KR200422784Y1 - 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 - Google Patents

리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러 Download PDF

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KR200422784Y1
KR200422784Y1 KR2020060011684U KR20060011684U KR200422784Y1 KR 200422784 Y1 KR200422784 Y1 KR 200422784Y1 KR 2020060011684 U KR2020060011684 U KR 2020060011684U KR 20060011684 U KR20060011684 U KR 20060011684U KR 200422784 Y1 KR200422784 Y1 KR 200422784Y1
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강성민
윤경중
박상민
김종석
황선욱
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주식회사 프로텍
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Abstract

본 고안은 반도체 모듈아이씨(IC)의 성능 검사를 위한 테스트 핸들러(HANDLER)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는,
모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성하되; 상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 내부로 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 삽입하고 그 상하부 에어통로(34')(35')와 상기 에어통로에 연통되는 공기압배출공(310)을 각각 형성하여 그 개방 정도를 조절하면서 척바디(10)의 상승, 하강 완충 작동을 행하는 완충작동부(330)를 갖는 상,하부블록(34)(35)을 설치 구성하고,
상기 홀딩수단(100)에는 왼나사부(111)와 오른나사부(112)를 대향 형성하는 나사봉(110)을 회전 가능케 삽입 설치하고, 척바디(10)의 에어라인을 통해 공급되는 공기압에 의해 슬라이더(15)(15)가 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따른 탄발스프링(18)의 탄발력으로 원위치 복귀하면서 그립작동하는 좌,우 그립퍼(120)(120')을 각각 독립적으로 대향 형성하여 상기 나사봉(110) 좌우로 나사 결합하여 좌우 그립퍼(120)(120') 사이의 간격(피치)를 조절하는 것에 에 의해서 홀딩수단의 승하강시 발생되는 충격을 효과적으로 완충함과, 좌우 그립퍼의 간격(피치)조절로 다양한 크기의 모듈IC에 적용하도록 함과, 에어관의 설치 효율성 및 단순한 에어라인으로 복수의 그립퍼를 연동하도록 하는 등의 효율성으로 장치 사용상의 신뢰도를 극 대화하는데 그 특징이 있다.
반도체, 모듈IC, 테스트 핸들러, 픽업장치, 홀딩

Description

리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러{TEST HANDLER FOR LINEAR GUIDE MODULE IC}
도 1은 본 출원인에 의해 선 출원된 테스트 핸들러를 보여주는 정면도.
도 2 및 도 3은 도 1의 부분 확대도.
도 4는 본 고안의 홀딩수단이 상사점에서의 정면도.
도 5는 도 4의 일부 발췌 확대도.
도 6은 본 고안의 홀딩수단이 하사점에서의 정면도.
도 7은 도 4의 측면도.
도 8 및 도 9는 본 고안의 상하부 블럭상의 완충작동부을 구성을 보여주는 도 4의 "F" 부 및 "G" 부의 발췌 요부 확대도.
도 10은 본 고안의 홀딩수단의 확대도.
도 11은 도 10의 그립퍼의 에어작동을 위한 에어공급로의 요부를 보여주는 구성도.
도 12는 도 10의 그립퍼의 확대도.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10: 척바디 15: 슬라이더
18: 탄발 스프링 30: 실린더블럭
34: 상부블럭 35: 하부블럭
100: 홀딩수단 110: 나사봉
120,120': 그립퍼 125: 나사공
130,130': 고정블럭 131: 안내공
200: 가이드수단 300: 피스톤수단
310: 공기압배출공 320: 조절구
330: 완충작동부
본 고안은 반도체 모듈아이씨(IC)의 성능 검사를 위한 테스트 핸들러(HANDLER)에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 그립퍼의 간격을 조절하면서 다양한 크기의 모듈IC를 홀딩하여 검사장비에 로딩하거나 검사 완료된 모듈IC를 다시 언로딩하는 작동을 효과적으로 행할 수 있어 범용화가 제공되고 사용의 안전성이 보장되는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러에 관한 것이다.
