KR0122278Y1 - 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 소자검사기에서 고객트레이에 담겨져 있던 소자의 간격을 위치결정블럭내의 피치에 맞게 조절하는 장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 고객트레이내의 소자를 픽업하여 소자의 위치결정을 위해 위치결정블럭으로 이송중에 소자사이의 간격을 위치결정블럭의 피치에 알맞게 자동으로 조절할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 고안은 상판(1)에 좌, 우 이동가능하게 결합된 설치판(2)과, 상기 설치판에 고정된 제1실린더(4)의 구동에 따라 설치판에 안내되어 승, 하강하는 픽업블럭(5)과, 상기 픽업블럭에 설치판의 이동방향과 동일한 방향으로 이동가능하게 결합되는 복수개의 슬라이더(7)와, 상기 슬라이더에 고정된 제2실린더(8)의 구동에 따라 승, 하강가능하게 각 슬라이더에 결합되는 복수개의 픽업헤드(10)와, 상기 각 픽업헤드의 하단에 고정되어 소자(11)를 흡착하는 픽업(12)과, 상기 픽업헤드가 결합된 슬라이더의 간격을 조절하는 슬라이더 간격조절수단으로 구성하여서 된 것이다.

Description

반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치

제1도는 본 고안 장치의 일부를 절결하여 나타낸 정면도

제2도는 제1도의 일부를 절결하여 나타낸 측면도

제3도는 슬라이더가 내측으로 오므러든 상태도

제4도는 제3실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:상판 2:설치판

4:제1실린더 5:픽업블럭

7:슬라이더 10:픽업헤드

12:픽업 13:제1링크

14:제2링크 17:가이드편

17a:가이드홈

본 고안은 반도체 소자검사기에서 고객트레이에 담겨져 있던 소자의 로딩시 소자의 간격을 위치결정블럭내의 피치에 맞게 조절하는 장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 고객트레이내의 소자를 픽업하여 소자의 위치결정을 위해 위치결정블럭으로 이송중에 소자사이의 간격을 위치결정블럭의 피치에 알맞게 자동으로 조절할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 소자가 담겨져 보관되거나, 이송간에 사용되는 플라스틱재의 고객트레이는 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 소자가 담겨지는 공간부의 피치가 각각 다르게 제작된다.

또한, 고객트레이에 형성된 공간부(소자가 담겨지는 부위)의 피치가 테스트시 소자가 담겨지는 테스트 트레이내에 형성딘 공간부의 피치와 다르고 정밀도 또한 다르기 때문에 테스트 트레이내에 담겨져 있던 소자를 테스트 콘택터와 완벽한 접촉이 되도록 하기 위해서는 테스트 트레이에 형성된 공간부의 정밀도가 요구된다.

그러나 고객트레이에 형성된 공간부는 소자가 수용되기만 하면 되므로 그다지 정밀하게 가공되어 있지 않으므로 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트 트레이내의 공간부로 옮기기 위해서는 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 정밀하게 가공된 별도의 위치결정블럭으로 이동시켜 위치결정시킨 다음 테스트 트레이내에 옮겨야 한다.

이를 위해 반도체 소자검사기에는 소자를 옮기는 역할을 하는 픽업이 장착된 이송 수단이 구비되어야 한다.

종래에는 고객트레이에 형성된 공간부내에 담겨진 소자를 위치결정블럭으로 옮기기 위해 1개의 픽업이 픽업블럭에 승강가능하게 장착되어 있어 실린더의 구동으로 상기 픽업이 하강하여 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착한 다음 위치를 옮겨가면서 위치결정블럭에 형성된 공간부내로 순차 이송시켰으므로 소자의 이송에 따른 시간이 지연되었고, 이에 따라 소자 성능검사에 따른 생산성이 저하되었다.

상기한 문제점을 개선하기 위해, 고객트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 위치결정블럭에 형성된 공간부의 갯수와 동일한 갯수의 픽업이 장착된 픽업헤드를 고객트레이측에 설치하고 다른 일측(테스트 트레이축)에는 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 위치결정블럭에 형성된 공간부의 갯수와 동일한 갯수의 픽업이 장착된 또 다른 픽업헤드를 설치하도록 되어 있으며 소자의 위치를 결정하는 위치결정블럭은 테스트 트레이의 공간부피치와 일치하도록 간격조절수단을 이용하여 간격을 조절하도록 구성되어 있다.

따라서 고객트레이에 담겨진 소자를 테스트 트레이에 로딩하기 위해 일측의 픽업 헤드가 고객트레이측으로 이동되어와 정지하면 픽업이 하강하여 상기 고객트레이에 담겨진 복수개의 소자를 동시에 흡착한 다음 상승한 다음 픽업헤드가 위치결정블럭의 직상부로 이동하여 픽업에 흡착된 소자를 간격이 고객트레이의 피치와 동일하게 위치된 위치결정블럭의 공간부내에 얹어놓게 된다.

