TW201306159A - 抽出裝置及保管裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明是一種抽出裝置及保管裝置，其提供能達成提高工作性的抽出裝置及保管裝置。抽出裝置(1)係具備：支撐部(2a、2b)，其係在載架(134)收容有FOUP(120)的狀態下被插入於FOUP(120)的下方的間隙，並被固定於載架(134)；及上舉部，其係以能夠在可插入間隙的第1高度位置、和比第1高度位置更高且可舉起FOUP(120)的第2高度位置進行切換之方式被設置於支撐部(2a、2b)，並且可在第2高度位置上將FOUP(120)滑動至載架(134)的前方。

Description

抽出裝置及保管裝置
本發明是一種關於為了將保管於保管裝置的荷載物利用手動方式抽出之抽出裝置及具備前述裝置的保管裝置。
保管收容有半導體晶圓的FOUP(Front-Opening Unified Pod)的保管裝置中，為了進行進出庫之裝載埠和載架之間的FOUP的移載係藉由移載裝置來進行。具備該移載裝置的保管裝置中，當移載裝置由於故障等而變得不能動作時，FOUP的移載須藉由人力來進行，但隨著近年來半導體晶圓的大徑化，FOUP亦形成大型化、及重量化，因此不易利用人力來處理FOUP。
於是，例如記載於專利文獻1的保管裝置中，除了運送裝置另外具備能夠利用手動方式操作的手動搬運裝置。該手動搬運裝置係具備有：可夾持FOUP的凸緣的夾持部、被連結於夾持部的皮帶、回捲皮帶的捲揚機部、及以能夠在保管裝置內的頂面滑動而設置的滑動部，當運送裝置無法使用時，能利用手動方式進行搬運。
(先前技術文獻) (專利文獻)
專利文獻1：日本特開2011-1149號公報
前述保管裝置的手動搬運裝置中，雖然必須將夾持部裝置於FOUP的凸緣，但將夾持部插入FOUP和載架之間的狹窄的間隙不易於進行作業。因此，關於藉由手動方式之FOUP的搬運，其作業性被要求更進一步的改善。
本發明是為了解決前述課題而完成者，其目的為提供能達成提高作業性的抽出裝置及保管裝置。
本發明的抽出裝置，係在具備使荷載物經由開口於前方之開口部被送進送出的複數個載架之保管裝置中，用以將荷載物由載架經由開口部朝前方抽出的抽出裝置。其特徵為，具備：支撐部，其係在載架收容有荷載物的狀態下被插入於荷載物的下方的間隙，並被固定於載架；及上舉部，其係以能夠在可插入間隙的第1高度位置、和比第1高度位置更高且可舉起荷載物的第2高度位置進行切換之方式被設置於支撐部，並且可在第2高度位置上將荷載物滑動至載架的前方。
該抽出裝置係具備：被插入於荷載物的下方的間隙，並被固定於載架的支撐部，及能夠在第1高度位置和第2高度位置進行切換的上舉部。上舉部在第1高度位置上，即使是狹窄的間隙亦可與支撐部同時插入，並且能容易地將支撐部固定於載架。然後，藉由固定支撐部後將上舉部切換至第2高度位置，可以舉起荷載物且使其滑動至載架 的面前來抽出。如此，由於在該抽出裝置中能容易地設置於載架和荷載物之間的狹窄的間隙，因此例如可以省去在狹窄的間隙中裝置夾持部之作業，而能達成提高工作性。
載架收容有荷載物時，設有插入於設置在荷載物的底部的定位孔之定位銷，而第2高度位置最佳係定位銷由定位孔分離的位置。荷載物，其藉由設置於載架的定位銷來定位，並且限制其朝前後左右方向的移動。為了如此般由載架舉起荷載物，利用將第2高度位置形成於定位銷由定位孔分離的位置，即能確實地將荷載物由設置有定位銷的載架抽出。
支撐部及上舉部是長條狀的構件，且支撐部及上舉部係由連桿機構所連結而使上舉部可在第1高度位置和第2高度位置進行切換。依據如此的構成，上舉部藉由連桿機構以和支撐部鄰接或分離來移動，能在第1高度位置和第2高度位置進行切換。因此，可容易地進行操作，並且能確保動作的信賴性。
支撐部及上舉部是長條狀的構件，且上舉部係沿著用以限制在第1高度位置和第2高度位置進行移動的導引部來移動，且用以將上舉部切換於第1高度位置和第2高度位置的凸輪部是設置於支撐部及上舉部的至少其中一方。依據如此的構成，由於上舉部沿著導引部來移動，因此能夠正確地進行第1高度位置和第2高度位置的切換。另外，藉由凸輪部，可適當地進行上舉部的高度位置之切換。
