KR101031339B1 - 테스트 핸들러의 피커 장치 - Google Patents

Abstract

테스트 핸들러의 픽킹 장치는 제1 방향으로 배열되며, 반도체 장치를 픽킹하는 다수의 피커들, 피커들 중 상호 인접하는 피커들을 서로 당기는 인장 부재 및 피커들 사이에 배치되어 피커들과 접하는 외측면들을 갖고 수직 방향으로 이동하고, 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 외측면들 사이의 폭이 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재를 구비하는 간격 조절 유닛을 포함을 포함한다. 따라서, 테스트 핸들러의 픽킹 장치가 피커들 간의 간격을 조절할 수 있다.

Description

테스트 핸들러의 피커 장치{PICKING APPARATUS FOR A TEST HANDLER}

본 발명은 반도체 장치용 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장치들을 테스트하기 위한 반도체 장치를 픽킹하는 테스트 핸들러의 피커 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 휘발성 또는 비휘발성 메모리 장치들, 로직 소자들과 같은 반도체 장치들은 다양한 테스트 과정들을 통해 동작 특성들이 검사된 후 출하된다.

테스트 핸들러는 상기 반도체 장치들을 검사하기 위하여 상기 반도체 장치들을 테스터를 구비하는 테스트 챔버로 이송한다. 특히, 검사할 상기 반도체 장치들은 반도체 장치를 수납하는 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이로 이송되며, 상기 테스트 챔버에서 검사된 반도체 장치들은 테스트 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 커스터머 트레이로 이송된다.

이러한, 테스트 핸들러는 상기 트레이들 사이에서 반도체 장치들을 이송하기 위한 픽킹 장치(picking apparatus)를 일반적으로 포함한다. 상기 픽킹 장치는 최근 반도체 장치들을 이송하는데 소요되는 시간을 단축시키기 위하여 동시에 다수의 반도체 장치들을 이송할 수 있도록 다수의 피커들을 포함한다. 여기서, 상기 픽킹 장치는 상기 피커들의 배열 상태를 상기 테스트 트레이 또는 커스터머 트레이에 반도체 장치의 수납을 위해 구비되는 소켓들의 배열 상태로 전환할 필요가 있다. 따라서, 픽킹 장치는 상기 테스트 트레이 또는 커스터머 트레이의 소켓 배열 상태에 대응하는 피커들의 피치를 조절하기 위한 피치 조절 유닛이 요구된다.

언급한 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 실시예들을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 반도체 장치들의 테스트를 위하여 반도체 장치들의 간결을 조절할 수 있는 픽킹 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 픽킹 장치는 제1 방향으로 배열되며, 반도체 장치를 픽킹하는 다수의 피커들, 상기 피커들 중 상호 인접하는 피커들을 서로 당기는 인장 부재 및 상기 피커들 사이에 배치되어 상기 피커들과 접하는 외측면들을 갖고 수직 방향으로 이동하고, 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재를 구비하는 간격 조절 유닛을 포함한다. 여기서, 상기 인장 부재는 상기 피커들 상호 간에 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함할 수 있다. 또한, 상기 폭 가변 부재는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.

상기 본 발명의 일 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 픽킹 장치는 제1 방향으로 배열되며, 반도체 장치를 픽킹하는 다수의 피커들, 상기 피커들 중 상호 인접하는 피커들을 서로 당기는 인장 부재, 상기 피커들의 상부에 상기 제1 방향으로 연장되며 수직 방향으로 이동하는 제1 가이드부, 상기 제1 가이드부에 연결되며, 상기 피커들 사이에 배치되어 상기 피커들과 접하는 제1 외측면들을 갖고, 인접하는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 외측면들 사이의 폭이 상 기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재, 상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제1 가이드부에 연결되며, 상기 피커들 사이에 배치되어 상기 제1 외측면들과 함께 상기 피커들과 접하는 제2 외측면들을 갖고, 인접하는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제2 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제2 폭 가변 부재를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 외측면들은 상호 선대칭되고, 상기 제2 외측면들은 상호 선대칭될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 폭 가변 부재들은 상기 제1 가이드부를 따라 지그재그 형태로 배열될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치는 상기 제1 폭 가변 부재를 제1 가이드부에 고정시키는 체결 부재를 더 포함하고, 상기 제1 가이드부의 승강시 상기 제2 폭 가변 부재들은 상기 제1 폭 가변 부재를 중심으로 상기 제1 방향으로 이동할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치는 상기 제1 가이드부의 단부와 연결되며, 상기 제1 가이드부의 승강 운동을 가이드하는 제2 가이드부를 더 포함할 수 있다. 여기서, 테스트 핸들러의 픽킹 장치는 상기 제2 가이드부에 연결되며 상기 피커들의 제1 방향으로의 이동을 가이드하는 제3 가이드부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 가이드부는 리니어 모션 가이드를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치는 행렬 형태로 배치되고, 반도체 장치를 픽업하기 위한 피커들, 행 방향으로 인접하는 상기 피커들을 상호 당기는 제1 인장 부재, 열 방향으로 인접하는 상기 피커들을 상호 당기는 제2 인장 부재, 상기 피커들을 행 단위로 연결하고, 상기 피커들의 행 방향 이동을 안내하는 다수의 제1 연결부들, 상기 피커들을 열 단위로 연결하고, 상기 피커들의 열 방향 이동을 안내하는 다수의 제2 연결부들, 상기 피커들 사이에 배치되고 상기 피커들과 접하는 제1 외측면들을 갖고 제1 승강 운동하고, 상기 제1 연결부들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제1 외측면들 사이의 폭이 수직 방향으로 변화하는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재를 구비하는 제1 간격 조절 유닛 및 상기 피커들 사이에 배치되고 상기 피커들과 접하는 제1 외측면들을 갖고 제1 승강 운동하고, 상기 제2 연결부들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제2 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화하는 적어도 하나의 제2 폭 가변 부재를 구비하는 제2 간격 조절 유닛을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 간격 조절 유닛은, 상기 열 방향으로 연장되며, 상기 제1 폭 가변 부재와 결합되는 제1 수평 가이드부 및 상기 제1 수평 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제1 가이드부에 연결되며, 각각의 상기 제1 외측면들과 함께 각각의 상기 제1 연결부의 단부와 접촉하는 제3 외측면들을 구비하는 제3 폭 가변 부재를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 수평 가이드부는 상호 면대칭하는 제1 외측면들을 포함하고, 상기 제2 수평 가이드부는 상호 면대칭하는 제2 외측면들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 연결부들은 각각 그 단부에 배치되고 상기 제1 및 제3 외측면들에 접하는 제1 롤러들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 간격 조절 유닛은, 상기 행 방향으로 연장되며, 상기 제2 폭 가변 부재와 결합되는 제2 수평 가이드부 및 상기 제2 수평 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제2 가이드부의 일면에 연결되며, 각각의 상기 제2 외측면들과 함께 각각의 상기 제2 연결부의 단부와 접촉하는 제4 외측면들을 구비하는 제4 폭 가변 부재를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제2 연결부들은 각각 그 단부에 배치되고 상기 제2 및 제4 외측면들에 접하는 제2 롤러들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 픽킹 장치는 상기 피커들을 수용하는 개구가 형성된 제1 프레임, 상기 제1 프레임으로부터 수직으로 연장된 복수의 제2 프레임 및 상기 제2 프레임을 따라 상기 제1 및 제2 수평 가이드부들의 승강운동을 안내하는 수직 가이드부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 픽킹 장치는 상기 피커들의 제1 피치 및 제2 피치를 조절하기 위하여 상기 제1 및 제2 간격 조절 유닛을 개별적으로 또는 독립적으로 승강시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치는 반도체 장치를 픽업하기 위한 다수의 피커들 사이의 간격을 조절할 수 있다. 나아가 열 방향으로의 제1 피치 및 행 방향으로의 제2 피치를 조절할 수 있게 됨으로써 각 트레이들의 소켓들 간의 간격에 대응되도록 피커들 상호간의 피치 조절이 용이해져 테스트 핸들러에서의 반도체 장치의 이송 시간을 단축시킬 수 있게 된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 픽킹 장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2는 도 2에 도시된 제1 폭 가변 부재를 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은 도1에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치의 구동을 설명하기 위한 단면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 픽킹 장치(100)는 다수의 피커들(110), 인장 부재(120) 및 간격 조절 유닛(150)을 포함한다.

