KR102428590B1 - 전자 소자용 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자 소자용 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 소자에 대한 에이징 테스트를 수행하기 위한 전자 소자용 테스트 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자용 테스트 장치는 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 지지하는 지지부; 온도가 조절되는 수용 공간에 상기 테스트 보드 중 적어도 상기 전자 소자를 수용하도록 상기 지지부에 대응하여 제공되는 챔버벽체; 상기 지지부 상의 상기 수용 공간에 대응하는 위치에 상기 테스트 보드를 반입 및 반출하는 반송로봇; 및 상기 테스트 보드에 연결되어 상기 전자 소자에 대한 테스트 신호를 전송하는 접속연결부;를 포함할 수 있다.

Description

전자 소자용 테스트 장치{Test apparatus for electronic device}

본 발명은 전자 소자용 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 소자에 대한 에이징 테스트(aging test)를 수행하기 위한 전자 소자용 테스트 장치에 관한 것이다.

최근 컴퓨터 기술의 급속한 발달 및 보급에 따라 이에 연결되어 이용될 수 있는 메모리 소자 등의 전자 소자 기술 역시 비약적을 발전하고 있다.

이러한 전자 소자의 고집적화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어 그 제조 및 테스트 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.

특히, 전자 소자 중에서 디램(Dynamic Random Acess Memory; DRAM), 솔리드 스테이트 드라이브(Solid State Drive; SSD), 내장형 멀티미디어 카드(embedded Multi Media Card; eMMC) 등의 메모리 소자(memory device)는 사용되는 조건이 다양하고 메모리(memory)의 사용에 따른 자체 발열로 인해 불량이 발생할 수 있으므로, 제품 출하 전에 에이징 테스트(예를 들어, 온도 신뢰성 검사)를 수행하게 된다.

종래에는 테스트 장치의 챔버에 테스트 대상인 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 배치시킨 상태에서 테스트 보드를 케이블로 연결하여 고온의 분위기에서 전자 소자에 대한 신뢰성 테스트를 수행하였으며, 전자 소자의 장착, 테스트 보드의 반입, 테스트 프로그램의 운영까지 사람이 수작업으로 진행하여 제품 가동율이 낮은 문제점이 있었다.

한국등록실용신안공보 제20-0221222호

본 발명은 고온과 저온의 환경에서 전자 소자에 대한 테스트가 진행되는 챔버벽체의 수용 공간에 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 자동으로 반입 및 반출하는 전자 소자용 테스트 장치를 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자용 테스트 장치는 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 지지하는 지지부; 온도가 조절되는 수용 공간에 상기 테스트 보드 중 적어도 상기 전자 소자를 수용하도록 상기 지지부에 대응하여 제공되는 챔버벽체; 상기 지지부 상의 상기 수용 공간에 대응하는 위치에 상기 테스트 보드를 반입 및 반출하는 반송로봇; 및 상기 테스트 보드에 연결되어 상기 전자 소자에 대한 테스트 신호를 전송하는 접속연결부;를 포함할 수 있다.

상기 반송로봇은, 상기 테스트 보드에 선택적으로 연결되어 제1 축 방향으로 상기 테스트 보드를 이동시키는 보드이동부; 및 상기 테스트 보드를 지지하며, 상기 테스트 보드의 이동에 따라 회전하는 가이드 롤러를 포함할 수 있다.

상기 테스트 보드는 적어도 하나의 피연결부를 포함하고, 상기 보드이동부는 상기 피연결부와 선택적으로 연결되는 연결부재를 포함할 수 있다.

상기 보드이동부는, 상기 테스트 보드의 피연결부와 선택적으로 연결되는 제1 연결부재를 가지며, 상기 제1 축 방향으로 연장되어 상기 가이드 롤러의 상부에 제공되는 상부 그립부; 상기 상부 그립부와 대향하여 제공되며, 상기 피연결부와 선택적으로 연결되는 제2 연결부재를 갖는 하부 그립부; 및 상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부를 각각 이동시키는 그립구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부는 상기 제1 축 방향 길이가 상이하며, 상기 상부 그립부는 상기 제1 축 방향 양측 중 일측에 상기 제1 연결부재를 갖고, 상기 하부 그립부는 상기 제1 축 방향 양측 중 타측에 상기 제2 연결부재를 가질 수 있다.

상기 피연결부는 상기 테스트 보드의 상기 제1 축 방향 양단부 중 적어도 어느 하나의 단부에 제공되며, 상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부 중 상대적으로 길이가 짧은 그립부는 상기 가이드 롤러 상에서 상기 테스트 보드를 이동시키고, 상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부 중 상대적으로 길이가 긴 그립부는 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부에 의해 상기 테스트 보드가 상기 가이드 롤러 상에서 이동한 후에 상기 테스트 보드와 연결되어 상기 테스트 보드를 상기 수용 공간에 대응하는 위치에 반입할 수 있다.

상기 반송로봇은 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이격되어 상기 가이드 롤러의 상기 제2 축 방향 양측에 각각 제공되며, 상기 가이드 롤러에 지지된 상기 테스트 보드를 정렬시키는 정렬부를 더 포함할 수 있다.

상기 지지부는 상기 가이드 롤러에서 전달되는 상기 테스트 보드를 지지하는 지지 롤러를 포함할 수 있다.

상기 반송로봇은 상기 지지부의 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제공되며, 상기 접속연결부는 상기 지지부의 제1 축 방향 양측 중 상기 반송로봇의 반대측에 제공되어, 상기 테스트 보드와 선택적으로 연결되는 제1 접속단자를 포함하고, 상기 테스트 보드는 상기 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 상기 제1 접속단자와 접속되는 제2 접속단자를 포함할 수 있다.

상기 반송로봇은 상기 제2 접속단자가 상기 제1 접속단자를 향하도록 상기 테스트 보드를 상기 제1 축 방향으로 반입 및 반출할 수 있다.

상기 테스트 보드는 상기 제1 축 방향 양측 중 상기 제2 접속단자와 동일한 측에 제공되는 피체결부를 더 포함하고, 상기 접속연결부는 상기 제1 접속단자와 상기 제2 접속단자가 접속되도록 상기 피체결부와 체결되어 상기 테스트 보드를 견인하는 견인부를 더 포함할 수 있다.

상기 접속연결부는 상기 테스트 보드와 결합하여 상기 테스트 보드를 정렬시키도록 상기 테스트 보드를 향하여 돌출 형성되는 결합핀을 더 포함할 수 있다.

상기 수용 공간의 온도를 제어하는 온도제어부;를 더 포함할 수 있다.

상기 챔버벽체는 상기 전자 소자가 장착된 상기 테스트 보드의 장착면을 덮는 커버 형상으로 제공될 수 있다.

상기 반송로봇을 승강시키는 승강부;를 더 포함하고, 상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되어 다단으로 배치될 수 있다.

상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되며, 상기 반송로봇을 중심으로 대칭되어 상기 반송로봇의 제1 축 방향 양측에 각각 제공되고, 상기 접속연결부는 상기 챔버벽체 각각에 대응되어 대칭적으로 제공될 수 있다.

제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 반송로봇을 이동시키는 이송부;를 더 포함하고, 상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되어 상기 제2 축 방향으로 배열될 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따른 전자 소자용 테스트 장치는 반송로봇을 통해 자동으로 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 지지부에 지지 및 제거할 수 있으며, 이에 따라 고온과 저온의 환경에서 전자 소자에 대한 테스트가 진행되는 챔버벽체의 수용 공간에 자동으로 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 반입 및 반출할 수 있다. 또한, 수작업으로 진행하던 테스트 보드의 반입 및 테스트의 진행을 자동으로 진행할 수 있어 제품 가동율(또는 제품의 생산 수율)이 향상될 수 있다.

그리고 지지부가 지지 롤러로 구성되고 지지 롤러에서 연장되는 가이드 롤러를 따라 반송로봇이 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드를 효과적으로 지지부에 지지시키고 지지부에서 제거할 수 있다.

또한, 정렬부를 통해 테스트 보드를 가이드 롤러 상에 정렬시킬 수 있고, 보드이동부의 연결부재를 테스트 보드의 피연결부와 연결하여 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드의 정렬을 유지하면서 테스트 보드를 지지부의 지지 롤러로 진입시킬 수 있으며, 이에 따라 보드이동부를 통해 테스트 보드를 지지부로 이송하는 것만으로 접속연결부의 제1 접속단자와 테스트 보드의 제2 접속단자를 정렬시켜 결합(또는 접속)시킬 수 있다. 즉, 테스트 보드의 반입 및 반출뿐만 아니라 제1 접속단자와 제2 접속단자의 접속도 자동으로 이루어질 수 있다.