일반적으로 반도체의 모듈IC 등과 같은 부품은 중요 부품으로서 그 제품의 신뢰도가 매우 중요하여 엄격한 품질 검사를 통해 제품으로 출하하게 된다.
따라서 제조공정을 통해 생산된 카세트 상의 반도체 모듈IC는 테스트 핸들러 에 의해 자동으로 검사장비에 로딩하여 검사하고, 검사 완료된 반도체는 검사 결과에 따라 언로딩 카세트에 분류하는 과정을 거치게 된다.
이때, 상기한 반도체 모듈IC를 검사장비로 로딩하거나 언로딩하기 위해 홀딩 하여 승하강시키고, 이를 이송시키는 장치가 테스트 핸들러이다.
이러한 테스트 핸들러와 관련하여 다수의 장치가 개시된 바 있는데, 본 출원인에 의해 선출원 된 도 1 내지 도 3에 도시된 테스트 핸들러를 중심으로 살펴보기로 한다.
이는 좌, 우 폭방향으로 이동 작동하는 핑거(2)(2)에 의해 모듈IC를 홀딩 하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성된다.
상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 상하로 작동로(31)를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 각각 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(10)에 고정 설치하되, 상기 실린더블록(30)의 상,하부에는 일측 작동로(31)로 통하는 에어통로(34')를 갖는 상부블록(34)과 에어통로(35')를 갖는 하부블록(35)이 설치 구성된다.
이때, 상기 하부블록(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(10)의 사이에는 완충을 위한 완충부재(40)가 삽입된다.
상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)의 격벽(11) 좌우 공간부(12)에 슬라이더(15)가 가이드축(16)에 안내되도록 대향 구비되고, 상기 격벽(11)상에는 단일의 에어라인(13)이 좌우로 분기되어 공기압에 의해 피스톤(14)이 좌우 슬라이더(15)를 동시에 가압하여 탄발스프링(18)을 압축하며 벌림작동함과 함께 상기 공기압의 중단에 따라 탄발스프링(18)의 탄발력에 의해 복귀하면서 홀딩작동하도록 구성된다.
이러한 테스트 핸들러는 홀딩수단의 척바디(12)가 상사점 위치에서 핑거(2)를 카세트나 검사장비상의 모듈IC 상부로 이동하여 피스톤수단(300)의 상부블록(34)의 에어통로(34')를 통해 공기압을 공급하므로 피스톤(33)이 척바디(10)를 하강시키게 된다.
이와 동시에 척바디(10)의 에어라인(13)으로 압축공기를 공급하므로 슬라이더(50)를 외측으로 가압하여 좌, 우측의 핑거(2)(2)를 모듈IC보다 큰 폭으로 벌리고, 상기 핑거(2)(2)가 모듈IC 상부면으로 하강 완료하면 상기 피스톤수단(300)에 의한 척바디(10)의 하강작동이 정지된다.
이 상태에서 상기 홀딩수단의 척바디(12) 에어라인(13)으로 공급되던 공기압이 중단되면, 탄발스프링(18)의 복원력에 의해 외측으로 벌어져 있던 슬라이더(50)가 내측으로 탄발 복귀되면서 핑거(2)(2)에 의해 상기 모듈IC를 홀딩 하게 되는 것이다.
이와 같이 모듈IC의 홀딩이 완료되면, 피스톤수단의 하부블록(35)의 에어통로(35')를 통해 공기압이 공급되면서 피스톤(33)이 척바디를 상승 복귀시키고, 카세트 또는 검사장비의 로딩 또는 언로딩 위치로 이동하게 되는 것이다.
그러나 상기한 본 출원인에 의해 선출원된 테스트 핸들러는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 상기 피스톤수단(300)의 상하부블럭(34)(35) 에어통로(34')(35')로 공급되는 공기압에 의해 피스톤(33)이 승하강작동하면서 척바디(10)를 상승 및 하강시키게 되는데, 상기 척바디가 맞닿는 하부블럭 사이로는 충격감소, 손상방지를 위한 완충부재(40)가 삽입되지만 상기 완충부재만으로는 충분한 충격감소를 할 수 없는 단점이 있었다.
