC 테스트부(40)에서 디바이스의 DC 테스트가 이루어지고 나면 포킹 및 언포킹 픽커(42)(43)가 X축 주축(39)을 따라 동시에 도면상 우측으로 이동하여 포킹 픽커(42)는 번인보드(40)의 테스트 소켓(44)에 로딩할 디바이스를 DC 테스트부(40)로부터 홀딩하고, 언포킹 픽커(43)는 번인 테스트 완료된 번인보드(41)상의 디바이스를 홀딩하게 된다.
그러나 만약, DC 테스트 완료된 디바이스 중 어느 하나의 디바이스라도 DC 불량이 발생되었으면 포킹 및 언포킹 픽커(42)(43)가 X축 주축(39)을 따라 이동된 상태에서 언포킹 픽커(43)만이 구동하여 번인보드(41)의 테스트 소켓(44)으로부터 번인 테스트 완료된 디바이스만을 꺼내고, 포킹 픽커(42)는 슬라이더(45)가 도면상 우측으로 약간 이동한 상태에서 로딩측 버퍼(46)에 얹혀진 DC 테스트 완료된 양품의 디바이스를 복수개 홀딩하게 된다.
상기한 동작시 DC 테스트부(40)에 있던 디바이스를 꺼내기 위해 로딩 및 언로딩 포지션과 일치되어 있던 DC 테스트부(40)가 DC 테스트부 가변수단(47)의 구동으로 소팅포지션과 일치되게 가변되면 소팅 픽커(48)가 X - Y축(16)을 따라 소팅포지션측으로 이동한 다음 상기 DC 테스트부(40)의 테스트 소켓으로부터 복수개의 디바이스를 동시에 홀딩하여 DC 테스트 결과 양품으로 판정된 디바이스는 로딩측 버퍼(46)내에 언로딩하고, DC 불량인 디바이스는 등급에 따라 소팅부(22)의 빈 트레이(32)내에 소팅하게 된다.
상기한 바와 같은 동작시, 즉 소팅할 디바이스를 홀딩하기 위해 소팅 픽업(23)이 소팅 실린더(21)의 구동으로 하사점에 위치되었을 때, 트랜스퍼 픽업(34)보다 하측에 위치하게 되므로 트랜스퍼 픽업(34)과의 간섭이 발생되지 않는다.
한편, 포킹 픽커(42)에 번인 테스트할 디바이스가 홀딩되고, 언포킹 픽커(43)에는 번인 테스트 완료된 디바이스가 홀딩된 상태에서 슬라이더(45)가 도면상 좌측으로 이동하면 포킹 픽커(42)는 번인보드(41)의 빈 테스트 소켓의 직상부에 위치되고, 언포킹 픽커(43)는 버퍼(49)의 직상부에 위치된다.
이에 따라, 포킹 픽커(42)에 홀딩되어 있던 디바이스는 번인보드(41)의 테스트 소켓(44)에 로딩되고, 언포킹 픽커(43)에 홀딩되어 있던 디바이스는 버퍼(49)내에 얹혀지게 된다.
이와 같이 버퍼(49)의 상면에 번인 테스트 완료된 디바이스가 얹혀지고 나면 상기 디바이스는 언로딩 픽커(50)에 의해 언로딩부(51)의 빈 트레이내에 언로딩된다.
상기한 동작시 버퍼(49)내에 얹혀진 디바이스 중 번인 테스트 결과 불량으로 판정된 디바이스가 있을 경우에는 상기 언로딩 픽커(50)가 양품으로 판정된 디바이스만을 홀딩하여 언로딩부(51)측으로 이동할 때, 구동수단(도시는 생략함)이 언로딩 포지션과 일치되어 있던 버퍼(49)를 소팅포지션으로 가변시키게 되므로 소팅 픽커(48)가 X - Y축(16)을 따라 이동하여 소팅포지션에 위치된 버퍼(49)로부터 불량 디바이스를 홀딩한 다음 소팅부(22)에 위치된 빈 트레이(32)내에 등급별로 분류하여 소팅하게 된다.
상기한 바와 같은 계속되는 작업으로 소팅부(22)에 위치된 빈 트레이(32)내에 불량 디바이스가 가득 채워지고 나면 종래의 소팅 핸들러와 같이 소팅부로부터 디바이스가 채워진 트레이를 빈 트레이와 교체하지 않고, 소팅 픽커(48)가 X - Y축(16)을 따라 소팅부(22)의 일측에 설치된 빈 트레이 적재스택커(31)의 직상부로 이동한 다음 상기 소팅 픽커의 일측에 구비된 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이 적재스택커(31)의 최상측에 위치된 1개의 빈 트레이(32)를 홀딩한 후, 이를 디바이스가 가득 채워진 트레이의 상면에 적재하게 되므로 불량 디바이스를 계속해서 소팅할 수 있게 된다.
상기 해당 소팅부(22)의 트레이에 빈 트레이가 적층되기 전에 상기 소팅부의 트레이를 1스탭 하강시켜야만 소팅 픽커(48)가 소팅부의 동일 위치에 디바이스를 소팅할 수 있게 되는데, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하에서는 빈 트레이 적재스택커(31)내에 빈 트레이(32)를 적재 보관한 상태에서 소팅부(22)에 위치된 트레이내에 디바이스가 가득 채워짐에 따라 본 발명의트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이 적재스택커(31)로부터 1개의 빈 트레이를 홀딩하여 소팅부측으로 이송시키는 동작에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 빈 트레이 적재스택커(31)내에 복수개의 빈 트레이(32)를 적재시켜 놓은 상태에서 소팅 핸들러의 반복되는 동작으로 소팅부(22)상의 트레이에 디바이스가 가득 채워지고 나면 도 7a에 나타낸 바와 같이 소팅 픽커(48)가 X - Y축(16)을 따라 빈 트레이 적재스택커(31)의 직상부로 이동하게 되므로 상기 소팅 픽커에 설치된 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이(32)의 상측에 위치하게 된다.
