KR100687676B1

KR100687676B1 - 테스트핸들러

Info

Publication number: KR100687676B1
Application number: KR1020060013054A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구; 구태흥; 김동한
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2006-02-10
Filing date: 2006-02-10
Publication date: 2007-02-27
Also published as: CN101366109B; WO2007091871A1; US8653845B2; US20080298946A1; US8159252B2; TW200737387A; US20120056636A1; TWI333255B; CN101366109A; JP5264508B2; JP2009526221A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 각각 적어도 하나의 반도체 소자를 적재할 수 있는 다수의 인서트가 일면에 배열되어 있는 테스트 트레이와, 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 일부 영역에 대해 위치하여 상기 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 동시에 개방하는 적어도 하나의 개방 유닛과, 상기 개방 유닛중 적어도 하나를 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 다른 일부 영역에 대해 위치하도록 이동시킴으로써, 상기 개방 유닛이 상기 다른 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 동시에 개방하는 것을 가능하게 하는 위치변환장치를 포함함으로써, 피검사 반도체소자의 변환에 따라 교체될 부품의 수를 현저하게 줄일 수 있게 되어 생산가절감, 부품교체 시간의 단축 및 다양한 테스터의 유형에 쉽게 대응할 수 있는 이점이 있다.

테스트핸들러, 테스트 트레이, 인서트, 개방장치, 프리사이저 유닛

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}

도1은, 종래의 테스트핸들러에 대한 개략적인 사시도이다.

도2는, 도1의 테스트핸들러에 적용된 인서트 개방장치에 대한 개략적인 사시도이다.

도3은, 본 발명의 실시예에 따른 인서트 개방장치에 대한 개략적인 사시도이다.

도4는, 도3의 인서트 개방장치에 대한 평면도이다.

도5는, 도3의 인서트 개방장치에 대한 좌측면도이다.

도6은, 도3의 인서트 개방장치에 대한 전면도이다.

도7 내지 도10이 도3의 인서트 개방장치에 대한 작동상태를 표현한 참조도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

300 : 인서트 개방장치

31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f : 개방유닛

31a-1, 31b-1, 31c-1, 31d-1, 31e-1, 31f-1 : 개방기

31a-2, 31b-2, 31c-2, 31d-2, 31e-2, 31f-2 : 승강실린더

31-1 : 개방핀쌍

32 : 위치변환장치 32a : 모터

32b : 스크류축 32c : 회전벨트

32d : 스크류너트 33 : 베이스판

34 : 베이스실린더 35 : 설치판

36 : 결합블록

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트 트레이의 인서트를 개방시키기 위한 개방장치에 관한 것이다.

일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자를 테스터에 의해 테스트할 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 유저트레이에 적재하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.

도1은 그러한 테스트핸들러(100)에 대한 종래기술에 따른 개략사시도로서, 이를 참조하여 종래의 테스트핸들러의 주요부분에 대하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저 도1을 참조하여 보면, 종래의 테스트핸들러(100)는 로딩장치(110), 소크챔버(120), 테스트 챔버(130), 디소크챔버(140), 언로딩장치(150), 두개의 인서 트 개방장치(160a, 160b) 및 두개의 자세변환장치(170a, 170b)를 갖추고 있다. 이러한 테스트핸들러(100)를 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

상기 로딩장치(110)는 부호 10a의 고객트레이에 적재된 반도체소자를 11a의 테스트 트레이, 즉, 로딩위치에 위치된 테스트 트레이로 로딩(이송 및 적재)시킨다.

상기 소크챔버(120)는, 테스트 트레이에 적재된 반도체소자를 예열/예냉시키기 위한 온도적 환경이 조성되어 있으며, 상기 로딩장치(110)에 의해 로딩이 완료된 테스트 트레이를 순차적으로 수용한다. 이러한 소크챔버(120)에 진입된 테스트 트레이는 수직상태를 유지한 채 테스트 챔버(130) 측에 가까운 방향으로 병진이동되는데, 이렇게 병진이동되는 시간동안, 테스트 트레이에 담긴 반도체소자가 충분히 예열/예냉된다.

