JP5204869B2 - テストハンドラー - Google Patents
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Description
そのような従来のテストハンドラー100においては、図7に示したように、ローディング装置110、ソークチャンバー120、テストチャンバー130、ディソークチャンバー(回復チャンバー)140、アンローディング装置150、二つのインサート開放装置160a、160b及び二つの姿勢変換装置170a、170bを備えて構成されている。このようなテストハンドラー100をより具体的に説明すれば次の通りである。
前記ソークチャンバー120は、テストトレイに積載された半導体素子を予熱/予冷させるための温度的環境が造成されて、前記ローディング装置110によりローディングが終了したテストトレイを並進移動させて順次収納する。このような前記ソークチャンバー120に進入されたテストトレイは、垂直状態を維持したままテストチャンバー130側に近づく方向に並進移動しながら順次配列され、このように並進移動される間、テストトレイに積載された半導体素子は十分に予熱/予冷される。
前記ディソークチャンバー140は、高温または冷却状態の半導体素子を常温に還元させるために設けられる。
ここで、前記ローディング装置110またはアンローディング装置150は、顧客トレイまたはテストトレイに積載された複数の半導体素子を吸着して回収または供給するために少なくとも一つ以上のピック&プレース装置(未図示)を包含して構成されている。例えば、ピック&プレース装置は、ローディング時には顧客トレイから半導体素子を吸着回収してテストトレイに供給し、アンローディング時にはテストトレイから半導体素子を吸着回収して未図示のソーティングテーブルに供給するかまたはソーティングテーブルから顧客トレイに供給する。
また、前記二つの姿勢変換装置170a、170bの中、姿勢変換装置170aは、半導体素子がテストトレイ11aに全て積載されて水平状態に移動して来ると垂直状態に姿勢変換させ、姿勢変換装置170bは、前記ディソークチャンバー140から垂直状態に供給されて来るテストトレイを水平状態に姿勢転換させる。
このように、テストトレイは、行列状に配列されたインサートに半導体素子を積載した後、移動、姿勢変換及びテストなどの過程を経由するため、それらの過程を適切に行うためにインサートは半導体素子を安定的に安着し得る機構的構成を揃えなければならない。このようなインサートの構造に関しては本出願人の先行登録特許(10‐0486412号、発明の名称:テストハンドラーのテストトレイインサート、以下‘先行発明’と称す)に詳細に提示されている。先行発明を参照してみると、インサートは、半導体素子(先行発明では‘ディバイス’と称す)を収納するハウジング、ハウジングの両方端で回転により固定が解除されることでインサートを開放する1対のストッパー、圧縮スプリングにより弾支されてストッパーの回転を防止し一般には線形移動できるように設けられる1対のロッカーなどにより構成される。よって、圧縮スプリングの弾性を克服しながらロッカーを任意に線形移動させてストッパーの固定を解除しない限り、即ち、インサートを開放しない限り、ハウジングに半導体素子を適宜収納したり、ハウジングに収納された半導体素子を離脱させることはできないのである。
このように構成された従来のインサート開放装置160a、160bにおいては、図8に示したように、ベース板161、ベース板161をテストトレイに向かって線形移動させるベースシリンダー162及びベース板161の上部にテストトレイ方向に2x2行列に設けられた四つの開放ユニット163a、163b、163c、163d、により構成されている。そして、四つの開放ユニット163a、163b、163c、163dのそれぞれは、テストトレイの1/4の面積に2x8の行列に配列された複数のインサートを一度に開放させるために2x8の行列に配列された複数の開放ピン対163‐1が一体に形成された板形状の開放器163a‐1、163b‐1、163c‐1、163d‐1(参考として、先行発明では‘位置決定装置’と定義されている)と、それら開放器163a‐1、163b‐1、163c‐1、163d‐1をテストトレイに向かって線形移動させる昇降シリンダー163a‐2、163c‐2と、を有している。参考として、前記開放器163b、163dを線形移動させる昇降シリンダーは図8では図示されていない。
