CN217822670U - 一种晶圆的字符识别机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆的字符识别机构，它涉及信息识别技术领域，其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉识别定位机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。采用上述技术方案后，本实用新型采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，降低了人工成本。

Description

一种晶圆的字符识别机构

技术领域

本实用新型涉及信息识别技术领域，具体涉及一种晶圆的字符识别机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆在未加工或加工完成后，在其上一般都会有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库前，需要对晶圆上的镭雕信息进行字符识别，传统的字符识别是采用人工将晶圆放到相机下进行信息识别，这样需要大量的人工，且所需时间更长，人工在长期劳作下也更易疲劳，可能会出现识别出错等问题，且人工成本较高。

有鉴于此，本实用新型针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工，提高效率，提高准确性，降低人工成本的晶圆的字符识别机构。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：

一种晶圆的字符识别机构，其包括

工作台，

环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；

多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉识别定位机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。

进一步，还包括多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道上移动。

进一步，所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮、多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。

进一步，所述视觉检测机构还包括固定板、隔板及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源。

进一步，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。

进一步，所述晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，所述支撑盘设置在控制底座上，所述两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器设置在第三连接臂上。

进一步，所述晶舟盒具有一边大一边小的开口，晶舟盒上具有多个条形卡槽，每个条形卡槽都用来放置晶圆。

采用上述技术方案后，本实用新型中晶舟盒在被夹取到环形传输机构上并在环形轨道上移动，晶圆机械手夹取晶舟盒上的晶圆至视觉检测机构进行字符识别，识别完成后通过晶圆机械手夹取回晶舟盒的原位置内，当整个晶舟盒内的晶圆都识别完成时，则完成晶圆的字符识别,采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，提高准确性，降低了人工成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型未安装皮带的结构示意图。

图2是本实用新型物料平台的结构示意图。

图3是本实用新型视觉检测机构的结构示意图。

图4是本实用新型中晶舟盒的结构示意图。

图5是本实用新型中晶圆机械手的结构示意图。

图6是本实用新型中皮带的结构示意图。

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参看图1-图6所示，本实用新型揭示了一种晶圆的字符识别机构，其包括工作台11、环形轨道传输机构12、多个视觉检测机构13、多个用于将晶圆在视觉检测机构13与晶舟盒6之间来回移动的晶圆机械手15、多个用于放置晶圆的晶舟盒6。

所述工作台11为矩形工作台，工作台11的中间具有开口槽111。

所述环形轨道传输机构12设置在工作台11上，所述晶舟盒6在环形轨道传输机构12上移动；所述视觉检测机构13设置在工作台11上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机16用于打印标签；

所述环形轨道传输机构12包括环形轨道121、皮带122、多个皮带轮123、多个推板124及多个物料平台125，所述环形轨道121设置在工作台11上，所述皮带122沿环形轨道121设置，所述皮带轮123设置在工作台11上，并带动皮带122传动，所述推板124设置在皮带122上，所述物料平台125设置在环形轨道121上，所述推板124相对物料平台125设置，皮带122传动带动推板124传动，推板124移动带动物料平台125移动，所述物料平台125用于放置所述晶舟盒6。

所述物料平台125包括滑动轮1251、底板1252及置物板1253，所述滑动轮1252设置在底板1252的底面，卡在所述环形轨道121的两侧，滑动轮1252可在环形轨道121上滑动，所述底板1252上设置有卡槽a，所述卡槽a的位置与所述推板124的位置相对应，推板124卡入卡槽a中，所述置物板1253设置在底板1252上，所述置物板1253的表面边缘设置有限位块b，所述限位块b用于对晶舟盒6进行限位。

皮带轮123转动，带动皮带122传动，传动时，设置在皮带122上的推板124会随着皮带122一起传动，从而带动物料平台125一起传动，使得放置在物料平台125上的晶舟盒6能够随着物料平台125移动，物料平台125的数量设置有N个，可根据需要对物料平台125的数量进行调整。