피커들(110)은 반도체 장치(미도시)를 픽킹한다. 상기 반도체 장치의 예로는, 휘발성 메모리 소자, 비휘발성 메모리 소자 또는 로직 소자 등을 포함할 수 있다.

피커들(110)은 제1 방향으로 일렬로 배열된다. 피커들(110)의 배열 방향이 제1 방향으로 정의된다. 상기 제1 방향으로 배열된 피커들(110)은 상호 제1 간격으로 배열될 수 있다. 예를 들면, 피커들(110)은 상호 동일한 간격으로 배열될 수 있다. 이와 다르게 피커들(110)은 서로 다른 간격으로 배열될 수 있다. 또한 피커들(110)은 행렬로 배열될 수도 있다. 한편, 제1 방향에 대하여 수직한 방향을 제2 방향으로 정의된다.

피커들(110)은 각각 진공압을 이용하여 상기 반도체 장치들을 흡착할 수 있는 흡착부(111) 및 흡착부(111)와 연결되어 흡착된 반도체 장치를 다른 위치로 이동시키기 위하여 승강하는 승강부(113)를 포함할 수 있다.

인장 부재(120)는 상기 피커들(110)을 상호 연결시킨다. 예를 들면, 인장 부재(120)는 인접하는 피커들(110) 간을 상호 연결시킬 수 있다. 또한, 인장 부재(120)는 피커들(110) 상호 간을 서로 끌어당긴다.

후술하는 각각의 피커들(110)이 후술하는 폭 가변 부재(170)의 외측면을 따라 가이드 될 수 있도록 인장 부재(120)는 피커들(110) 상호 간을 서로 끌어당긴다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 인장 부재(120)는 피커들(110) 상호간을 연결시키며 피커들(110) 사이에 탄성력을 제공하는 탄성 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 탄성 부재는 승강부들(113) 간을 연결하도록 배치될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 인장 부재(120)는 상기 피커들(110) 중 그 기준 위치로 밀어주는 가압 소자(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 가압 소자는 예를 들면, 레귤레이터(regulator)를 포함할 수 있다.

간격 조절 유닛(150)은 피커들(110) 사이에 개재된다. 간격 조절 유닛(150)은 피커들(110)의 제1 방향에 따른 제1 간격을 제2 간격으로 변경시킬 수 있다. 예를 들면, 커스터머 트레이(미도시)는 상기 반도체 소자를 장착하고 제1 간격으로 배열된 제1 소켓(미도시)을 포함하고, 테스트 트레이(미도시)는 상기 반도체 소자를 장착하고 제2 간격으로 배열된 제2 소켓(미도시)을 포함할 경우, 간격 조절 유닛(150)은 피커들(110) 간의 간격을 상기 제1 간격에서 상기 제2 간격으로 변경할 수 있다.

간격 조절 유닛(150)은 승강 운동을 하며 승강 운동시 피커들(110)과 접하는 높이에서 상기 제1 방향으로 폭이 변경되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재(170)를 포함한다. 즉, 제1 폭 가변 부재(170)는 수직 방향으로 변화하는 폭을 갖는다. 예를 들면, 제1 폭 가변 부재(170)는 하부로 갈수록 좁아지는 폭을 가질 수 있다. 이와 다르게 제1 폭 가변 부재(170)는 하부로 갈수록 넓어지는 폭을 가질 수 있다. 본 실시예에서 정의된 폭은 피커들(110) 및 폭 가변 부재(170)가 접하는 높이에서 상기 제1 방향으로 측정된 제1 폭 가변 부재(170)의 제1 외측면들(171) 간의 길이로 정의된다.

제1 폭 가변 부재(170)는 경사진 제1 외측면들(171)을 갖는 다각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 폭 가변 부재(170)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 하지만, 제1 폭 가변 부재(170)의 형상은 본 발명의 권리범위를 제한하지 않는다.