このような従来のインサート開放装置160a、160bの作動においては、図8に示したように、まず、ベースシリンダー162が作動してベース板161をテストトレイ側へ移動させるので各開放ユニット163a、163b、163c、163dの開放動作に必要な距離が確保される。次いで、四つの開放ユニット163a、163b、163c、163d中の任意の開放ユニット、例えば、開放ユニット163aが動作して該開放ユニット163aと対応する1/4の面積に配列されたインサートを開放する。即ち、昇降シリンダー163a‐2が作動して開放器163a‐1をテストトレイ側へ移動させると、該開放器163a‐1の複数の開放ピン対163‐1が各インサートに備えられた一対のロッカーを押して線形移動させて、一対のロッカーが線形移動しながらそれらに対応する一対のストッパーを回転させて固定を解除することでインサートを開放させるようになっている。
このように、複数の開放ユニット163a、163b、163c、163dが順次作動する理由は、四つの開放ユニット163a、163b、163c、163dが一度に作動するとテストトレイに比較的大きい力が加えられるので、このような状態で長期間使用すると、テストトレイに撓み現像が発生するからである。これに対応してローディング装置110またはアンローディング装置150をなすピック&プレース装置は、処理の高速化及び速い反応速度を計るためには重量を最大限に軽くして構成されることが好ましいため、最大16個の半導体素子だけを吸着して移送するように構成されているのが一般的である。従って、インサートはピック&プレース装置の1回処理容量に合わせて開放されれば足りるものであるから、ピック&プレース装置の1回処理容量に該当する個数のインサートだけを順次開放させる方法を採択することでテストトレイに加えられる力を最小化して撓み現像を防止し得るようになっている。
また、検査する半導体素子の種類が変わったり、新しいタイプのテスターが適用された場合などの事情が発生すると、テストトレイを交替させるべきであるが、このような場合、一対をなす開放フィン間の距離が変化するなどの問題点が発生してそれら開放ユニットを全て一々交替する作業を行うべきである。ところが、大型テストトレイに適用されるために8個または10個の開放ユニットが設けられた場合にはそういう交替作業時間が長くなって、交替費用の増加及び資源の浪費を招くという不都合な点が発生する。
また、ローディング部におけるテストトレイの流れには無駄な時間が存在する。即ち、特定テストトレイにローディングが終了すると、ベースシリンダーが作動してベース板を下降させるのでインサート開放装置も下降される。次いで、ローディングが終わったテストトレイをロテータに移送させ、ローディング部にテストトレイが無いことを確認した後、ローディング部の下方側に次のテストトレイが入って来る。そして、インサート開放装置が上昇してテストトレイをローディング位置に位置させて各開放ユニット及びピック&プレース装置の作動により再びローディングが開始される。このように、特定テストトレイにローディングが終了して次のテストトレイにローディングが開始されるまでの間、ピック&プレース装置が休む時間が存在してローディング時簡が長くなるという不都合な点が発生する。
前記第1積載要素を移動及び停止させる移送装置と、前記第2積載要素に半導体素子を積載することを支援する開放装置と、を更に含むことを特徴とする。
前記第2積載要素は、少なくとも一つの把持溝及び少なくとも一つの感知孔を備え、前記移送装置は、前記第2積載要素の前記把持溝を把持するための把持部と前記第2積載要素の前記感知孔を感知するための感知装置を備えて、前記開放装置は、前記第2積載要素の前記感知孔を感知するための感知装置を備える、ことを特徴とする。
前記テストトレイに前記半導体素子を供給するかまたは前記テストトレイから前記半導体素子を回収するピック&プレース装置を更に含んで、前記テストトレイ移送装置は、前記テストトレイを前記ピック&プレース装置に対して独立的に移動させることを特徴とする。
前記ローディング部には、該ローディング部に収納されたテストトレイを一部領域を除いて全体的にカバーするための蓋体が設けられ、前記蓋体には、前記テストトレイの一部領域に配列された複数のインサートを露出させる開口部が形成され、前記開口部は、前記開放ユニットに対応して位置することを特徴とする。
前記把持溝は、前記テストトレイの進行方向に1列に配列され、前記感知孔は、前記テストトレイの進行方向に1列に配列されることを特徴とする。
前記線形移動装置は、シリンダーであることを特徴とする。
前記テストトレイ移送装置は、前記テストトレイの把持溝を把持するかまたは把持解除した状態で移動することができる把持部と、前記把持部の移動に必要な動力を供給する第1動力源と、前記第1動力源から提供される動力を前記把持部に伝達する動力伝達装置と、を備えることを特徴とする。
前記第1動力源は、モータであることを特徴とする。
前記動力伝達装置は、ベルトであることを特徴とする。
そして、ローディング部におけるテストトレイの流れを改善することによって、一つのテストトレイにローディングが終わった時点から次のテストトレイにローディングが開始する時点までの消耗時間を大幅に短縮して、半導体素子のローディングにかかる時間を短縮しえるという効果がある。
更に、ローディング部で外部に露出される部分が縮小されるので、半導体素子を含んだ異質物がテストトレイへ落下することを防止することが可能で、ローディング部をカバーした空間に他の装備を配置することができるので空間効率が向上され、場合によっては装備を縮小することができるとう効果がある。
最後に、ピック&プレース装備の移動点が低減されるので、ジャムの発生頻度が低下し、ティーチング作業が容易になって、ティーチング時間を短縮することができるという効果がある。
本発明に係るテストトレイ500は、図5に示したように、複数のインサート(未図示)、複数の把持溝51及び複数の感知孔52を包含して構成される。
前記複数の感知孔52は、後述するテストトレイ移送装置200の第1位置センサー46に対応して前記把持ピン45が前記テストトレイ500の前記把持溝51との結合に好適な位置に位置したかを感知し、また、後述するインサート開放装置300の第2位置センサー33に対応して前記テストトレイ500が前記インサート開放装置300との結合に好適な位置に位置したかを感知するために設けられている。
そして、本発明に係るテストハンドラーのインサート開放装置300においては、図3に示したように、3つの開放ユニット31a、31b、31c、3つの上限センサー32a‐1、32b‐1、32c‐1、3つの下限センサー(32a‐2、表現の限界上、開放ユニット31a側の下限センサーだけが図示され、開放ユニット31b、31c側の下限センサーは省略される)、第2位置センサー33、設置プレート34、ベースプレート35及びベースシリンダー36を含んで構成されている。
前記各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1は、前記テストトレイ500側に向かって上下方向に線形移動し、該テストトレイ500と対向する面には前記インサートの一対のロッカーを線形移動させることによって前記インサートを開放させるための開放ピン対31‐1が形成されている。ここで、図1及び図3に示したように、前記各開放器31a‐1、31c‐1には8個のインサートを同時に開放させることができるように8個の開放ピン対31‐1が形成され、前記開放器31b‐1には四つのインサートを同時に開放させることができるように四つの開放ピン対31‐1が形成されている。
前記3つの上限センサー32a‐1、32b‐1、32c‐1は、それぞれ前記各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1の上限高さまでの上昇を感知する。
前記第2位置センサー33は、前記テストトレイ500の前記感知孔52を感知して、前記テストトレイ500が前記インサート開放装置300との結合に好適な位置に位置しているかを感知する。
前記ベースプレート35の上面には前記設置プレート34が設けられる。
そして、本発明に係るテストトレイ移送装置200においては、図4a及び図4bに示したように、前記テストトレイ500を移動させることで前記インサート開放装置300に対する前記テストトレイ500の相対的位置を変化させるために、把持部400、駆動プーリ27‐1を有するモータ27、駆動プーリ27‐1及び従動プーリ27‐2に巻回される回転ベルト26、原点センサー24、設置ブロック25、第1LMガイド42及びベースブロック28を含んで構成されている。
前記移動ブロック41は、前記駆動プーリ27‐1及び前記従動プーリ27‐2に巻回された前記回転ベルト26と噛み合って、前記第1LMガイド42により案内されるように設けられ、前記モータ27の駆動力により移動される。
前記第2LMガイド43‐1及び前記第2LMガイドブロック43‐2は、前記昇降シリンダーロード44‐1の昇降に従って前記把持部400の一部が昇降する時、その移動を案内する。
前記第1位置センサー46は、前記各把持溝51及び前記感知孔52の位置を感知して、前記把持ピン45が前記テストトレイ500の前記把持溝51との結合に好適な位置に位置したかを感知する。
前記モータ27は、前記設置ブロック25に直接固定して設けられ、前記把持部400が移動するために必要な動力を提供する動力源となる。従って、正逆回転可能に備えられ、移動する前記把持部400の位置制御が容易であるようにステップモータ(step motor)やサーボモーター(servo motor)により具備されることが好ましい。
前記原点センサー24は、前記把持部400の前記原点センサーピン24‐1と共に前記把持部400の最初位置を感知する。
前記設置ブロック25には、前記モータ27、従動プーリ27‐2、原点センサー24及び第1LMガイド42が設けられる。
なお、図1ではローディング部の全体が露出されているが、実際には前記インサート開放装置300の上方側の一部と前記把持部400の前記把持ピン45が移動する空間だけが露出されて、それら以外は蓋体53(図2参照)によりカバーされ、このようにカバーされた部分は他の装備を設ける等、空間を活用することができる。
先ず、図1のガイドレール50上にテストトレイ500が位置すると、図6aに示したような状態になる。テストトレイ移送装置200の原点センサー24、把持部400の原点センサーピン24‐1、把持部400の第1位置センサー46及びテストトレイ500の感知孔52により最初の位置が感知され、把持ピン45が定位置に位置すると、把持部400の昇降シリンダー44により把持ピン45が下降してテストトレイ500の把持溝51に挿入される。即ち、把持部400がテストトレイ500を把持する(図6b)。
次いで、図6cの状態でインサート開放装置300の第2位置センサー33がテストトレイ500の感知孔52を感知して該テストトレイ500が定位置に到達したか否かを判断し、定位置に到達したら、インサート開放装置300が作動する。インサート開放装置300の各昇降シリンダー31a‐2、31b‐2、31c‐2が作動して各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1をテストトレイ500側(上方側)に押し上げる。そして、各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1に形成された総20個の開放ピン対31‐1がそれぞれ対応するインサート等のストッパー及びロッカーを押し上げることによって20個のインサートを同時に開放させるようになる。このような状態で、20個の半導体素子を把持したピック&プレース装置(図2参照)が開放された20個のインサートに半導体素子を供給して半導体素子を積載させ、半導体素子の積載が終了すると、再び前記各昇降シリンダー31a‐2、31b‐2、31c‐2が作動して前記各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1を下降させるのでインサートは閉鎖される。参考に、インサート開放装置300の作動方法は既に公知の技術であるから図面で省略した。
上述した過程{第2位置センサー33の感知、各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1の上昇、ピック&プレース装置による積載、各開放器31a‐1、31b‐1、31c‐1の下降、モータ27によるテストトレイ500の移送}{以下、‘過程(ア)’と称す}を反復して行う。
次いで、テストトレイ500を把持解除した把持部400は、モータ27の駆動により右側へ移動し、図6fに示したように、把持ピン45が他の把持溝51に対応し、その結果、把持部400の昇降シリンダー44によりテストトレイ500を把持して、過程(ア)を反復して行うと、図6gに示したように、テストトレイ500の最後の2列のインサートに半導体素子がローディングされる前に、次のテストトレイ501が未図示のバッファー昇降機の上昇により前記ガイドレール50上に位置する。
一方、若し検査する半導体素子の大きさが変動してテストトレイが交替される等の事情が発生した場合には、テストトレイ移送装置200の移送値(図5において縦方向インサートの2列に該当する値)を変えて、インサート開放装置300のベースシリンダー36を作動して設置プレート34を上向側へ移動させた後、該設置プレート34を取り外し、交替されるテストトレイに対応する開放ユニットが設けられた設置プレートを結合させることによって簡単に交替作業を行うことができる。
更に、テストトレイ移送装置200は、回転ベルトでなくスクリュー軸やスクリューナットを利用して前記モータの動力を前記把持部400に伝達したり、動力源をモータでなくシリンダーにして前記把持部400の位置を変換させるなど様々な応用形態を有することができる。
50:ガイドレール
51:把持溝
52:感知孔
53:蓋体
200:テストトレイ移送装置
24:原点センサー
24‐1:原点センサーピン
25:設置ブロック
26:回転ベルト
27‐1:駆動プーリ
27‐2:従動プーリ
27:モータ