本实施例中，皮带轮123的数量设置有四个，分别位于环形轨道121的四个角。

所述视觉检测机构13可设置多个，从而提高识别效率，本实施例中，视觉检测机构13设置有两个，所述视觉检测机构13包括固定板131、隔板132、第一相机133、第二相机134及光源135，所述固定板131设置在所述工作台11上，固定板131上设置有隔板132，隔板132的上方设置有第一相机133，隔板132的下方设置有第二相机134，所述第一相机133及第二相机134皆朝向隔板132设置，第一相机133及第二相机134上皆设置有光源135，所述隔板132上设置有定位槽c及U形槽d，第一相机133及第二相机134能够透过U形槽d识别晶圆上的镭雕信息。

晶圆机械手15将晶圆抓取至隔板132的定位槽c上，然后通过第一相机133或第二相机134对晶圆上的镭雕信息进行字符识别，从而获得晶圆的批次、型号、规格等信息，当晶圆为未加工晶圆时，镭雕信息只位于晶圆的背面，当晶圆加工后时，晶圆的正面也具有镭雕信息，因此需要设置第一相机133及第二相机134两个相机对晶圆进行字符识别，避免出错。

所述晶舟盒6具有一边大一边小的开口，晶舟盒6上具有多个条形卡槽61，每个条形卡槽61都用来放置晶圆，在提高晶圆的存放量的同时还使得晶圆机械手15在抓取晶圆进行字符识别后，能够将晶圆放回原位置中，一大一小的开口设置，使得晶舟盒6在旋转后，不会从晶舟盒6上掉落。

本实施例中，晶舟盒6的数量根据物料平台125的数量设计。

所述晶圆机械手15可设置多个，晶圆机械手15包括控制底座151、支撑盘152、两第一连接臂153、两第二连接臂154、两第三连接臂155、上夹臂156、下夹臂157及传感器158，所述支撑盘152设置在控制底座151上，所述两第一连接臂153的一端可活动的设置在支撑盘152上，两第一连接臂153的另一端各连接一第二连接臂154的一端，两第二连接臂154的另一端各连接两第三连接臂155的一端，其中一第三连接臂155连接上夹臂156的一端，另一第三连接臂155连接下夹臂157的一端，上夹臂156与下夹臂157上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器158设置在第三连接臂155上，传感器158用于检测晶圆机械手15上是否夹取有晶圆。

第一连接臂153与第二连接臂154的连接方式为可活动连接。

第二连接臂154与第三连接臂155的连接方式为可活动连接。

第三连接臂155与上夹臂156或下夹臂157之间的连接方式为可活动连接。

上夹臂156及下夹臂157的另一端皆为圆弧形结构，使得在夹取晶圆时能够减少与晶圆的接触面，避免损坏晶圆。

本实施例中，晶圆机械手15设置有两个，与视觉检测机构13的数量对应，每个晶圆机械手15分别对应一个视觉检测机构13，两个晶圆机械手15能够与两个视觉检测机构13配合使用，同时夹取晶圆进行字符识别，从而提高识别效率。

晶圆机械手15能够移动，从而根据晶舟盒6的位置调整自身的位置。

本实用新型工作原理为：晶舟盒6在被夹取到环形传输机构2上的环形轨道121的物料平台125上后，皮带122带动晶舟盒6在环形轨道121上移动，晶圆机械手15夹取晶舟盒6上的晶圆至视觉检测机构13进行字符识别，识别完成后通过晶圆机械手15夹取回晶舟盒6的原位置内，当整个晶舟盒6内的晶圆都识别完成时，则完成晶圆的字符识别,采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，降低了人工成本。

以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (7)

1.一种晶圆的字符识别机构,其特征在于：其包括

工作台，

环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；

多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：还包括多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道上移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮、多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述视觉检测机构还包括固定板、隔板及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，所述支撑盘设置在控制底座上，所述两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器设置在第三连接臂上。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述晶舟盒具有一边大一边小的开口，晶舟盒上具有多个条形卡槽，每个条形卡槽都用来放置晶圆。

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