다시 도1 및 도 2를 참조하면, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 폭 가변 부 재(170)가 하강할 때 각 피커들(110)의 상부가 제1 높이에서 제1 폭 가변 부재(170)의 제1 외측면들(171)과 접한다. 이때 제1 폭 가변 부재(170)는 상기 제1 높이에서 제1 방향으로 제1 폭을 갖는다. 따라서, 상기 제1 높이에서 상기 제1 폭을 갖는 제1 외측면들(171)을 중심으로 배열된 상기 피커들(110)은 상기 제1 폭과 동일한 제1 피치(P1)로 배열될 수 있다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이 폭 가변 부재(170)가 상승할 때 , 피커들(110) 상호 간을 연결하는 인장 부재(120)는 상호 인접하는 피커들(110)을 상호 당긴다. 따라서 각 피커들(110)의 상부가 제2 높이에서 제1 폭 가변 부재(170)의 제1 외측면들(171)과 접한다. 이때 제1 폭 가변 부재(170)는 상기 제2 높이에서 상기 제1 방향으로 제2 폭을 갖는다. 상기 제2 폭은 상기 제1폭보다 작다. 따라서, 상기 제2 높이에서 상기 제2 폭을 갖는 제1 폭 가변 부재(170)의 제1 외측면들(171)을 중심으로 제1 방향으로 배열된 상기 피커들(110)은 제2 폭과 동일한 제2 피치(P2)로 배열될 수 있다. 결과적으로 피커들(110) 상호간의 간격이 제1 피치(P1)에서 제2 피치(P2)로 변경된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 간격 조절 유닛(150)은 제1 가이드부(160) 및 제1 가이드부(160)에 연결된 제2 폭 가변 부재(180)를 더 포함한다.

제1 가이드부(160)는 피커들(110)의 상부에 상기 제1 방향으로 연장된다. 제1 가이드부(160)는 승강 운동할 수 있다. 제1 폭 가변 부재(170)는 제1 가이드부(160)에 체결된다. 따라서, 제1 가이드부(160)와 결합된 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)이 승강할 수 있다.

또한, 제1 가이드부(160)는 후술하는 제1 및/또는 제2 폭 가변 부재들(170, 180)의 상기 제1 방향으로의 직선 운동을 가이드 할 수 있다. 예를 들면, 제1 가이드부(160)는 제1 및/또는 제2 폭 가변 부재들(170, 180)을 직선 운동을 가이드하는 리니어 모션 가이드(liner motion guide; LM 가이드)를 포함할 수 있다. 제1 가이드부(160)는 사각형 바 형상을 가질 수 있다.

제2 폭 가변 부재(180)는 제1 가이드부(160)의 일면에 결합된다. 따라서, 제2 폭 가변 부재(180)는 승강하는 제1 가이드부(160)를 따라 승강할 수 있다. 제2 폭 가변 부재(180)는 적어도 하나의 제2 외측면들(181)을 포함할 수 있다. 제2 폭 가변 부재(180)는 수직 방향으로 변화되는 폭을 갖는다. 예를 들면, 제2 폭 가변 부재(180)는 하부로 갈수록 좁아지는 폭을 가질 수 있다. 이와 다르게 제2 폭 가변 부재(180)는 하부로 갈수록 넓어지는 폭을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제2 폭 가변 부재(180)는 상호 면대칭하는 제2 외측면들(181)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제2 폭 가변 부재(180)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 복수의 제2 폭 가변 부재(180) 및 제1 폭 가변 부재(170)는 제1 가이드부(160)를 따라 지그 재그 형태로 배열될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 가이드부(160)는 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)을 각각 수용할 수 있는 수용 홈들(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 수용홈들은 제1 가이드부(160)의 일면 및 타면에 각각 형성될 수 있다.

상기 수용 홈들에 제1 및 제2 폭 가변 부재간(170, 180)이 각각 수용될 경우 제1 및 제2 폭 가변 부재간(170, 180)의 상기 제2 방향으로 간격이 감소될 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)의 제1 및 제2 외측면들(171, 181) 사이에 각각의 피커들(110)이 안정적으로 접할 수 있다. 한편, 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)간의 상기 제2 방향의 간격이 유지되어 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)이 상호 교차할 때 서로 충돌을 방지할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)은 제1 가이드부(160)를 중심으로 상호 교대로 형성될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)은 제1 및 제2 외측면들(171, 181) 각각을 상호 교차하도록 배치된다. 제1 및 제2 외측면들(171, 181)이 교차하는 제1 높이에서 각 피커들(110)의 상단부가 배치된다. 이때, 제1 및 제2 외측면들(171, 181)이 교차하는 제1 높이에서 상기 제1 방향으로 제1 폭 가변 부재(170)는 제1 폭을 갖고, 제2 폭 가변 부재(180)는 제3 폭을 갖는다. 따라서, 제1 폭 가변 부재(170)가 개재된 상호 인접하는 피커들(110)은 제1 폭과 실질적으로 동일한 제1 피치(P1)를 배열되고, 제2 폭 가변 부재(180)가 개재된 인접하는 피커들(110)은 제3 폭과 실질적으로 동일한 제3 피치(P4)로 배열된다. 이때, 제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)이 실질적으로 동일한 형상을 가질 경우, 제1 폭 및 제3 폭은 실질적으로 동일할 수 있다. 이와 다르게, 제1 및 제3 폭은 서로 다를 수도 있다.

제1 및 제2 폭 가변 부재들(170, 180)이 승강할 경우 피커들의 상단부는 상기 제1 및 제2 외측면들(171, 181)을 따라 가이드된다. 이때, 인장 부재(120)가 인접하는 피커들(110) 상호간을 당기기 때문에 제1 폭 가변 부재(170) 및/또는 2 폭 가변 부재(180)는 제1 방향으로 이동할 수 있다.