상기 테스트 챔버(130)는, 소크챔버(120)로부터 공급되어 온 두개의 테스트 트레이(11b, 11c)에 적재된 반도체소자가 미도시된 테스터에 의해 테스트되도록 하기 위해 마련된다. 이를 위해 테스트 챔버(130)는 반도체소자를 테스트하기 위한 온도적 환경이 조성되어 있다.

상기 디소크챔버(140)(일명, 회복 챔버라 함)는 고온 또는 냉각상태의 반도체소자를 상온으로 환원시키기 위해 마련된다.

상기 언로딩장치(150)는, 상기 디소크챔버(140)를 거쳐 오는 테스트 트레이 상의 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 부호 10b의 고객트레이로 언로딩(이송 및 적재)시킨다.

여기서 상기 로딩장치(110) 또는 언로딩장치(150)는 고객트레이 또는 테스트 트레이에 적재된 복수의 반도체소자를 흡착하여 회수하거나, 공급하기 위한 적어도 하나 이상의 픽앤플레이스장치(미도시)를 포함한다. 예를 들어, 로딩 시에 픽앤플레이스장치는 고객트레이로부터 반도체소자를 흡착 회수한 후 테스트 트레이로 공급하며, 언로딩시에는 테스트 트레이로부터 반도체소자를 흡착 회수한 후 미도시된 소팅테이블에 공급하거나, 소팅테이블로부터 고객트레이로 공급하는 역할을 수행한다.

한편, 상기 두개의 인서트 개방장치(160a, 160b)는 각각 상측에 위치한 테스트 트레이(11a, 11d)에 행렬형태로 배열된 인서트를 개방하여 로딩장치(110) 또는 언로딩장치(150)에 의한 로딩 또는 언로딩 작업을 가능하게 한다.

상기 두개의 자세변환장치(170a, 170b) 중, 부호 170a의 자세변환장치는 부호 11a의 테스트 트레이에 반도체소자가 모두 적재된 후 수평상태로 이동하여 오면 수직상태로 자세변환시키고, 부호 170b의 자세변환장치는 디소크챔버(140)로부터 수직상태로 공급되어 오는 테스트 트레이를 수평상태로 자세전환시킨다.

위와 같은 테스트핸들러(100)에서 테스트 트레이의 위치변환에 대하여 살펴보면, 먼저 빈 테스트 트레이가 부호 11a의 테스트 트레이와 같이 로딩장치(110)의 하부에 위치되고, 로딩이 완료되면 로딩장치(110) 후방의 자세변환장치(170a)로 이동하여 자세변환된 뒤 소크챔버(120)로 이동한다. 이어서 테스트 트레이는 소크챔버(120)에서 후방향으로 병진이동하여 테스트챔버(130)로 공급되고 테스트챔버(130)에서 상하 2열(또는 1열)로 횡방향 이동하게 되며(이때 테스트챔버의 중앙부분에서 미도시된 테스터에 의해 적재된 반도체소자들이 테스트된다), 디소크챔버(140)를 거쳐 전방으로 병진이동한 후, 언로딩장치(150) 후방에 위치한 자세변환장치(170b)로 수직상태로 공급된다. 이어서 자세변환장치(170b)에 의해 수평상태로 자세변환된 테스트 트레이는 언로딩장치(150) 측으로 이동한 후, 언로딩장치(150)에 의해 언로딩이 완료되면 로딩장치(110)의 하방으로 이동하게 되는 과정을 거친다.

이와 같이 테스트 트레이는 행렬형태로 배열된 인서트에 반도체소자를 적재한 후, 이동, 자세변환, 테스팅 과정 등을 거치게 되므로, 그러한 과정이 적절히 이루어질 수 있도록 하기 위해 인서트는 반도체소자를 안정적으로 안착시킬 수 있는 기구적 구성을 갖추어야 한다. 이러한 인서트의 구조에 대하여는 본 출원인의 선행 등록특허(10-0486412호, 발명의 명칭 : 테스트 핸들러의 테스트 트레이 인서트, 이하 '선행발명'이라 함)를 통해 자세히 제시되고 있다. 선행발명에서 참조되는 바와 같이, 인서트는 반도체소자(선행발명에서는 '디바이스'로 표현)를 수용하는 하우징, 하우징의 양단에서 회전에 의해 고정 해제됨으로써 인서트를 개방하는 한 쌍의 스토퍼, 압축스프링에 의해 탄성지지되어 스토퍼의 회전을 방지하며 일반적으로 선형이동 가능하도록 마련되는 한 쌍의 록커 등으로 구성된다. 따라서 압축스프링의 탄성을 극복하면서 록커를 임의적으로 선형이동 시켜 스토퍼의 고정을 해제하지 않는 한, 즉, 인서트를 개방하지 않는 한, 하우징에 반도체소자를 적절히 수용시킬 수 없고, 하우징에 수용된 반도체소자를 이탈시킬 수는 없는 것이다.