이와같이 고객트레이내에 담겨져 있던 소자가 픽업에 의해 위치결정블럭의 공간부 내에 얹혀지고 나면 별도의 구동수단에 의해 상기 위치결정블럭이 테스트 트레이의 피치와 동일하게 펼쳐지게 되므로 테스트 트레이측에 설치된 픽업헤드가 위치결정블럭측으로 이송되어와 전술한 바와같이 동작하게 되므로 픽업이 위치결정블럭의 공간부내에 피치조절되어 위치된 소자를 흡착하여 테스트 트레이의 공간부내로 옮기게 된다.

그러나 이러한 장치는 전술한 장치에 비해, 싸이클 타임이 줄어들게 되므로 생산성을 향상시키는 잇점을 갖게 되나, 고객트레이측과 테스트 트레이측에 각각 픽업헤드를 설치되어야 하므로 기기의 공간활용도가 줄어들게 됨은 물론 반드시 위치 결정블럭에 간격조절수단을 구비하여야 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 개선하여 픽업헤드에 설치되는 픽업이 고객트레이에 담겨져 있던 소자를 흡착하여 위치결정블럭측으로 이동할 때 픽업사이의 간격이 위치결정블럭에 형성된 공간부의 피치와 일치되도록 조절하여 소자의 이송에 따른 싸이클타임은 최소화하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 상판에 좌, 우 이동가능하게 결합된 설치판과, 상기 설치판에 고정된 제1실린더의 구동에 따라 설치판에 안내 되어 승, 하강하는 픽업블럭과, 상기 픽업블럭에 설치판의 이동방향과 동일한 방향으로 이동가능하게 결합되는 복수개의 슬라이더와, 상기 슬라이더에 고정된 제2실린더의 구동에 따라 승, 하강가능하게 각 슬라이더에 결합되는 복수개의 픽업헤드와, 상기 각 픽업헤드의 하단에 고정되어 소자를 흡착하는 픽업과, 상기 픽업헤드가 결합된 슬라이더의 간격을 조절하는 슬라이더 간격조절수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 내지 제4도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 고안 장치의 일부를 절결하여 나타낸 정면도이고 제2도는 제1도의 일부를 절결하여 나타낸 측면도이며 제3도 및 제4도는 슬라이더의 작동상태를 설명하기 위한 평면도로써, 본 고안은 상판(1)에 설치판(2)이 제1수평 LM가이더(3)를 따라 수평이동하도록 설치되어 있고 상기 설치판의 하방에는 설치판에 고정된 제1실린더(4)의 구동에 따라 승, 하강하도록 픽업블럭(5)이 설치되어 있는데, 상기 픽업블럭(5)은 제1실린더(4)의 구동에 따라 설치판(2)에 안내되어 승, 하강하게 된다.

그리고 픽업블럭(5)에는 설치판(2)의 이동방향과 동일한 방향으로 제2수평 LM가이더(6)를 따라 이동하도록 복수개(4-8개)의 슬라이더(7)가 결합되어 있고 상기 각 슬라이더에는 상기 슬라이더에 고정된 제2실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)를 따라 승, 하강하도록 픽업헤드(10)가 결합되어 있으며 상기 각 픽업헤드의 하방 끝단에는 공압에 의해 소자(11)를 흡착하는 픽업(12)이 고정되어 있다.

상기 설치판(2)에 수평이동하게 결합되는 복수개의 슬라이더(7)는 슬라이더 간격조절수단에 의해 간격이 일정범위내에서 자동으로 조절되도록 되어 있다.

상기 슬라이더 간격조절수단으로 본 고안의 일 실시예에서는 각 슬라이더(7)의 상부에핀(7a)을 고정하여 상기 핀이 픽업블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)을 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제1링크(13)를 힌지결합하도록 되어 있고 상기 제1링크의 양단에는 제2링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제1링크중 일측의 제1링크 끝단은 제3실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.

이와같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨진 소자(11)를 흡착하기 위해 설치판(2)이 제1수평 LM가이더(3)를 따라 이송되어 고객트레이에 형성된 공간부의 1열(4-8개의 소자가 위치되어 있음)과 일치된 상태에서 정지하게 된다.

이때 설치판(2)에 승, 하강가능하게 결합된 픽업블럭(5)은 상사점에 위치된 상태이고, 픽업블럭(5)에 좌, 우 이동가능하게 결합된 슬라이더(7)는 내측으로 오므러 든 상태이므로 픽업헤드(10)의 하단에 고정된 픽업(12)의 간격(피치)은 고객트레이(19)의 공간부(19a) 피치와 일치하게 된다.

이러한 상태에서 설치판(2)에 고정된 제1실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽업헤드(10)를 승, 하강시키는 제2실린더(8)가 동작되므로 상기 픽업헤드의 끝단에 고정된 픽업(12)이 제2도의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(11)의 상면과 접속된다.