제1 및 제2 외측면들(171, 181)이 교차하는 상기 제2 높이에서 각 피커들(110)의 상단부가 배치된다. 이때, 제1 및 제2 외측면들(171, 181)이 교차하는 상기 제2 높이에서 제1 방향으로 제1 폭 가변 부재(180)는 제2 폭을 갖고, 제2 폭 가변 부재(180)는 상기 제1 방향으로 제4 폭을 갖는다. 따라서, 제1 폭 가변 부재(170)가 개재되어 상호 인접하는 피커들(110)은 제2 폭과 실질적으로 동일한 제2 피치(P2)를 갖고, 제2 폭 가변 부재(180)가 개재되고 상호 인접하는 피커들(110)은 제4 폭과 실질적으로 동일한 제4 피치(P4)를 갖는다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 간격 조절 유닛(150)은 제1 폭 가변 부재(170)를 제1 가이드부(160)에 체결하는 체결 부재(151)를 더 포함할 수 있다. 또한, 간격 조절 유닛(150)은 제1 폭 가변 부재(170) 및 제1 폭 가변 부재(170)를 중심으로 인접하는 제2 폭 가변 부재들을 포함할 경우, 제1 가이드부(160)가 승강하면 제2 폭 가변 부재들은 제1 방향으로 제1 가이드부(160)에 고정된 제1 폭 가변 부재(170)를 중심으로부터 멀어지거나 가까워질 수 있다. 따라서, 상기 제 2 폭 가변 부재들의 제1 방향으로 이동 경로가 감소될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 간격 조절 유닛(150)은 제1 가이드부(160)의 승강 운동을 가이드하는 제2 가이드부(153)를 더 포함할 수 있다.

제2 가이드부(153)는 수직으로 연장될 수 있다. 제2 가이드부(153)는 복수로 서로 평행하게 배열될 수 있다. 또한, 제2 가이드부(153)는 제1 가이드부(160)의 단부와 기계적으로 연결된다.

제2 가이드부(153)는 제1 가이드부가 기울어지지 않고 실질적으로 평행하게 승강할 수 있도록 제1 가이드부를 가이드한다. 예를 들면, 제2 가이드부(153)는 수직 방향으로 연장된 리니어 모션 가이드를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 간격 조절 유닛(150)은 피커들의 제1 방향으로의 이동을 안내하는 제3 가이드부(155)를 더 포함할 수 있다.

제3 가이드부(155)는 양 단부가 제2 가이드부(153)에 결합할 수 있다. 제3 가이드부(155)는 제1 가이드부가 승강하여 피커의 피치가 변경될 경우 피커들(110)이 전체적으로 균일한 피치를 갖도록 가이드한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 피커들(110)은 제1 폭 가변 부재(170)의 제1 외측면(171)에 접하는 롤러(115)를 더 포함할 수 있다. 롤러(115)는 제1 외측면(171)과의 마찰력을 감소시키고 피커들(110)이 제1 외측면(171)을 따라 용이하게 이동할 수 있도록 한다.

본 발명에 따르면, 픽킹 장치(100)가 다수의 피커들(110) 사이에 개재되고, 피커들(110)의 단부와 접촉하는 접촉 위치에서 피커들(110)이 배열된 방향에 따른 변경되는 폭을 갖는 폭 가변 부재(170, 180)를 포함함으로써 폭 가변 부재(170, 180)의 승강 운동에 따라 피커들(110) 간의 피치를 변경시킬 수 있다. 따라서, 반도체 소자를 픽킹하는 픽킹 장치(100)가 피커들(110) 간의 변경된 피치를 가짐으로써 반도체 소자들 간의 간격을 조절할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하 기 위한 평면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 6은 도4에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 측면도이다. 도 7은 도 6의 I-II선을 따라 절단한 단면도이다.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치(200)는 피커들(210), 제1 인장 부재(221), 제2 인장 부재(223), 제1 연결부들(230), 제2 연결부들(240), 제1 간격 조절 유닛(250) 및 제2 간격 조절 유닛(280)을 포함한다.

피커들(210)은 행렬 형태로 배치된다. 즉, 상기 다수의 피커(210)들은 다수의 행들과 열들 형태로 배치된다. 예를 들면, 상기 다수의 피커(210)들은 8행 및 4열의 행렬 형태로 배치될 수 있다. 하지만, 상기 피커(210)들의 배치가 8행 및 4열의 행렬로 한정되는 것은 아니며, 행 및 열의 수는 다양하게 가변 가능하다.

피커들(210)은 각각 진공압을 이용하여 상기 반도체 장치들을 흡착할 수 있는 흡착부(211) 및 흡착부(211)와 연결되어 흡착된 반도체 장치를 다른 위치로 이동시키기 위하여 승강하는 승강부(213)를 포함할 수 있다.

제1 인장 부재(221)는 행 방향으로 인접하는 피커들(210)을 상호 연결시킨다. 또한, 제1 인장 부재(221)는 행 방향으로 배열된 피커들(210) 상호 간을 서로 당긴다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 인장 부재(221)는 피커들(210) 상호간을 연결시키는 탄성 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 제1 인장 부재(221)는 상기 피커들(210) 중 그 기준 위치로 밀어주는 가압 소자(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 가압 소자는 예를 들면, 레귤레이터(regulator)를 포함할 수 있다.

제2 인장 부재(223)는 열 방향으로 인접하는 피커들(210)을 상호 연결시킨다. 또한, 제2 인장 부재(223)는 열 방향으로 인접하는 피커들(210) 상호 간을 서로 당긴다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제2 인장 부재(223)는 피커들(210) 상호간을 연결시키는 탄성 부재 또는 가압 소자를 포함할 수 있다.

제1 연결부들(230)은 행 방향을 따라서 연장된다. 따라서, 제1 연결부들(230)은 피커들(210)을 행 단위로 연결한다. 예를 들면, 제1 연결부들(230)은 피커들(210)의 일부와 체결되도록 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 연결부들(230)은 브라켓 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 연결부들(230)은 행 단위로 연결된 피커들(210)의 행 방향 이동을 안내한다. 따라서, 제1 연결부들(230)은 피커들(210)을 행 단위로 그룹화한다. 나아가, 제1 연결부들(230)은 각각의 제1 연결부들(230)에 연결된 피커들(210)이 행 방향으로 이동 가능하도록 안내한다.