그런데 상기한 바와 같이, 로딩장치(110)에 의해 로딩을 실시할 경우에는 인서트를 개방하여 하우징에 반도체소자를 수용 안착시켜야 하며, 언로딩장치(150)에 의해 언로딩을 실시할 경우에도 인서트를 개방하여 하우징으로부터 반도체소자를 이탈시켜야 하므로, 상기한 바와 같이 두개의 인서트 개방장치(160a, 160b)가 테스트 트레이(11a, 11d)를 사이에 두고 각각 로딩장치(110) 및 언로딩장치(150)의 하방에 위치한 상태에서 록커를 임의적으로 작동시켜 스토퍼의 고정을 해제시킴으로써 인서트를 개방시키게 되는 것이다.

도2는 그러한 종래의 인서트 개방장치(160a, 160b)에 대한 개략적인 사시도이다. 도2를 참조하면, 종래의 인서트 개방장치(160a, 160b)는, 베이스판(161), 베이스판(161)을 테스트 트레이측을 향하여 선형이동시키는 베이스실린더(162), 베이스판(161)에 테스트 트레이측 방향으로 2x2 행렬로 설치된 4개의 개방유닛(163a, 163b, 163c, 163d)으로 구성된다. 그리고 4개의 개방유닛(163a, 163b, 163c, 163d) 각각은, 테스트 트레이의 1/4 면적에 2x8 행렬로 배열된 인서트들을 한꺼번에 개방시키기 위해 2x8 행렬로 배열된 다수의 개방핀쌍(163-1)들이 일체로 형성된 판형상의 개방기(163a-1, 163b-1, 163c-1, 163d-1, 참고로 선행발명상에서는 '위치결정장치'로 정의 되어 있음)와, 개방기(163a-1, 163b-1, 163c-1, 163d-1)를 테스트 트레이측을 향하여 선형이동시키는 승강실린더(163a-2, 163c-2)를 가지고 있다. 참고로 부호 163b-1 및 163d-1의 개방기를 선형이동시키는 승강실린더는 도2의 도면상에서 감추어져 있다.

도2와 같은 종래의 인서트 개방장치(160a, 160b)의 작동을 살펴보면, 먼저, 베이스실린더(162)가 작동하여 베이스판(161)을 테스트 트레이측으로 이동시켜 개방유닛들(163a, 163b, 163c, 163d)의 개방동작에 필요한 거리를 확보시킨다. 이 후 4개의 개방유닛(163a, 163b, 163c, 163d) 중 임의의 개방유닛, 예를 들어, 부호 163a의 개방유닛이 동작하여 부호 163a의 개방유닛과 대응되는 1/4 면적에 배열된 인서트들을 개방하게 된다. 즉, 부호 163a-2의 승강실린더가 작동하여 부호 163a-1의 개방기를 테스트 트레이측으로 이동시키면, 개방기(163a-1)의 개방핀쌍(163-1)들이 각 인서트에 구비된 한 쌍의 록커들을 밀어서 선형이동시키고, 한 쌍의 록커들이 선형이동하면서 이에 대응되는 한 쌍의 스토퍼를 회전시켜 고정을 해제함으로써 인서트를 개방시키게 되는 것이다.

