KR100588234B1 - 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 모듈아이씨(IC)의 성능 검사를 위한 테스트 핸들러(HANDLER)에 관한 것으로서, 특히 제조된 모듈IC를 홀딩 하여 검사장비에 로딩하거나 검사 완료된 모듈IC를 다시 언 로딩하는 작동을 정밀하면서도 효과적으로 행함은 물론 장치의 소형화, 분해 보수의 용이함 등으로 인해 생산성, 작업성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

이러한 본 발명의 목적을 달성하고자; 척바디(12) 중앙으로 단일의 에어라인(13)을 구비하고 이를 이 좌우측방으로 분기되게 연결하여 공기압에 의해 좌우 슬라이더(50)(50)를 탄발스프링(55)을 압압하며 벌리거나 탄발스프링(55)에 의해 탄발 복귀하면서 핑거(10)(10)에 의해 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단(100)과; 상기 홀딩수단(100)상부로 볼케이지(25)가 내설된 가이더(21)를 조립설치하여 가이드블록(24)상의 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내 작동하도록 하는 가이드수단(200)과; 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키되, 하강 시에는 단일, 상승 시에는 복수의 피스톤 작동이 이루어지도록 구성된 피스톤수단(300)을 하나의 유닛 구조로 결합된 리니어 가이드 모듈 아이씨 테스트 핸들러를 제공하는데 그 특징이 있다.

반도체, 모듈IC, 테스트 핸들러, 픽업장치, 홀딩, 센서

Description

리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러{TEST HANDLER FOR LINEAR GUIDE MODULE IC}

도 1은 본 발명의 정면 구성도.

도 2는 도 1의 분해도.

도 3은 본 발명의 측면 구성도.

도 4는 본 발명 가이드수단, 피스톤수단의 발췌 단면도.

도 5는 도 4의 요부 발췌 단면도.

도 6은 도 4의 작동도.

도 7은 본 발명의 홀딩수단의 발췌 단면도.

도 8은 도 7의 요부 발췌 단면도.

도 9는 도 7의 작동도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

10: 핑거 12: 척바디

12': 격벽 13: 에어라인

20: 가이드레일 21: 가이더

25; 볼케이지 30: 실린더블록

31,31': 작동로 33: 피스톤

34',35': 에어통로 34,35: 상, 하부 블록

40: 완충부재 45: 근접센서

50: 슬라이더 52: 가이드축

55: 탄발스프링 56: 조절볼트

100: 홀딩수단 200: 가이드수단

300: 피스톤수단

본 발명은 반도체 모듈아이씨(IC)의 성능 검사를 위한 테스트 핸들러(HANDLER)에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 제조된 모듈IC를 홀딩 하여 검사장비에 로딩하거나 검사 완료된 모듈IC를 다시 언 로딩하는 작동을 정밀하면서도 효과적으로 행하므로 사용상의 신뢰성은 물론 효율성을 극대화하고, 또한 장치의 소형화, 분해 보수의 용이함 등으로 인해 생산성, 작업성을 극대화하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러에 관한 것이다.

일반적으로 반도체의 모듈IC 등과 같은 부품은 중요 부품으로서 그 제품의 신뢰도가 매우 중요하여 엄격한 품질 검사를 통해 제품으로 출하하게 된다.

따라서 제조공정을 통해 생산된 카세트 상의 반도체 모듈IC는 테스트 핸들러에 의해 자동으로 검사장비에 로딩하여 검사하고, 검사 완료된 반도체는 검사 결과에 따라 언로딩 카세트에 분류하는 과정을 거치게 된다.

이때, 상기한 반도체 모듈IC를 검사장비로 로딩하거나 언로딩하기 위해 홀딩 하여 승하강시키고, 이를 이송시키는 장치가 테스트 핸들러이다.

이러한 테스트 핸들러와 관련하여 "모듈 아이씨용 핸들러의 모듈IC 홀딩장치"가 공개특허 제1999-55502호로 개시된 바 있다.