이와 같은 충격완충의 미흡은 상기 하부블럭과 척바디의 상호 충격에 의한 손상은 물론 충격시 발생되는 진동으로 홀딩수단(100)의 핑거(2)(2)에 의해 홀딩작동을 일정하게 유지하지 못하게 하는 등의 문제점을 유발하였다.
둘째, 상기 피스톤수단(300)의 상하부블럭(34)(35)은 에어통로(34')(35')를 일측에 단일 구멍으로 형성하고 있기 때문에 상기 에어통로로 에어관을 연결설치함에 있어 공간활용성이 제한되게 된다.
다시말해, 상하부블럭(34)(35)의 일측으로만 에어관의 연결이 가능하게 되는 문제점이 있었다.
셋째, 상기 홀딩수단(100)은 척바디(10) 상에서 모듈IC를 홀딩 작동하기 위한 좌우 슬라이더(15)의 간격을 일정한 형태로만 제한 사용하기 때문에 다양한 크기의 모듈IC 홀딩작업에 사용할 수 없는 사용상의 제한을 갖는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기한 종래 기술 및 본 출원인에 의해 선 출원된 기술이 갖는 제반 문제점을 근본적으로 해결하고자 창출된 것으로서 다음과 같은 목적을 갖는다.
본 고안은 홀딩수단을 승하강 작동시키는 피스톤의 승하강 작동시 내부 쿠션작동으로 충격완충을 극대화함은 물론 홀딩수단의 좌우 그립퍼의 간격을 조절하므로 다양한 크기의 모듈IC를 홀딩 작업할 수 있도록 하므로서 사용상의 신뢰도를 극대화하는데 그 목적이 있다.
본 고안은 피스톤수단의 상하부블럭과 홀딩수단의 척바디에 공기압을 공급하기 위한 에어관을 복수 측면에서 선택적으로 결합 사용하도록 하므로서 공간활용성을 극대화하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 고안의 목적은,
모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단과, 상기 홀딩수단상부로 조립되는 가이더가 가이드레일을 따라 승하강 안내되는 가이드수단 및 상기 홀딩수단을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단으로 구성하되,
상기 피스톤수단은 실린더블록의 내부로 피스톤이 구비된 피스톤 로드를 삽입하고 그 상하부 에어통로를 갖는 상,하부블록을 설치 구성하고,
상기 홀딩수단은 피스톤로드에 연결된 척바디상에 에어라인을 통해 공급되는 공기압에 의해 좌우 슬라이더를 동시에 가압하여 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따라 탄발스프링의 탄발력에 의해 원위치 복귀하면서 홀딩작동하는 것에 있어서,
상기 피스톤수단의 상,하부 블럭에는 내부 에어통로와 연통되는 공기압배출공을 각각 형성하여 그 개방 정도를 조절하면서 척바디의 상승, 하강 완충 작동을 행하는 완충작동부를 구비하고,
상기 홀딩수단에는 왼나사부와 오른나사부를 대향 형성하는 나사봉을 회전 가능케 삽입 설치하고, 공기압에 의해 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따른 탄발스프링의 탄발력으로 원위치 복귀하면서 그립작동하는 좌,우 그립퍼을 각각 독립적으로 대향 형성하여 상기 나사봉 좌우로 나사 결합하여 좌우 그립퍼 사이의 간격(피치)를 조절하는 것에 에 의해 달성된다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시 예를 첨부도면 도 4 내지 도 12를 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다.
즉, 본 고안 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러는, 도 4 내지 도 7과 같이, 핑거가 좌우로 대향 이동하며 모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성하되,
상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 내부 상하로 작동로(31)를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(10)에 고정 설치하고, 상기 실린더블록(30)의 상,하부에는 작동로(31)로 통하는 에어통로(34')(35')를 갖는 상,하부블록(34)(35)을 설치 구성하고,
상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)상에 좌우 슬라이더가 가이드축에 안내되도록 대향 구비되어 척바디상의 에어라인을 통해 공급되는 공기압에 의해 좌우 슬라이더를 동시에 가압하여 탄발스프링을 압축하며 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따라 탄발스프링의 탄발력에 의해 원위치 복귀하면서 홀딩작동하는 것은 본 출원인의 선출원 기술과 동일하다.