그리고 위와 같은 4개의 개방유닛(163a, 163b, 163c, 163d)은, 각각 테스트 트레이의 1/4 면적들에 배열된 16개의 인서트들을 개방시킴으로써, 전체적으로 테스트 트레이의 전 면적에 걸쳐 배열된 인서트들을 모두 담당하게 된다. 그런데 여기서 상기 4개의 개방유닛들(163a, 163b, 163c, 163d)은 서로 순차적으로 작동하는데, 예를 들어, 부호 163a의 개방유닛이 작동하여 테스트 트레이의 1/4 면적에 배열된 인서트들을 개방한 후, 개방된 인서트들에 반도체소자가 적재되거나 이탈되면 역으로 작동하여 인서트를 폐쇄하고, 다시 부호 163b의 개방유닛이 작동하여 테스트 트레이의 다른 1/4 면적에 배열된 인서트들을 개방하는 식으로 작동하게 되는 것이다.

이처럼, 개방유닛들(163a, 163b, 163c, 163d)이 순차적으로 작동하는 이유는, 4개의 개방유닛(163a, 163b, 163c, 163d)이 한꺼번에 작동하면 테스트 트레이에 비교적 큰 힘이 가해지게 되고, 이와 같은 상태로 장기간 사용할 시에 테스트 트레이의 굽힘현상이 발생하기 때문이다. 이에 대응하여 로딩장치(110) 또는 언로딩장치(150)를 이루는 픽앤플레이스장치는 처리의 고속화를 위해 무게가 가볍고 반응속도가 빨라야 하므로 최대한 가볍게 구성되는 것이 바람직하기 때문에 일반적으로 최대 16개의 반도체소자만을 흡착하여 이송하도록 구성되어 있다. 따라서 인서트는 픽앤플레이스장치의 1회 처리용량에 보조를 맞추어 개방되면 족한 것이므로, 픽앤플레이스장치의 1회 처리용량에 해당하는 개수만큼의 인서트만 순차적으로 개방시키는 방식을 취함으로써 테스트 트레이에 가해지는 힘을 최소화시켜 굽힘현상을 방지할 수 있게 되는 것이다.

한편, 근래의 테스트핸들러의 개발추세는 한꺼번에 더 많은 수의 반도체소자를 테스팅하는 방향으로 나아가고 있어서, 이제까지는 32개 또는 64개의 인서트가 배열된 테스트 트레이가 주로 사용되고 있으나 최근에는 128개 또는 160개의 인서트를 구비한 대형 테스트 트레이가 개발되어 상용화 단계에 이르고 있다. 그러나 픽앤플레이스장치는 그 구조적 한계 대문에 1회 처리용량이 여전히 최대 16개에 머무르고 있으며, 그에 따라 대형 테스트 트레이가 적용되는 경우에는 개방유닛을 8개 또는 10개까지 설치하여야 한다.

그런데, 대형 테스트 트레이를 적용하기 위하여 8개 또는 10개의 개방유닛을 설치하는 경우에는 장치의 생산단가가 상승하는 문제점이 발생한다.

