JPS5832267Y2 - 基板保持器用押上げ具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、基板保持器に収納保持された半導体ウェハ
などの基板をこの基板保持器から押上げることによって
その表面状態を確認し得るようにした押上げ具に関する
ものである。

第１図に示されているように半導体ウェハ（以下単に基
板という）１のマガジンとしての基板保持器２は基板１
を立てて一定ピッチ毎に収納し、基板１を一括して化学
処理あるいは熱処理を行ったり、またはこの基板保持器
２を立てて、すなわち基板１を寝かせた状態にて、基板
１を一枚ずつ自動的に出し入れする装置のための治具と
して広範に利用されている。

この基板保持器２は、第１図からも明らかなように、１
対の側板部材３ａおよび３ｂをその長手方向両端部に配
したスペーサ４により所定間隔で相対向するように結合
されるとともにこれら１対の側板部材３ａおよび３ｂの
各内面に対して各々１組となって上部を開口させた複数
組の保持溝５を一定ピッチで相平行して形成させ、上述
した個々の基板１をこれら各保持溝５に収納保持させる
ようにしたものである。

この基板保持器２は近年、基板１の各種処理プロセスの
自動化に便利なために脚光を浴びており、ホトレジスト
の自動塗布のマガジン用具等自動装置のマガジン用、そ
の他前述したようなバッチ処理に適している。

しかしながらこの基板保持器２にあっては、収納された
基板１の表面は一度に見ることはできない。

すなわちこの種のマガジンは一定容積内に多数の基板１
を整列集積保持しておくことに特徴があり、保持溝５の
相互のピッチも一般に４．８ ｍｍ （３／１６ ｉｎ
）を代表に２．４ｍｍ（３〜３２ ｉｎ）、１．２ｍｍ
（３／６４ ｉｎ）など非常に狭いことが常であり、ト
レイ型の基板保持具のように基板１を肉眼で確認するこ
とは困難を極める。

このようにして、基板保持器２内の基板１を肉眼で見な
ければならない理由としては、（ｉ）基板１を自動的に
一枚ずつ表面処理する場合などはあらかじめ基板１の表
裏を区別して揃えておく必要がある。

（ｉｉ）各種の表面処理の仕上り具合を目視検査する必
要がある。

（ｉｉｉ）基板１が基板保持器２の保持溝５に接着しな
いように時折滑動させる必要がある。

などである。しかし、従来はその場におよんでは第１図
に示すようにピンセット６などで収納されているすべて
の基板１をいちいち引き出してはその表面の確認をした
りしなければならず、極めて作業性が悪いばかりか、基
板１をつかみ損ねて取り落したり、第２図のように破損
１ａさせたり汚したり１ｂすることが多く、目視検査を
した際にかえって歩留りを低下させていた。

この考案は上述した従来の基板保持器でのこのような欠
点を改善して、保持溝に保持されている基板の基極表面
をいちいちピンセットなどで取り出すようなことをせず
に確認させるため、保持溝内の任意の基板を押上げ得る
ようにした押上げ具を提供するものである。

以下この考案に係わる押上げ具の一実施例につき第３図
および第４図を参照して詳細に説明する。

第３図はこの考案の一実施例の押上げ具を示しており、
この第３図において押上げ具７は基板押上げ片８を多数
連ねて、上記基板保持器２の側板部材３ａおよび３ｂの
間隔よりも幾分狭くした幅と、この側板部材３ａおよび
３ｂを長手方向に沿わせて案内し得る長さになっており
、上記基板押上げ片８−１．８−２・・・・・・８−８
は基板保持器２の保持溝５の各々の数とピッチに合わせ
られており、かつ頂部に円弧溝９を有する。

この円弧溝９は曲率および幅が適用する基板１のそれに
近似させてあり、この円弧溝９上に基板１を立てられる
ようになっている。

１０は前記基板押上げ片８の脚部で、てこ棒１１−１．
１１−２・・・・・・１１−８とそれぞれ回転軸１２に
より連結されている。

なお、１３は前記てこ棒１１−１〜１１−８の支え軸で
ある。

ここで、押上げ具７の高さは平常時においては、基板保
持器２の高さより十分低い位置にあり、目的とするてこ
棒１１８を押し下げると、基板押上げ片８−８の高さは
上記基板保持器２の高さと等しいか高くなるようにしで
ある。

第４図は押上げ具７と基板保持器２とをセットするとき
に用いる補助具１４で、基板保持器２を支え、かつ、て
こ棒１１の操作を容易にするものである。

しかしてこの構成による押上げ具７を使用するには、第
５図に示すように各保持溝５内に基板１を挿入保持させ
た基板保持器２を補助具１４および押上げ具７の上方か
ら互いの保持溝５および円弧溝９を合わせてかぶせ、目
的とする基板１の位置に相当するてこ棒、例えば１１−
８を押し下げると、てこ棒１１−８の位置の基板１は塞
板保持器２より突出し、容易に目視することができる。

また基板保持器２の左または右に目視方向を変えること
で基板１の表裏がピンセット６等で触れることなくチェ
ックできる他、基板１を汚したり傷付けたりする危険も
全くない。

基板１を目視した後は、てこ棒１１を離すと基板１の自
重で押上げ具７は下がり、基板保持器２を上方へ抜き取
ると元の状態に簡単に復帰できる。

なお、上記実施例では基板１として半導体ウェハについ
て説明したが、その他のガラス基板、セラミック基板、
サファイヤ基板などにも適用し得るものであり、さらに
、この基板押上げ片８−１〜８８の材質は基板１を汚染
させたり傷付けないものであれば何でもよく、テフロン
等の合成樹脂が一般的に好ましい。

以上説明したようにこの考案は、頂部に円弧溝を有する
基板押上げ片を基板保持器内の各保持溝に合わせて個々
に連結し、基板保持器に保持された基板の任意のものを
押し上げるようにしたので、従来のように基板をいちい
ちピンセット等で抜き出して表面状態の判別、確認など
のチェックをせずに済み、極めて簡単で迅速に作業し得
るのみならず、基板の損傷や汚染を最小限に防止でき、
かつ安価に提供できる等の利点を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案を適用する基板保持器の構成を示す斜
視図、第２図は従来の基板取り出し操作で発生する基板
損傷状態を示す正面図、第３図はこの考案による押上げ
具の一実施例を示す斜視図、第４図は押上げ具の補助具
を示す斜視図、第５図はこの押上げ具の使用状態を示す
斜視図である。 図中、１は基板、２は基板保持具、３ ａ 、３ ｂは
側板部材、４はスペーサ、５は保持溝、７は押上げ具、
８は基板押上げ片、９は円弧溝、１０は脚部、１１はて
こ棒、１２は回転軸、１３は支え軸、１４は補助具であ
る。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. １対の側板部材を長手方向両端部に配したスペーサによ
   り所定間隔で相対向するように結合させるとともに各側
   板部材の内面に各々１組となって上部を開口した複数組
   の保持溝を一定ピッチで相平行して形成させ、これら各
   組の保持溝に個々の基板を挿入保持させるようにした基
   板保持器において、前記１対の側板部材の間隔よりも狭
   くした幅とこの側板部材を長平方向に沿わせて案内しか
   つ前記保持溝の各々に対応する円弧溝を頂部に有する基
   板押上げ片を前記基板保持器用保持溝数だけ連ねて配し
   １．前記基板押上げ片の下部脚部には押圧によりそれぞ
   れの基板押上げ片を上昇させるてこ棒をそれぞれ係合せ
   しめたことを特徴とする基板保持器用押上げ具。