예를 들면, 제1 연결부들(230) 각각은 행 방향으로 연장하는 제1 브라켓(231)을 포함할 수 있으며, 피커들(210)은 행 방향으로 장착될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 연결부들(230)은 각각 제1 브라켓(231)에 배치된 리니어 모션 가이드(233)를 더 포함할 수 있다. 리니어 모션 가이드(233)는 피커들(210)과 실질적으로 연결하면서, 피커들(210)이 행 방향으로 이동할 때 마찰력을 감소시킬 수 있다.

제2 연결부들(240)은 열 방향을 따라서 연장하고, 피커들(210)을 열 단위로 연결한다. 또한, 제2 연결부들(240)은 제1 연결부들(230)에 의하여 행 단위로 각 연결된 상기 피커들(210)의 열 방향 이동을 안내한다. 즉, 제2 연결부들(240)은 상기 피커들(210)을 열 단위로 그룹화한다. 동시에 제2 연결부들(240)은 각각의 제1 연결부에 의하여 행 방향으로 그룹화된 피커들(210)이 열 방향으로 이동 가능하도록 안내한다.

예를 들면, 제2 연결부들(240) 각각은 열 방향으로 연장하는 제2 브라켓(241)을 포함한다. 상기 제2 브라켓(241)에는 피커의 상부를 수용할 수 있는 슬롯(미도시)이 형성된다. 상기 슬롯은 열 방향으로 연장된다. 상기 슬롯은 그 단면이 C 자 형상을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시에 있어서, 피커들(210) 각각은 그 상단부에 배치되고 상기 슬롯에 수용될 수 있는 롤러(미도시)를 포함한다.

상기 롤러가 상기 슬롯 내에 위치함에 의해 상기 롤러는 피커들(210) 및 제2 연결부들(240) 각각에 연결시킨다. 제2 연결부들(240)이 피커들(210)의 열 방향 이동을 안내할 때 상기 롤러는 상기 제2 연결부들(240) 및 피커들(210) 간의 마찰력을 감소시킨다. 따라서, 제2 연결부들(240)과 연결된 열 방향으로 그룹화된 피커들(210)이 열 방향으로 용이하게 슬라이딩한다.

제1 간격 조절 유닛(250)은 행 방향으로 그룹화된 피커들(210)의 최선단들과 인접하도록 배치된다. 제1 간격 조절 유닛(250)은 피커들(210)의 열 방향을 따른 제1 피치를 조절하기 위하여 제1 승강 운동을 한다.

제1 간격 조절 유닛(250)은 상기 제1 승강 운동시 수직 방향으로 열 방향의 폭이 변경되는 제1 폭 가변 부재(253)를 포함한다. 즉, 제1 폭 가변 부재(253)는 수직 방향으로 변화하는 폭을 갖는다. 예를 들면, 제1 폭 가변 부재(253)는 하부로 갈수록 좁아지는 폭을 가질 수 있다. 이와 다르게 제1 폭 가변 부재(253)는 하부로 갈수록 넓어지는 폭을 가질 수 있다.

제1 폭 가변 부재(253)는 제1 연결부들(230) 각각을 가이드하는 제1 외측면을 갖는다. 제1 외측면은, 예를 들면, 열 방향에 대하여 경사진 제1 외측면(254)을 포함한다. 여기서, 본 실시예에서 정의된 폭은 제1 연결부들(230) 및 제1 폭 가변 부재(253)가 접하는 위치에서 열 방향으로 제1 외측면들 사이의 길이로 정의된다. 이와 다르게, 제2 연결부들(240) 및 제2 폭 가변 부재가 접하는 위치에서 행 방향으로 제2 외측면들(284)의 길이로 정의된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 간격 조절 유닛(250)은 제1 수평 가이드부(251) 및 제3 폭 가변 부재(255)를 더 포함한다.

제1 수평 가이드부(251)는 열 방향으로 연장된다. 제1 수평 가이드부의 일면에는 제1 폭 가변 부재(253)가 연결된다. 따라서, 제1 수평 가이드부(251)와 결합된 제1 폭 가변 부재(253)가 승강할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 폭 가변 부재(253)는 상호 면대칭하는 제1 외측면들을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 폭 가변 부재(253)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.

또한, 제1 수평 가이드부(251)는 제1 및/또는 제3 폭 가변 부재들(253, 255) 의 열 방향으로의 직선 운동을 가이드 한다. 예를 들면, 제1 수평 가이드부(251)는 제1 및/또는 제3 폭 가변 부재들(253, 255)을 직선 운동을 가이드하는 리니어 모션 가이드(liner motion guide; LM 가이드, 미도시)를 포함할 수 있다.

제1 수평 가이드부(251)는 사각형 바 형상을 가질 수 있다. 제1 수평 가이드부(251)는 제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)을 수용할 수 있는 수용 홈(미도시)이 형성될 수 있다.

제3 폭 가변 부재(255)는 제1 수평 가이드부(251)의 일면에 결합된다. 따라서, 제3 폭 가변 부재(255)는 승강하는 제1 수평 가이드부(251)에 따라 승강할 수 있다. 제3 폭 가변 부재(255)는 적어도 하나의 제3 외측면들(256)을 포함할 수 있다. 제3 폭 가변 부재(255)는 수직 방향으로 열방향의 폭이 변경된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제3 폭 가변 부재(255)는 상호 면대칭하는 제3 외측면들(256)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제3 폭 가변 부재(255)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.

제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)은 열 방향으로 제1 수평 가이드부(251)를 따라 상호 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 또한, 제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)은 제1 및 제3 외측면들(254, 256) 각각을 상호 교차하도록 배치된다. 제1 및 제3 외측면들(254, 256)이 교차하는 제1 높이에서 제1 연결부들(230)의 단부가 배치된다. 이때, 제1 및 제3 외측면들(254, 256)이 교차하는 제1 높이에서 열 방향으로 제1 폭 가변 부재(253)는 제1 폭을 갖고, 제3 폭 가변 부재는 제3 폭을 갖는다. 따라서, 제1 폭 가변 부재(253)가 개재된 인접하는 제1 연결부 들(230)은 제1 폭과 실질적으로 동일한 제1 피치를 갖고, 제3 폭 가변 부재가 개재된 인접하는 제1 연결부들(230)은 제3 폭과 실질적으로 동일한 제3 피치를 갖는다.