또한, 검사할 반도체소자의 종류가 바뀌거나, 새로운 유형의 테스터가 적용된 경우 등과 같은 사정이 발생되면, 테스트 트레이를 교체시켜야 할 필요성이 있으며, 이러한 경우 한 쌍을 이루는 개방핀들 간의 거리가 달라져야 하는 등의 문제들이 수반되어서, 개방유닛 등을 모두 일일이 교체하는 작업을 수행하여야 한다, 그런데, 대형 테스트 트레이에 적용되기 위해 8개 또는 10개의 개방유닛이 설치된 경우에는 그러한 교체작업 시간이 길어지고, 교체비용의 증가 및 자원의 낭비를 초래한다는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 테스트 트레이의 일부 면적에 배열된 인서트들을 개방한 후 이동하여 다른 일부 면적에 배열된 인서트를 개방하는 방식의 인서트 개방장치를 가지는 테스트핸들러를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 각각 적어도 하나의 반도체 소자를 적재할 수 있는 다수의 인서트가 일면에 배열되어 있는 테스트 트레이와, 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 일부 영역에 대해 위치하여 상기 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 동시에 개방시키는 적어도 하나의 개방 유닛과, 상기 개방 유닛 중 적어도 하나를 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 다른 일부 영역에 대해 위치하도록 이동시킴으로써, 상기 개방 유닛이 상기 다른 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 동시에 개방시키는 것을 가능하게 하는 위치변환장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 테스트 트레이에 반도체 소자를 공급하거나 또는 상기 테스트 트레이로부터 반도체 소자를 회수하는 픽앤플레이스장치를 더 포함하고, 상기 위치변환장치는 상기 개방유닛을 상기 픽앤플레이스장치에 대해 독립적으로 이동시키는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 테스트 트레이는 수평상태에서 반도체 소자의 공급 또는 회수가 이루어지고, 상기 개방유닛은 수평이동하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 개방유닛은, 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 일부 면적에 배열된 복수의 인서트와 접촉하여 상기 복수의 인서트를 개방시키는 개방기와, 상기 개방기가 상기 복수의 인서트와 접촉할 수 있도록, 상기 개방기를 상기 복수의 인서트 측으로 이동시키는 선형이동장치를 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 선형이동장치는 실린더인 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 위치변환장치는, 상기 개방유닛의 이동에 필요한 동력을 제공하는 동력원과, 상기 동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 개방유닛에 전달하는 동력전달장치를 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 동력원은 모터인 것을 더욱 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 동력전달장치는, 상기 모터의 정역회전에 따라서 정역회전하는 스크류축과, 상기 스크류축에 너트 결합되어서 상기 스크류축의 회전방향에 따라서 선형 이동하며, 상기 개방유닛 측과 결합된 스크류너트를 포함하는 것을 더욱 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 개방유닛은, 모듈화되어 일체로 상기 동력전달장치 측에 탈착가능하게 결합되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 위치변환장치가 설치되며, 상기 위치변환장치를 통해 상기 개방유닛을 지지하는 베이스판과, 상기 베이스판을 상기 테스트 트레이측 방향으로 선형 이동시킴으로써 상기 개방유닛의 개방동작에 필요한 거리를 선택적으로 확보시키는 동 력장치를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 동력장치는 실린더인 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러에서 특징적 구성을 가지는 인서트 개방장치(이하 '개방장치'라 함)에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 개방장치(300)에 대한 사시도이고, 도4는 도3의 개방장치(300)에 대한 평면도, 도5는 도3의 개방장치(300)에 대한 좌측면도, 도6은 도3의 개방장치(300)에 대한 전면도이다.

먼저 도3에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 개방장치(300)는, 6개의 개방유닛(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f), 위치변환장치(32), 베이스판(33), 베이스실린더(34), 판형상의 설치판(35)과 도5에서 참조되는 바와 같은 결합블록(36) 등을 포함하여 구성된다.

상기 6개의 개방유닛(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)은, 테스트 트레이의 일부 면적에 배열된 인서트를 개방시키기 위한 것으로, 각각 개방기(31a-1, 31b-1, 31c-1, 31d-1, 31e-1, 31f-1), 승강실린더(31a-2, 31c-2, 31e-2)를 구비하고 있다.

상기 개방기(31a-1, 31b-1, 31c-1, 31d-1, 31e-1, 31f-1)는 테스트 트레이 측을 향하여 선형이동하며, 테스트 트레이와 마주보는 면에는 인서트의 한쌍의 록커를 선형이동시킴으로써 인서트를 개방시키기 위한 개방핀쌍(31-1)들이 형성되어 있다. 여기서 도3 및 도4에서 참조되는 바와 같이, 부호 31a-1, 31b-1, 31e-1, 31f-1의 개방기에는 16개의 인서트를 동시에 개방시킬 수 있도록 16개의 개방핀쌍(31-1)들이 형성되어 있고, 부호 31c-1 및 31d-1의 개방기에는 8개의 인서트를 동시에 개방시킬 수 있도록 8개의 개방핀쌍(31-1)들이 형성되어 있다.

그리고 상기 승강실린더(31a-2, 31c-2, 31e-2)는 상기 설치판(35)의 상면에 고정 설치되어서 설치판(35)의 이동과 함께 이동하며, 개방기들(31a-1, 31b-1, 31c-1, 31d-1, 31e-1, 31f-1)을 각각 테스트 트레이측을 향하여 선형이동시키기 위하여 마련된다. 참고로 도3에서는 31b-1, 31d-1 및 31f-1의 개방기를 테스트 트레이측을 향하여 선형이동시키기 위한 승강실린더가 감추어져 있다.