그후, 공압에 의해 픽업(12)에 진공압이 걸리면 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨져 있던 소자(11)가 픽업(12)에 흡착된다.

이와같이 고객트레이에 담겨져 있던 소자(11)가 픽업(12)에 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제2실린더(8)가 동작함과 동시에 제1실린더(4)가 동작하면 픽업(12)이 소자(11)를 흡착한 상태로 흡착헤드(10)가 상승됨과 동시에 흡착블럭(5)이 설치판(2)측으로 상승하여 초기상태와 같이 상사점에 도달하게 된다.

상기 흡착블럭(5)이 상사점에 도달한 상태, 즉 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨져 있던 4-8개의 소자(11)를 픽업(12)이 동시에 흡착하여 상승된 상태에서 흡착블럭(5)이 상사점에 도달하면 설치판(2)이 제1수평 LM기이더(3)를 따라 소자의 위치결정위치(위치결정블럭측)으로 이동된다.

이때 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제3실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주면 제1링크(13)의 일단에 고정된 핀(15)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(17a)을 따라 외측으로 이동하게 되므로 제1도 및 제4도에 도시한 바와같이 오므러져 있던 제1, 2링크(13)(14)가 일점쇄선과 같이 펼쳐지게 된다.

이에 따라 슬라이더(7)에 결합된 픽업블럭(5)이 제2수평 LM가이더(6)를 따라 이동하게 되므로 픽업(12)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 된다.

상기 픽업의 피치를 위치결정블럭에 형성된 공간부의 피치와 일치되도록 상기한 바와같이 동작을 하면서 픽업블럭(5)이 위치결정블럭측으로 이동하여 픽업(12)에 흡착된 소자(11)가 위치결정블럭의 공간부 직상부에 위치되고 나면 상기 픽업블럭의 이동이 중단됨과 동시에 초기상태와 같이 설치판(2)에 고정된 제1실린더(4)가 구동하여 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시킨다.

이러한 상태에서 슬라이더(7)에 고정된 제2실린더(8)의 구동으로 픽업헤드(10)가 하사점에 도달하면 상기 픽업(12)에 흡착된 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 위치되므로 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 제거하면 픽업에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 얹혀지면서 정확히 위치결정하게 된다.

이와같이 고객트레이의 공간부내에 담겨져 있던 1열의 소자를 흡착하여 위치결정블럭에 로딩시키고 나면 제1, 2실린더(13)(14)의 동작으로 픽업블럭(5)과 픽업헤드(10)가 상승됨과 동시에 설치판(2)이 제1수평 LM가이더(3)를 따라 고객트레이측으로 이동되는데, 이때 제3실린더(16)가 구동하여 흡착헤드(10)가 결합된 슬라이더(7)를 내측으로 오므러 들게 하므로 계속해서 고객트레이에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭에 로딩시킬 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 초기상태에서 고객트레이의 피치에 일치되게 픽업헤드를 위치시켜 고객트레이에 담겨져 있던 소자를 흡착한 다음 위치결정블럭측으로 이동될 때 픽업헤드의 간격을 위치결정블럭의 피치와 일치되게 조절하도록 되어 있어 소자의 위치결정에 따른 시간을 최소화하게 되므로 생산성을 향상시킴은 물론 구조의 단순화로 소자의 픽업수단을 설치함에 따른 공간의 점유율을 최소화하게 되므로 기기의 크기를 줄이게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (2)

1. 상판(1)에 좌, 우 이동가능하게 결합된 설치판(2)과, 상기 설치판에 고정된 제1실린더(4)의 구동에 따라 설치판에 안내되어 승, 하강하는 픽업블럭(5)과, 상기 픽업블럭에 설치판의 이동방향과 동일한 방향으로 이동가능하게 결합되는 복수개의 슬라이더(7)와, 상기 슬라이더에 고정된 제2실린더(8)의 구동에 따라 승, 하강가능하게 각 슬라이더에 결합되는 복수개의 픽업헤드(10)와, 상기 각 픽업헤드의 하단에 고정되어 소자(11)를 흡착하는 픽업(12)과, 상기 픽업헤드가 결합된 슬라이더의 간격을 조절하는 슬라이더 간격조절수단으로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
2. 제1항에 있어서, 슬라이더 간격조절수단이 각 슬라이더(7)의 상부에 고정되어 픽업블럭(5)에 길이방향으로 형성된 장공(5a)을 통해 상부로 노출되는 핀(7a)과, 상기 핀에 힌지결합되는 제1링크(13)와, 상기 제1링크와 힌지결합되는 제2링크(14)와, 상기 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제3실린더(16)의 로드에 고정됨과 동시에 제1링크(13)의 일단에 고정된 핀(15)이 삽입되는 가이드홈(17a)이 형성된 가이드편(17)으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.