KR20000065748A - 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치 - Google Patents

번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 공정에서 생산 완료된 디바이스(device)의 고온 성능인 번인(burn-in) 테스트를 실시할 때 사용되는 번인테스터용 소팅 핸들러(handler)에 관한 것으로, 복수개의 링크를 사용하지 않고도 디바이스를 흡착 이송시키는 픽커의 간격을 필요에 따라 빠른 시간내에 정확히 조절할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 수평 LM 가이드(25)를 따라 이동하는 설치판(26)상에 승강판(28)이 승강가능하게 설치되고 상기 승강판에는 진공압에 의해 디바이스를 흡착하는 복수개의 픽커(35)가 설치된 것에 있어서, 상기 승강판(28)상에 수직 LM 가이드(31)를 따라 승강가능하게 설치되고, 복수개의 캠홈(32a)이 형성된 캠판(32)과, 상기 승강판에 설치되어 캠판을 구동시키는 구동실린더(34)와, 상기 캠판상에 설치된 수평 LM 가이드(36)를 따라 이동가능하게 설치되어 캠판의 승강운동에 따라 간격이 가변되는 복수개의 픽커(35)와, 상기 각 픽커의 최상측에 설치되어 캠홈내에 끼워진 로드(37)로 구성된 것이다.

Description

번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치{device for adjusting distance of picker in burn-in test handler}
본 발명은 반도체 공정에서 생산 완료된 디바이스(device)의 고온 성능인 번인(burn-in) 테스트를 실시할 때 사용되는 번인테스터용 소팅 핸들러(handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 디바이스의 테스트를 위해 픽업(pick up)이 로딩 버퍼(buffer)내에 위치 결정되어 담겨져 있던 디바이스를 흡착하여 테스트 소켓측으로 이송시, 또는 테스트 완료된 디바이스를 테스트 소켓으로부터 언로딩 버퍼측으로 이송시 흡착된 디바이스의 간격을 테스트 소켓의 피치 또는 버퍼의 피치에 알맞게 조절하는 번인테스터용 소팅 핸들러의 픽커 간격조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 디바이스가 담겨져 보관되거나, 디바이스의 생산에 따른 공정간 이송시 사용되는 플라스틱재의 고객 트레이(customer tray)는 한정된 면적에 많은 양의 디바이스를 담을 수 있도록 하기 위해 수납공간의 간격이 좁게 배열되는데, 이러한 수납공간은 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 수납공간의 피치가 각각 다르게 제작되어 사용되고 있다.
그러나 이러한 고객 트레이내에 담겨져 있던 디바이스를 로딩하여 고온 테스트가 이루어지도록 하는 번인보드(burn-in board)에는 여러개의 테스트 소켓이 수납공간의 피치보다 넓게 배열되어 있다.
상기 고객 트레이내의 디바이스를 테스트 소켓내에 로딩하거나, 상기 테스트 소켓으로부터 디바이스를 언로딩부의 빈 고객 트레이내에 언로딩시에는 진공압에 의해 디바이스를 흡착 이송시키는 픽커(picker)를 사용하는데, 상기 고객 트레이에 형성된 수납공간의 피치와 테스트 소켓의 피치가 다르기 때문에 고온 테스트를 위해 로딩부의 고객 트레이내에 담겨져 있던 디바이스를 테스트 소켓내에 로딩하거나, 상기 테스트 소켓으로부터 디바이스를 꺼내 언로딩부에 있던 빈 고객 트레이내에 담기 위해서는 디바이스를 흡착 이송시키는 픽커의 간격을 가변시켜야 된다.
도 1 내지 도 4는 출원인에 의해 개발되어 국내 실용신안 95-7512호로 선 출원된 기술을 나타낸다.
상기 기술을 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참고로 설명하면 다음과 같다.
상판(1)에 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 수평 이동하도록 설치된 설치판(3)의 하방에 제 1 실린더(4)의 구동시 승,하강하는 픽업블럭(5)이 설치되어 있고 픽업블럭에는 설치판(3)의 이동방향과 동일한 방향으로 제 2 수평 LM가이더(6)를 따라 이동하는 복수개의 슬라이더(7)가 결합되어 있으며 상기 각 슬라이더에는 제 2 실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)에 안내되어 승,하강하는 픽업(10)이 고정된 픽업헤드(11)가 결합되어 있다.
그리고 복수개의 슬라이더(7) 상부에 핀(12)을 고정하여 상기 핀이 픽업블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)을 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제 1 링크(13)를 힌지 결합하도록 되어 있고 상기 제 1 링크의 양단에는 제 2 링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제 1 링크중 일측의 제 1 링크 끝단은 제 3 실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.