상기 위치변환장치(32)는, 상기 6개의 개방유닛(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)을 테스트 트레이의 접촉면 방향(도3의 화살표AB의 방향 참조)으로 이동시켜 위치를 변환시키기 위해 마련된다. 이러한 위치변환장치(32)는, 구동풀리(32a-1)를 가지는 모터(32a), 종동풀리(32b-1)를 가지는 스크류축(32b), 회전벨트(32c), 도5에서 참조되는 바와 같은 스크류너트(32d), 한 쌍의 가이드레일(32e) 및 한 쌍의 가이드블록(32f) 등을 포함하여 구성된다.

상기 모터(32a)는, 도6에서 참조되는 바와 같이 모터브라켓(32a-2)에 의해 베이스판(33)에 고정 설치되며, 궁극적으로 상기 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 마주보는 테스트 트레이의 면 방향(도3의 화살표AB의 방향 참조)으로 이동하는데 필요한 동력을 제공하는 동력원으로서 구비된다. 따라서 정역회전 가능하게 구비되어야 하며, 이동해야 할 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)의 위치제어가 용이하도록 스텝모터(step motor)나 서보모터(servo motor)로 구비되는 것이 바람직하다.

상기 스크류축(32b)은 상기 모터(32a)의 회전에 연동하여 회전하며, 상기 6개의 개방유닛(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 이동하는 방향으로 길게 마련된다. 그리고 그 양단은 회전가능하도록 베어링블록(32b-2, 32b-3)에 의해 베이스판(33)에 고정되어 있다.

상기 회전벨트(32c)는 상기 모터(32a)의 작동에 따른 구동풀리(32a-1)의 회전력을 종동풀리(32b-1)로 전달하기 위해 마련된다.

그리고 상기 스크류너트(32d)는 스크류축(32b)의 회전에 따라서 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 마주보는 테스트 트레이의 면 방향으로 직진 이동할 수 있도록 스크류축(32b)에 나사결합되어 있고, 상기 결합블록(36)에 의해 설치판(35)과 결합되어 있다. 즉, 스크류너트(32d)는 스크류축(32b)의 회전운동을 직진운동으로 변환시키는 장치로서의 역할을 한다. 따라서 상기한 스크류축(32b), 회전벨트(32c), 스크류너트(32d)는 모터(32a)의 회전력을 직진운동으로 전환하여 궁극적으로 상기 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f) 측으로 전달하는 동력전달장치인 것이다.

상기 한 쌍의 가이드레일(32e)은 상기 베이스판(33)의 양단에 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)의 이동방향으로 길게 마련된다.

그리고 상기 가이드블록(32f)은, 각각 하측이 상기 가이드레일(32e)에 의해 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 상측은 상기 설치판(35)에 결합된다.

물론, 상술한 바와 같은 위치변환장치(32)는, 회전벨트를 게재하지 않고 모터에 의해 직접 스크류축을 회전시키도록 하거나, 동력원을 실린더로 하여 개방유 닛들의 위치를 변환시키도록 할 수 있는 등 다양한 응용형태를 가질 수 있을 것이다.

한편 상기 베이스판(33)은 상기한 구성들을 지지하며, 테스트 트레이측을 향하여 선형이동이 가능하게 마련된다. 이러한 베이스판(33)에는 상기한 바와 같이, 모터(32a), 스크류축(32b), 가이드레일(32e) 등이 설치되며, 가이드블록(32f) 및 결합블록(36)을 게재하여 지지되는 설치판(35)을 지지함으로써 궁극적으로 설치판(35)에 설치된 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)을 지지하는 역할을 한다.

상기 베이스실린더(34)는, 상기 베이스판(33)을 승강시킴으로써 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 테스트 트레이의 인서트를 개방시키기 위해 필요한 작동거리를 선택적으로 확보한다.

또한, 상기 설치판(35)은 판형상으로 구비되며, 상면으로는 상기한 승강실린더들(31a-2, 31c-2, 31e-2)이 2x3행렬로 고정 설치되고, 저면으로는 상기 가이드블록(32f) 및 결합블록(36)에 탈착 가능하게 결합된다. 즉, 상기한 복수의 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 설치판(35)을 게재하여 일체로 모듈화되어 있기 때문에, 설치판(35)을 이동시키거나 가이드블록(32f) 및 결합블록(36)에서 탈거시킴으로써 복수의 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)도 일체로 이동하거나 탈거되도록 되어 있다.