제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)이 승강할 경우 제1 연결부들(230)의 단부는 상기 제1 및 제3 외측면들(254, 256)을 따라 가이드된다. 이때, 제1 인장 부재(221)가 인접하는 피커들(210) 상호간을 당기기 때문에 제1 또는 3 폭 가변 부재들(253, 255)은 열 방향으로 이동할 수 있다.

제2 간격 조절 유닛(280)은 행 방향으로 배열된 피커들(210)의 최선단과 인접하도록 배치된다. 제2 간격 조절 유닛(280)은 피커들(210)의 행 방향을 따른 제2 피치를 조절하기 위하여 제2 승강 운동을 한다.

제2 간격 조절 유닛(280)은 상기 제2 승강 운동시 행 방향에 따라 제2 연결부들(240)과 접하는 위치에서의 행 방향의 폭이 변경되는 제2 폭 가변 부재(283)를 포함한다.

제2 폭 가변 부재(283)는 제2 연결부들(240) 각각을 가이드하는 제2 외측면(284)을 갖는다. 제2 외측면(284)은, 예를 들면, 행 방향에 대하여 경사진 제2 외측면(284)을 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 간격 조절 유닛(280)은 제2 수평 가이드부(281) 및 제4 폭 가변 부재(285)를 더 포함한다.

제2 수평 가이드부(281)는 행 방향으로 연장된다. 제2 수평 가이드부(281)의 일면에는 제2 폭 가변 부재(283)가 연결된다. 따라서, 제2 수평 가이드부(281)와 결합된 제2 폭 가변 부재(283)가 승강할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 제2 폭 가변 부재(283)는 상호 면대칭하는 제2 외측면(284)들을 포함할 수 있다. 이 경우, 제2 폭 가변 부재(283)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.

또한, 제2 수평 가이드부(281)는 후술하는 제2 및/또는 제4 폭 가변 부재들(283, 285)의 열 방향으로의 직선 운동을 가이드 한다. 예를 들면, 제2 수평 가이드부(281)는 제2 및/또는 제4 폭 가변 부재들(283, 285)의 직선 운동을 가이드하는 리니어 모션 가이드(liner motion guide; LM 가이드)를 포함할 수 있다.

제4 폭 가변 부재(285)는 제2 수평 가이드부(281)의 타면에 결합된다. 따라서, 제4 폭 가변 부재(285)는 승강하는 제2 수평 가이드부(281)에 따라 승강할 수 있다.

제4 폭 가변 부재(285)는 경사진 적어도 하나의 제4 외측면(286)을 포함할 수 있다. 즉, 제4 폭 가변 부재(285)는 수직방향으로 행방향의 폭이 변경된다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제4 폭 가변 부재(285)는 상호 면대칭하는 제4 외측면들을 포함할 수 있다. 이 경우, 제4 폭 가변 부재(285)는 삼각형 플레이트 형상을 가질 수 있다.

제2 및 제4 폭 가변 부재들(283, 285)은 행 방향으로 제2 수평 가이드부(281)를 중심으로 상호 교대로 형성될 수 있다. 또한, 제2 및 제4 폭 가변 부재들(283, 285)은 제2 및 제4 외측면들(284, 286) 각각을 상호 교차하도록 배치된다. 제2 및 제3 외측면들(284, 256)이 교차하는 제3 높이에서 제2 연결부들(240)의 단부가 배치된다. 이때, 제2 및 제4 외측면들(284, 286)이 교차하는 제2 높이에서 행 방향으로 제2 폭 가변 부재(283)는 제2 폭을 갖고, 제4 폭 가변 부재는 제4 폭을 갖는다. 따라서, 제2 폭 가변 부재(283)가 개재된 인접하는 제2 연결부들(240)은 제2 폭과 실질적으로 동일한 제2 피치를 갖고, 제4 폭 가변 부재(285)가 개재된 인접하는 제2 연결부들(240)은 제4 폭과 실질적으로 동일한 제4 피치를 갖는다.

제2 및 제4 폭 가변 부재들(283, 285)이 승강할 경우 제2 연결부들(240)의 단부는 상기 제2 및 제4 외측면들(284, 286)을 따라 가이드된다. 이때, 제2 인장 부재(223)가 인접하는 피커들(210) 상호간을 당기기 때문에 제2 또는 4 폭 가변 부재들(283, 285)은 행 방향으로 이동할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 연결부들(230)은 그 단부에 각각 제1 및 제3 외측면들과 접하는 제1 롤러들(235)을 각각 포함한다.

제1 롤러들(235)은 제1 수평 가이드부(231)가 승강 이동함에 의해 상기 제1 및 제3 외측면들(234, 256)을 따라 제1 연결부들(120)이 이동될 때 상기 제1연결부들(120)과 제1 및 제3 외측면들(234, 256) 사이에 발생할 수 있는 마찰력을 감소시킨다. 제1 롤러들(235)은 각각 회전 가능하도록 배치되며, 제1 롤러들(234, 236)은 회전하면서 제1 및 제3 외측면들(234, 256)과 접촉한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제2 연결부들(240)은 그 단부에 각각 제2 및 제4 외측면들(284, 286)과 접하는 제2 롤러들(245)을 각각 포함한다.

제2 롤러들(245)은 제2 수평 가이드부가 승강 이동함에 의해 상기 제2 및 제4 외측면들(284, 286)을 따라 제2 연결부들(240)이 이동될 때 제2 연결부들(240)과 제2 및 제4 외측면들(284, 286) 사이에 발생할 수 있는 마찰력을 감소시킨다. 제2 롤러들(245)은 각각 회전 가능하도록 배치되며, 제2 롤러들(245)은 회전하면서 제2 및 제4 외측면들(284, 286)과 접촉한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 픽킹 장치(200)는 행렬 형태로 배치된 피커들(210)을 둘러싸는 제1 프레임(291), 제2 프레임(293) 및 수직 가이드부(295)를 포함한다. 예를 들면, 제1 프레임(291)은 상기 다수의 피커들(210)이 위치하는 개구부를 갖는 사각 플레이트 형상을 가질 수 있다.