그리고 보드이동부를 길이가 상이한 상부 그립부와 하부 그립부로 구성하여 길이가 짧은 그립부는 가이드 롤러의 구간 내에서 테스트 보드를 이동시키고, 길이가 긴 그립부는 가이드 롤러로부터 지지부의 지지 롤러로 테스트 보드를 이송할 수 있으며, 이에 따라 보드이동부를 통해 챔버벽체에 대한 간섭을 최소화하면서 효과적으로 테스트 보드를 지지부 상에 지지시킬 수 있고, 지지부로부터 테스트 보드를 제거할 수 있다.

한편, 챔버벽체를 복수개로 구성하여 다단으로 적층 및/또는 수평적으로 배열함으로써, 복수의 테스트 보드(즉, 복수의 전자 소자)에 대한 테스트가 한꺼번에(또는 동시에) 수행될 수 있으며, 반송로봇을 승강시키는 승강부와 반송로봇을 이동시키는 이송부를 통해 하나의 반송로봇으로 복수의 챔버벽체의 수용 공간 각각에 테스트 보드를 반입 및 반출할 수 있고, 하나의 반송로봇을 복수의 챔버벽체에 각각 대응하는 복수의 지지부에서 공유할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자용 테스트 장치를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 나타낸 그림.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반송로봇을 나타낸 그림.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반송로봇에 의한 테스트 보드의 반입 및 반출을 설명하기 위한 개념도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬부를 나타낸 그림.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 견인부를 나타낸 그림.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 제어부를 나타낸 개략도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 승강부와 이송부를 나타낸 그림.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 다단으로 배치된 챔버벽체를 나타낸 개략도.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버벽체의 배열을 나타낸 개략도.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자용 테스트 장치를 나타낸 개략도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자용 테스트 장치(100)는 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(50)를 지지하는 지지부(110); 온도가 조절되는 수용 공간(121)에 상기 테스트 보드(50) 중 적어도 상기 전자 소자(10)를 수용하도록 상기 지지부(110)에 대응하여 제공되는 챔버벽체(120); 상기 지지부(110) 상의 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 상기 테스트 보드(50)를 반입 및 반출하는 반송로봇(140); 및 상기 테스트 보드(50)에 연결되어 상기 전자 소자(10)에 대한 테스트 신호를 전송하는 접속연결부(130);를 포함할 수 있다.

지지부(110)는 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(test board, 50)가 지지될 수 있으며, 전자 소자(10)에 대한 테스트(예를 들어, 에이징 테스트 또는 온도 신뢰성 검사 등)가 수행되는 동안 테스트 보드(50)를 지지할 수 있다. 여기서, 전자 소자(10)는 디램(Dynamic Random Acess Memory; DRAM), 솔리드 스테이트 드라이브(Solid State Drive; SSD), 내장형 멀티미디어 카드(embedded Multi Media Card; eMMC) 등의 메모리 소자(memory device), 반도체 소자(semiconductor device) 등을 포함할 수 있다.

챔버벽체(120)는 온도가 조절되는 수용 공간(121)에 테스트 보드(50) 중 적어도 전자 소자(10)를 수용하도록 제공될 수 있으며, 지지부(110)에 대응하여 제공될 수 있다. 이때, 챔버벽체(120)는 수용 공간(121)을 정의할 수 있으며, 수용 공간(121)을 가질 수도 있다.

예를 들어, 챔버벽체(120)는 전면(全面)이 벽으로 이루어진(또는 닫힌) 챔버(chamber)로 구성될 수도 있고, 일면이 개방(open)되어 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50) 등과 챔버를 형성하도록 구성될 수도 있으며, 챔버벽체(120)가 테스트 보드(50)와 챔버를 형성하게 되면, 테스트 보드(50)가 상기 챔버의 벽을 형성(또는 구성)하게 되고, 수용 공간(121)에 전자 소자(10)가 수용될 수 있다. 여기서, 챔버벽체(120)가 전면이 벽으로 이루어진 챔버로 구성되는 경우에는 벽으로 둘러싸인 챔버의 내부 공간이 수용 공간(121)일 수 있고, 지지부(110)는 적어도 부분적으로 수용 공간(121)에 제공될 수 있으며, 테스트 보드(50)를 수용 공간(121) 내에 반입 및 반출하기 위해 어느 한 면의 벽이 문(gate or door)과 같이 적어도 부분적으로 개폐될 수 있다.

그리고 일면이 개방되어 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)와 챔버를 형성하도록 챔버벽체(120)가 구성되는 경우에는 개방된 상기 일면과 벽(들)이 정의하는(또는 둘러싸는) 공간이 수용 공간(121)일 수 있고, 간격조절부(미도시) 등을 통해 챔버벽체(120)와 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)의 간격을 조절할 수 있으며, 챔버벽체(120)를 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)로부터 이격시켜 지지부(110)의 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있고, 테스트 보드(50)가 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입(또는 위치)되면 챔버벽체(120)를 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)와 접촉(또는 밀착)시켜 챔버를 형성할 수 있다. 이때, 챔버벽체(120)와 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)는 접촉되어 결합되도록 구성될 수도 있으며, 서로 이격되면서 분리(또는 결합 해제)될 수 있다.

여기서, 챔버벽체(120)는 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(50)의 장착면을 덮는 커버 형상으로 제공될 수 있다. 즉, 챔버벽체(120)가 상기 테스트 보드(50)의 장착면을 덮어 상기 장착면과 챔버벽체(120)의 벽(들)이 수용 공간(121)을 형성할 수 있고, 수용 공간(121)에 전자 소자(10)가 수용될 수 있다. 이러한 경우, 전자 소자(10)만이 수용 공간(121)에 수용될 수 있으며, 상기 테스트를 위한 수용 공간(121)의 온도 영향이 가급적 전자 소자(10)에만 미칠 수 있도록 하고, 테스트 보드(50)에 상기 수용 공간(121)의 온도 영향이 미치는 것을 최소화할 수 있다. 테스트 보드(50)에는 전자 소자(10)에 대한 상기 테스트를 위해 중앙처리장치(Central Processing Unit; CPU) 등의 반도체 소자가 내장될 수 있으며, 이러한 반도체 소자는 온도의 영향을 많이 받게 되므로, 테스트 보드(50) 자체가 상기 수용 공간(121)의 온도 영향을 받아 상기 반도체 소자에도 영향을 미치게 되면, 상기 테스트의 신뢰성이 저하될 수 있다. 이에 따라 본 발명에서는 챔버벽체(120)를 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(50)의 장착면을 덮는 커버 형상으로 제공하여 테스트 보드(50) 중 수용 공간(121)에 수용되는 부분을 최소화함으로써, 테스트 보드(50)에 상기 수용 공간(121)의 온도 영향이 미치는 것을 최소화할 수 있다.

챔버벽체(120)의 형상과 구조는 이에 한정되지 않고, 온도가 조절되는 수용 공간(121)을 가져 전자 소자(10)에 대한 테스트를 위해 적어도 전자 소자(10)를 수용 공간(121)에 수용할 수 있으면 족하다.

접속연결부(130)는 테스트 보드(50)에 연결되어 전자 소자(10)에 대한 테스트 신호를 전송(또는 전달)할 수 있으며, 지지부(110) 상에서 테스트 보드(50)와 연결될 수 있고, 테스트 보드(50)와 접속하여 전자 소자(10)에 대한 테스트를 진행(또는 수행)하는 테스트부(152)를 테스트 보드(50)와 연결하여 접속시킬 수 있다. 이때, 접속연결부(130)는 유선 또는 무선 방식으로 테스트 보드(50)와 테스트부(152)를 연결할 수 있고, 상기 테스트 신호는 전기 신호 또는 통신 신호일 수 있다. 여기서, 접속연결부(130)는 상호 결합에 의해 테스트부(152)와 일체화되어 제공될 수도 있고, 테스트부(152)가 선택적으로 연결(또는 결합)되도록 구성될 수도 있다.

예를 들어, 접속연결부(130)는 테스트부(152)로부터 상기 테스트 신호를 전송받아 테스트 보드(50)를 통해 전자 소자(10)로 전송할 수 있고, 상기 테스트 신호에 대한 응답 신호를 전자 소자(10)로부터 테스트 보드(50)를 통해 전송받아 테스트부(152)로 전송할 수 있다.

한편, 테스트부(152)는 컴퓨터(Personal Computer; PC) 등일 수 있고, 외부에 별도로 제공되어 접속연결부(130)에 선택적으로 연결하여 사용할 수 있다.

반송로봇(140)은 지지부(110) 상의 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있다. 즉, 반송로봇(140)은 테스트 보드(50)를 지지부(110)에 지지시킬 수 있고, 지지부(110)에서 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 위치시킬(또는 제공할) 수 있으며, 지지부(110)에 지지된 테스트 보드(50)를 지지부(110)에서 제거(또는 상기 지지부로부터 반송)할 수도 있다.