상기한 바와 같은 동작시 소팅 픽업(23)과 트랜스퍼 픽업(34)은 전부 상사점에 위치되어 있어 트랜스퍼 픽업(34)이 소팅 픽업(23)보다 낮은 지점에 위치하고 있다.
이러한 상태에서 상기 빈 트레이 적재스택커(31)상의 빈 트레이(32)를 홀딩하기 위해 서보모터(25)가 구동하면 상기 서보모터의 동력이 타이밍벨트(30)를 통해 볼 스크류(27)로 전달되므로 연결구(26)에 나사 끼우기로 결합된 볼 스크류가 회전하게 되고, 이에 따라 설치판(17)에 승강가능하게 설치된 승강블럭(18)이 안내부재(20)에 의해 안내되어 하사점까지 하강하게 된다.
이와 같이 승강블럭(18)이 하사점까지 하강하면 도 7b에 나타낸 바와 같이 고정판(33)에 설치된 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이 적재스택커(31)에 적층된 최상측의 빈 트레이(32) 상면에 접속되지만, 소팅 픽업(23)은 소팅 실린더(21)의 오프동작으로 상사점에 위치되어 있어 빈 트레이의 위치보다 높은 위치에 있게 되므로 동작상의 간섭이 발생되지 않는다.
상기한 바와 같이 서보모터(25)의 구동으로 승강블럭(18)이 하사점까지 하강시 트랜스퍼 픽업(34)이 설정된 범위보다 더욱 하강하면 상기 트랜스퍼 픽업(34)이 탄성부재(35)에 의해 탄력 설치되어 있어 빈 트레이(32)의 상면에 접속된 트랜스퍼 픽업(34)의 하강이 중단되고, 탄성부재(35)만이 압축되므로 트랜스퍼 픽업의 파손을 미연에 방지하게 된다.
그 후, 트랜스퍼 픽업(34)과 연결된 호스(36)를 통해 상기 트랜스퍼 픽업과 빈 트레이(32)의 접속면에 진공압이 걸리면 빈 트레이 적재스택커(31)에 있던 1개의 빈 트레이(32)가 트랜스퍼 픽업(34)에 홀딩된다.
상기한 바와 같은 동작으로 트랜스퍼 픽업(34)에 1개의 빈 트레이(32)가 홀딩되고 나면 하사점에 위치되어 있던 승강블럭(18)은 서보모터(25)의 역구동으로 상사점까지 상승하게 되므로 빈 트레이 적재스택커(31)로부터 1개의 빈 트레이(32)가 분리된다.
이와 같이 트랜스퍼 픽업(34)에 1개의 빈 트레이(32)가 홀딩되고 나면 소팅 픽커(48)는 X - Y축(16)을 따라 소팅부(22)측으로 수평 이동하게 되는데, 상기 소팅 픽커(48)의 이동은 콘트롤부에 의해 제어되므로 트랜스퍼 픽업(34)에 홀딩된 빈 트레이(32)는 소팅된 디바이스가 가득 채워져 있는 트레이의 직상부에 위치하게 된다.
그 후, 서보모터(25)의 구동으로 승강블럭(18)이 하사점까지 하강하여 트랜스퍼 픽업(34)에 홀딩된 빈 트레이(32)가 소팅된 디바이스가 채워진 트레이에 포개어지고 나면 트랜스퍼 픽업(34)에 작용되고 있던 진공압을 해제시킨 다음승강블럭(18)을 상사점까지 상승시키게 되므로 빈 트레이 적재스택커(31)상에 적재된 빈 트레이를 계속해서 소팅부의 또 다른 위치로 운반할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 빈 트레이 적재스택커(31)로부터 트랜스퍼 픽업(34)이 1개의 빈 트레이(32)를 홀딩하여 소팅부(22)측으로 운반하고 나면 상기 빈 트레이 적재스택커에 적재된 빈 트레이를 구동수단(도시는 생략함)에 의해 1스탭(빈 트레이의 두께만큼) 상승시키게 되므로 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이를 소팅부(22)측으로 계속해서 운반할 수 있게 되는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명은 소팅부(22)의 일측에 설치된 빈 트레이 적재스택커(31)로부터 소팅 픽커(48)에 구비된 트랜스퍼 픽업(34)이 빈 트레이(32)를 홀딩하여 소팅부(22)측으로 운반하도록 되어 있어 소팅부에 위치되어 있던 트레이내에 디바이스가 가득 채워지더라도 작업자가 일일이 소팅부에서 트레이를 교체하지 않고도 장비를 계속적으로 가동시킬 수 있게 되므로 고가 장비의 가동률을 극대화시키게 된다.