마지막으로 상기 결합블록(36)은 상기 설치판(35)과 스크류너트(32d)를 결합시키기 위해 구성된다.

따라서 모터(32a)가 회전하게 되면 스크류축(32b)이 회전하게 되고, 스크류 축(32b)의 회전에 의해 스크류너트(32d)가 직진이동하면, 스크류너트(32d)에 결합블록(36)을 게재해 결합된 설치판(35)이 이동하게 됨으로써, 궁극적으로 설치판(35)의 상면에 설치된 6개이 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 동시에 이동하게 되는 것이다.

상기와 같은 본 실시예에 따른 개방장치에 대하여 도3 및 도7 이하의 작동상태도를 참조하여 설명한다.

먼저, 도3의 상태에서 테스트 트레이가 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)의 상방으로 이동되어 위치되면, 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)의 개방동작에 필요한 거리를 확보시키기 위해 배이스실린더(34)가 작동하여 베이스판(33)을 상방향으로 소정 거리 밀어 올려 도7의 상태로 전환된다. 따라서 도7에서 참조되는 바와 같이 베이스판(33)에 설치되거나 지지되는 위치변환장치(32) 및 개방유닛들(31a, 31b, 31c, 31d, 31e, 31f)이 설치된 설치판(35)이 베이스판(33)과 함께 상방향으로 소정 거리만큼 이동하게 되는 것이다.

이어서, 부호 31a의 개방유닛이 동작하게 되는데, 도8에서 참조되는 바와 같이, 부호 31a-2의 승강실린더가 작동하여 부호 31a-1의 개방기를 테스트 트레이측, 즉, 상방향으로 밀어올리면, 부호 31a-1의 개방기에 형성된 복수의 16개의 개방핀쌍들이 이에 대응되는 인서트들의 록커쌍들을 밀어올림으로써 인서트를 개방시키게 된다. 이러한 상태에서 로딩시에는 16개의 반도체소자를 파지한 픽앤플레이스장치가 개방된 16개의 인서트에 반도체소자를 공급하여 적재시키게 되고(언로딩시에는 픽앤플레이스장치가 인서트에 적재된 16개의 반도체소자를 픽킹, 즉, 회수하여 들어올리게 된다), 반도체소자의 적재가 완료되면, 다시 부호 31a-2의 승강실린더가 작동하여 부호 31a-1의 개방기를 하강시킴으로써 인서트를 폐쇄하게 된다. 이어서 부호 31b-2의 승강실린더가 작동하여 부호 31b-1의 개방기가 상승하면서 이에 대응되는 인서트들을 개방시키게 되는데, 나머지 개방유닛들(31c, 31d, 31e, 31f)도 이와 같이 계속적으로 동작하여 마지막 부호 31f의 개방유닛까지 모든 작동이 완료되면, 모터(32a)가 회전하면서 스크류축(32b)이 회전하게 되고, 이러한 스크류축(32b)의 회전에 연동하여 설치판(35)이 도3에서 화살표에 의해 지시된 B방향, 즉, 수평상태로 놓인 테스트테레이의 하측에서 수평방향으로 일정 거리만큼 이동하게 되어 도9의 상태로 된다.

도9의 상태에서도 마찬가지로 부호 31a 내지 31f의 개방유닛들이 순차적으로 작동하면서 대응되는 인서트들을 개방한 후 폐쇄하는 과정을 거치게 되고, 도9의 상태에서 모든 작업이 완료되면, 다시 모터(32a)가 작동하여 도10의 상태로 된다. 도10의 상태에서는 부호 31b, 31d, 31f의 개방유닛만 순차적으로 작동하여 작업이 미완료된 나머지 인서트들을 대상으로 한 작업을 수행하게 되고, 이에 따라 테스트 트레이의 전면적에 배열된 인서트들의 개방작업이 순차적으로 모두 완료되게 되는 것이다.

이어서 도10의 상태에서 모든 작업이 종료되면, 모터(32a)가 역회전 하는 한편, 베이스실린더(34)가 작동하여 베이스판(33)을 소정거리 하강시키게 됨으로써 도3의 상태로 회귀하게 된다.