예를 들어, 반송로봇(140)은 지지부(110) 상의 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 제공하여(또는 위치시켜) 테스트 보드(50)에 장착된 전자 소자(10)가 수용 공간(121)에 수용되도록 할 수 있고, 전자 소자(10)에 대한 테스트가 완료된 테스트 보드(50)를 지지부(110)로부터 반송(또는 반출)할 수 있다. 지지부(110)의 적어도 일부가 챔버벽체(120)의 내부(즉, 상기 수용 공간)에 제공되는 경우에는 반송로봇(140)이 수용 공간(121)에 테스트 보드(50)를 반입하여 지지부(110)에 지지되도록 할 수 있으며, 지지부(110)가 챔버벽체(120)로부터 분리되는 경우에는 반송로봇(140)이 테스트 보드(50)를 지지부(110)에 지지시키고 챔버벽체(120)를 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)에 접촉(또는 결합)시켜 테스트 보드(50)가 수용 공간(121)에 반입(또는 제공)되도록 할 수 있다. 반대로, 지지부(110)의 적어도 일부가 챔버벽체(120)의 내부에 제공되는 경우에 반송로봇(140)이 지지부(110)로부터 테스트 보드(50)를 회수(또는 제거)하여 수용 공간(121)에서 테스트 보드(50)를 반출할 수 있고, 지지부(110)가 챔버벽체(120)로부터 분리되는 경우에는 챔버벽체(120)를 지지부(110) 및/또는 테스트 보드(50)로부터 분리시켜 테스트 보드(50)를 수용 공간(121)에서 제거한(또는 꺼낸) 후에 반송로봇(140)이 테스트 보드(50)를 회수하여 테스트 보드(50)를 반출할 수 있다.

종래에는 전자 소자(10)의 장착, 테스트 보드(50)의 반입(또는 투입), 테스트 프로그램의 운영까지 사람이 수작업으로 진행하여 제품 가동율이 낮은 문제점이 있었으나, 본 발명의 전자 소자용 테스트 장치(100)는 반송로봇(140)을 통해 자동으로 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(50)를 지지부(110)에 지지 및 제거할 수 있다. 이에 따라 고온과 저온의 환경에서 전자 소자(10)에 대한 테스트가 진행되는 챔버벽체(120)의 수용 공간(121)에 자동으로 전자 소자(10)가 장착된 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있고, 제품 가동율(또는 제품의 생산 수율)이 향상될 수 있다.

여기서, 반송로봇(140)은 지지부(110)의 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제공될 수 있으며, 테스트 보드(50)를 지지부(110)를 향해 상기 제1 축 방향으로 이동시켜 테스트 보드(50)가 지지부(110)에 지지되도록 할 수 있고, 상기 제1 축 방향 중 지지부(110)의 반대방향으로 지지부(110)에 지지된 테스트 보드(50)를 이동시켜 지지부(110)로부터 제거(또는 회수)할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 나타낸 그림이다.

도 2를 참조하면, 접속연결부(130)는 지지부(110)의 제1 축 방향 양측 중 반송로봇(140)의 반대측에 제공되어, 테스트 보드(50)와 선택적으로 연결되는 제1 접속단자(131)를 포함할 수 있다. 제1 접속단자(131)는 지지부(110)의 제1 축 방향 양측 중 반송로봇(140)의 반대측에 제공될 수 있고, 테스트 보드(50)와 선택적으로 연결될 수 있다. 여기서, 제1 접속단자(131)가 테스트 보드(50)와 연결됨으로써, 접속연결부(130)와 테스트 보드(50)가 전기적(또는 통신적)으로 연결될 수 있고, 접속연결부(130)에 연결된 테스트부(152)로부터 전송되는 상기 테스트 신호가 접속연결부(130)와 테스트 보드(50)를 통해 전자 소자(10)로 전송될 수 있다.

그리고 테스트 보드(50)는 상기 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제1 접속단자(131)와 접속되는 제2 접속단자(52)를 포함할 수 있다. 제2 접속단자(52)는 상기 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제공(또는 형성)될 수 있으며, 제1 접속단자(131)와 접속될 수 있다. 여기서, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)는 상호 결합되도록 구성될 수 있으며, 제2 접속단자(52)는 제1 접속단자(131)와 결합되어 접속될 수 있고, 제1 접속단자(131)에 전기적(또는 통신적)으로 연결될 수 있다. 이를 통해 접속연결부(130)와 테스트 보드(50)가 연결될 수 있고, 접속연결부(130)에 연결된 테스트부(152)와 테스트 보드(50)가 연결되어 접속될 수 있으며, 이에 따라 테스트부(152)와 테스트 보드(50) 및/또는 전자 소자(10) 간에 신호(예를 들어, 상기 테스트 신호와 상기 응답 신호)의 송수신이 가능할 수 있다.

예를 들어, 제1 접속단자(131)는 돌출핀 등을 포함하도록 구성될 수 있고, 제2 접속단자(52)는 상기 돌출핀이 삽입되는 삽입홀(또는 삽입홈) 등을 포함하도록 구성될 수 있으며, 상기 돌출핀이 상기 삽입홀(홈)에 삽입되어 결합됨으로써, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)가 결합되어 접속될 수 있다.

그리고 반송로봇(140)은 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)를 향하도록 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향으로 반입 및 반출할 수 있으며, 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)를 향하는 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향으로 제1 접속단자(131)를 향해(또는 상기 접속연결부를 향해) 이동시켜 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입할 수 있고, 테스트 보드(50)의 반입을 통해 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)에 접속되도록 할 수 있다. 반대로, 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)를 향해 제1 접속단자(131)에 접속된 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향 중 제1 접속단자(131)의 반대방향(또는 상기 접속연결부의 반대방향)으로 이동시켜 제2 접속단자(52)와 제1 접속단자(131)를 분리(또는 접속 해제)시킬 수 있고, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에서 반출할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반송로봇을 나타낸 그림으로, 도 3(a)는 반송로봇의 사시도이고, 도 3(b)는 반송로봇의 정면도이다.

도 3을 참조하면, 반송로봇(140)은 테스트 보드(50)에 선택적으로 연결되어 제1 축 방향으로 테스트 보드(50)를 이동시키는 보드이동부(141); 및 테스트 보드(50)를 지지하며, 테스트 보드(50)의 이동에 따라 회전하는 가이드 롤러(142)를 포함할 수 있다. 보드이동부(141)는 테스트 보드(50)에 선택적으로 연결되어 제1 축 방향으로 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있으며, 상기 테스트를 진행하기 위해 테스트 보드(50)를 지지부(110)에 지지시켰다가 상기 테스트가 완료된 후에 테스트 보드(50)를 지지부(110)로부터 제거(또는 회수)할 수 있다.

여기서, 지지부(110)는 반송로봇(140)의 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제공되어, 상기 제1 축 방향으로 테스트 보드(50)를 이동시키는 것만으로 테스트 보드(50)를 지지부(110)에 지지시키고 수용 공간(121)에 반입할 수 있으며, 지지부(110)에 지지된 테스트 보드(50)를 반송(또는 회수)하여 수용 공간(121)으로부터 반출할 수 있다. 그리고 보드이동부(141)는 테스트 보드(50)와 체결 및 (체결) 해제되어 테스트 보드(50)에 선택적으로 연결될 수 있으며, 보드이동부(141)와 테스트 보드(50)는 상호 체결될 수 있는 체결 구조를 가질 수 있다.

가이드 롤러(142)는 테스트 보드(50)를 지지할 수 있으며, 테스트 보드(50)의 이동에 따라 회전할 수 있다. 이를 통해 보드이동부(141)에 의한 테스트 보드(50)의 이동을 가이드할 수 있으며, 안정적이면서 효과적으로 테스트 보드(50)가 지지부(110) 상에 진입하여 지지되도록 할 수 있고, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입할 수 있다. 또한, 가이드 롤러(142)를 통해 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 이동이 가이드됨으로써, 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)에 정렬되어 접속되도록 할 수도 있고, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에서 테스트 보드(50)의 반출도 용이해질 수 있다.

예를 들어, 가이드 롤러(142)는 복수개로 구성되어 상기 제1 축 방향으로 배열될 수 있으며, 상기 제1 축 방향을 따라 회전하여 테스트 보드(50)의 이동을 가이드할 수 있다. 이때, 가이드 롤러(142)는 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이격되어 2열로 상기 제1 축 방향을 따라 배치(또는 배열)될 수 있으며, 이러한 경우에는 가이드 롤러(142)의 하부 및/또는 테스트 보드(50)의 하부에 하부 그립부(1412) 등이 제공될 수 있는 공간을 확보할 수 있고, 테스트 보드(50)와의 접촉 면적이 줄어들어 가이드 롤러(142)와의 마찰에 의한 테스트 보드(50)의 손상을 최소화할 수도 있다.