Claims (3)

  1. 번인 테스트 또는 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 디바이스를 등급별로 분류하여 소팅하는 소팅부가 구비되고 소팅부의 상측에는 불량 디바이스를 소팅부의 트레이로 이송시키는 소팅 픽커가 X - Y축을 따라 이동 가능하게 설치된 번인 테스터용 소팅 핸들러에 있어서, X - Y축을 따라 이동하는 설치판과, 상기 설치판에 승강가능하게 설치된 승강블럭과, 상기 설치판 및 승강블럭사이에 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 안내부재와, 상기 설치판에 설치되어 승강블럭을 설정된 범위내에서 승강운동시키는 승강블럭 구동수단과, 상기 승강블럭 일측 하단부에 승강가능하게 설치되어 디바이스를 홀딩하는 소팅픽업과, 상기 승강블럭에 설치되어 소팅픽업을 설정된 범위 내에서 상하로 구동시키는 소팅픽업 구동수단 및, 상기 승강블럭의 타측 하단부에 상사점이 소팅픽업의 상사점보다는 낮고 하사점보다는 높은 위치가 되게 설치되어 적재스택커내의 빈 트레이를 홀딩하는 홀딩수단으로 구성되며;
    상기 승강블럭 구동수단은, 설치판에 설치되어 동력을 발생시키는 전동모터와, 상기 승강블럭의 일측에 회전가능하게 결합된 볼 스크류와, 상기 전동모터 축 및 볼 스크류의 상단에 각각 고정된 구동풀리 및 종동풀리와, 상기 구동풀리 및 종동풀리 사이에 감겨져 전동모터의 동력을 볼 스크류로 전달하는 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    홀딩수단은 승강블럭의 끝단에 고정된 고정판과, 상기 고정판에 설치된 트랜스퍼 픽업과, 상기 고정판 및 트랜스퍼 픽업사이에 탄력 설치된 탄성부재와, 상기 트랜스퍼 픽업에 진공압이 걸리도록 하는 호스로 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커.
  3. 제 3 항에 있어서,
    고정판에 트랜스퍼 픽업이 복수개 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커.
KR1019990014906A 1999-04-26 1999-04-26 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커 KR100312860B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990014906A KR100312860B1 (ko) 1999-04-26 1999-04-26 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990014906A KR100312860B1 (ko) 1999-04-26 1999-04-26 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000067263A KR20000067263A (ko) 2000-11-15
KR100312860B1 true KR100312860B1 (ko) 2001-11-03