제2 프레임(293)은 제1 프레임(291) 상에 배치된다. 예를 들면, 상기 제2 프레임(293)은 수직 방향으로 연장된 형상을 가질 수 있다.

수직 가이드부(295)는 제2 프레임(293)의 측벽에 배치된다. 수직 가이드부(295)는 제1 및 제2 수평 가이드부들(251, 281)의 승강 운동을 안내한다. 수직 가이드부(295)는 수직 방향으로 연장될 수 있다. 수직 가이드부(295)는 예를 들면, 리니어 모션 가이드를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 픽킹 장치(200)는 제1 간격 조절 유닛(250) 및 제2 간격 조절 유닛(280)을 개별적으로 구동하는 구동부(270)를 더 포함할 수 있다.

구동부(270)는 제1 수평 가이드부(251) 및 제2 수평 가이드부(281)와 개별적으로 연결된다. 구동부(270)는 제1 및 제2 수평 가이드부들(251. 281)을 승강시킨다. 예를 들면, 구동부(270)는 직선 왕복 구동이 가능한 유압 실린더 및 공압 실린더를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 픽킹 장치(200)는 제1 간격 조절 유닛(250) 및 제2 간격 조절 유닛(280)을 동시에 구동하는 구동부(270)를 더 포함할 수 있다. 구동부(270)는 제1 및 제2 수평 가이드부들(251. 281)에 일괄하여 연결된다. 따라서, 구동부(270)는 제1 및 제2 수평 가이드부들(251. 281)을 동시에 구동시킨다.

이와 같이 구성된 테스트 핸들러(200)의 픽킹 장치의 동작에 대해 설명하면 다음과 같다.

구동부(270)는 제1 및 제2 수평 가이드부(251, 281)를 승강시킨다. 이 때, 제1 연결부(230)들은 상기 제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)의 제1 및 제2 외측면들(254, 284) 하단에 위치하게 되고, 이에 따라 상기 피커들(210)의 열 방향 피치는 최대 피치를 유지하게 된다. 또한, 제2 연결부(130)들도 제2 및 제4 폭 가변 부재들(283, 285)의 제2 및 제4 외측면들(284, 286) 하단에 위치하게 되고, 이에 따라 상기 피커들(210)의 행 방향 피치 역시 최대 피치를 유지하게 된다.

상기 피커들(210)의 열 방향 피치 및 행 방향 피치가 최대 피치를 유지하는 상태에서, 피커들(210)에 의해 다수의 반도체 장치들을 픽업한다. 이어서, 피커들(210)이 반도체 장치들의 픽업을 완료하면 이동을 위해 상기 픽킹 장치(200)는 이송 장치(미도시)에 의해 이송된다.

한편, 반도체 장치들을 픽업한 상태에서 이송 도중 상기 피커들(210)의 피치를 조절하기 위하여 구동부(270)는 구동력을 발생시킨다. 구동부로부터의 발생된 구동력을 이용하여 제1 및 제2 수평 가이드부들(251, 281)이 하강한다. 제1 및 제2 수평 가이드부들(251, 281)은 동시에 또는 순차적으로 하강할 수 있다.

제1 및 제2 수평 가이드부(251, 281)가 하부에 이동하면서 제1 및 제2 연결부들(230, 240)도 열 방향 및 행 방향으로 각각 이동한다.

구체적으로, 제1 수평 가이드부(251)가 하강함에 따라 제1 수평 가이드부(251)에 체결된 제1 및 제3 폭 가변 부재들(253, 255)이 함께 하강한다. 이 때, 제1 연결부들(230)은 제1 및 제3 외측면(254, 256)을 따라 이동하여 제1 및 제3 외측면(254, 256)이 접하는 상부에 위치하게 된다. 이에 따라 상기 피커들(210)의 열 방향 피치는 최소 피치를 갖게 된다.

제2 수평 가이드부(281)가 하강함에 따라 제2 수평 가이드부(281)에 체결된 제2 및 제4 폭 가변 부재들(283, 285)이 함께 하강한다. 이 때, 제2 연결부들(240)은 제2 및 제4 외측면(284, 286)을 따라 이동하여 제1 및 제3 외측면들(284, 256)이 접하는 상부에 위치하게 된다. 이에 따라 상기 피커들(210)의 행 방향 피치는 최소 피치를 갖게 된다.

이처럼, 상기 구동부(270)에 의한 구동으로 상기 제1 및 제2 수평 가이드부들(251, 281)이 하강하고, 제1 내지 제4 폭 가변 부재들(253, 255, 283, 285)이 하강하여 피커들(210)의 열 방향 피치 및 행 방향 피치는 최소 피치를 유지하는 상태가 된다. 이 상태는 앞서 픽업한 반도체 장치들을 테스트 트레이의 소켓에 내려놓기 위하여, 상기 소켓의 배치에 대응하는 피치 간격으로 정의할 수 있다.

따라서, 한 번의 동작으로 보다 많은 수의 반도체 장치들을 이송할 수 있게 되고, 테스트 핸들러에서 각 트레이들 사이에 반도체 장치들을 이송할 때 그 속도를 증가시킬 수 있게 된다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통 상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 피커들이 폭 가변 부재의 외측면을 따라 가이드되면서 피커들 간의 피치가 조절될 수 있다. 따라서, 나아가 열 방향으로의 제1 피치 및 행 방향으로의 제2 피치를 조절할 수 있게 됨으로써 각 트레이들의 소켓들 간의 간격에 대응되도록 피커들 상호간의 피치 조절이 용이해져 테스트 핸들러에서의 반도체 장치의 이송 시간을 단축시킬 수 있게 된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 단면도이다.

도 2는 도 2에 도시된 제1 폭 가변 부재를 설명하기 위한 사시도이다.

도 3은 도1에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치의 구동을 설명하기 위한 단면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

도 5는 도 4에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 사시도이다.

도 6은 도4에 도시된 테스트 핸들러의 픽킹 장치를 설명하기 위한 측면도이다.

도 7은 도 6의 I-II선을 따라 절단한 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100, 200: 픽킹 장치 110, 210:피커

115: 제1 롤러 120: 인장 부재

150: 간격 조절 유닛 151: 체결 부재

153: 제2 가이드부 155: 제3 가이드부

160: 제1 가이드부 161: 리니어 모션 가이드

170: 제1 폭 가변 부재 171: 제1 외측면

180: 제2 폭 가변 부재 181: 제2 외측면

230: 제1 연결부 240: 제2 연결부

250:제1 간격 조절 유닛 251: 제1 수평 가이드부

253: 제1 폭 가변 부재 255: 제3 폭 가변 부재

280: 제2 간격 조절 유닛 281: 제2 수평 가이드부

283: 제2 폭 가변 부재 285: 제4 폭 가변 부재

291: 제1 프레임 293: 제2 프레임

295: 수직 가이드부

Claims (18)

1. 제1 방향으로 배열되며, 반도체 장치를 픽킹하는 다수의 피커들;

   상기 피커들 중 상호 인접하는 피커들을 서로 당기는 인장 부재; 및

   상기 피커들 사이에 배치되어 상기 피커들과 접하는 외측면들을 갖고 수직 방향으로 이동하고, 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재를 구비하는 간격 조절 유닛을 포함하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 인장 부재는 상기 피커들 상호 간에 탄성력을 제공하는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 폭 가변 부재는 삼각형 플레이트 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
4. 제1 방향으로 배열되며, 반도체 장치를 픽킹하는 다수의 피커들;

   상기 피커들 중 상호 인접하는 피커들을 서로 당기는 인장 부재;

   상기 피커들의 상부에 상기 제1 방향으로 연장되며 수직 방향으로 이동하는 제1 가이드부;

   상기 제1 가이드부에 연결되며, 상기 피커들 사이에 배치되어 상기 피커들과 접하는 제1 외측면들을 갖고, 인접하는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 재1 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재;

   상기 제1 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제1 가이드부에 연결되며, 상기 피커들 사이에 배치되어 상기 제1 외측면들과 함께 상기 피커들과 접하는 제2 외측면들을 갖고, 인접하는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제2 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화되는 적어도 하나의 제2 폭 가변 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 외측면들은 상호 선대칭되고, 상기 제2 외측면들은 상호 선대칭되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
6. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 폭 가변 부재들은 상기 제1 가이드부를 따라 지그재그 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
7. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 폭 가변 부재를 제1 가이드부에 고정시키는 체결 부재를 더 포함하고,

   상기 제1 가이드부의 승강시 상기 제2 폭 가변 부재들은 상기 제1 폭 가변 부재를 중심으로 상기 제1 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
8. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 가이드부의 단부와 연결되며, 상기 제1 가이드부의 승강 운동을 가이드하는 제2 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 제2 가이드부에 연결되며 상기 피커들의 제1 방향으로의 이동을 가이드하는 제3 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
10. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 가이드부는 리니어 모션 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
11. 행렬 형태로 배치되고, 반도체 장치를 픽업하기 위한 피커들;

    행 방향으로 인접하는 상기 피커들을 상호 당기는 제1 인장 부재;

    열 방향으로 인접하는 상기 피커들을 상호 당기는 제2 인장 부재;

    상기 피커들을 행 단위로 연결하고, 상기 피커들의 행 방향 이동을 안내하는 다수의 제1 연결부들;

    상기 피커들을 열 단위로 연결하고, 상기 피커들의 열 방향 이동을 안내하는 다수의 제2 연결부들;

    상기 피커들 사이에 배치되고 상기 피커들과 접하는 제1 외측면들을 갖고 제1 승강 운동하고, 상기 제1 연결부들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제1 외측면들 사이의 폭이 수직 방향으로 변화하는 적어도 하나의 제1 폭 가변 부재를 구비하는 제1 간격 조절 유닛; 및

    상기 피커들 사이에 배치되고 상기 피커들과 접하는 제2 외측면들을 갖고 제2 승강 운동하고, 상기 제2 연결부들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 제2 외측면들 사이의 폭이 상기 수직 방향으로 변화하는 적어도 하나의 제2 폭 가변 부재를 구비하는 제2 간격 조절 유닛을 포함하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 제1 간격 조절 유닛은,

    상기 열 방향으로 연장되며, 상기 제1 폭 가변 부재와 결합되는 제1 수평 가이드부; 및

    상기 제1 수평 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제1 수평 가이드부에 연결되며, 각각의 상기 제1 외측면들과 함께 각각의 상기 제1 연결부의 단부와 접촉하는 제3 외측면들을 구비하는 제3 폭 가변 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 제1 외측면들은 상호 면대칭하고, 상기 제2 외측면들는 상호 면대칭하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
14. 제12항에 있어서, 상기 제1 연결부들은 각각 상기 제1 연결부들의 단부에 배치되고 상기 제1 및 제3 외측면들에 접하는 제1 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
15. 제 11 항에 있어서, 상기 제2 간격 조절 유닛은,

    상기 행 방향으로 연장되며, 상기 제2 폭 가변 부재와 결합되는 제2 수평 가이드부; 및

    상기 제2 수평 가이드부를 따라 이동하도록 상기 제2 수평 가이드부의 일면에 연결되며, 각각의 상기 제2 외측면들과 함께 각각의 상기 제2 연결부의 단부와 접촉하는 제4 외측면들을 구비하는 제4 폭 가변 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 제2 연결부들은 각각 상기 제2 연결부들의 단부에 배치되고 상기 제2 및 제4 외측면들에 접하는 제2 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
17. 제 11 항에 있어서,

    상기 피커들을 수용하는 개구가 형성된 제1 프레임;

    상기 제1 프레임으로부터 수직으로 연장된 복수의 제2 프레임;

    상기 열 방향으로 연장되며, 상기 제1 폭 가변 부재와 결합되는 제1 수평 가이드부;

    상기 행 방향으로 연장되며, 상기 제2 폭 가변 부재와 결합되는 제2 수평 가이드부; 및

    상기 제2 프레임을 따라 상기 제1 및 제2 수평 가이드부들의 승강운동을 안내하는 수직 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.
18. 제 11 항에 있어서, 상기 피커들의 제1 피치 및 제2 피치를 조절하기 위하여 상기 제1 및 제2 간격 조절 유닛을 개별적으로 또는 독립적으로 승강시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽킹 장치.

Images