여기서, 지지부(110)는 가이드 롤러(142)에서 전달되는 테스트 보드(50)를 지지하는 지지 롤러(111)를 포함할 수 있다. 지지 롤러(111)는 가이드 롤러(142)에 이어서 가이드 롤러(142)로부터 테스트 보드(50)를 전달받을 수 있으며, 테스트 보드(50)의 이동에 따라 회전하여 지지부(110) 상에서의 테스트 보드(50)의 이동을 가이드할 수 있다. 이에 따라 가이드 롤러(142)에서 전달되는 테스트 보드(50)를 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치까지 안정적으로 가이드할 수 있고, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 지지할 수 있다. 이를 통해 테스트 보드(50)가 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입될 수 있다. 또한, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에서 테스트 보드(50)를 반출하는 것도 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 지지된 테스트 보드(50)를 지지 롤러(111) 상에서 상기 제1 축 방향으로 이동시키기만 하면 되기 때문에 매우 용이해질 수 있다. 그리고 지지 롤러(111)를 통해 가이드 롤러(142)에 이어 지지부(110) 상에서(즉, 상기 수용 공간에 대응하는 위치에서) 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 이동을 가이드함으로써, 더욱 효과적으로 제2 접속단자(52)를 제1 접속단자(131)에 정렬시켜 접속시킬 수 있다.

따라서, 지지부(110)가 지지 롤러(111)로 구성되고 지지 롤러(111)에서 연장되는 가이드 롤러(142)를 따라 보드이동부(141)가 테스트 보드(50)를 이동시킴으로써, 가이드 롤러(142)와 지지 롤러(111)에서 테스트 보드(50)가 연속적으로 가이드되어 테스트 보드(50)를 효과적으로 지지부(110)에 지지시키고 지지부(110)에서 제거할 수 있다.

한편, 지지 롤러(111)는 복수개로 구성될 수 있으며, 접촉 마찰에 의한 테스트 보드(50)의 손상을 최소화할 수 있도록 복수개가 상기 제2 축 방향으로 이격되어 2열로 상기 제1 축 방향을 따라 배열될 수 있고, 테스트 보드(50)와의 접촉 면적을 줄일 수 있다.

그리고 테스트 보드(50)는 적어도 하나의 피연결부(51)를 포함할 수 있고, 보드이동부(141)는 피연결부(51)와 선택적으로 연결되는 연결부재(141a)를 포함할 수 있다. 피연결부(51)는 테스트 보드(50)에 적어도 하나 제공될 수 있으며, 테스트 보드(50)에서 연결부재(141a)와의 연결(및 해제)이 용이한 부분(또는 위치)에 형성될 수 있다.

연결부재(141a)는 보드이동부(141)에 적어도 하나 제공될 수 있으며, 피연결부(51)와의 연결 및 해제가 용이하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 연결부재(141a)는 보드이동부(141)에서 피연결부(51)와의 연결 및 해제가 용이한 부분에 형성될 수 있고, 피연결부(51)와의 연결 및 해제가 용이한 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어, 연결부재(141a)는 피연결부(51)와 체결 및 해제될 수 있으며, 이에 따라 보드이동부(141)가 테스트 보드(50)에 선택적으로 연결되도록 할 수 있고, 테스트 보드(50)의 이동을 위해 피연결부(51)와 연결되어 가이드 롤러(142)를 따라 테스트 보드(50)를 끌거나 밀 수 있게 할 수 있다.

여기서, 피연결부(51)와 연결부재(141a)는 상호 체결 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 피연결부(51)는 체결봉, 체결홈, 체결홀 등의 형태 또는 고리(또는 반고리) 형상을 가질 수 있고, 연결부재(141a)는 상기 체결봉을 잡는(gripping) 집게(gripper), 상기 체결홈이나 상기 체결홀에 삽입되는 삽입체 등의 형태를 갖거나, 상기 체결홈이나 상기 체결홀 또는 상기 고리에 거는 걸이(hook) 형상을 가질 수 있다. 이렇게 피연결부(51)와 연결부재(141a)가 상호 체결 구조를 가지므로, 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 체결하여 지지부(110)를 향해 테스트 보드(50)를 밀므로써, 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입할 수 있고, 테스트 보드(50)가 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입된 후에 상기 테스트가 완료될 때까지는 전자 소자(10)를 수용 공간(121)에 수용되도록 하거나, 상기 테스트를 진행하는 데에 간섭되지 않도록 연결부재(141a)와 피연결부(51)의 체결을 해제할 수 있다. 그리고 상기 테스트가 완료되면, 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 (다시) 체결하여 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에서 테스트 보드(50)를 잡아당김으로써(또는 끌므로써), 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치로부터 테스트 보드(50)를 반출할 수 있다.

보드이동부(141)는 테스트 보드(50)의 피연결부(51)와 선택적으로 연결되는 제1 연결부재(1411a)를 가지며, 상기 제1 축 방향으로 연장되어 가이드 롤러(142)의 상부에 제공되는 상부 그립부(1411); 상부 그립부(1411)와 대향하여 제공되며, 피연결부(51)와 선택적으로 연결되는 제2 연결부재(1412a)를 갖는 하부 그립부(1412); 및 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)를 각각 이동시키는 그립구동부(1413)를 더 포함할 수 있다. 이때, 연결부재(141a)는 제1 연결부재(1411a)와 제2 연결부재(1412a)를 포함할 수 있으며, 상부 그립부(1411)에 제공된 연결부재(141a)를 제1 연결부재(1411a)로 지칭할 수 있고, 하부 그립부(1412)에 제공된 연결부재(141a)를 제2 연결부재(1412a)로 지칭할 수 있다. 여기서, 제1 연결부재(1411a)와 제2 연결부재(1412a)는 동일한 형상일 수도 있고, 다른 형상일 수도 있으며, 피연결부(51)와 선택적으로 연결될 수만 있으면 족하다.

상부 그립부(1411)는 테스트 보드(50)의 피연결부(51)와 선택적으로 연결되는 제1 연결부재(1411a)를 가질 수 있고, 상기 제1 축 방향으로 연장되어 가이드 롤러(142)의 상부에 제공될 수 있다. 여기서, 상부 그립부(1411)는 적어도 하나의 제1 연결부재(1411a)를 가질 수 있다. 상부 그립부(1411)는 가이드 롤러(142)의 상부(즉, 상기 테스트 보드의 상부)에서 제1 연결부재(1411a)를 피연결부(51)와 연결(또는 체결)시킬 수 있고, 그립구동부(1413)에 의해 상기 제1 축 방향으로 이동되어 테스트 보드(50)를 잡아 밀고 끌 수 있으며, 이에 따라 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 상부 그립부(1411)는 하부 그립부(1412)와 나누어 가이드 롤러(142)의 일부분 상에서만 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있다.

하부 그립부(1412)는 상부 그립부(1411)와 대향하여 제공될 수 있으며, 상기 제1 축 방향으로 연장될 수 있고, 피연결부(51)와 선택적으로 연결되는 제2 연결부재(1412a)를 가질 수 있다. 이때, 하부 그립부(1412)는 적어도 하나의 제2 연결부재(1412a)를 가질 수 있다. 하부 그립부(1412)는 가이드 롤러(142)와 동일선상 또는 가이드 롤러(142)의 하부에 제공될 수 있으며, 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)의 하부에 위치될 수 있다. 여기서, 하부 그립부(1412)는 테스트 보드(50)의 하부에서 제2 연결부재(1412a)를 피연결부(51)와 연결시킬 수 있고, 그립구동부(1413)에 의해 상기 제1 축 방향으로 이동되어 테스트 보드(50)를 잡아 밀고 끌 수 있으며, 이에 따라 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 하부 그립부(1412)는 상부 그립부(1411)와 나누어 가이드 롤러(142)의 나머지 일부분 상에서만 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있다.

한편, 상부 그립부(1411) 및 하부 그립부(1412)는 제1 연결부재(1411a)와 제2 연결부재(1412a) 중 각각 대응되는 연결부재(141a)를 승강시키거나, 회전시켜 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 연결 및 해제시킬 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 방법으로 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 연결 및 해제시킬 수 있다.

그립구동부(1413)는 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)를 각각 독립적으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 그립구동부(1413)는 상부 그립구동부(1413a)와 하부 그립구동부(1413b)로 구성되어, 상부 그립구동부(1413a)는 상부 그립부(1411)를 상기 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있고, 하부 그립구동부(1413b)는 하부 그립부(1412)를 상기 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라 가이드 롤러(142)의 구간을 나누어, 일부 구간은 상부 그립부(1411)를 이용하여(또는 이동시켜) 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있고, 나머지 일부 구간은 하부 그립부(1412)를 이용하여 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있다.