이는, 로봇 축에 레일을 따라 이송하는 이송체가 설치되고, 상기 이송체에 설치된 승강편으로 모듈IC를 홀딩 하여 승하강하는 홀딩수단이 다수 설치 구성되었다.

상기 홀딩수단은 승강편 하부에 설치되는 제1실린더의 로드상에 각 승강블록을 연결하여 상기 제1실린더의 설정된 스트로크만큼 승하강작동하게 되었다.

상기 승강블록 외측 내부에는 제2실린더가 일체 형성되어 승강블록 내의 공간부에 제2실린더에 의해 연동 하는 슬라이더가 한 쌍의 가이드축에 안내되어 대향되게 진퇴 운동하도록 설치된다.

이때, 상기 제2실린더는 복동식 또는 단동식으로 구성될 수 있다.

상기 제2실린더를 단동식으로 적용하기 위해서는 공기압이 적용되지 않을 때 상기 슬라이더를 복귀시키기 위한 탄발스프링이 슬라이드 내측면과 승강블록의 격벽 사이로 구비되었다.

또한, 상기 슬라이더의 하부에는 모듈IC를 홀딩 하는 핑거가 대향되게 고정 설치되고, 상기 모듈IC의 유무를 감지함에 따라 제2실린더의 작동을 제어하기 위한 감지수단이 구비된다.

상기 감지수단은 승강블록의 격벽 저면에 요입부를 형성하여 푸셔를 자중에 의해 하강하도록 설치하고 그 측방향의 승강블록상에 설치된 센서가 상기 푸셔가 모듈IC에 접촉되어 승강함을 감지하므로 제2실린더를 작동하도록 되어 있다.

이러한 종래의 장치는 모듈IC를 홀딩하기 위해 제1실린더가 구동하여 승강블록을 하강시키면, 양측으로 벌어져 있는 핑거가 카세트 또는 검사장비에 위치된 모듈IC의 양측에 위치된다.

이와 같이 승강블록이 제1실린더의 작동으로 하사점에 위치될 때, 그 격벽 하부에 설치된 푸셔의 저면이 모듈IC의 상면에 닿아 상승하면서 측방향의 센서가 이를 감지하여 제2실린더를 작동시키므로 상기 모듈IC를 홀딩 하게 된다.

이는, 상기 제2실린더로 압축공기가 공급되면 로드가 전진하면서 슬라이더를 각각 내측으로 탄발스프링을 압축하며 대향되게 이동시키고, 이와 동시에 상기 슬라이더에 설치된 핑거가 벌어져 있던 상태에서 오므려지면서 모듈IC의 양측면을 홀딩 하게 된다.

이와 같이 모듈IC를 홀딩 완료하면, 상기 승강블록은 다시 제1실린더가 오프되어 이를 상사점까지 상승 복귀시키고, 이송체가 로봇 축을 따라 검사장비나 언로딩 위치의 빈 카세트 상부로 이동시키게 된다.

이 상태에서 전술한 바와 동일하게 제1실린더에 의해 승강블록을 하강시키고, 제2실린더에 공급되었던 압축공기의 공급을 중단시켜 내측으로 가압된 슬라이더가 탄발스프링에 의해 복귀되면서 상기 핑거가 홀딩하고 있던 모듈IC를 검사장비나 빈 카세트 내로 이동시키게 되는 것이다.

상기와 같은 작동은 승강편 상에 구비된 다수의 홀딩수단에 의해 순차적으로 반복 수행되는 것이다.

그러나, 상기한 종래의 장치는 다음과 같은 문제점을 갖고 있었다.

첫째, 상기 승강블록과, 승강블록을 승하강 시키기 위한 제1실린더, 상기 제1실린더를 설치하기 위한 승강편이 각각 분리된 상태로 제작, 공급되기 때문에 사용자가 일일이 조립 설치해야하는 불편함이 있다.

또한, 상기 승강블록은 승하강 작동시 승강블록의 상부로 일체 형성된 가이더가 안내 작동하지만 상기 승강블록의 정밀한 안내 작동을 제공하지 못하는 한계가 있다.

더욱이, 상기 승강블록의 가이더는 장기간의 사용으로 그 마모가 발생될 경우에 상기 승강블록과 가이더 전체를 교체해야 함은 물론 이로 인해 그 보수 작업이 매우 불편한 문제가 있다.

둘째, 상기 승강블록은 제1실린더에 의해 승하강시키는데, 이는 상기 승강블록이 하강 시보다는 승강시에 더 많은 추력을 요하는 점을 간과하므로서 비효율적인 작동구조를 갖는 문제가 있다.

뿐만 아니라 상기 제1실린더는 그 로드 길이만큼의 매우 짧은 스트로크만을 제공하기 때문에 모듈IC의 사이즈에 따라 범용적으로 사용할 수 없는 적용상의 제약이 있게 된다.

또한, 상기 제1실린더 또한 범용 제품을 사용하기 때문에 그 설치 두께의 폭이 매우 넓게 형성되어, 결국 홀딩수단간의 거리를 매우 넓게 확보하여야 하는 이유로 승강판상에 설치되는 홀딩수단의 설치 수효가 제한되어 생산성을 저하시키는 문제가 있다.

셋째, 상기 승강블록은 그 양측에서 제2실린더에 의해 압축 공기를 공급하면서 각 슬라이더를 내측으로 탄발 가압하기 때문에 승강블록상에 복잡한 에어라인을 갖는 구조를 형성하게 됨은 물론 상기 에어라인으로 연결되는 복수의 배관을 구비해야하는 비생산적인 문제가 있다.

더욱이, 상기 슬라이더를 내측으로 탄발 가압하는 공기압, 즉 핑거에 의한 모듈IC를 홀딩 하는 힘의 크기를 조절하거나 상기 슬라이더와 함께 핑거를 외측으로 원상 복귀시키는 탄발 스프링의 텐션력을 조절하는 작동이 매우 곤란한 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 근본적으로 해결하고자 연구 개발된 것으로써, 다음과 같은 목적을 갖는다.

본 발명은 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단, 이를 승하강 작동시키는 피스톤수단, 승하강을 안내하는 안내수단을 분해 조립 가능한 하나의 유닛(UNIT)구조로 제작 공급하기 때문에 조립 설치가 간편함은 물론 보수가 매우 편리하게 제공되도록 하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단의 승하강작동을 볼케이지가 내설된 안내수단의 가이더와, 피스톤수단의 복수의 로드에 의해 안내되도록 작동상의 정밀도 향상, 신뢰도 향상은 물론 승하강 작동 스트로크를 최대화하므로서 모듈IC의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기 피스톤수단이 홀딩수단의 하강시에는 단일의 피스톤 작동으로 승강시에는 복수의 피스톤 작동에 의해 승하강 작동을 이루므로 작동상의 효율성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 홀딩수단의 두께, 즉 홀딩수단간의 피치를 최소화하므로서 다수의 홀딩수단을 설치하여 사용할 수 있게 되므로 많은 모듈IC를 로딩 언로딩할 수 있어 생산성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 홀딩수단이 단일의 에어라인에 의해 좌우 슬라이더를 복동식으로 작동시켜 그 작동 효율을 극대화함은 물론 에어라인 및 배선의 구조를 단순화할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 홀딩수단이 좌우 슬라이더를 가압하여 핑거를 벌리거나 복귀시켜 핑거를 오무리는 탄발스프링의 텐션력을 조절할 수 있도록 하므로서 사용상의 효율성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 리니어 가이드 모듈 아이씨 테스트 핸들러는,

척바디 중앙으로 단일의 에어라인을 구비하고 이를 이 좌우측방으로 분기되게 연결하여 공기압에 의해 좌우 슬라이더를 탄발스프링을 압압하며 벌리거나 탄발스프링에 의해 탄발 복귀하면서 핑거에 의해 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단과;

상기 홀딩수단상부로 볼케이지가 내설된 가이더를 조립설치하여 가이드블록상의 가이드레일을 따라 승하강 안내 작동하도록 하는 가이드수단과;

상기 홀딩수단을 승,하강 작동시키되, 하강시에는 단일, 상승 시에는 복수의 피스톤 작동이 이루어지도록 구성된 피스톤수단을 하나의 유닛 구조로 결합한 것에 특징이 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 설명을 첨부도면을 참조하여 살펴보기로 한다.

