KR100721374B1 - 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 핑거가 좌우로 대향 이동하며 모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성하되,상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 내부 상하로 작동로(31)를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(10)에 고정 설치하고, 상기 실린더블록(30)의 상,하부에는 작동로(31)로 통하는 에어통로(34')(35')를 갖는 상,하부블록(34)(35)을 설치 구성하고,상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)상에 좌우 슬라이더가 가이드축에 안내되도록 대향 구비되어 척바디상의 에어라인을 통해 공급되는 공기압에 의해 좌우 슬라이더를 동시에 가압하여 탄발스프링을 압축하며 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따라 탄발스프링의 탄발력에 의해 원위치 복귀하면서 홀딩작동하는 것에 있어서,상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)에는 내부 에어통로(34')(35')와 연통되어 공기압이 배출되는 공기압배출공(310)을 각각 형성하고 선단에 원추형의 조절핀(325)을 갖는 조절구(320)의 나사 결합 정도에 따라 상기 공기압배출공(310)의 개방 정도를 조절하면서 척바디(10)의 상승, 하강 완충 작동을 행하는 완충작동부(330)를 구비하고,상기 홀딩수단(100)에는 척바디(10)상에 수평방향으로 왼나사부(111)와 오른 나사부(112)를 대향 형성하는 나사봉(110)을 회전 가능케 삽입 설치하고, 양측방에 슬라이더(15)가 공기압에 의해 탄발스프링(18)을 압축하는 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따른 탄발스프링(18)의 탄발력으로 원위치 복귀하면서 그립작동하는 좌,우 그립퍼(120)(120')을 각각 독립적으로 대향 형성하여 상기 그립퍼(120)(120') 상부의 나사공(125)을 상기 나사봉(110) 좌우로 나사 결합하여 좌우 그립퍼(120)(120') 사이의 간격(피치)를 조절하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
- 제1항에 있어서,상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)의 하부 중앙에 좌우로 내부에 안내공(131)과 좌우 그립퍼를 향하여 개방구(132)를 개방 형성하는 고정블럭(130)(130')을 전후로 대향되게 결합 설치하고, 상기 고정블럭(130)(130')의 개방구(132)를 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인에 연결된 에어관(121)이 기밀링(122)과 함께 안내공(131)과 일정 간극을 형성하도록 삽입 설치하여 그립퍼(120)(120')의 좌우 이동에 따라 에어관(121)이 안내공(131) 내부에서 이동되며 척바디(10)의 단일의 에어라인(115)과 연통되는 고정블럭(130)(130')의 안내공(131)을 통해 공급된 공기압이 에어관(121)을 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인으로 공급되도록 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
- 제1항에 있어서,상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(10)에는 에어통로(34')(35')의 에어포트(341,342)(351,352)와 에어라인(115)의 에어포트(116,116')를 서로 다른 측방에서 에어관으로 선택 조립할 수 있도록 복수로 형성하여 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
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Cited By (3)
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KR100940458B1 (ko) | 2008-01-14 | 2010-02-04 | 에버테크노 주식회사 | 트레이 이송장치 |
KR20190036686A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 이원석 | 모듈아이씨 핸들러용 픽업유닛 |
KR102543204B1 (ko) * | 2022-10-12 | 2023-06-13 | 이성열 | 2단 픽업실린더 조립체 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200382671Y1 (ko) | 2005-01-24 | 2005-04-22 | 주식회사 프로텍 | 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR200382671Y1 (ko) | 2005-01-24 | 2005-04-22 | 주식회사 프로텍 | 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 |
KR100588234B1 (ko) | 2005-01-24 | 2006-06-09 | 주식회사 프로텍 | 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100940458B1 (ko) | 2008-01-14 | 2010-02-04 | 에버테크노 주식회사 | 트레이 이송장치 |
KR20190036686A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 이원석 | 모듈아이씨 핸들러용 픽업유닛 |
KR101971495B1 (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-23 | 이원석 | 모듈아이씨 핸들러용 픽업유닛 |
KR102543204B1 (ko) * | 2022-10-12 | 2023-06-13 | 이성열 | 2단 픽업실린더 조립체 |
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