Family

ID=19582267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990014906A KR100312860B1 (ko) 1999-04-26 1999-04-26 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100312860B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100588234B1 (ko) * 2005-01-24 2006-06-09 주식회사 프로텍 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러
KR100775054B1 (ko) * 2006-09-13 2007-11-08 (주) 인텍플러스 트레이 핸들링 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법
KR100807106B1 (ko) * 2006-12-12 2008-02-26 주식회사 프로텍 업다운과 회전구동 일체형 픽업 실린더
KR101505958B1 (ko) * 2010-08-25 2015-03-27 (주)테크윙 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치
KR102096905B1 (ko) * 2018-12-26 2020-04-06 선테스트코리아 주식회사 번인보드 자동 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20000067263A (ko) 2000-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5150797A (en) IC sorting and receiving apparatus and method
KR101133188B1 (ko) 소자소팅장치 및 그 방법
CN109841567B (zh) 半导体材料切割装置
TWI486599B (zh) Led晶片分選設備
KR100295774B1 (ko) 번인테스터용 소팅 핸들러
KR100312860B1 (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커
KR20050066313A (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러
KR100194326B1 (ko) 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
KR100296245B1 (ko) 반도체 디바이스 자동 테스트용 핸들러 시스템
CN112024428B (zh) Ocv测试机及电池
KR100699459B1 (ko) 모듈 테스트 핸들러
KR100295776B1 (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러의 트레이 운반장치
KR100929781B1 (ko) 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR100297393B1 (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러용 로딩 및 언로딩 픽커의 얼라인 장치
KR20060127633A (ko) 반도체 패키지 자동 외관 검사 장치
KR100312862B1 (ko) 번인 테스터용 소팅 핸들러에서 번인보드 양측으로부터의 디바이스 로딩/언로딩하는 방법 및 그 장치
KR100319015B1 (ko) 번인 테스터용 소팅 핸들러의 빈 트레이 적재스택커
CN115106299A (zh) 一种电路板检测产线
KR102133877B1 (ko) 반도체패키지용 지그 및 보트의 자동 교체장치
CN114910830A (zh) 一种Dock接头自动测试设备
KR100295775B1 (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러용 소팅부의 트레이 적재장치
KR100533228B1 (ko) 모듈아이씨 핸들러용 모듈아이씨 픽업장치
KR100297392B1 (ko) 번인 테스터용 소팅 핸들러의 번인보드 센터링장치
KR200286751Y1 (ko) 반도체패키지 제조 장비의 트레이 공급장치
KR100929780B1 (ko) 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121005

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131002

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141002

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee