JPH0220834Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220834Y2 JPH0220834Y2 JP390984U JP390984U JPH0220834Y2 JP H0220834 Y2 JPH0220834 Y2 JP H0220834Y2 JP 390984 U JP390984 U JP 390984U JP 390984 U JP390984 U JP 390984U JP H0220834 Y2 JPH0220834 Y2 JP H0220834Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- frame
- plate
- lifting
- plates
- Prior art date
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- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体基板の製造工程中使用されるウ
エハ移し換え装置に関する。
エハ移し換え装置に関する。
IC・LSI・超LSIの製造工程において、ウエハ
キヤリヤの中から任意の１枚又は複数枚のウエハ
を取り出し、ボートの溝に並べたり測定装置に挿
入する場合がある。従来この作業は第３図のよう
にウエハキヤリヤ内に収容されている全部（通常
25枚）のウエハを押し上げ、これより所要のウエ
ハをピンセツトを用いて取り出す等手作業で行つ
ていたため、非能率であり、かつ又ウエハを汚染
あるいは破損するおそれがあつた。
キヤリヤの中から任意の１枚又は複数枚のウエハ
を取り出し、ボートの溝に並べたり測定装置に挿
入する場合がある。従来この作業は第３図のよう
にウエハキヤリヤ内に収容されている全部（通常
25枚）のウエハを押し上げ、これより所要のウエ
ハをピンセツトを用いて取り出す等手作業で行つ
ていたため、非能率であり、かつ又ウエハを汚染
あるいは破損するおそれがあつた。
本考案の目的はウエハの抜取り、戻入に際し、
そのウエハ及び隣接ウエハの汚染及び破損を防止
すると共に、機械化による能率化を図ることにあ
る。
そのウエハ及び隣接ウエハの汚染及び破損を防止
すると共に、機械化による能率化を図ることにあ
る。
この考案を実施例の添付図面により設明する
と、第１図及び第２図に示すように複数枚のつき
上げ板１が本装置の中心に、垂直，等間隔に配設
されており、該つき上げ板１の上部にはウエハホ
ルダ１１を固着し、中央部には下方が開放されて
いる細長い溝１７を設け、さらに下部両側端には
係合部１４を形成している。
と、第１図及び第２図に示すように複数枚のつき
上げ板１が本装置の中心に、垂直，等間隔に配設
されており、該つき上げ板１の上部にはウエハホ
ルダ１１を固着し、中央部には下方が開放されて
いる細長い溝１７を設け、さらに下部両側端には
係合部１４を形成している。
又、上部フレーム６は側板１８の上方に固着さ
れており、つき上げ板１の枚数に対応する対数の
押え部材３（例えばエアシリンダ）を各つき上げ
板１の両側に係合するようフレームに配設してい
る。さらに下部フレーム５は上下に駆動が可能で
あり、又前記各つき上げ板係合部１４に対応し同
数の押え部材２（例えばエアシリンダ）を配設し
ている。
れており、つき上げ板１の枚数に対応する対数の
押え部材３（例えばエアシリンダ）を各つき上げ
板１の両側に係合するようフレームに配設してい
る。さらに下部フレーム５は上下に駆動が可能で
あり、又前記各つき上げ板係合部１４に対応し同
数の押え部材２（例えばエアシリンダ）を配設し
ている。
上記のように構成されたウエハ移し換え装置に
光センサ識別装置（公知のもの図示省略）を併せ
使用することにより下記のように必要とする位置
にある複数枚のつき上げ板を同時に、つき上げ
板、或は保持、復帰することができる。
光センサ識別装置（公知のもの図示省略）を併せ
使用することにより下記のように必要とする位置
にある複数枚のつき上げ板を同時に、つき上げ
板、或は保持、復帰することができる。
即ち、つき上げようとするつき上げ板１がつき
上げされているか否かを光センサ受発光部４を通
し上記の識別装置（図示省略）により確認後、対
応するつき上げ用のエアシリンダ２に送気すると
該エアシリンダ２の係止部１３が突出し、対応す
るつき上げ板１の両側端係合部１４に嵌合する。
上げされているか否かを光センサ受発光部４を通
し上記の識別装置（図示省略）により確認後、対
応するつき上げ用のエアシリンダ２に送気すると
該エアシリンダ２の係止部１３が突出し、対応す
るつき上げ板１の両側端係合部１４に嵌合する。
次に、駆動モータ１６を作動させると駆動用シ
ヤフト９が回転し、下部フレーム５を駆動用シヤ
フト９に沿つて上昇させ、これにより下部フレー
ム５に固着されたエアシリンダ２も上昇し、その
結果エアシリンダ２に係合された前記つき上げ板
１がつき上げられる。
ヤフト９が回転し、下部フレーム５を駆動用シヤ
フト９に沿つて上昇させ、これにより下部フレー
ム５に固着されたエアシリンダ２も上昇し、その
結果エアシリンダ２に係合された前記つき上げ板
１がつき上げられる。
更に上記つき上げ板１に対応し、上部フレーム
６の両側に配設された一対のエアシリンダ３に送
気すると、先端の係止部１５が突出し、対応する
押し上げ板１を保持することとなる。
６の両側に配設された一対のエアシリンダ３に送
気すると、先端の係止部１５が突出し、対応する
押し上げ板１を保持することとなる。
したがつて、本装置の上部にウエハ２０を収容
したウエハキヤリヤ１２が載置されていると、ウ
エハキヤリヤ１２内に収容されたウエハ２０は第
４図に示すように、開口部２１を通して、各つき
上げ板１の上端部に設けたウエハホルダ１１にそ
れぞれ保持されているので、前記つき上げ板１ａ
のつき上げになつて、ウエハホルダ１１ａに保持
されたウエハ２０ａのみがウエハキヤリヤ１２内
から上方につき上げられるのでこれを自動化され
たウエハチヤツク１９により取り出し、ボート又
は測定装置に収容することができる。
したウエハキヤリヤ１２が載置されていると、ウ
エハキヤリヤ１２内に収容されたウエハ２０は第
４図に示すように、開口部２１を通して、各つき
上げ板１の上端部に設けたウエハホルダ１１にそ
れぞれ保持されているので、前記つき上げ板１ａ
のつき上げになつて、ウエハホルダ１１ａに保持
されたウエハ２０ａのみがウエハキヤリヤ１２内
から上方につき上げられるのでこれを自動化され
たウエハチヤツク１９により取り出し、ボート又
は測定装置に収容することができる。
つき上げられたつき上げ板１を下に戻す場合は
光センサ識別装置により、つき上げの状況を確認
の上、前記と逆の順序により操作を行なう。
光センサ識別装置により、つき上げの状況を確認
の上、前記と逆の順序により操作を行なう。
なおつき上げ板１の中央の溝１７に配設された
３組のガイドローラ７はつき上げ板１の上下運動
を円滑にし、上部フレーム６に配設された４ケの
ガイドローラ８は，つき上げ板１を当接・挾持す
るとともに横振れ防止，上下運動の円滑化を目的
としたものである。
３組のガイドローラ７はつき上げ板１の上下運動
を円滑にし、上部フレーム６に配設された４ケの
ガイドローラ８は，つき上げ板１を当接・挾持す
るとともに横振れ防止，上下運動の円滑化を目的
としたものである。
この考案は以上説明した通りであり、つき上げ
自在の複数枚の押し上げ板と、これに対応した上
下駆動が自在なフレーム及び押え部材を設けるこ
とにより、キヤリヤに収容されている移し換えを
必要とする位置にある任意の枚数のウエハを自在
につき上げて、ウエハチヤツクを介してそれらの
ウエハを移し換えすることが出来る。
自在の複数枚の押し上げ板と、これに対応した上
下駆動が自在なフレーム及び押え部材を設けるこ
とにより、キヤリヤに収容されている移し換えを
必要とする位置にある任意の枚数のウエハを自在
につき上げて、ウエハチヤツクを介してそれらの
ウエハを移し換えすることが出来る。
第１図は本願の実施例のウエハ移し換え用つき
上げ装置の斜視図、第２図は第１図の−線部
矢視方向の要部断面図、第３図及び第４図はそれ
ぞれウエハ移し換え時における従来のウエハ押し
上げ方法と本考案による方法の要点を比較図示し
たものである。 １…押し上げ板、１ａ…つき上げられたつき上
げ板、１′…従来のつき上げ板、２…押え部材
（下部エアシリンダ…つき上げ用）、３…押え部材
（上部エアシリンダ…保持用）４…光センサ受発