支撐部是長條狀的構件，且將其設置成以軸為中心進行轉動，而上舉部，其剖面略呈橢圓形，並且與支撐部成一體地設置，第1高度位置時，上舉部的剖面的長軸處於與水平方向略呈一致的狀態。第2高度位置時，上舉部的剖面的長軸處於與鉛垂方向略呈一致的狀態。依據如此的構成，藉由轉動支撐部之操作，而使上舉部能夠易地在第1高度位置和第2高度位置進行切換。另外，藉由將支撐部和上舉部一體地成形，可形成簡易的構造，並且能提高耐久性。
本發明的保管裝置，係具備：筐體、具備於筐體內並且使荷載物經由開口於前方之開口部被送進送出的複數個載架、進行荷載物的進出庫的裝載埠、在載架和裝載埠之間移載荷載物的移載裝置、及具有用以將荷載物由載架經由開口部朝前方抽出的抽出裝置，其特徵為，抽出裝置具備：支撐部，其係在載架收容有荷載物的狀態下被插入於荷載物的下方的間隙，並被固定於載架；及上舉部，其係以能夠在可插入間隙的第1高度位置、和比第1高度位置更高且可舉起荷載物的第2高度位置進行切換之方式被設置於支撐部，並且可在第2高度位置上將荷載物滑動至載架的前方。
該保管裝置中，具備有抽出裝置。抽出裝置係具備：被插入於荷載物的下方的間隙，並被固定於載架的支撐部，及能夠在第1高度位置和第2高度位置進行切換的上舉部。上舉部在第1高度位置上，即使是狹窄的間隙亦可 與支撐部同時插入，並且能容易地將支撐部固定於載架。然後，藉由固定支撐部後將上舉部切換至第2高度位置，可以舉起荷載物且使其滑動至載架的面前來抽出。因此，即使在該移載裝置不動作的情況下，亦能夠容易地將荷載物從載架抽出。如以上所示，由於在該抽出裝置中能容易地設置於載架和荷載物之間的狹窄的間隙，因此例如可以省去在狹窄的間隙中裝置夾持部之作業，而能達成達成提高工作性。
另外，由於抽出裝置可以插入載架的下方的狹窄之間隙，所以能將載架彼此的間隔設定成荷載物昇起時不會和上方的載架抵接之程度。因此，不須如習知技術般要確保為了插入夾持部的空間，並且能達成提高保管裝置中的收納荷載物的效率。
更進一步地具備能利用手動方式操作的搬運裝置為佳。其具有：可夾持荷載物的夾持部、進行連結於夾持部的皮帶的輸出及回捲的捲揚機部、及配置有捲揚機部並且沿舖設於筐體的上部的軌道滑動的滑動部，如此，由於具備能利用手動方式操作的搬運裝置，可將藉由抽出裝置所取出的荷載物，容易地搬運至筐體的外部或裝載埠。因此，可以進一步地提高工作性，並且能達成縮短搬運時間。
依據本發明，能達成提高在保管裝置中取出荷載物的 作業性。
以下，參照附件的圖面，詳細地說明關於適當的實施形態。並且，在圖面的說明中，同一或相當之元件均附予同一符號，且省略重複之說明。
第1圖係表示具備一實施形態的保管裝置的搬運裝置的外觀之斜視圖。第2圖則係以模示表示第1圖所示的保管裝置的內部構造之剖面圖。如第1圖及第2圖所示，搬運系統100具備：搬運車102、儲藏庫104、及提供搬運車102行進的軌道R1之外，作為控制系統其具備：搬運指示部106、搬運車控制裝置108及儲藏庫控制裝置110。搬運系統100係依據半導體元件製造的搬運時程，來對各種製造裝置及儲藏庫104等進行FOUP(Front-Opening Unified Pod)120的搬運，並且在儲藏庫104中進行FOUP120的收容或保管。
FOUP120係被收容、保管在儲藏庫104中的荷載物，且其係收容有複數個半導體晶圓的收容匣。FOUP120係藉由搬運車102沿軌道R1來被搬運，並且在儲藏庫104內為了進出庫或是調整保管位置而被搬運。FOUP120的上面設有搬運車102、及被夾持(固定)於後述的手動搬運裝置138的凸緣122。FOUP120收容有例如口徑為300mm或450mm的半導體晶圓。
搬運車102係將線性馬達作為動力源的 OHT(Overhead Hoist Transport：空中搬運車)，且其沿軌道R1行進。搬運車102，係以搬運FOUP120同時可停止於軌道R1上的既定位置，並且可移載FOUP120在分別具有裝載埠132、133的各種製造裝置及儲藏庫104等之間而構成。搬運車102具備：起重機、皮帶及夾持器並且該各部分係由搬運車控制裝置108來控制。