즉, 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 리니어 가이드 모듈 아이씨 테스트 핸들러는,

좌, 우 폭방향으로 이동 작동하는 핑거(10)(10)에 의해 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 크게 구분된다.

이때, 상기 홀딩수단(100), 가이드수단(200) 및 피스톤수단(300)은 기 조립된 하나의 유닛 상태로 제작 공급되므로 사용자는 이를 단번에 설치 사용할 수 있게 된다.

또한 상기 가이드수단(200)은 볼케이지(25)가 내설된 가이더(21)를 사용하므로서 승하강시 정밀하게 안내 작동하게 된다.

그리고, 상기 가이드수단(200)의 가이드블록(24)상에는 홀딩수단(100)의 상승 작동을 감지하는 포토센서(60)가 구비된다.

상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 상하로 복수의 작동로(31)(31')를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 각각 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(12)에 고정 설치하고, 상기 실린더블록(30)의 상부에는 일측 작 동로(31)로 통하는 에어통로(34')를 갖는 상부블록(34)과, 상기 실린더블록(30)의 하부에는 양측 작동로(31)(31')로 통하는 에어통로(35')를 갖는 하부블록(35)을 설치하여 하강 시에는 단일, 상승 시에는 복수의 피스톤 작동이 이루어지도록 구성된다.

이때, 상기 하부블록(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(12)의 사이에는 상호 충격 완충을 위한 완충부재(40)가 삽입되고, 하부블록(35)의 측면에는 홀딩수단(100)의 하강 작동을 감지하는 근접센서(45)가 설치된다.

상기 홀딩수단(100)은 척바디(12)의 격벽(12') 좌우 공간부(18)에 슬라이더(50)가 한 쌍의 가이드축(52)(52)에 안내되도록 대향 구비되고, 상기 격벽(12')상에는 단일의 에어라인(13)이 좌우측방으로 분기되는 분기 라인(13')과 연결되어 공기압에 의해 피스톤(15)이 좌우 슬라이더(50)(50)를 동시에 가압하여 작동하도록 구성된다.

이때, 상기 척바디(12)의 측방에는 삽입공(14)을 형성하여 슬라이더(50)(50)를 탄발 지지, 복귀시키는 상기 탄발스프링(55)을 삽입하되 그 외측으로 나합되는 조절볼트(56)에 의해 텐션력을 조절하게 구성된다.

미설명부호로서, 16은 부쉬, 17은 고정볼트, 36은 인너댐퍼, 37은 피스톤 로드(32)를 안내하는 부쉬, 38은 실린더 로드(32)를 척바디(12)상에 고정하기 위한 볼트, 53은 탄발스프링(55)이 삽입되는 슬라이더(50)상의 요홈을 나타내는 것이다.

다음은 상기와 같이 구성된 본 발명의 작동 및 작용에 대해 살펴보기로 한다.

먼저, 홀딩수단의 척바디(12)가 상사점에 위치된 상태에서 핑거(10)가 카세트나 검사장비상의 모듈IC 상부로 이동하면, 피스톤수단의 상부블록(34)의 에어통로(34')를 통해 실린더블록(30)의 일측 작동로(31)로 공기압이 공급되어 척바디(12)를 하강시키게 된다.

이때, 상기 피스톤수단의 일측 작동로(31)로 공급된 공기압이 피스톤(33)을 가압하면서 하나의 피스톤 작동에 의해 상기 홀딩수단의 척바디(12)가 하강 작동하게 된다.

또한, 상기 홀딩수단은 그 상부의 볼케이지(21)가 내설된 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 정밀하게 안내되면서 일정하게 하강 작동하게 된다.

상기와 같이 홀딩수단의 척바디(12)가 하강됨과 동시에 피스톤수단의 일 측에 설치된 근접센서(45)가 이를 감지하여 척바디(12)의 에어라인(13)으로 압축공기를 공급하므로 슬라이더(50)(50)를 외측으로 가압하여 핑거(10)(10)를 모듈IC보다 큰 폭으로 벌리게 된다.

이는, 상기 단일의 에어라인(13)으로 공급된 공기압이 척바디(12)의 격벽(12')에서 분기 라인(13')을 통해 좌우 방향으로 공급되어 각각의 피스톤(15)을 가압하고, 상기 피스톤에 의해 슬라이더(50)(50)를 따라 안내됨과 동시에 외측의 탄발스프링(55)을 압압하며 벌어져 가능하게 되는 것이다.

이와 같이 상기 홀딩수단의 핑거(10)(10)가 벌어지는 상태로 모듈IC 상부면으로 하강 완료하면, 이를 미도시된 검지센서가 검지하므로 상기 피스톤수단에 의한 홀딩수단의 하강작동이 정지된다.

이와 동시에 상기 홀딩수단의 척바디(12) 에어라인(13)으로 공급되던 공기압이 중단되면서 피스톤(15)에 의해 상기 슬라이더(50)(50)를 외측으로 벌리고 있던 가압력이 제거되게 된다.

따라서, 상기 슬라이더(50)(50)에 의해 압축되어 있던 탄발스프링(55)에 의해 상기 슬라이더(50)(50)가 내측으로 탄발 복귀되면서 핑거(10)(10)에 의해 상기 모듈IC를 홀딩 하게 되는 것이다.

이때, 상기 탄발스프링(55)은 그 외측의 삽입공(14)에 나합되어 있는 조절볼트(56)를 나합 조절함에 의해 그 텐션력을 조절할 수 있어 상기 슬라이더(50)(50)가 외측으로 벌어지는 정도나 슬라이더의 탄발 복귀에 따른 모듈IC의 홀딩 하는 힘을 조절할 수 있게 되는 것이다.

상기와 같이 홀딩수단에 의해 모듈IC의 홀딩이 완료되면, 피스톤수단의 하부블록(35)의 에어통로(35')를 통해 복수의 작동로(31)(31')로 공기압이 공급되면서 복수의 피스톤(33)(33)을 상승시키는 것에 의해 홀딩수단을 상승 복귀시키게 된다.

이때, 상기 피스톤수단은 하강 시에는 단일의 피스톤(33)이 작동하도록 하고, 상승 시에는 복수의 피스톤(33)(33)이 작동하면서 하강시보다 2배의 힘을 제공하도록 하므로서 홀딩수단의 승하강에 따른 작동 효율이 우수하게 제공되게 된다.

상기와 같이하여 상기 홀딩수단이 상승 완료되면, 이를 포토센서(60)가 감지하여 상기 피스톤수단에 의한 홀딩수단의 상승작동을 정지하고, 카세트 또는 검사장비의 로딩 또는 언로딩 위치로 이동하게 되는 것이다.

이와 같이하여 상기 모듈IC를 홀딩한 홀딩장치가 카세트 또는 검사장비의 로 딩 또는 언로딩 위치로 이동 완료하면, 전술한 바와 같이 피스톤수단에 의해 홀딩수단이 하강하여 척바디(12)가 하사점에 위치하면 미도시된 별도의 센서에 의해 이를 감지하여 척바디(12)의 에어라인(13)을 통해 공기압을 다시 공급하므로 전술하 바와 같이 슬라이더(50)(50)를 좌우 외측으로 가압하면서 핑거(10)(10)를 벌려 홀딩하고 있던 모듈IC를 카세트 또는 검사장비로 로딩 또는 언로딩하게 되는 것이다.

이와 같은 과정은 상기 픽업장치가 일정한 피치로 다수 설치되어 전술한 과정을 순차적으로 반복 행하게 되는 것이다.