그리고 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)는 상기 제1 축 방향 길이가 상이할 수 있으며, 상부 그립부(1411)는 상기 제1 축 방향 양측 중 일측에 제1 연결부재(1411a)를 가질 수 있고, 하부 그립부(1412)는 상기 제1 축 방향 양측 중 타측에 제2 연결부재(1412a)를 가질 수 있다. 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)는 상기 제1 축 방향 길이가 상이할 수 있으며, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 가이드 롤러(142)의 구간 내에서 상기 제1 축 방향으로 이동하면서 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있고, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)는 가이드 롤러(142)에서 벗어나 지지부(110)로 이송되도록 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있다.

이때, 상부 그립부(1411)는 상기 제1 축 방향 양측 중 일측(또는 적어도 어느 한 측)에 제1 연결부재(1411a)를 가질 수 있고, 하부 그립부(1412)는 상기 제1 축 방향 양측 중 타측(또는 적어도 다른 한 측)에 제2 연결부재(1412a)를 가질 수 있다. 즉, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)는 (적어도) 상기 제1 축 방향 양측 중 서로 반대되는 측에 연결부재(141a)를 각각 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 적어도 상기 제1 축 방향 양측 중 지지부(110)를 향하는 측의 반대측에 연결부재(141a)를 가져 가이드 롤러(142)의 구간 내에서 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있고, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)는 상기 제1 축 방향 양측 중 지지부(110)를 향하는 측에 연결부재(141a)를 가져 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분을 줄이면서 테스트 보드(50)가 가이드 롤러(142)를 벗어나 지지부(110)에 지지되도록 할 수 있다. 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412) 중 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분은 챔버벽체(120) 및/또는 이송부(110) 등에 간섭될 수도 있으나, 상기 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분을 줄여 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)가 테스트 보드(50)를 반입 및 반출하면서 챔버벽체(120) 및/또는 이송부(110) 등에 간섭되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.

한편, 제1 연결부재(1411a)는 상부 그립부(1411)의 상기 제1 축 방향 양측에 각각 제공되고, 제2 연결부재(1412a)는 하부 그립부(1412)의 상기 제1 축 방향 양측에 각각 제공될 수도 있다. 이러한 경우, 반송로봇(140)의 상기 제1 축 방향 양측 중 아무측에나 이송부(110) 및/또는 챔버벽체(120)가 위치하여도 용이하게 테스트 보드(50)를 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입 및 반출할 수 있고, 이송부(110) 및/또는 챔버벽체(120)를 반송로봇(140)의 상기 제1 축 방향 양측에 각각 배치할 수도 있다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반송로봇에 의한 테스트 보드의 반입 및 반출을 설명하기 위한 개념도로, 도 4(a)는 가이드 롤러 상에 테스트 보드가 정렬된 상태를 나타내며, 도 4(b)는 하부 그립부의 제2 연결부재와 피연결부의 연결을 나타내고, 도 4(c)는 하부 그립부에 의한 테스트 보드의 이동을 나타내며, 도 4(d)는 상부 그립부의 제1 연결부재와 피연결부의 연결을 나타내고, 도 4(e)는 상부 그립부에 의한 테스트 보드의 이동을 나타낸다.

도 4를 참조하면, 피연결부(51)는 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부 중 적어도 어느 하나의 단부에 제공될 수 있으며, 적어도 상기 제1 축 방향 양단부 중 지지부(110)를 향하는 단부의 반대측 단부에 제공될 수 있다. 이때, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부 중 지지부(110)를 향하는 단부에는 제2 접속단자(52)가 제공(또는 형성)될 수 있다. 상기 지지부(110)를 향하는 단부의 반대측 단부에 피연결부(51)가 제공되는 경우에는 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)가 테스트 보드(50)를 가이드 롤러(142)에서 벗어나 지지부(110)로 이송되도록 하면서 상기 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분이 최소화될 수 있고, 지지부(110)의 상부에서 지지부(110)와 대향하게 되는 부분도 최소화될 수 있다. 이에 따라 상기 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분이 챔버벽체(120) 및/또는 이송부(110) 등에 간섭되는 것을 최소화할 수 있고, 챔버벽체(120)가 테스트 보드(50)와 챔버를 이루어 전자 소자(10)만 수용 공간(121)에 수용되는 경우에는 상기 가이드 롤러(142)를 벗어나는 부분이 어디에도 간섭되지 않을 수 있고, 챔버벽체(120) 및/또는 이송부(110) 등에 간섭되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 이송부(110) 및/또는 챔버벽체(120)를 반송로봇(140)의 상기 제1 축 방향 양측에 각각 배치하는 경우에는 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부 모두에 피연결부(51)를 제공할 수도 있고, 피연결부(51)에 대응되어 제2 접속단자(52)도 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부 모두에 제공할 수 있다. 이를 통해 테스트 보드(50)가 가이드 롤러(142)에 제공(또는 지지)되는 방향에 관계없이 보드이동부(141)로 테스트 보드(50)를 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입(및 반출)할 수 있고, 제1 접속단자(131)에 제2 접속단자(52)를 접속시켜 상기 테스트를 진행할 수 있다.

여기서, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 가이드 롤러(142) 상에서 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있고, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)는 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)에 의해 테스트 보드(50)가 가이드 롤러(142) 상에서 이동한 후에 테스트 보드(50)와 연결되어 테스트 보드(50)를 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입할 수 있다. 즉, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 제1 연결부재(1411a)와 제2 연결부재(1412a) 중 대응하는 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 연결시켜 피연결부(51)가 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 대응하는 연결부재(141a)와 연결될 수 있는 위치에 오도록 가이드 롤러(142) 상에서 테스트 보드(50)를 이동시킬 수 있다. 그리고 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)에 의해 가이드 롤러(142) 상에서 테스트 보드(50)가 이동하여 상기 대응하는 연결부재(141a)와 체결될 수 있는 위치에 피연결부(51)가 위치한 다음에 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412) 중 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 대응하는 연결부재(141a)를 피연결부(51)와 체결시킬 수 있고, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)가 이동함으로써, 가이드 롤러(142)에서 벗어나도록 테스트 보드(50)를 상기 제1 축 방향으로 이동시켜 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 반입할 수 있다.

이와 같이, 보드이동부(141)를 길이가 상이한 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)로 구성하여 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 가이드 롤러(142)의 구간 내에서 테스트 보드(50)를 이동시키고, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)는 가이드 롤러(142)로부터 지지부(110)의 지지 롤러(111)로 테스트 보드(50)를 이송할 수 있으며, 이에 따라 보드이동부(141)를 통해 챔버벽체(120)에 대한 간섭을 최소화 또는 방지하면서 효과적으로 테스트 보드(50)를 지지부(110) 상에 지지시킬 수 있고, 지지부(110)로부터 테스트 보드(50)를 제거할 수 있다.

한편, 도면 상에는 상부 그립부(1411)를 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)로 도시하고, 하부 그립부(1412)를 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)로 도시하였으나, 반대로 상부 그립부(1411)가 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)이고, 하부 그립부(1412)가 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)일 수도 있다.

그리고 피연결부(51)는 상기 적어도 어느 하나의 단부에 복수개(예를 들어, 2개)씩 제공될 수도 있다. 예를 들어, 상기 적어도 어느 하나의 단부의 상부에 하나, 하부에 하나 이렇게 두 개가 제공될 수 있으며, 상부 그립부(1411)는 상부의 피연결부(51)와 선택적으로 연결되고, 하부 그립부(1412)는 하부의 피연결부(51)와 선택적으로 연결될 수 있다. 이때, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 연결부재(141a)가 대응하는 피연결부(51)와 정렬되어 잘 연결될 수 있도록 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)의 연결부재(141a)가 대응하는 피연결부(51)와 연결된 상태에서 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 연결부재(141a)를 상기 대응하는 피연결부(51)와 연결할 수 있다.

한편, 피연결부(51)와 연결부재(141a)의 형상 및 구조는 이에 한정되지 않으며, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)의 동일한 측에 연결부재(141a)가 제공될 수도 있고, 피연결부(51)가 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부에 하나씩 제공될 수도 있다. 이때, 상부 그립부(1411)와 하부 그립부(1412)의 각 연결부재(141a)는 대응하는 측의 피연결부(51)와 선택적으로 연결될 수 있으며, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양측 중 제2 접속단자(52)와 동일한 측에 제공되는 피연결부(51)는 피체결부(53)로도 사용될 수 있다. 또한, 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)의 연결부재(141a)와 연결되는 피연결부(51)는 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)의 길이에 맞춰 상기 적어도 어느 하나의 단부에 제공되는 피연결부(51) 외에 하나 이상의 피연결부(51)를 더 포함할 수 있으며, 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부(1412 or 1411)는 상기 제1 축 방향 양측에 모두 연결부재(141a)를 가져 더욱 넓은 면적을 안정적으로 잡아줌으로써, 가이드 롤러(142) 상에서 테스트 보드(50)를 이동시키면서 더욱 효과적으로 테스트 보드(50)의 정렬을 유지할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬부를 나타낸 그림이다.