따라서 고객 트레이(19)의 수납공간(19a)내에 담겨진 디바이스(20)를 흡착하기 위해 픽업블럭(5)이 상사점에 위치되고, 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태에서 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객 트레이(19)에 형성된 수납공간의 1열과 일치되게 정지한다.
이러한 상태에서 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽업헤드(11)를 승,하강시키는 제 2 실린더(8)가 동작하게 되므로 상기 픽업헤드(11)의 끝단에 고정된 픽업(10)이 도 2의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 수납공간(19a)에 담겨진 디바이스(20)의 상면과 접속된다.
그 후, 진공압에 의해 픽업(10)의 내부에 진공압이 걸리면 고객 트레이(19)의 수납공간(19a)에 담겨져 있던 디바이스(20)가 픽업(10)에 흡착된다.
상기 디바이스(20)가 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제 2 실린더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하면 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)이 초기상태와 같이 각각 상사점에 도달하게 된다.
그 후, 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 테스트 소켓측으로 이동할 때 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제 3 실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주게 되므로 도 4와 같이 제 1 링크(13)의 일단에 고정된 핀(7a)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(5a)을 따라 바깥측으로 이동하게 되고, 이에 따라 도 1 및 도 4에 도시한 바와 같이 상호 오므러져 있던 제 1, 2 링크(13)(14)가 펼쳐져 픽업(10)이 번인보드상에 설치된 테스트 소켓(도시는 생략함)의 피치와 동일해지게 된다.
이러한 상태에서 제 1 실린더(4)가 구동하여 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시키고 나면 상기 픽업(10)에 흡착된 디바이스가 테스트 소켓내에 위치되는데, 이 때 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 디바이스를 자중에 의해 낙하시키면 상기 디바이스가 테스트 소켓내에 정확히 로딩된다.
이러한 종래의 장치는 고객 트레이내에 담겨진 1열의 디바이스를 한꺼번에 흡착한 다음 테스트 소켓측으로 이송시 간격을 조절하여 로딩하는 동작을 1개의 이송장치로 구현하게 되므로 디바이스의 이송에 따른 시간을 줄이게 됨은 물론 기기의 설치 공간을 최소화할 수 있다는 잇점을 갖는다.
그러나 슬라이더(7)가 다수개의 제 1, 2 링크(13)(14)에 의해 연결되어 동시에 연동하도록 구성되어 있어 슬라이더(7)가 최대한 펼쳐진 상태에서 양단에 위치하는 픽업(10)은 테스트 소켓의 직상부에 정확히 위치되지만, 그 사이에 위치되는 픽업(10)은 각 링크의 길이가 비교적 길어 유동오차가 발생되기 때문에 링크의 끝단위치가 부정확하게 되고, 이에 따라 픽업(10)이 테스트 소켓에 위치된 디바이스를 정확히 홀딩하지 못하거나, 테스트 소켓내에 디바이스를 로딩하지 못하게 되는 치명적인 문제점을 야기시켰다.
또한, 그 구성이 복잡하여 부품수가 많게 되므로 부품의 가공 및 조립에 많은 시간이 걸리게 된다.
상기한 문제점을 개선하기 위해 출원인은 도 5 내지 도 6b에 나타낸 기술을 개발하여 국내 실용신안 96-22005호로 출원하였다.
이하, 국내 실용신안 96-22005호로 출원한 기술에 대하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
복수개의 링크(21)(22)에 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 끼워지는 제 1 삽입공(21a)(22a)이 형성되어 있고 상기 제 1 삽입공의 일측에는 링크(21)(22)를 상호 연결시키는 핀(24)이 삽입되는 제 2 삽입공(21b)(22b)이 형성되어 있어 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 들거나, 펼쳐짐에 따라 링크(21)(22))가 상호 교차되거나, 평행상태를 유지하도록 되어 있다.
따라서 고객 트레이의 수납공간내에 담겨진 디바이스를 흡착하기 위해 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태, 즉, 도 6a에서는 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)이 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치하여 링크가 상호 교차되므로 복수개의 슬라이더(7)가 밀착된 상태를 유지하게 된다.
이러한 상태에서 설치판(3)이 고객 트레이(19)에 형성된 수납공간의 1열과 일치되게 정지한 다음 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하도록 픽업헤드(11)를 하강시키면 끝단에 고정된 픽업(10)이 고객 트레이(19)의 수납공간(19a)에 담겨진 디바이스(20)를 흡착하게 된다.