이때, 상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)에는 내부 에어통로(34')(35')와 연통되는 공기압배출공(310)을 각각 형성하여 나사 결합되는 조절구(320)의 결합 정도에 따라 공기압이 배출되는 상기 공기압배출공(310)의 개방 정도를 조절하면서 척바디(10)의 상승, 하강 완충 작동을 행하는 완충작동부(330)를 구비하고,
상기 홀딩수단(100)에는 척바디(10)상에 수평방향으로 왼나사부(111)와 오른나사부(112)를 대향 형성하는 나사봉(110)을 회전 가능케 삽입 설치하고, 양측방에는 슬라이더(15)가 공기압에 의해 탄발스프링(18)을 압축하여 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따른 탄발스프링(18)의 탄발력으로 원위치 복귀하면서 그립작동하는 좌,우 그립퍼(120)(120')을 각각 독립적으로 대향 형성하여 상기 그립퍼(120)(120') 상부의 나사공(125)을 상기 나사봉(110) 좌우로 나사 결합하여 좌우 그립퍼(120)(120') 사이의 간격(피치)를 조절하도록 되어 있다.
도 8 및 도 9의 확대도에서와 같이, 상기 완충작동부(330)의 조절구(320)는 그 선단을 원추형의 조절핀(325)으로 형성하여 공기압배출공(310)의 개방정도를 미세하게 조절하도록 구성된다. 그리고 상기 공기압배출공(310)으로 배출된 공기압은 상,하부 블럭(34)(35)상에 형성된 통공(345)(355)을 통해 배출하도록 구성하며 이는 다양하게 적용할 수 있음은 물론이다.
또한, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)의 하부 중앙에 좌우로 내부에 안내공(131)과 좌우 그립퍼를 향하여 개방 구(132)를 개방 형성하는 고정블럭(130)(130')을 전후로 대향되게 결합 설치하고, 상기 고정블럭(130)(130')의 개방구(132)를 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인에 연결된 에어관(121)이 기밀링(122)과 함께 안내공(131)과 일정 간극을 형성하도록 삽입 설치하여 그립퍼(120)(120')의 좌우 이동에 따라 에어관(121)이 안내공(131) 내부에서 이동되며 척바디(10)의 단일의 에어라인(115)과 연통되는 고정블럭(130)(130')의 안내공(131)을 통해 공급된 공기압이 에어관(121)을 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인으로 공급되도록 구성된다.
또한, 상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(10)에는 에어통로(34')(35')의 에어포트(341,342)(351,352)와 에어라인(115)의 에어포트(116,116')를 서로 다른 측방에서 에에관으로 선택 조립할 수 있도록 복수로 형성하여 구성된다.
이때 상기 에어관이 조립되지 않는 에어포트는 별도의 밀폐캡(미도시)로 폐쇄한다.
미설명부호로서, 17은 슬라이더(15)를 탄발가압하는 탄발스프링(18)의 텐션을 조절하는 조절볼트, 140은 척바디(10)의 충격 완충을 위한 완충스프링, 135는 고정블럭(130)(130')의 안내공(131)을 상호 연통하는 연통로, 160은 좌우 그립퍼가 안내되는 안내레일을 각각 나타내는 것이다.
다음은 상기와 같이 구성된 본 고안의 작동 및 작용에 대해 살펴보기로 한다.
먼저, 본 고안은 피스톤수단(300)의 상하부 블럭(34)(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(10)로 공기압을 주입하기 위한 에어관을 연결하게 된다.