도 5를 참조하면, 반송로봇(140)은 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이격되어 가이드 롤러(142)의 상기 제2 축 방향 양측에 각각 제공되며, 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)를 정렬시키는 정렬부(143)를 더 포함할 수 있다. 정렬부(143)는 복수개로 구성될 수 있고, 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이격되어 가이드 롤러(142)의 상기 제2 축 방향 양측에 각각 제공될 수 있으며, 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)를 정렬시킬 수 있다.

예를 들어, 정렬부(143)는 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)를 향하여(또는 상기 가이드 롤러를 향하여) 돌출된 정렬핀(143a)을 포함할 수 있으며, 테스트 보드(50)에는 정렬핀(143a)의 적어도 일부가 삽입될 수 있는 정렬홀 또는 정렬홈(50a)이 대응되어 형성될 수 있다. 정렬핀(143a)의 길이가 길어지거나, 정렬핀(143a)이 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)를 향해 이동하여 정렬핀(143a)의 적어도 일부가 정렬홀 또는 정렬홈(50a)에 삽입됨으로써, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 중심축이 상기 제1 축과 평행(또는 일치)하도록 가이드 롤러(142) 상에 테스트 보드(50)를 정렬시킬 수 있다. 한편, 가이드 롤러(142)에 지지된 테스트 보드(50)의 상기 제2 축 방향 양측에서 서로 평행한 접촉면(또는 가압면)을 갖는 접촉판(또는 가압판)으로 눌러줌(또는 가압함)으로써, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 중심축이 상기 제1 축과 평행하게 되도록 가이드 롤러(142) 상에서 테스트 보드(50)를 정렬시킬 수도 있다.

따라서, 정렬부(143)를 통해 테스트 보드(50)를 가이드 롤러(142) 상에 정렬시킬 수 있고, 정렬된 테스트 보드(50)의 피연결부(51)와 보드이동부(141)의 연결부재(141a)를 체결하여 테스트 보드(50)를 이동시킴으로써, 테스트 보드(50)의 정렬을 유지하면서 테스트 보드(50)를 지지부(110)의 지지 롤러(111)로 진입시킬 수 있다. 이에 따라 테스트 보드(50)가 정렬된 상태에서 보드이동부(141)를 통해 테스트 보드(50)를 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)를 향하여 지지부(110)로 이송하는 것만으로 테스트 보드(50)의 제2 접속단자(52)를 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)와 정렬시켜 결합(또는 접속)시킬 수 있다. 또한, 테스트 보드(50)가 가이드 롤러(142) 상에 정렬되는 경우에는 테스트 보드(50)의 피연결부(51)가 보드이동부(141)의 연결부재(141a)와 정렬될 수도 있으므로, 보드이동부(141)의 연결부재(141a)를 테스트 보드(50)의 피연결부(51)와 체결하는 것이 용이해질 수도 있다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 견인부를 나타낸 그림이다.

도 6을 참조하면, 테스트 보드(50)는 상기 제1 축 방향 양측 중 제2 접속단자(52)와 동일한 측에 제공되는 피체결부(53)를 더 포함할 수 있다. 피체결부(53)는 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양측 중 제2 접속단자(52)와 동일한 측에 제공될 수 있으며, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 양단부 중 지지부(110)를 향하는 단부(즉, 상기 제2 접속 단자가 제공된 단부)에 형성될 수 있다. 이때, 피체결부(53)에는 견인부(132)가 체결 및 해제될 수 있으며, 이를 통해 견인부(132)가 선택적으로 연결될 수 있다.

그리고 접속연결부(130)는 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)가 접속되도록 피체결부(53)와 체결되어 테스트 보드(50)를 견인하는 견인부(132)를 더 포함할 수 있다. 견인부(132)는 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)가 접속되도록 테스트 보드(50)를 견인(tow)하여 도킹(docking)시킬 수 있으며, 테스트 보드(50)에 선택적으로 연결(또는 체결)되어 테스트 보드(50)를 잡아(또는 끌어) 당김으로써, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 접속시킬 수 있다. 이때, 견인부(132)는 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 정렬시킬 수 있으며, 서로 정렬된 상태에서 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 접촉시켜 결합시킬 수 있고, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)가 결합되어 접속될 수 있다.

예를 들어, 견인부(132)는 피체결부(53)를 향해 전후이동하거나, 길이가 조절되는 걸이(hook)부재(132a) 및 걸이부재(132a)를 이동시키거나, 걸이부재(132a)의 길이를 조절하는 걸이구동부(132b)를 포함할 수 있다. 걸이부재(132a)는 걸이(hook)를 가질 수 있고, 피체결부(53)를 향해 전후이동하거나 길이가 조절될 수 있으며, 피체결부(53)를 향해 이동하여 상기 걸이가 피체결부(53)에 걸림으로써, 견인부(132)가 피체결부(53)와 체결될 수 있다. 그리고 걸이부재(132a)는 상기 걸이가 피체결부(53)에서 빠져나와 피체결부(53)로부터 이격됨으로써, 견인부(132)와 피체결부(53)의 체결이 해제될 수 있다.

걸이구동부(132b)는 걸이부재(132a)를 이동시키거나 걸이부재(132a)의 길이를 조절할 수 있으며, 피체결부(53)를 향해 상기 걸이를 이동시켜 상기 걸이가 피체결부(53)에 걸리도록 할 수 있고, 상기 걸이를 피체결부(53)와 멀어지는 방향으로 이동시켜 상기 걸이가 피체결부(53)에서 빠져나오도록 할 수 있다. 이를 통해 견인부(132)가 피체결부(53)와 체결 및 해제되도록 할 수 있다. 이때, 걸이구동부(132b)는 실린더(cylinder) 등으로 구성될 수 있다.

그리고 접속연결부(130)는 테스트 보드(50)와 결합하여 테스트 보드(50)를 정렬시키도록 테스트 보드(50)를 향하여 돌출 형성되는 결합핀(133)을 더 포함할 수 있다. 결합핀(133)은 테스트 보드(50)를(또는 상기 지지부 및/또는 상기 반송로봇을) 향하여 상기 제1 축 방향으로 돌출 형성될 수 있으며, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 이동에 의해 테스트 보드(50)가 접속연결부(130)에 접촉(또는 연결)되면서 테스트 보드(50)의 결합홀 또는 결합홈(50b)에 삽입되어 결합될 수 있다. 결합핀(133)이 결합홀 또는 결합홈(50b)에 삽입되면서 테스트 보드(50)와 접속연결부(130)의 정렬이 이루어질 수 있고, 테스트 보드(50)의 제2 접속단자(52)가 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)와 정렬될 수 있다. 이를 통해 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)와 테스트 보드(50)의 제2 접속단자(52)를 정렬시켜 테스트 보드(50)를 도킹시킬 수 있고, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 정렬시켜 접속시킬 수 있다.

상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 지지부(110)를 향하는 연결부재(141a)를 상기 지지부(110)를 향하는 단부의 반대측 단부에 제공된 피연결부(51)와 체결하여 테스트 보드(50)를 이동시키는 경우에는 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)가 테스트 보드(50)의 지지부(110)를 향하는 단부의 반대측 단부에만 연결되어 테스트 보드(50) 전체를 이동시키게 되므로, 테스트 보드(50)의 정렬을 유지하면서 테스트 보드(50)를 이동시키기 어려울 수 있다. 또한, 일반적으로 메모리 소자에 대한 상기 테스트를 진행하기 위해 메모리 소자가 장착된 테스트 보드(50)의 무게가 약 30 ㎏으로 무거우므로, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)가 테스트 보드(50)의 지지부(110)를 향하는 단부의 반대측 단부에만 연결되어 테스트 보드(50) 전체를 이동시키는 것은 더욱 어려울 수 있다.

이에, 견인부(132)를 통해 테스트 보드(50)의 지지부(110)를 향하는 단부도 끌어(또는 잡아) 당김으로써, 테스트 보드(50)가 정렬을 유지하면서 안정적으로 상기 제1 축 방향으로 이동할 수 있고, 테스트 보드(50)의 상기 제1 축 방향 이동만으로 제2 접속단자(52)가 제1 접속단자(131)와 정렬되어 접속될 수 있다.