상기한 동작으로 픽업(10)에 디바이스(20)가 흡착되면 전술한 바와는 반대로 제 2 실린더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하여 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)을 초기상태와 같이 각각 상승시킴과 동시에 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 테스트 소켓측으로 이동할 때 제 3 실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어 오므러져 있던 링크(21)(22)를 펼쳐주게 된다.
이에 따라, 상기 링크에 각각 고정된 슬라이더(7)가 펼쳐지게 되므로 픽업(10)에 흡착된 디바이스가 테스트 소켓의 간격과 일치하게 되는데, 이러한 동작시 도 6b와 같이 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)은 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치되므로 복수개의 슬라이더(7) 간격이 일정하게 유지되는 것이다.
그러나 이러한 장치 또한, 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 링크(21)(22)의 연결부위인 핀(24)에 근접되어 있어 픽업(10)사이의 간격을 일정하게 유지하는 잇점을 갖지만, 일 실시예보다 오히려 부품수가 많아지게 되므로 제작 및 조립에 따른 누적공차로 인해 피치를 정확히 유지하지 못하게 된다.
즉, 중심 픽커인 P5에서 0.1mm의 오차가 발생되었다면 P6은 0.3mm, P7은 0.9mm, P8은 1.1mm와 같이 오차가 점진적으로 커지는 결과를 초래하게 된다.
또한, 장기간 사용함에 따라 각각의 링크 및 베어링의 마모로 인해 각 픽커간의 오차는 더욱 심화됨은 물론 동작시 소음의 발생이 커지는 요인으로 작용되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 복수개의 링크를 사용하지 않고도 디바이스를 흡착 이송시키는 픽커의 간격을 필요에 따라 빠른 시간내에 정확히 조절할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 수평 LM 가이드를 따라 이동하는 설치판상에 승강판이 승강가능하게 설치되고 상기 승강판에는 진공압에 의해 디바이스를 흡착하는 복수개의 픽커가 설치된 것에 있어서, 상기 승강판상에 수직 LM 가이드를 따라 승강가능하게 설치되고, 복수개의 캠홈이 형성된 캠판과, 상기 승강판에 설치되어 캠판을 구동시키는 구동실린더와, 상기 캠판상에 설치된 수평 LM 가이드를 따라 이동가능하게 설치되어 캠판의 승강운동에 따라 간격이 가변되는 복수개의 픽커와, 상기 각 픽커의 최상측에 설치되어 캠홈내에 끼워진 로드로 구성된 것을 특징으로 하는 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치가 제공된다.
도 1은 종래 장치의 일부를 절결하여 나타낸 종단면도
도 2는 도 1의 일부를 절결하여 나타낸 측면도
도 3은 슬라이더가 내측으로 오므러든 상태도
도 4는 제 3 실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도
도 5는 종래 장치의 다른 실시예를 나타낸 사시도
도 6a 및 도 6b는 도 5의 평면도 및 종단면도로써,
도 6a는 각 링크가 내측으로 오므러든 상태도
도 6b는 각 링크가 펼쳐진 상태도
도 7은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 작동상태도로서,
도 8a는 픽커의 간격이 좁아진 상태도
도 8b는 픽커의 간격이 최대한 넓혀진 상태도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
31 : 제 1 수직 LM 가이드 32 : 캠판
32a : 캠홈 34 : 구동실린더
35 : 픽커 36 : 수평 LM 가이드
37 : 로드 38 : 베어링
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 7 및 도 8을 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이고 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 작동상태도로서, 본 발명은 수평 LM 가이드(25)를 따라 이동하는 설치판(26)상에 모터(27)의 구동에 따라 설정된 범위내에서 승강운동하는 승강판(28)이 설치되어 있고 상기 모터축에 커플링(29)으로 연결된 리드스크류(30)는 승강판(28)에 나사 끼우기로 결합되어 있어 모터(27)의 정,역구동에 따라 승강판(28)이 하강하거나, 상승운동을 하게 된다.
이 때, 상기 승강판(28)은 설치판(26)에 고정된 제 1 수직 LM 가이드(31)에 의해 승강운동이 안내된다.
그리고 상기 승강판(28)상에 복수개의 캠홈(32a)이 형성된 캠판(32)이 제 2 수직 LM 가이드(33)를 따라 승강가능하게 설치되어 있고 상기 승강판(28)상에는 캠판(32)을 구동시키는 구동실린더(34)가 설치되어 있어 구동실린더(34)의 구동에 따라 상기 캠판(32)이 제 2 수직 LM 가이드(33)에 안내되어 설정된 범위내에서 승강운동을 하게 된다.