儲藏庫104係可收容藉由搬運車102所搬運的複數個FOUP120的保管裝置。儲藏庫104具備：本體部(筐體)130、複數個(在此為2個)裝載埠132、133、複數個載架134、自動搬運裝置(移載裝置)136、手動搬運裝置(搬運裝置)138、及抽出裝置1(參照第4圖)。
本體部130設有複數個(在此為3個)開口部K1、K2、K3。開口部K1、K2係設置於本體部130的一側面，並且設有裝載埠132、133。開口部K3係設置在連續於本體部130的一側面的另一側面。開口部K3設有後述的軌道R2。
裝載埠132、133係藉由開口部K1、K2設置於本體部130的內部及外部。裝載埠132、133係以可移載FOUP120在搬運車102和儲藏庫104之間所構成，並且其具備可移動FOUP120的滑動機構。
如第2圖所示，載架134，其係在本體部130中的上下方向設有複數段(在此為8段)。載架134係配置成對向，對向的載架134之間形成有空間S。第3圖係表示載架的裝載部及固定部之圖。如第3圖所示，載架134係由 裝載有FOUP120的裝載部134a、和支撐且固定裝載部134a的固定部134b所構成。
裝載部134a是板狀的構件，且其俯視略呈U字形。裝載部134a形成有開口於前方的開口部135。亦即，裝載部134a係抵接於FOUP120的兩端部及後端部。另外，裝載部134a設有複數個(在此為3個)定位銷134c。定位銷134c係由裝載部134a的上面(裝載面)突出且形成圓柱狀。定位銷134c是FOUP120被裝載於裝載部134a時，插入形成於FOUP120的底部的定位孔124的部分，用以限制FOUP120的定位及前後左右方向之移動。
固定部134b，其俯視略呈U字形，且設置於裝載部134a的下部。固定部134b，是例如藉由螺絲被固定在配設於本體部130內的框架(未圖示)。固定部134b，形成有複數個(在此為2個)開口H1、H2。開口部H1、H2是貫通孔，且其並排設置於固定部134b的寬度方向。具體而言，開口部H1、H2係比略呈U字形的裝載部134a的開口部135更靠內側。開口部H1的寬度形成的比開口部H2大。
另外，於載架134的上下方向的間隔，係定位銷134c由FOUP120的定位孔124分離(FOUP120被舉起至比定位銷134c的上端面更上方)時，不會干涉上方的載架134即可。亦即，載架134的間隔是FOUP120的高度加上定位銷134c的高度的大小程度即可。藉由如此的構成，可以提高儲藏庫104中的FOUP120的收納效率。
回到第1圖及第2圖，自動搬運裝置136是藉由儲藏庫控制裝置110，可在複數個載架134間、及裝載埠132、133和載架134之間自動地搬運FOUP120的堆積機(堆高式起重機)。自動搬運裝置136可自由移動地被設置於本體部130內的空間S。
手動搬運裝置138是藉由作業員利用鏈式起重機(未圖示)的操作而能夠用以搬運(移動)FOUP120的裝置。手動搬運裝置138具備：可夾持FOUP120的凸緣122的夾持器(夾持部)138a、可沿舖設於本體部130的頂面的軌道R2來往移動而構成的滑動部(移動部)138b、及設置於滑動部138b內，並且進行被連結於夾持部138a的皮帶138c的輸出及回捲的捲揚機部138d。
搬運指示部106為MCS(Material Control System)。搬運指示部106是依據作為主控制裝置的製造指示部(未圖示)的半導體元件製造時程來作成搬運時程，並且藉由該搬運時程，以可控制搬運車控制裝置108及儲藏庫控制裝置110而構成。搬運指示部106對搬運車控制裝置108指示藉由搬運車102的FOUP120的搬運，並且對儲藏庫控制裝置110指示在儲藏庫104內部的FOUP120的搬運。
搬運車控制裝置108是藉由搬運指示部106的指示來控制搬運車102，其係以沿軌道R1實行FOUP120的搬運時，可同時在各種製造裝置及儲藏庫104等之間實行FOUP120的移載而構成。
儲藏庫控制裝置110係藉由搬運指示部106的指示來控制裝載埠132、133及自動搬運裝置136的各部，經由裝載埠132、133在和搬運車102之間實行FOUP120的移載(送進或是送出)，並且控制自動搬運裝置136，以可在儲藏庫104內部實行FOUP120的搬運而構成。