한편, 견인부(132)는 테스트 보드(50)의 정렬을 더욱 효과적으로 유지할 수 있도록 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 지지부(110)를 향하는 연결부재(141a)가 피연결부(51)와 체결된 상태에서 걸이부재(132a)를 피체결부(53)와 체결하여 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)와 함께 테스트 보드(50)를 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)를 향해 상기 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 지지부(110)를 향하는 연결부재(141a)가 피연결부(51)와 체결된 상태에서 걸이부재(132a)를 피체결부(53)와 체결만하고, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 지지부(110)를 향하는 연결부재(141a)와 피연결부(51)의 체결을 해제한 후에 견인부(132)만으로 테스트 보드(50)를 이동시킬 수도 있으며, 상기 상대적으로 길이가 긴 그립부(1411 or 1412)의 상기 지지부(110)를 향하는 연결부재(141a)와 피연결부(51)의 체결 해제 및 걸이부재(132a)와 피체결부(53)의 체결이 순차적으로 이루어질 수도 있으나, 안정적으로 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 정렬시켜 접속시킬 수 있으면 족하다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 제어부를 나타낸 개략도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 전자 소자용 테스트 장치(100)는 수용 공간(121)의 온도를 제어하는 온도제어부(151);를 더 포함할 수 있다.

온도제어부(151)는 수용 공간(121)의 온도를 제어할 수 있으며, 수용 공간(121)을 가열하기 위한 히터(미도시) 및 수용 공간(121)을 냉각하기 위한 냉각부(미도시)를 포함할 수 있고, 수용 공간(121)의 가열 및 냉각을 조절하여 수용 공간(121)을 미리 설정된 온도로 유지시킬 수 있다. 여기서, 냉각부(미도시)는 수용 공간(121) 내에 (외부) 공기를 유입시키거나, 수용 공간(121) 내의 더운 공기(또는 가열된 공기)를 외부로 배출하는 냉각팬(미도시)을 포함할 수 있고, 수용 공간(121) 내에 냉매(예를 들어, 냉각 가스 등의 냉각 유체)를 공급하는 냉매공급구(미도시)를 더 포함할 수도 있다. 냉매공급구(미도시)를 통해 더욱 정밀하게 수용 공간(121)의 온도를 제어할 수 있다.

이를 통해 미리 설정된 온도(또는 테스트 온도)에서 상기 전자 소자(10)에 대한 테스트를 수행할 수 있으며, 신뢰성이 높고 정밀한 테스트 결과를 얻을 수 있다.

본 발명의 전자 소자용 테스트 장치(100)는 온도제어부(151)와 테스트부(152)를 제어하는 주 제어부(153);를 더 포함할 수 있고, 온도제어부(151), 테스트부(152) 및 주 제어부(153)가 제어부(150)를 구성할 수 있다. 이때, 제어부(150)는 챔버벽체(120)의 외측에 제공될 수 있으며, 챔버벽체(120)의 상기 제1 축 방향 양측 중 반송로봇(140)의 반대측에 제공될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 승강부와 이송부를 나타낸 그림이고, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 다단으로 배치된 챔버벽체를 나타낸 개략도이다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 전자 소자용 테스트 장치(100)는 반송로봇(140)을 승강시키는 승강부(161);를 더 포함할 수 있다.

승강부(161)는 반송로봇(140)을 승강시킬 수 있으며, 지지부(110)의 높이(또는 상기 테스트 보드가 반입되는 높이)에 상관없이 반송로봇(140)을 승강시켜 지지부(110)의 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있다.

여기서, 챔버벽체(120)와 지지부(110)는 각각 복수개로 구성되어 다단으로 배치될 수 있으며, 프레임부(163)를 통해 다단으로 배치될 수 있고, 제어부(150)도 프레임부(163)에 다단으로 배치되어 각각의 챔버벽체(120)와 지지부(110)에 각각 제공될 수도 있다. 승강부(161)를 통해 반송로봇(140)을 승강시켜 다단으로 구성된 복수개의 지지부(110)에 각각 테스트 보드(50)를 지지시킬 수 있으므로, 복수개의 챔버벽체(120)에 의해 제공되는 복수의 수용 공간(121)에서 복수의 테스트 보드(50)에 대한 상기 테스트가 한꺼번에 이루어질 수 있고, 복수개의 챔버벽체(120)와 지지부(110)에서 하나의 반송로봇(140)을 공유할 수 있다.

도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버벽체의 배열을 나타낸 개략도이다.

도 10을 참조하면, 챔버벽체(120)와 지지부(110)는 각각 복수개로 구성될 수 있고, 반송로봇(140)을 중심으로 대칭되어 반송로봇(140)의 제1 축 방향 양측에 각각 제공될 수 있다. 이러한 경우, 반송로봇(140)이 상기 제1 축 방향 양측으로 각각 테스트 보드(50)를 반입시킴으로써, 하나의 반송로봇(140)을 양측의 챔버벽체(120)와 지지부(110)에서 공유할 수 있다. 이에 따라 설비 비용이 절약될 수 있고, 장비가 차지하는 공간(foot-print)도 줄일 수 있으며, 더욱 효과적으로 복수의 수용 공간(121)에서 복수의 테스트 보드(50)에 대한 상기 테스트가 수행될 수 있다.

여기서, 접속연결부(130)는 챔버벽체(120) 각각에 대응되어 대칭적으로 제공될 수 있다. 즉, 접속연결부(130)의 제1 접속단자(131)가 지지부(110) 및/또는 반송로봇(140)에 대해 반대방향으로 제공되어 공유하는 하나의 반송로봇(140)이 상기 제1 축 방향으로 테스트 보드(50)를 이동(또는 이송)시키는 것만으로 지지부(110)의 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있고, 제1 접속단자(131)와 제2 접속단자(52)를 정렬시켜 접속시킬 수 있다.

본 발명에 따른 전자 소자용 테스트 장치(100)는 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 반송로봇(140)을 이동시키는 이송부(162);를 더 포함할 수 있다.

이송부(162)는 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 반송로봇(140)을 이동시킬 수 있으며, 지지부(110)의 상기 제2 축 방향 위치에 상관없이 반송로봇(140)을 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 지지부(110)의 상기 수용 공간(121)에 대응하는 위치에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있다.

여기서, 챔버벽체(120)와 지지부(110)는 각각 복수개로 구성되어 상기 제2 축 방향으로 배열될 수 있다. 이송부(162)를 통해 반송로봇(140)을 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 축 방향으로 배열된 복수개의 지지부(110)에 각각 테스트 보드(50)를 지지시킬 수 있으므로, 복수개의 챔버벽체(120)에 의해 제공되는 복수의 수용 공간(121)에서 복수의 테스트 보드(50)에 대한 상기 테스트가 한꺼번에 이루어질 수 있고, 복수개의 챔버벽체(120)와 지지부(110)에서 하나의 반송로봇(140)을 공유할 수 있다.

따라서, 챔버벽체(120)와 지지부(110)를 복수개로 구성하여 다단으로 적층 및/또는 수평적으로 배열함으로써, 복수의 테스트 보드(50)에(즉, 복수의 상기 전자 소자에) 대한 상기 테스트가 한꺼번에(또는 동시에) 수행될 수 있으며, 반송로봇(140)을 승강시키는 승강부(161)와 반송로봇(140)을 이동시키는 이송부(162)를 통해 하나의 반송로봇(140)으로 복수의 챔버벽체(120)의 수용 공간(121) 각각에 테스트 보드(50)를 반입 및 반출할 수 있고, 하나의 반송로봇(140)을 복수의 챔버벽체(120)에 각각 대응하는 복수의 지지부(110)에서 공유할 수 있다. 이에 따라 제품 가동율(또는 제품의 생산 수율)이 향상될 수 있으며, 챔버벽체(120)와 지지부(110)를 반송로봇(140)의 양측에 다단 및 수평적으로 배치하여 제품 가동율을 극대화시킬 수 있고, 설비 비용이 절약될 수 있을 뿐만 아니라 장비가 차지하는 공간도 줄일 수 있다.