한편, 만일 검사할 반도체소자의 크기가 바뀌어 테스트 트레이가 교체되는 등의 사정이 발생한 경우에는 가이드블록(32f) 및 결합블록(36)으로부터 설치판(35)을 떼어내고, 교체되는 테스트 트레이에 대응되는 개방유닛들이 설치된 설치판을 가이드블록(32f) 및 결합블록(36)에 결합시킴으로써 간단하게 교체작업을 수행할 수 있다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 트레이의 일부 면적에 배열된 인서트들을 담당하는 적어도 하나 이상의 개방유닛을 순차적으로 이동시키면서 궁극적으로 테스트 트레이의 전면적에 배열된 모든 인서트들을 담당시키게 되므로, 부품의 수를 줄여 생산가의 절감이 가능하고, 교체에 따른 비용도 절감시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 복수의 개방유닛들이 설치판을 게재하여 모듈화되어 결합블록에 착탈가능하게 결합되어 있기 때문에 테스트 트레이의 교체 등에 따라 수반되는 교체작업이 간단하여 작업시간이 단축되고, 여러 유형의 테스터에 쉽게 대응 가능한 효과가 있다.

Claims

각각 적어도 하나의 반도체 소자를 적재할 수 있는 다수의 인서트(Insert)가 일면에 배열되어 있는 테스트 트레이(Test Tray)와,

상기 테스트 트레이의 상기 일면의 일부 영역에 대해 위치하여 상기 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 개방시키는 적어도 하나의 개방 유닛과,

상기 개방 유닛 중 적어도 하나를 상기 테스트 트레이의 상기 일면의 다른 일부 영역에 대해 위치하도록 이동시킴으로써, 상기 개방 유닛이 상기 다른 일부 영역에 배열된 복수의 인서트를 개방시키는 것을 가능하게 하는 위치변환장치와,

상기 테스트 트레이에 반도체 소자를 공급하거나 또는 상기 테스트 트레이로부터 상기 반도체 소자를 회수하는 픽앤플레이스(Pick and Place)장치를 포함하고,

상기 개방유닛은,

상기 테스트 트레이의 상기 일면의 일부 면적에 배열된 복수의 인서트와 접촉하여 상기 복수의 인서트를 개방시키는 개방기와,

상기 개방기가 상기 복수의 인서트와 접촉할 수 있도록, 상기 개방기를 상기 복수의 인서트 측으로 이동시키는 선형이동장치를 포함하며,

상기 위치변환장치는 상기 개방유닛을 상기 픽앤플레이스장치에 대해 독립적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.
삭제
제1항에 있어서,

상기 테스트 트레이는 수평상태에서 반도체 소자의 공급 또는 회수가 이루어지고, 상기 개방유닛은 수평이동하는 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.
삭제
제4항에 있어서,

상기 선형이동장치는 실린더인 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.
제1항에 있어서,

상기 위치변환장치는,

상기 개방유닛의 이동에 필요한 동력을 제공하는 동력원과,

상기 동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 개방유닛에 전달하는 동력 전달장치를 포함하는

테스트 핸들러.
제6항에 있어서,

상기 동력원은 모터인 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.
제7항에 있어서,

상기 동력전달장치는,

상기 모터의 정역회전에 따라서 정역회전하는 스크류축과,

상기 스크류축에 너트 결합되어서 상기 스크류축의 회전방향에 따라 선형 이동하며, 상기 개방유닛 측과 결합된 스크류너트를 포함하는

테스트 핸들러.
제6항에 있어서,

상기 개방유닛은, 모듈화되어 일체로 상기 동력전달장치 측에 탈착가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.
제1항에 있어서,

상기 위치변환장치가 설치되며, 상기 위치변환장치를 통해 상기 개방유닛을 지지하는 베이스판과,

상기 베이스판을 상기 테스트 트레이측 방향으로 선형 이동시킴으로써 상기 개방유닛의 개방동작에 필요한 거리를 선택적으로 확보시키는 동력장치를 더 포함하는

테스트 핸들러.
제10항에 있어서,

상기 동력장치는 실린더인 것을 특징으로 하는

테스트 핸들러.