(抽出裝置：第1實施形態)
其次，說明關於被使用在具有前述構成的儲藏庫104內部的抽出裝置。第4圖係由第1實施形態的抽出裝置下方所見之斜視圖。第4圖(a)係表示抽出裝置的初始狀態，而第4圖(b)係表示抽出裝置的動作狀態。抽出裝置1係在儲藏庫104內部中，用以利用手動方式將FOUP120從載架134抽出之裝置。抽出裝置1係例如自動搬運裝置136無法使用時，以可將FOUP120抽出至載架134的前面的空間S(參照第8圖)而構成。
如第4圖所示，抽出裝置1具有：支撐部2a、2b，上舉部4a、4b，及連結支撐部2a、2b和上舉部4a、4b的各連結部6a、6b、6c、6d。支撐部2a、2b係以可安裝於載架134的固定部134b而構成，且其跨接於一對呈對向的載架134的固定部134b上。支撐部2a是長條狀的方形木材構件，並且如第5圖所示，設有卡止部3於支撐部2a、2b的延伸方向的兩端部。
如第5圖所示，卡止部3係例如利用螺絲N被固定於支撐部2a的端部，支撐部2a、2b被插入於固定部 134b的開口部H1、H2時，其鎖住於開口部H1、H2的周緣的部分。藉此，支撐部2a、2b被安裝於固定部134b時，可防止支撐部2a、2b由固定部134b的開口部H1、H2脫落。此外，支撐部2a、2b的長度，係因應儲藏庫104而被適當的設定。支撐部2a和支撐部2b係具有同樣的構成。
支撐部2a和支撐部2b係藉由橫構件8而連結。第6圖係表示橫構件的構成之斜視圖。如第6圖所示，橫構件8是剖面為凹狀的構件，並且其跨接於一對呈對向的支撐部2a、2b。橫構件8可裝卸地設置於支撐部2a、2b，且安裝有複數個(在此為2個)插銷P其各別被插入於支撐部2a、2b的接合部5a、5b。橫構件8的延伸方向的兩端部各別設有突出部8a、8b。突出部8a、8b，其突出於下方，以順沿支撐部2a、2b的側面且沿橫構件8的寬度方向而形成。該橫構件8將支撐部2a、2b一體化來限制支撐部2a、2b互相地移動。
回到第4圖，上舉部4a、4b是抵接於FOUP120且舉起FOUP120的部分。上舉部4a、4b係比支撐部2a、2b更短尺寸的構件，如第8圖所示，比起支撐部2a、2b其更短於載架134的深度量。
上舉部4a、4b，係在支撐部2a、2b的一側面上，並且各別被安裝於靠支撐部2a、2b的延伸方向的一端側。上舉部4a、4b係藉由連結部6a~6d，以可在第1高度位置和第2高度位置進行切換而設置於支撐部2a、2b。具 體而言，上舉部4a、4b係設置成可在如第10圖(a)所示，和支撐部2a、2b抵接(鄰接)的第1高度位置、和如第10圖(b)所示，由支撐部2a、2b分離的第2高度位置進行移動。第1高度位置係可和支撐部2a、2b同時插入固定部134b和下方的FOUP120之間的間隙之高度。另外，第2高度位置係抵接於FOUP120的底部，並且裝置部134a的定位銷134c由FOUP120的定位孔124分離之高度。亦即，將FOUP120上舉至比定位銷134c的上端面更上方的高度。
連結部6a~6d構成連桿機構。連結部6a~6d分別以大致等間隔的安裝於支撐部2a、2b及上舉部4a、4b，並且安裝成可各別擺動於支撐部2a、2b及上舉部4a、4b。連結部6a~6d形成可使支撐部2a、2b和上舉部4a、4b互相地鄰接或分離。連結部6a，其一端軸樞於支撐部2a、2b，並且另一端軸樞於上舉部4a、4b。如第10圖(b)所示，連結部6a連結於支撐部2a、2b的位置、和連結於上舉部4a、4b的位置，在支撐部2a、2b及上舉部4a、4b最為分離的狀態(第2高度位置)下形成在一直線上。亦即，如第10圖所示，在支撐部2a、2b和上舉部4a、4b為抵接的狀態下(第1高度位置)，連結部6a的各別的連結位置係不位在支撐部2a、2b和上舉部4a、4b的對向方向的一直線上，而是隔開既定的間隔且偏移。
亦即，連結部6a，在上舉部4a、4b為第1高度的狀態下，對於支撐部2a、2b(上舉部4a、4b)形成傾斜的狀 態，而在上舉部4a、4b為第2高度的狀態下，對於支撐部2a、2b(上舉部4a、4b)形成略呈垂直地豎起。關於連結部6b~6d亦和連結部6a具有同樣的構成。