28:ベースブロック
400:把持部
41:移動ブロック、
42:第1LMガイド
43‐1:第2LMガイド
43‐2:第2LMガイドブロック
44:昇降シリンダー
44‐1:昇降シリンダーロード
45:把持ピン
46:第1位置センサー
300:インサート開放装置
31a、31b、31c:開放ユニット
31‐1:開放ピン対
31a‐1、31b‐1、31c‐1:開放器
31a‐2、31b‐2、31c‐2:昇降シリンダー
32a‐1、32b‐1、32c‐1:上限センサー
32a‐2、32b‐2、32c‐2:下限センサー
33:第2位置センサー
34:設置プレート
35:ベースプレート
36:ベースシリンダー
Claims (4)
- それぞれ少なくとも一つの半導体素子を積載することができる多数のインサートが配列されているテストトレイ;
顧客トレイに積載された半導体素子を前記テストトレイにローディングさせるローディング装置;
前記ローディング装置によってローディングが完了したテストトレイを予熱または予冷させるために設けられるソークチャンバー;
前記ソークチャンバーから来た前記テストトレイに積載された半導体素子をテストするために設けられるテストチャンバー;
前記テストチャンバーから来たテストトレイに積載された高温または冷却状態の半導体素子を常温に還元させるために設けられるディソークチャンバー;及び
前記ディソークチャンバーを経由して来るテストトレイ上の半導体素子を等級別に分類して顧客トレイにアンローディングさせるアンローディング装置;を含み、
前記ローディング装置は、
前記テストトレイの一部領域に配列された複数のインサートを開放することができる開放装置;
前記テストトレイを移送させるテストトレイ移送装置;及び
顧客トレイに積載されている複数の半導体素子を前記開放装置によって開放された前記テストトレイの一部領域に配列された複数のインサートにローディングさせるピック&プレース装置;を含み、
前記開放装置は、
前記テストトレイの一部領域に配列された複数のインサートを開放させるために互いに同時に作動する少なくとも二つの開放ユニット;及び
前記少なくとも二つの開放ユニットが設置される設置プレート;を含み、
前記少なくとも二つの開放ユニットのそれぞれは、
前記テストトレイの下部に位置し、テストトレイの移送方向の直角方向である上下方向にだけ昇降し、上昇の際にインサートを開放させる開放ピン対を持ち、下降の時にはインサートを閉鎖させるために設けられる開放器;及び
前記開放器を前記テストトレイ側に上昇させるか下降させる線形移動装置;を備え、
前記テストトレイ移送装置は、前記開放装置及びピック&プレース装置が動作して前記テストトレイの特定の一部領域に配列された複数のインサートに対する半導体素子のローディングが完了した後、前記テストトレイの他の一部領域に配列された複数のインサートに対する半導体素子のローディング作業が行われるようにするために、前記テストトレイを前記開放装置の上部で前記テストトレイの長さより小さい幅だけ水平に移送させるとともに前記テストトレイをピック&プレース装置に対して独立的に移動させ、
前記開放装置に備えられる前記少なくとも二つの開放器に備えられる開放ピン対の数は前記テストトレイに備えられるインサートの数より少ないことを特徴とするテストハンドラー。 - 前記開放装置は、
前記設置プレートが脱着可能に結合されるベースプレート;及び
前記ベースプレートを昇降させるための昇降装置;をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラー。 - 前記開放装置が前記テストトレイの最後の領域に配列された複数のインサートを開放させれば、次のテストトレイがガイドレールに位置し、
前記テストトレイ移送装置は、前記ピック&プレース装置が前記テストトレイの最後の領域に配列された複数のインサートに複数の半導体素子をローディングさせた後、半導体素子のローディングが完了した前記テストトレイと前記次のテストトレイを同時に移動させるとともに前記次のテストトレイを前記開放装置の上側に移動させることによりローディングの時間差を減らすことができることを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラー。 - ローディングが完了した前記テストトレイの移動は、前記テストトレイ移送装置が前記次のテストトレイを移動させることにより、前記次のテストトレイによって、ローディングが完了した前記テストトレイが押されて移動されることを特徴とする請求項3に記載のテストハンドラー。
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