이러한 본 발명은 본 발명은 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단, 이를 승하강 작동시키는 피스톤수단, 승하강을 안내하는 안내수단을 분해 조립 가능한 하나의 유닛(UNIT)구조로 제작한 픽업장치를 제공하기 때문에 사용자가 상기 유닛 구조의 픽업장치를 구입하여 간단하게 조립 설치만 하면 되고, 뿐만 아니라, 상기 홀딩수단, 피스톤수단, 안내수단 각각의 분해는 물론 상기 홀딩수단 상부로 설치되는 가이더를 조립식으로 구비하여 손상 부품만을 간편하게 보수할 수 있게 되는 것이다.

또한, 본 발명은 종래와 같이 홀딩수단을 승하강하기 위한 범용 실린더를 적용한 것이 아니라 볼케이지(25)가 내설된 가이더(21)와 가이드레일(20)을 갖는 LM GUIDE구조의 적용, 기타 부품을 콤팩트하게 적용하므로서 픽업장치의 두께를 최소화, 다시 말하면 픽업장치간의 피치를 최소화하므로서 다수의 픽업장치를 설치된 상태로 순차 작동하게 되기 때문에 그 만큼 생산성이 향상되게 되는 것이다.

또한, 상기한 가이더(21)와 가이드레일(20)에 의한 구조로 홀딩수단을 승하강 시키는 작동 스트로크를 최대화하므로서 모듈IC의 다양한 사이즈에 범용적으로 적용할 수 있게 되는 것이다.

이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 발명의 리니어 가이드 모듈 아이씨 테스트 핸들러는 반도체 모듈IC의 성능을 검사하기 위해 제조된 모듈IC를 홀딩 하여 검사장비에 로딩하거나 검사 완료된 모듈IC를 다시 언 로딩하는 작동을 정밀하면서도 효과적으로 행함은 물론 장치의 소형화, 분해 보수의 용이함 등으로 인해 생산성, 작업성을 극대화하는 매우 유용한 발명임이 명백하다.

Claims (5)

1. 제조된 반도체 모듈아이씨(IC)의 검사를 위해 로딩, 언로딩하는 테스트 핸들러(HANDLER)에 있어서,

   척바디(12) 중앙의 격벽(13)으로 단일의 에어라인(13)을 구비하고 이를 이 좌우측방으로 분기되는 분기 라인(13')과 연결하여 공기압에 의해 피스톤(15)이 좌우 슬라이더(50)(50)를 탄발스프링(55)을 압압하며 벌리거나 탄발스프링(55)에 의해 탄발 복귀하면서 핑거(10)(10)에 의해 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단(100)과;

   상기 홀딩수단(100)상부로 볼케이지(25)가 내설된 가이더(21)를 조립설치하여 가이드블록(24)상의 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내 작동하도록 하는 가이드수단(200)과;

   상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성된 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
2. 제1항에 있어서,

   상기 홀딩수단(100)의 척바디(12) 측방에는 삽입공(14)을 형성하여 상기 탄발스프링(55)을 삽입하되, 그 외측으로 나합되는 조절볼트(56)를 나합 조절하면서 텐션력을 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
3. 제1항에 있어서,

   상기 가이드수단(200)의 가이드블록(24)상에 홀딩수단(100)의 상승 작동을 감지하는 포토센서(60)와, 상기 피스톤수단(300)의 하부블록(35) 측면에는 홀딩수단(100)의 하강 작동을 감지하는 근접센서(45)가 구비된 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
4. 제1항에 있어서,

   상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 상하로 복수의 작동로(31)(31')를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 각각 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(12)에 고정 설치하고, 상기 실린더블록(30)의 상부에는 일측 작동로(31)로 통하는 에어통로(34')를 갖는 상부블록(34)과,

   상기 실린더블록(30)의 하부에는 양측 작동로(31)(31')로 통하는 에어통로(35')를 갖는 하부블록(35)을 설치하여 하강 시에는 단일, 상승 시에는 복수의 피스톤이 작동하도록 된 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
5. 제1항에 있어서,

   상기 피스톤수단(300)의 하부블록(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(12)의 사이에는 상호 충격 완충을 위한 완충부재(40)가 구비된 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.

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