光部、５…下部フレーム、５′…つき上げ板をつ
き上げた時のフレーム５の想定位置図、６…上部
フレーム、７…ガイドローラ（下部）、８…ガイ
ドローラ（上部）、９…下部フレーム５の駆動用
シヤフト、１０…９の駆動用ベルト、１１…ウエ
ハホルダ、１２…ウエハキヤリヤ、１３…押え部
材２の係止部、１４…１３との係合部、１５…エ
アシリンダ３の係止部、１６…５の駆動用モー
タ、１７…溝、１８…側板、１９…ウエハチヤツ
ク、２０…ウエハ、２０ａ…つき上げられたウエ
ハ、２１…ウエハキヤリヤ開口部。
上げ装置の斜視図、第２図は第１図の−線部
矢視方向の要部断面図、第３図及び第４図はそれ
ぞれウエハ移し換え時における従来のウエハ押し
上げ方法と本考案による方法の要点を比較図示し
たものである。 １…押し上げ板、１ａ…つき上げられたつき上
げ板、１′…従来のつき上げ板、２…押え部材
（下部エアシリンダ…つき上げ用）、３…押え部材
（上部エアシリンダ…保持用）４…光センサ受発
光部、５…下部フレーム、５′…つき上げ板をつ
き上げた時のフレーム５の想定位置図、６…上部
フレーム、７…ガイドローラ（下部）、８…ガイ
ドローラ（上部）、９…下部フレーム５の駆動用
シヤフト、１０…９の駆動用ベルト、１１…ウエ
ハホルダ、１２…ウエハキヤリヤ、１３…押え部
材２の係止部、１４…１３との係合部、１５…エ
アシリンダ３の係止部、１６…５の駆動用モー
タ、１７…溝、１８…側板、１９…ウエハチヤツ
ク、２０…ウエハ、２０ａ…つき上げられたウエ
ハ、２１…ウエハキヤリヤ開口部。
Claims (1)
- ウエハ移し換え装置において、上方に複数のウ
エハホルダを設けた複数枚のつき上げ板を垂直・
等間隔に配設し、該各つき上げ板の下方に係合部
を形成し、前記つき上げ板の外側に上下動可能な
フレームを設け、該フレームに前記係合部のそれ
ぞれに対応して係合する押え部材を設け、この装
置の前記ウエハホルダにより突き上げられたウエ
ハを移し換えるようにしたことを特徴とするウエ
ハ移し換え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP390984U JPS60116245U (ja) | 1984-01-14 | 1984-01-14 | ウエハ移し換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP390984U JPS60116245U (ja) | 1984-01-14 | 1984-01-14 | ウエハ移し換え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116245U JPS60116245U (ja) | 1985-08-06 |
| JPH0220834Y2 true JPH0220834Y2 (ja) | 1990-06-06 |
Family
ID=30478977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP390984U Granted JPS60116245U (ja) | 1984-01-14 | 1984-01-14 | ウエハ移し換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60116245U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5030057A (en) * | 1987-11-06 | 1991-07-09 | Tel Sagami Limited | Semiconductor wafer transferring method and apparatus and boat for thermal treatment of a semiconductor wafer |
-
1984
- 1984-01-14 JP JP390984U patent/JPS60116245U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60116245U (ja) | 1985-08-06 |
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