이처럼, 본 발명에서는 반송로봇을 통해 자동으로 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 지지부에 지지 및 제거할 수 있으며, 이에 따라 고온과 저온의 환경에서 전자 소자에 대한 테스트가 진행되는 챔버벽체의 수용 공간에 자동으로 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 반입 및 반출할 수 있다. 또한, 수작업으로 진행하던 테스트 보드의 반입 및 테스트의 진행을 자동으로 진행할 수 있어 제품 가동율이 향상될 수 있다. 그리고 지지부가 지지 롤러로 구성되고 지지 롤러에서 연장되는 가이드 롤러를 따라 반송로봇이 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드를 효과적으로 지지부에 지지시키고 지지부에서 제거할 수 있다. 또한, 정렬부를 통해 테스트 보드를 가이드 롤러 상에 정렬시킬 수 있고, 보드이동부의 연결부재를 테스트 보드의 피연결부와 연결하여 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드의 정렬을 유지하면서 테스트 보드를 지지부의 지지 롤러로 진입시킬 수 있으며, 이에 따라 보드이동부를 통해 테스트 보드를 지지부로 이송하는 것만으로 접속연결부의 제1 접속단자와 테스트 보드의 제2 접속단자를 정렬시켜 결합시킬 수 있다. 즉, 테스트 보드의 반입 및 반출뿐만 아니라 제1 접속단자와 제2 접속단자의 접속도 자동으로 이루어질 수 있다. 그리고 보드이동부를 길이가 상이한 상부 그립부와 하부 그립부로 구성하여 길이가 짧은 그립부는 가이드 롤러의 구간 내에서 테스트 보드를 이동시키고, 길이가 긴 그립부는 가이드 롤러로부터 지지부의 지지 롤러로 테스트 보드를 이송할 수 있으며, 이에 따라 보드이동부를 통해 챔버벽체에 대한 간섭을 최소화하면서 효과적으로 테스트 보드를 지지부 상에 지지시킬 수 있고, 지지부로부터 테스트 보드를 제거할 수 있다. 한편, 챔버벽체를 복수개로 구성하여 다단 적층 및/또는 수평적 배열함으로써, 복수의 테스트 보드에 각각 장착된 복수의 전자 소자에 대한 테스트가 한꺼번에 수행될 수 있으며, 반송로봇을 승강시키는 승강부와 반송로봇을 이동시키는 이송부를 통해 하나의 반송로봇으로 복수의 챔버벽체의 수용 공간 각각에 테스트 보드를 반입 및 반출할 수 있고, 하나의 반송로봇을 복수의 챔버벽체에 각각 대응하는 복수의 지지부에서 공유할 수 있다.

상기 설명에서 사용한 “~ 상에”라는 의미는 직접 접촉하는 경우와 직접 접촉하지는 않지만 상부 또는 하부에 대향하여 위치하거나 대향면에 이격되어 위치하는 경우를 포함하고, 상부면 또는 하부면 전체에 대향하여 위치하는 것뿐만 아니라 부분적으로 대향하여 위치하는 것도 가능하며, 위치상 떨어져 대향하거나 물체의 표면(상부면 또는 하부면)에 직접 접촉한다는 의미로 사용하였다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.

10 : 전자 소자 50 : 테스트 보드
50a: 정렬홈(홀) 50b: 결합홈(홀)
51 : 피연결부 52 : 제2 접속단자
53 : 피체결부 100 : 테스트 장치
110 : 지지부 111 : 지지 롤러
120 : 챔버벽체 121 : 수용 공간
130 : 접속연결부 131 : 제1 접속단자
132 : 견인부 132a: 걸이부재
132b: 걸이구동부 133 : 결합핀
140 : 반송로봇 141 : 보드이동부
141a: 연결부재 1411: 상부 그립부
1411a: 제1 연결부재 1412: 하부 그립부
1412a: 제2 연결부재 1413: 그립구동부
1413a: 상부 그립구동부 1413b: 하부 그립구동부
142 : 가이드 롤러 143 : 정렬부
143a: 정렬핀 150 : 제어부
151 : 온도조절부 152 : 테스트부
161 : 승강부 162 : 이송부
163 : 프레임부

Claims (17)

1. 전자 소자가 장착된 테스트 보드를 지지하는 지지부;
   온도가 조절되는 수용 공간에 상기 테스트 보드 중 적어도 상기 전자 소자를 수용하도록 상기 지지부에 대응하여 제공되는 챔버벽체;
   상기 지지부의 제1 축 방향 양측 중 어느 한 측에 제공되며, 상기 지지부 상의 상기 수용 공간에 대응하는 위치에 상기 테스트 보드를 반입 및 반출하는 반송로봇; 및
   상기 지지부의 제1 축 방향 양측 중 상기 반송로봇의 반대측에 제공되며, 상기 테스트 보드에 연결되어 상기 전자 소자에 대한 테스트 신호를 전송하는 접속연결부;를 포함하고,
   상기 테스트 보드는 적어도 상기 제1 축 방향 양단부 중 상기 지지부를 향하는 단부의 반대측 단부에 제공되는 피연결부를 포함하고,
   상기 반송로봇은,
   상기 피연결부와 선택적으로 연결되는 연결부재를 포함하며, 상기 연결부재가 상기 제1 축 방향으로 이동되어 상기 테스트 보드를 이동시키는 보드이동부; 및
   상기 테스트 보드를 지지하며, 상기 테스트 보드와 접촉하여 상기 테스트 보드의 이동에 따라 마찰에 의해 회전하는 가이드 롤러를 포함하고,
   상기 보드이동부는 상기 피연결부와 연결된 상기 연결부재의 이동을 통해 상기 테스트 보드를 상기 제1 축 방향 양측 중 상기 지지부를 향하는 측으로 밀어 상기 접속연결부에 연결시키며, 상기 테스트 보드를 상기 제1 축 방향 양측 중 상기 지지부를 향하는 측의 반대측으로 끌어 상기 접속연결부에서 분리시키는 전자 소자용 테스트 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 연결부재는 제1 연결부재와 제2 연결부재를 포함하고,
   상기 보드이동부는,
   상기 피연결부와 선택적으로 연결되는 상기 제1 연결부재를 가지며, 상기 제1 축 방향으로 연장되어 상기 가이드 롤러의 상부에 제공되는 상부 그립부;
   상기 상부 그립부와 대향하여 제공되며, 상기 피연결부와 선택적으로 연결되는 상기 제2 연결부재를 갖는 하부 그립부; 및
   상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부를 각각 이동시키는 그립구동부를 더 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부는 상기 제1 축 방향 길이가 상이하며,
   상기 상부 그립부는 상기 제1 축 방향 양측 중 일측에 상기 제1 연결부재를 갖고,
   상기 하부 그립부는 상기 제1 축 방향 양측 중 타측에 상기 제2 연결부재를 갖는 전자 소자용 테스트 장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부 중 상대적으로 길이가 짧은 그립부는 상기 가이드 롤러 상에서 상기 테스트 보드를 이동시키고,
   상기 상부 그립부와 상기 하부 그립부 중 상대적으로 길이가 긴 그립부는 상기 상대적으로 길이가 짧은 그립부에 의해 상기 테스트 보드가 상기 가이드 롤러 상에서 이동한 후에 상기 테스트 보드와 연결되어 상기 테스트 보드를 상기 수용 공간에 대응하는 위치에 반입하는 전자 소자용 테스트 장치.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 반송로봇은 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이격되어 상기 가이드 롤러의 상기 제2 축 방향 양측에 각각 제공되며, 상기 가이드 롤러에 지지된 상기 테스트 보드를 정렬시키는 정렬부를 더 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 지지부는 상기 가이드 롤러에서 전달되는 상기 테스트 보드를 지지하는 지지 롤러를 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
9. 청구항 1에 있어서,
   상기 접속연결부는 상기 테스트 보드와 선택적으로 연결되는 제1 접속단자를 포함하고,
   상기 테스트 보드는 상기 제1 축 방향 양단부 중 상기 지지부를 향하는 단부에 제공되어 상기 제1 접속단자와 접속되는 제2 접속단자를 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 반송로봇은 상기 제2 접속단자가 상기 제1 접속단자를 향하도록 상기 테스트 보드를 상기 제1 축 방향으로 반입 및 반출하는 전자 소자용 테스트 장치.
11. 청구항 9에 있어서,
    상기 테스트 보드는 상기 제1 축 방향 양측 중 상기 제2 접속단자와 동일한 측에 제공되는 피체결부를 더 포함하고,
    상기 접속연결부는 상기 제1 접속단자와 상기 제2 접속단자가 접속되도록 상기 피체결부와 체결되어 상기 테스트 보드를 견인하는 견인부를 더 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
12. 청구항 9에 있어서,
    상기 접속연결부는 상기 테스트 보드와 결합하여 상기 테스트 보드를 정렬시키도록 상기 테스트 보드를 향하여 돌출 형성되는 결합핀을 더 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
13. 청구항 1에 있어서,
    상기 수용 공간의 온도를 제어하는 온도제어부;를 더 포함하는 전자 소자용 테스트 장치.
14. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버벽체는 상기 전자 소자가 장착된 상기 테스트 보드의 장착면을 덮는 커버 형상으로 제공되는 전자 소자용 테스트 장치.
15. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송로봇을 승강시키는 승강부;를 더 포함하고,
    상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되어 다단으로 배치되는 전자 소자용 테스트 장치.
16. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되며, 상기 반송로봇을 중심으로 대칭되어 상기 반송로봇의 상기 제1 축 방향 양측에 각각 제공되고,
    상기 접속연결부는 상기 챔버벽체 각각에 대응되어 대칭적으로 제공되는 전자 소자용 테스트 장치.
17. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 반송로봇을 이동시키는 이송부;를 더 포함하고,
    상기 챔버벽체와 상기 지지부는 각각 복수개로 구성되어 상기 제2 축 방향으로 배열되는 전자 소자용 테스트 장치.

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