이때, 상기 상하부 블럭(34)(35)과 척바디(10)에는 에어통로(34')(35'),(115)에 연결되는 에어포트(341,342)(351,352),(116,116')가 복수로 형성되어 있기 때문에 공간을 고려하여 효과적인 위치의 에어포트를 선택 연결하여 설치하게 된다. 그리고 선택되지 않은 나머지 에어포트는 폐쇄한다(이는 사용자의 설치환경에 따라서 취사선택할 수 있다.)
이와 같은 상태에서 홀딩하고자 하는 모듈IC의 크기를 고려하여 홀딩수단(100)의 좌우 그립퍼(120)(120')사이의 간격(피치)을 조절한다.
이는 상기 척바디(10)의 일측에서 나사봉(10)을 회전 조작하므로 상기 나사봉의 왼나사부(111)와 오른나사부(112)에 각각 치합된 그립퍼(120)(120')가 상호 대응되게 내측이나 외측으로 이동하면서 상기 그립퍼(120)(120')사이의 간격(피치)를 조절하게 되는 것이다.
이와 같이 준비된 상태에서 홀딩수단의 척바디(10)가 상사점에 위치된 상태로 그립퍼(120)(120')가 카세트나 검사장비상의 모듈IC 상부로 이동한다.
그리고 피스톤수단(100)의 상부블록(34)의 에어통로(34')를 통해 실린더블록(30)의 작동로(31)로 공기압을 공급하여 피스톤(33)을 가압하므로 홀딩수단의 척바디(12)를 하강시키게 된다.
이때 하부블록(35)에 형성된 공기압배출공(310)으로 배출되는 공기압을 조절하므로 상기 척바디(10)가 하강되면서 점차 그 속도가 감속되어 하강을 완료하는 시점에서의 충격을 방지하게 되는 것이다.
즉, 상기 상부블럭(34)의 에어통로(34')를 통해 작동로(31)내부로 공급되어 피스톤(33)을 가압하는 공기압보다 하부블럭(34)을 통해 배출되는 공기량이 적게 되므로 상기 하부블럭(35)의 에어통로(35')에서는 피스톤의 하강으로 점점 저항 압력이 증가하면서 피스톤(33)의 하강속도를 감속하여 완충작동을 행하는 것이다.
이때, 상기 피스톤(33)의 하강속도를 감속하는 정도를 달리하고자 하는 경우에는 공기압배출공(310)을 막고 있는 조절구(320)의 나합 정도를 조절하므로 그 선단의 조절핀(325)이 배출공의 개방정도를 조절하여 가능하게 된다.
상기와 같이 홀딩수단의 척바디(10)가 하강됨과 동시에 척바디(10)의 에어라인(115)으로 공급된 압축공기는 좌우 그립퍼(120)(120')의 슬라이더(15)(15)를 외측으로 탄발 가압하여 핑거를 모듈IC보다 큰 폭으로 벌리게 한다.
이때, 상기 척바디(10)의 단일 에어라인(115)으로 공급된 압축공기는 척바디 중앙의 고정블럭(130)(130') 내부의 안내공(131)으로 공급되고, 상기 안내공(131)에 일정 간극을 갖도록 삽입되어 있는 좌우 그립퍼(120)(120')에 연결된 에어관(121)을 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인으로 공급되게 되는 것이다.
특히, 상기 그립퍼(120)(120')가 모듈IC의 크기에 따라 좌우로 간격을 조절하는 경우에 상기 그립퍼(120)(120')의 에어관(121)은 고정블럭(130)(130')의 안내공(131)과 안내공을 상호 연결하는 연통로(135)에 의해 연통되기 때문에 상기 그립퍼(120)(120')의 좌우 이동에도 안내공(131)을 통해 에어관(121)으로 공기압을 공급할 수 있게 되는 것이다.
이와 같이 그립퍼(120)(120')의 에어라인으로 공급된 공기압은 각각의 피스 톤(14) 가압으로 슬라이드(15)을 탄발스프링(18)을 압축하며 대향되게 벌어져 핑거가 모듈IC보다 큰 폭으로 벌어지게 하는 것이다.