連結部6c是與曲桿L一體成形。亦即，曲桿L的一端部構成連結部6c。曲桿L具有供作業員把持的把持部分LH，且在支撐部2a、2b和上舉部4a、4b為抵接的初始狀態下，把持部分LH與支撐部2a、2b(上舉部4a、4b)略呈平形。上舉部4a、4b係與曲桿L的操作連動而昇降。具體而言，若曲桿L被壓下，因應該操作連結部6c會豎起，而上舉部4a、4b會和支撐部2a、2b分離而被舉起。另一方面，若曲桿L被推上，因應該操作連結部6c會傾斜，而上舉部4a、4b會被降下而鄰接於支撐部2a、2b。又，曲桿L設有未圖示的鎖定機構，該鎖定機構形成可維持上舉部4a、4b的第2高度位置。
接著，說明關於抽出裝置1的安裝方法。首先，以上舉部4a位於抽出對象的FOUP120的下方，來準備支撐部2a。然後，將支撐部2a的一端(卡止部3)插入於固定部134b的一面的開口部H1，其後，將支撐部2a的另一端插入對向於固定部134b的另一面的固定部134b的開口部H2，將支撐部2a跨接於對向的固定部134b來固定。
此時，如第7圖所示，將支撐部2a以朝橫向倒置的狀態(支撐部2a和上舉部4a的對向方向與水平方向略呈一致的狀態)插入固定部134b的開口部H1、H2，在將支撐部2a插入開口部H1、H2後，使其大致轉動90°將支撐 部2a形成直立的狀態(支撐部2a和上舉部4a的對向方向為與鉛垂方向略呈一致的狀態)。同樣地，將支撐部2b跨接於對向的固定部134b來固定。然後，將橫構件8跨接於支撐部2a和支撐部2b且固定後，如第8圖及第9圖所示地，安裝抽出裝置1。
其次，說明關於使用抽出裝置1的FOUP120的取出方法。第10圖係表示抽出裝置的動作之圖。如第10圖(b)所示，以上舉部4a、4b位在作為抽出對象的FOUP120的下方來設置抽出裝置1。此時，上舉部4a、4b形成為第1高度位置。然後，如第10圖(b)所示，將曲桿L朝下方壓下。
藉此，上舉部4a、4b藉由連結部6a~6d由支撐部2a、2b分離且昇起至第2高度位置，使上舉部4a、4b和FOUP120抵接來舉起FOUP120。此時，上舉部4a、4b的上面，昇起至比設置於裝載部134a的定位銷134c的上端面更高的位置。然後，在舉起FOUP120的狀態下，使FOUP120在上舉部4a、4b上滑動，來將FOUP120抽出至載架134的面前。
抽出FOUP120後，準備手動搬運裝置138，藉由夾持器138a夾持FOUP120的凸緣122。然後，藉由捲揚機部138d將FOUP120捲起再經由開口部K3取出FOUP120。如以上般地，藉由抽出裝置1及手動搬運裝置138使FOUP120被取出。
如以上的說明，抽出裝置1具備有：被插入於 FOUP120的下方的間隙，並被固定於載架134的支撐部2a、2b、及能夠在第1高度位置和第2高度位置進行切換的上舉部4a、4b。上舉部4a、4b在第1高度位置上，即使是狹窄的間隙亦可和支撐部2a、2b同時插入，並且能夠容易地將支撐部2a、2b固定於載架。然後，藉由固定支撐部2a、2b後將上舉部4a、4b切換至第2高度位置，可以舉起FOUP120且使其滑動至載架134的面前來抽出。如此，在該抽出裝置1中，由於能容易地設置於載架134和FOUP120之間的狹窄的間隙，因此例如可以省去在狹窄的間隙中裝置夾持部之作業，而能達成提高工作性。
另外，如前述般，抽出裝置1可以插入載架134和FOUP120之間的狹窄的間隙。因此，可將載架134彼此的間隔設定成當FOUP120昇起時不和上方的載架134抵接之程度。所以，不須如習知技術般地確保為了插入夾持部的空間，並且能達成提高儲藏庫104中的FOUP120的收納效率。
又，抽出裝置1，其支撐部2a、2b和上舉部4a、4b係設置成藉由連結部6a~6d可相互地鄰接及分離。所以，藉由使上舉部4a、4b鄰接或分離於支撐部2a、2b來移動，可以將上舉部4a、4b在第1高度位置及第2高度位置進行變更。因此，可容易地進行操作，並且能確保動作的信賴性。
(抽出裝置：第2實施形態)