또한, 상기 승강판(28)에 안내되어 승강운동하는 캠판(32)상에 디바이스를 흡착 이송시키는 복수개의 픽커(35)가 수평 LM 가이드(36)를 따라 이동가능하게 설치되어 있고 상기 각 픽커(35)의 최상측에는 캠홈(32a)내에 끼워지는 로드(37)가 고정되어 있는데, 상기 로드(37)에는 캠홈(32a)과 접속되는 베어링(38)이 끼워져 있다.
이는, 캠판(32)의 승강운동시 로드(37)와 캠홈(32a)과의 접속면에서의 동작이 원활히 이루어지도록 함과 동시에 마찰에 의한 소음 발생을 최소화하기 위함이다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명의 픽업수단이 로딩부에 위치된 고객 트레이의 직상부에 위치된 상태에서는 도 8a와 같이 구동실린더(34)의 로드가 인출되어 캠판(32)이 하사점에 위치되어 있으므로 상기 캠판(32)에 수평 이동가능하게 설치된 픽커(35)의 간격이 최대한 좁혀져 있다.
즉, 복수개의 픽커(35)는 고객 트레이내에 형성된 수납공간의 피치와 동일한 피치를 갖으며 디바이스의 위치 결정역할을 하는 로딩측 버퍼(도시는 생략함)의 피치와 동일한 피치를 이루고 있다.
또한, 상기한 바와 같이 픽커(35)가 로딩측 버퍼의 직상부에 위치된 상태에서 승강판(28)은 상사점에 위치되어 있다.
이러한 상태에서 좁은 간격을 유지하고 있는 픽커(35)에 의해 로딩측 버퍼에 얹혀진 디바이스를 흡착하기 위해 모터(27)가 구동하면 리드 스크류(30)에 나사 결합된 승강판(28)이 제 1 수직 LM 가이드(31)에 안내되어 하사점까지 하강하게 된다.
이와 같이 승강판(28)이 하사점까지 하강하더라도 상기 픽커(35)의 패드(39)는 로딩측 버퍼에 얹혀진 디바이스의 상면에 접속되지 않는다.
그 후, 픽커 실린더(40)가 구동하여 각각의 패드(39)를 하사점까지 하강시키면 상기 픽커(35)의 최하단에 위치된 패드(39)가 디바이스의 상면에 접속되는데, 이와 같이 패드(39)가 디바이스의 상면에 접속된 상태에서 종래의 장치와 마찬가지로 패드의 압축공기 통로상에 진공압이 걸리면 디바이스가 패드(39)에 진공 흡착된다.
상기한 바와 같은 동작으로 패드(39)에 디바이스가 흡착되고 나면 전술한 바와는 반대로 픽커 실린더(40)가 구동하게 되므로 패드(39)가 상사점까지 상승하게 됨과 동시에 계속되는 모터(27)의 구동으로 승강판(28)도 상사점까지 상승하게 되므로 디바이스가 패드(39)에 매달리게 된다.
이러한 상태에서 설치판(26)이 수평 LM 가이드(25)를 따라 패드(39)에 매달린 디바이스를 테스트 소켓(도시는 생략함)의 직상부로 위치시키는 과정에서 픽커(35)의 피치를 번인보드에 설치된 테스트 소켓의 피치와 같아지도록 조절하게 된다.
즉, 설치판(26)의 이송중에 구동실린더(34)가 구동하여 최대한 인출되었던 로드를 잡아 당기면 하사점에 위치되어 있던 캠판(32)이 제 2 수직 LM 가이드(33)를 따라 상승하게 된다.
이와 같이 캠판(32)이 상승하면 상기 캠판에 형성된 캠홈(32a)의 간격이 도 8b와 같이 점진적으로 넓어지게 되는데, 상기 캠홈(32a)내에는 로드(37)에 끼워진 베어링(38)이 위치되어 있어 결국 픽커(35)의 간격이 멀어지게 되므로 패드(39)에 매달린 디바이스의 간격이 멀어져 테스트 소켓의 피치와 일치된다.
상기한 바와 같은 동작시 상기 픽커(35)는 수평 LM 가이드(36)에 안내되어 수평운동을 하게 된다.
상기 설치판(26)의 이송간에 픽커(35)의 간격을 조절하면서 상기 설치판에 매달린 디바이스가 테스트 소켓의 직상부에 위치되고 나면 설치판(26)의 이송이 중단됨과 동시에 디바이스의 흡착시와 마찬가지로 모터(27)가 구동하여 승강판(28)을 하사점까지 하강시킴과 동시에 픽커 실린더(40)가 구동하여 패드(39)를 하사점까지 하강시키고 패드에 작용되던 진공압을 해제시키게 되므로 디바이스가 테스트 소켓내에 로딩된다.
이와 같이 픽커(35)에 의해 디바이스를 흡착하여 테스트 소켓내에 로딩하고 나면 픽커 실린더(40) 및 모터(27)의 재구동으로 패드(39) 및 승강판(28)을 상사점까지 상승시키고 새로운 디바이스를 테스트 소켓내에 로딩하기 위해 설치판(26)이 로딩측 버퍼측으로 이송되는데, 상기한 바와 같이 설치판(26)의 이송간에 구동실린더(34)가 재구동하여 상사점까지 상승하였던 캠판(32)을 하강시키게 되므로 초기 상태로 환원시키게 된다.
상기한 바와 같이 로딩측 버퍼내에 얹혀진 디바이스를 픽커(35)가 흡착하여 테스트 소켓측으로 이송시 또 다른 픽업수단이 로딩부의 고객 트레이에 담겨진 디바이스를 흡착하여 로딩측 버퍼내에 위치시키므로 계속해서 디바이스를 테스트 소켓측으로 로딩시킬 수 있게 된다.
한편, 테스트 소켓에서 테스트를 마친 디바이스는 일 실시예의 픽업수단과 동일한 구성을 갖으며 수평 LM 가이드(25)을 따라 이동하는 또 다른 픽업수단(도시는 생략함)에 의해 언로딩부에 위치된 빈 고객 트레이내에 언로딩되므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
이상에서와 같이 본 발명은 승강판(28)상에 복수개의 캠홈(32a)이 형성된 캠판(32)을 설치하여 캠판의 승강운동에 의해 픽커(35)의 상단이 캠홈(32a)을 따라 움직이고 하단은 수평 LM 가이드(36)를 따라 이동하게 되므로 픽커(35)의 간격을 로딩측 버퍼의 피치 또는 테스트 소켓의 피치와 정확히 일치시키게 되고, 이에 따라 디바이스의 로딩 및 언로딩에 따른 쨈(jam) 발생을 미연에 방지하게 됨은 물론 픽업수단의 구성이 간단해지게 되므로 기기의 콤팩트(compact)화를 실현시킬 수 있게 된다.

Claims (2)

  1. 수평 LM 가이드를 따라 이동하는 설치판상에 승강판이 승강가능하게 설치되고 상기 승강판에는 진공압에 의해 디바이스를 흡착하는 복수개의 픽커가 설치된 것에 있어서, 상기 승강판상에 수직 LM 가이드를 따라 승강가능하게 설치되고, 복수개의 캠홈이 형성된 캠판과, 상기 승강판에 설치되어 캠판을 구동시키는 구동실린더와, 상기 캠판상에 설치된 수평 LM 가이드를 따라 이동가능하게 설치되어 캠판의 승강운동에 따라 간격이 가변되는 복수개의 픽커와, 상기 각 픽커의 최상측에 설치되어 캠홈내에 끼워진 로드로 구성된 것을 특징으로 하는 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    로드에 베어링이 끼워져 상기 베어링이 캠홈과 접속되도록 구성된 것을 특징으로 하는 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100454763B1 (ko) * 2002-04-26 2004-11-05 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
KR100840209B1 (ko) * 2006-08-16 2008-06-23 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러
KR100958273B1 (ko) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 로딩 핸드
KR101031339B1 (ko) * 2008-10-24 2011-04-29 세크론 주식회사 테스트 핸들러의 피커 장치
KR101046704B1 (ko) * 2009-06-03 2011-07-05 세크론 주식회사 반도체소자용 픽업장치
KR101249011B1 (ko) * 2012-08-21 2013-04-02 (주)디지털프론티어 번인 테스터의 보드 착탈장치
US9511497B2 (en) 2014-06-26 2016-12-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Pitch control unit, picker having the pitch control unit and test handler having the picker

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100454763B1 (ko) * 2002-04-26 2004-11-05 (주)제이티 픽커 구동용 공압실린더
KR100840209B1 (ko) * 2006-08-16 2008-06-23 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러
KR100958273B1 (ko) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 로딩 핸드
KR101031339B1 (ko) * 2008-10-24 2011-04-29 세크론 주식회사 테스트 핸들러의 피커 장치
KR101046704B1 (ko) * 2009-06-03 2011-07-05 세크론 주식회사 반도체소자용 픽업장치
KR101249011B1 (ko) * 2012-08-21 2013-04-02 (주)디지털프론티어 번인 테스터의 보드 착탈장치
US9511497B2 (en) 2014-06-26 2016-12-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Pitch control unit, picker having the pitch control unit and test handler having the picker

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