이와 같은 상태로 상기 홀딩수단(100)의 그립퍼(120)(120')가 피스톤수단(300)에 의해 모듈IC 상부면으로 하강 완료하면, 상기 홀딩수단의 척바디(10) 에어라인(115)으로 공급되던 공기압이 중단되면서 좌우 그립퍼(120)(120')의 슬라이더(15)(15)를 외측으로 벌리고 있던 가압력이 제거되고, 상기 슬라이더(15)(15)는 탄발스프링(18)에 의해 탄발 복귀되면서 그립퍼(120)(120')의 핑거에 의해 상기 모듈IC를 홀딩하게 되는 것이다.
상기와 같이 홀딩수단(100)에 의해 모듈IC의 홀딩이 완료되면, 피스톤수단(300)의 하부블록(35)의 에어통로(35')를 통해 작동로(31)로 공기압이 공급되면서 피스톤(33)을 상승시키는 것에 의해 홀딩수단(100)을 상승 복귀시키게 된다.
이때에도 상기 피스톤수단(300)의 하강작동시와 동일하게 상부블록(34)에 형성된 공기압배출공(310)으로 배출되는 공기압의 배출정도를 조절하므로 상기 척바디(10)가 상승되면서 점차 그 속도가 감속되어 상승을 완료 시점에서의 충격을 방지하게 되는 것이다.
즉, 상기 하부블럭(35)의 에어통로(35')를 통해 작동로(31)내부에서 피스톤(33)을 가압하는 공기압보다 상부블럭(34)을 통해 배출되는 공기량이 적게 되므로 상기 상부블럭(34)의 에어통로(34')에서는 피스톤의 상승으로 점점 저항 압력이 증가하면서 피스톤(33)의 상승속도를 감속하여 완충작동을 행하는 것이다.
뿐만아니라 상기 척바디(10) 상부에는 하부블럭(35)과의 충격을 효과적으로 완충하기 위해 별도의 완충스프링(140)을 구비하게 된다.
상기와 같이하여 홀딩수단(100)이 상승 완료되면, 이를 포토센서가 감지하여 상기 피스톤수단(300)에 의한 홀딩수단(100)의 상승작동을 정지하고, 카세트 또는 검사장비의 로딩 또는 언로딩 위치로 이동하게 되는 것이다.
이와 같이하여 상기 모듈IC를 홀딩한 홀딩장치가 카세트 또는 검사장비의 로딩 또는 언로딩 위치로 이동 완료하면, 전술한 바와 같이 피스톤수단에 의해 홀딩수단이 하강하여 척바디(10)가 하사점에 위치하면 척바디(10)의 에어라인(115)을 통해 공기압을 다시 공급하므로 전술한 바와 같이 그립퍼(120)(120')의 슬라이더(15)(15)를 좌우로 벌려 핑거에 의해 홀딩하고 있던 모듈IC를 카세트 또는 검사장비로 로딩 또는 언로딩하게 되는 것이다.
이와 같은 과정은 상기 픽업장치가 일정한 피치로 다수 설치되어 전술한 과정을 순차적으로 반복 행하게 된다.
또한 본 고안은 모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단, 이를 승하강 작동시키는 피스톤수단, 승하강을 안내하는 안내수단을 분해 조립 가능한 하나의 유닛(UNIT)구조로 제작한 픽업장치를 제공하기 때문에 사용자가 상기 유닛 구조의 픽업장치를 구입하여 간단하게 조립 설치만 하면 되고, 뿐만 아니라, 상기 홀딩수단, 피스톤수단, 안내수단 각각의 분해는 물론 상기 홀딩수단 상부로 설치되는 가이더를 조립식으로 구비하여 손상 부품만을 간편하게 보수할 수 있게 되는 것이다.