接著，說明第2實施形態的抽出裝置。第11圖係表示第2實施形態的抽出裝置之圖。第11圖(a)係由抽出裝置的上面所見的部分。第11圖(b)係在(a)中的b-b線剖面部分的圖。第11圖所示的抽出裝置20係在儲藏庫104內部中，用以利用手動方式將FOUP120從載架134抽出的裝置。
如第11圖所示，抽出裝置20具有：支撐部21a、21b，上舉部24a、24b。支撐部21a、21b係以可安裝於載架134的固定部134b而構成，且其跨接於呈對向的載架134的固定部134b。支撐部21a、21b是長條狀的構件，且將其設置成以軸為中心進行轉動。
支撐部21a、21b的延伸方向的兩端部，設有卡止部3(參照第5圖)、及比該卡止部3更靠中央的卡止部25。卡止部25係支撐部21a、21b被安裝於固定部134b時，比開口部H1、H2更靠近側，利用和卡止部3協同動作來防止支撐部21a、21b的移動(偏移)。另外，支撐部21a、21b的剖面可為圓形，或呈矩形且該角的部分被倒角者亦可。由被設置於固定部134b時的穩定性的觀點來看，剖面為矩形形狀且該角的部分被倒角者為佳。
上舉部24a、24b是抵接於FOUP120來舉起FOUP120的部分。上舉部24a、24b係比支撐部21a、21b更短尺寸的構件，具體而言，比起支撐部21a、21b其更短於載架134的深度量。
上舉部24a、24b係和支撐部21a、21b一體成形。上舉部24a、24b，其剖面略呈橢圓形，且設置於接近支撐部21a、21b的延伸方向的一端側。上舉部24a、24b藉由改變該剖面的長軸方向，在第1高度位置和第2高度位置進行切換。具體而言，上舉部24a、24b，如第11圖(b)所示，其設置成可在長軸方向處於與水平方向略呈一致的第1高度位置、和長軸方向處於與鉛垂方向略呈一致的第2高度位置進行切換。第1高度位置，係可和支撐部21a、21b同時插入固定部134b和下方的FOUP120之間的間隙之高度。另外，第2高度位置，係抵接於FOUP120的底部，並且裝置部134a的定位銷134c由FOUP120的定位孔124分離之高度。亦即，將FOUP120上舉至比定位銷134c(參照第13圖)的上端面更上方的高度。
設置有上舉部24a、24b的支撐部21a、21b的部分各別安裝有曲桿L1。曲桿L1安裝成與上舉部24a、24b的長軸方向略呈平行。藉由如此的構成，曲桿L1與水平方向略呈一致的狀態時，上舉部24a、24b成為第1高度位置，而曲桿L1與鉛垂方向略呈一致的狀態時，上舉部24a、24b成為第2高度位置。曲桿L1係可裝卸地設置於支撐部21a、21b。具體而言，例如曲桿L1的前端形成有螺紋，而藉由以螺絲固定曲桿L1於支撐部21a、21b，使曲桿L1安裝於支撐部21a、21b。藉此，亦可成為未使用時的緊緻之收納。
接著，說明關於抽出裝置20的安裝方法。首先，以 上舉部24a位於抽出對象的FOUP120的下方，來準備支撐部21a。然後，將支撐部21a的一端插入於固定部134b的一面的開口部H1，其後，將支撐部21a的另一端插入對向於固定部134b的另一面的固定部134b的開口部H2，將支撐部21a跨接於對向的固定部134b來固定。同樣地，將支撐部2b跨接於對向的固定部134b且固定。然後，如第12圖所示地，安裝抽出裝置20。
其次，說明關於使用抽出裝置20的FOUP120的取出方法。第13圖係表示抽出裝置的動作之圖。如第13圖(b)所示，以上舉部24a、24b位在作為抽出對象的FOUP120的下方來設置抽出裝置20。在此狀態下，上舉部24a、24b形成為第1高度位置。又，欲使支撐部21a、21b朝第13圖(a)所示的箭頭方向轉動，因此將曲桿L朝下方壓下。
藉此，如第13圖(b)所示，上舉部24a、24b轉動後該長軸方向與鉛垂方向略呈一致，支撐部24a、24b成為第2高度位置，且上舉部24a、24b與FOUP120抵接來舉起FOUP120。此時，FOUP120，其底面被上舉至比設置於裝載部134a的定位銷134c的上端面更高的位置。然後，在舉起FOUP120的狀態下，使FOUP120在上舉部24a、24b上滑動，來將FOUP120抽出至載架134的面前。
抽出FOUP120後，準備手動搬運裝置138，藉由夾持器138a夾持FOUP120的凸緣122。然後，藉由捲揚機部138d將FOUP120捲起再經由開口部K3取出 FOUP120。如以上般地，藉由抽出裝置20及手動搬運裝置138使FOUP120被取出。
如以上說明，抽出裝置20具備有：被插入於FOUP120的下方的間隙，並被固定於載架134的支撐部21a、21b、及能夠在第1高度位置和第2高度位置進行切換的上舉部24a、24b。上舉部24a、24b在第1高度位置上，即使是狹窄的間隙亦可和支撐部21a、21b同時插入，並且能夠容易地將支撐部21a、21b固定於載架。然後，藉由固定支撐部21a、21b後將上舉部24a、24b切換至第2高度位置，可以舉起FOUP120且使其滑動至載架134的面前來取出。如此，在該抽出裝置20中，由於能容易地設置於載架134和FOUP120之間的狹窄的間隙，因此例如可以省去在狹窄的間隙中裝置夾持部之作業，而能達成提高工作性。
另外，在抽出裝置20中，上舉部24a、24b和支撐部21a、21b是一體成形。依據如此的構成，藉由使支撐部21a、21b轉動之操作，能容易地將上舉部24a、24b在第1高度位置及第2高度位置進行切換。另外，藉由將支撐部21a、21b和上舉部24a、24b一體地成形，可形成簡易之構成，並且能提高其耐久性。
本發明並非為受限於前述實施形態者。例如，抽出裝置為以下般的構成亦可。第14圖係表示變形例的抽出裝置之圖。如第14圖所示，抽出裝置40係由支撐部41、上舉部42、及連結支撐部41和上舉部42的連結部43而 構成。支撐部41及上舉部42是長條狀的構件。連結部43則是由第1構件43a和第2構件43b所構成。
第1構件43a及第2構件43b是以相互交叉來配置。第1構件43a的一端部(圖示左側)是可擺動地軸樞於支撐部41，而第2構件43b的一端部則是可擺動地樞軸支撐於上舉部42。第1構件43a的另一端部(例如，圖示右側)是可自由滑動地設置於上舉部42，而第2構件43b的另一端部則是可自由滑動地設置於支撐部41。藉由如此的構成，抽出裝置40以可在支撐部41和上舉部42為抵接時的第1高度位置、及支撐部41和上舉部42為分離時的第2高度位置進行切換而構成。上舉部42的移動，例如可使用電動馬達、氣缸、或電動氣缸等來為之。
另外，如第15圖所示，抽出裝置50係由支撐部51、上舉部52、凸輪部53、導引部54而構成。凸輪部53是可轉動地設置於支撐部51。凸輪部53的轉動，例如可使用電動氣缸等來為之。
導引部54是被設置於支撐部51的兩端側。導引部54略呈垂直地豎設於支撐部51，來限制上舉部52的移動。上舉部52係沿著導引部54而於上下移動。藉由如此的構成，抽出裝置50以利用凸輪部53可在支撐部51和上舉部52為抵接時的第1高度位置、及支撐部51和上舉部52為分離時的第2高度位置進行移動而構成。又，凸輪部53亦可設置於上舉部52。
另外，前述實施形態中，雖然支撐部2a、2b的接合 部5a、5b和橫構件8的接合使用了2個插銷，但插銷的個數亦可為1個。此種情況，插銷的剖面亦可為多角形。又，橫構件8亦可設置為複數個。亦即，只要能限制支撐部2a、2b相互地移動即可。
另外，前述實施形態中，抽出裝置20，其雖然將支撐部21a、21b和上舉部24a、24b一體成形，但上舉部24a、24b亦可設置成能夠裝卸於支撐部21a、21b。
1，20，40，50‧‧‧抽出裝置
2a、2b，21a、21b，41，51‧‧‧支撐部
4a、4b，24a、24b，42，52‧‧‧上舉部
6a~6d‧‧‧連結部(連桿機構)
53‧‧‧凸輪部
54‧‧‧導引部
104‧‧‧儲藏庫(保管裝置)
120‧‧‧FOUP(荷載物)
130‧‧‧本體部(筐體)
132、133‧‧‧裝載埠
134‧‧‧載架
134a‧‧‧裝戴部
134b‧‧‧支撐部
136‧‧‧自動搬運裝置(移載裝置)
138‧‧‧手動搬運裝置(移送裝置)
138a‧‧‧夾持器(夾持部)
138b‧‧‧滑動部(移動部)
138c‧‧‧皮帶
138d‧‧‧捲揚機部
第1圖係表示具備一實施形態的保管裝置的搬運裝置的外觀之斜視圖。
第2圖係以模示表示第1圖所示的保管裝置的內部構造之剖面圖。
第3圖係表示載架的裝載部及固定部之圖。