이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 고안의 리니어 가이드 모듈 아이씨 테스트 핸들러는 반도체 모듈IC의 성능을 검사하기 위해 제조된 모듈IC를 홀딩 하여 검사장비에 로딩하거나 검사 완료된 모듈IC를 다시 언 로딩하는 작동을 정밀하면서도 효과적으로 행하되, 홀딩수단의 승하강시 발생되는 충격을 효과적으로 완충함과, 좌우 그립퍼의 간격(피치)조절로 다양한 크기의 모듈IC에 적용하도록 함과, 에어관의 설치 효율성 및 단순한 에어라인으로 복수의 그립퍼를 연동하도록 하는 등의 효율성으로 장치 사용상의 신뢰도를 극대화하는 매우 유용한 고안임이 명백하다.

Claims (3)

  1. 핑거가 좌우로 대향 이동하며 모듈IC를 홀딩하는 홀딩수단(100)과, 상기 홀딩수단(100)상부로 조립되는 가이더(21)가 가이드레일(20)을 따라 승하강 안내되는 가이드수단(200) 및 상기 홀딩수단(100)을 승, 하강 작동시키는 피스톤수단(300)으로 구성하되,
    상기 피스톤수단(300)은 실린더블록(30)의 내부 상하로 작동로(31)를 형성하여 피스톤(33)이 구비된 피스톤 로드(32)를 삽입하여 그 하단을 홀딩수단(100)의 척바디(10)에 고정 설치하고, 상기 실린더블록(30)의 상,하부에는 작동로(31)로 통하는 에어통로(34')(35')를 갖는 상,하부블록(34)(35)을 설치 구성하고,
    상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)상에 좌우 슬라이더가 가이드축에 안내되도록 대향 구비되어 척바디상의 에어라인을 통해 공급되는 공기압에 의해 좌우 슬라이더를 동시에 가압하여 탄발스프링을 압축하며 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따라 탄발스프링의 탄발력에 의해 원위치 복귀하면서 홀딩작동하는 것에 있어서,
    상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)에는 내부 에어통로(34')(35')와 연통되어 공기압이 배출되는 공기압배출공(310)을 각각 형성하고 선단에 원추형의 조절핀(325)을 갖는 조절구(320)의 나사 결합 정도에 따라 상기 공기압배출공(310)의 개방 정도를 조절하면서 척바디(10)의 상승, 하강 완충 작동을 행하는 완충작동부(330)를 구비하고,
    상기 홀딩수단(100)에는 척바디(10)상에 수평방향으로 왼나사부(111)와 오른 나사부(112)를 대향 형성하는 나사봉(110)을 회전 가능케 삽입 설치하고, 양측방에 슬라이더(15)가 공기압에 의해 탄발스프링(18)을 압축하는 벌어지거나 상기 공기압 중단에 따른 탄발스프링(18)의 탄발력으로 원위치 복귀하면서 그립작동하는 좌,우 그립퍼(120)(120')을 각각 독립적으로 대향 형성하여 상기 그립퍼(120)(120') 상부의 나사공(125)을 상기 나사봉(110) 좌우로 나사 결합하여 좌우 그립퍼(120)(120') 사이의 간격(피치)를 조절하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 홀딩수단(100)은 척바디(10)의 하부 중앙에 좌우로 내부에 안내공(131)과 좌우 그립퍼를 향하여 개방구(132)를 개방 형성하는 고정블럭(130)(130')을 전후로 대향되게 결합 설치하고, 상기 고정블럭(130)(130')의 개방구(132)를 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인에 연결된 에어관(121)이 기밀링(122)과 함께 안내공(131)과 일정 간극을 형성하도록 삽입 설치하여 그립퍼(120)(120')의 좌우 이동에 따라 에어관(121)이 안내공(131) 내부에서 이동되며 척바디(10)의 단일의 에어라인(115)과 연통되는 고정블럭(130)(130')의 안내공(131)을 통해 공급된 공기압이 에어관(121)을 통해 그립퍼(120)(120')의 에어라인으로 공급되도록 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 피스톤수단(300)의 상,하부 블럭(34)(35)과 홀딩수단(100)의 척바디(10)에는 에어통로(34')(35')의 에어포트(341,342)(351,352)와 에어라인(115)의 에어포트(116,116')를 서로 다른 측방에서 에어관으로 선택 조립할 수 있도록 복수로 형성하여 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러.
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