第4圖係由第1實施形態的抽出裝置下方所見之斜視圖。
第5圖係將支撐部被固定於固定部的狀態的一部分擴大而表示之圖。
第6圖係表示橫構件的構成之斜視圖。
第7圖係為了說明支撐部的安裝之圖。
第8圖係由側面看抽出裝置被安裝於載架的狀態之圖。
第9圖係由上方看抽出裝置被安裝於載架的狀態之圖。
第10圖係為了說明抽出裝置的動作之圖。
第11圖係第2實施形態的抽出裝置之圖。
第12圖係由側面看抽出裝置被安裝於載架的狀態之圖。
第13圖係為了說明抽出裝置的動作之圖。
第14圖係表示變形例的抽出裝置之圖。
第15圖係表示變形例的抽出裝置之圖。
1‧‧‧抽出裝置
2a‧‧‧支撐部
4a‧‧‧上舉部
6a~6d‧‧‧連結部(連桿機構)
8‧‧‧橫構件
120‧‧‧FOUP(戴荷)
122‧‧‧凸緣
L‧‧‧曲桿
LH‧‧‧把持部分

Claims (7)

  1. 一種抽出裝置，係在具備使荷載物經由開口於前方之開口部被送進送出的複數個載架之保管裝置中，用以將前述荷載物由前述載架經由前述開口部而朝前方抽出的抽出裝置，其特徵為，具備：支撐部，其係在前述載架收容有前述荷載物的狀態下被插入於前述荷載物的下方的間隙，並被固定於前述載架；以及上舉部，其係以能夠在可插入前述間隙的第1高度位置、和比前述第1高度位置更高且可舉起前述荷載物的第2高度位置進行切換之方式被設置於前述支撐部，並且可在前述第2高度位置上將前述荷載物滑動至前述載架的前方。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之抽出裝置，其中，前述載架收容有前述荷載物時，設有被插入於設置在前述荷載物的底部的定位孔的定位銷，而前述第2高度位置係前述定位銷由前述定位孔分離的位置。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之抽出裝置，其中，前述支撐部及前述上舉部是長條狀的構件，且前述支撐部與前述上舉部，係由連桿機構所連結而使前述上舉部可在前述第1高度位置和前述第2高度位置進行切換。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之抽出裝置，其中，前述支撐部及前述上舉部是長條狀的構件，且 前述上舉部係沿著用以限制在前述第1高度位置和前述第2高度位置進行移動的導引部來移動，且用以將前述上舉部切換於前述第1高度位置和前述第2高度位置的凸輪部是設置於前述支撐部及前述上舉部的至少其中一方。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之抽出裝置，其中，前述支撐部是長條狀的構件，且將其設置成以軸為中心進行轉動，而前述上舉部，其剖面略呈橢圓形，並且與前述支撐部成一體地設置，前述第1高度位置時，前述上舉部的剖面的長軸處於與水平方向略呈一致的狀態，前述第2高度位置時，前述上舉部的剖面的長軸處於與呈鉛垂方向略呈一致的狀態。
  6. 一種保管裝置，係具備：筐體、具備於前述筐體內並且使荷載物經由開口於前方之開口部被送進送出的複數個載架、進行前述荷載物的進出庫的裝載埠、在前述載架和前述裝載埠之間移載前述荷載物的移載裝置、及具有用以將前述荷載物由前述載架經由前述開口部朝前方抽出的抽出裝置，其特徵為，前述抽出裝置具備：支撐部，其係在前述載架收容有前述荷載物的狀態下被插入於前述荷載物的下方的間隙，並被固定於前述載架；以及上舉部，其係以能夠在可插入前述間隙的第1高度位置、和比前述第1高度位置更高且可舉起前述荷載物的第2高度位置進行切換之方式被設置於前述支撐部，並且可在前述第2高度位置上將前述荷載物滑動至前述載架的前 方。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之保管裝置，其中，更進一步地具備能利用手動方式操作的搬運裝置，其具有：可夾持前述荷載物的夾持部、進行連結於前述夾持部的皮帶的輸出及回捲的捲揚機部、及配置有前述捲揚機部並且沿舖設於前述筐體的上部的軌道滑動的滑動部。
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