KR20140019002A - 인출 장치 및 보관 장치 - Google Patents

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KR20140019002A
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나루토 아다치
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

작업성의 향상을 도모할 수 있는 인출 장치 및 보관 장치를 제공한다. 인출 장치(1)는, 선반(134)에 FOUP(120)이 수용되어 있는 상태에서 FOUP(120)의 하방의 간극에 삽입되고, 선반(134)에 고정되는 지지부(2a, 2b)와, 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 제 1 높이 위치보다 높고 또한 FOUP(120)을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 지지부(2a, 2b)에 설치되고, 제 2 높이 위치에서 FOUP(120)을 선반(134)의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부(4a, 4b)를 구비하고 있다.

Description

인출 장치 및 보관 장치{DRAWER DEVICE AND STORAGE DEVICE}
본 발명은, 보관 장치에 보관되어 있는 물품을 수동으로 인출하기 위한 인출 장치 및 그것을 구비한 보관 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP(Front-Opening Unified Pod)을 보관하는 보관 장치에서는, 입출고를 행하기 위한 포트와 선반과의 사이의 FOUP의 이동 재치(載置)가 이동 재치 장치에 의해 행해지고 있다. 이 이동 재치 장치를 구비하는 보관 장치에서, 이동 재치 장치의 동작이 고장 등에 의해 불능이 된 경우에는, FOUP의 이동 재치를 직접 작업자에 의해 행하게 되지만, 최근 반도체 웨이퍼는 대경화(大徑化)되고, 이에 수반하여 FOUP도 대형화 · 대중량화되고 있기 때문에, 작업자가 직접 FOUP을 취급하는 것은 곤란하다.
따라서, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 보관 장치에서는, 이동 재치 장치와는 별도로 수동으로 조작할 수 있는 메뉴얼 반송 장치를 구비하고 있다. 이 메뉴얼 반송 장치는, FOUP의 플랜지를 파지(把持) 가능한 파지부와, 파지부에 연결된 벨트와, 벨트를 감아올리는 호이스트부와, 보관 장치 내의 천장을 슬라이드 가능하게 설치된 슬라이드부를 구비하고 있어, 이동 재치 장치를 사용할 수 없을 경우, 수동으로 FOUP의 반송을 행할 수 있다.
일본특허공개공보 2011-001149호
상기 보관 장치의 메뉴얼 반송 장치에서는, FOUP의 플랜지에 파지부를 장착할 필요가 있지만, FOUP과 선반의 좁은 간극에 파지부를 삽입하여 작업을 행하는 것은 용이하지 않다. 따라서, 수동에 의한 FOUP의 반송에 관하여, 작업성의 진보된 개선이 요구되고 있다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 작업성을 향상 할 수 있는 인출 장치 및 보관 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 인출 장치는, 전방으로 개구되는 개구부를 거쳐 물품이 출입되는 선반을 복수 구비하는 보관 장치에 있어서, 물품을 선반으로부터 개구부를 거쳐 전방으로 인출하기 위한 인출 장치로서, 선반에 물품이 수용되어 있는 상태에서 물품의 하방의 간극에 삽입되고, 선반에 고정되는 지지부와, 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 제 1 높이 위치보다 높고 또한 물품을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 지지부에 설치되고, 제 2 높이 위치에서 물품을 선반의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 인출 장치는, 물품의 하방의 간극에 삽입되어 선반에 고정되는 지지부와, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되는 들어올림부를 구비하고 있다. 들어올림부가 제 1 높이 위치에서는, 지지부와 함께 좁은 간극에도 삽입될 수 있어, 지지부를 선반에 용이하게 고정할 수 있다. 그리고, 지지부를 고정하여 들어올림부를 제 2 높이 위치로 전환함으로써, 물품을 들어올리고, 선반의 앞까지 슬라이드 이동시켜 인출할 수 있다. 이와 같이, 이 인출 장치에서는, 선반과 물품 사이의 좁은 간극에 용이하게 설치할 수 있기 때문에, 예를 들면 좁은 간극에서 파지부를 장착하는 작업이 불필요해져, 작업성의 향상을 도모할 수 있다.
선반에는, 물품이 수용되었을 때, 물품의 저부에 형성된 위치 결정 홀에 삽입되는 위치 결정 핀이 설치되어 있고, 제 2 높이 위치는, 위치 결정 홀로부터 위치 결정 핀이 벗어나는 위치인 것이 바람직하다. 물품은, 선반에 설치된 위치 결정 핀에 의해 위치 결정되어 있고, 또한 전후 좌우 방향으로의 이동이 규제되고 있다. 이러한 선반으로부터 물품을 들어올리기 위하여, 제 2 높이 위치를 위치 결정 홀로부터 위치 결정 핀이 벗어나는 위치로 함으로써, 위치 결정 핀이 설치된 선반으로부터 물품을 확실히 인출할 수 있다.
지지부 및 들어올림부는 길이가 긴 부재이며, 지지부와 들어올림부는, 들어올림부가 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되도록 링크 기구로 연결되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 들어올림부가 링크 기구에 의해 지지부와 근접 또는 이간하도록 이동하고, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환된다. 이 때문에, 조작을 용이하게 행할 수 있고, 또한 동작의 신뢰성을 확보할 수 있다.
지지부 및 들어올림부는 길이가 긴 부재이며, 들어올림부는, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치의 이동을 규제하는 가이드부를 따라 이동하고, 들어올림부를 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환하는 캠부가 지지부 및 들어올림부 중 적어도 일방에 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 가이드부를 따라 들어올림부가 이동하기 때문에, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치의 전환을 정확히 행할 수 있다. 또한 캠부에 의해, 들어올림부의 높이 위치의 전환이 적합하게 행해진다.
지지부는 길이가 긴 부재이며, 축을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있고, 들어올림부는 단면이 대략 타원 형상을 나타내고, 지지부에 일체적으로 설치되어 있고, 제 1 높이 위치는, 들어올림부의 단면의 장축이 수평 방향에 대략 일치하고 있는 상태이며, 제 2 높이 위치는, 들어올림부의 단면의 장축이 수직 방향에 대략 일치하고 있는 상태이다. 이러한 구성에 의하면, 지지부를 회동시키는 조작에 의해, 들어올림부를 제 1 높이 위치 및 제 2 높이 위치로 용이하게 전환된다. 또한, 지지부와 들어올림부를 일체적으로 함으로써, 간이한 구성으로 할 수 있고 또한 내구성을 높일 수 있다.
본 발명에 따른 보관 장치는, 하우징과, 하우징 내에서 복수 구비되고, 전방에 개구되는 개구부를 거쳐 물품이 출입되는 선반과, 물품의 입출고를 행하는 포트와, 선반과 포트의 사이에서 물품을 이동 재치하는 이동 재치 장치와, 물품을 선반으로부터 개구부를 거쳐 전방으로 인출하기 위한 인출 장치를 구비하는 보관 장치에 있어서, 인출 장치는, 선반에 물품이 수용되어 있는 상태에서 물품의 하방의 간극에 삽입되고, 선반에 고정되는 지지부와, 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 제 1 높이 위치보다 높고 또한 물품을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 지지부에 설치되고, 제 2 높이 위치에서 물품을 선반의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 보관 장치에서는 인출 장치를 구비하고 있다. 인출 장치는, 물품의 하방의 간극에 삽입되어 선반에 고정되는 지지부와, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되는 들어올림부를 구비하고 있다. 들어올림부가 제 1 높이 위치에서는, 지지부와 함께 좁은 간극에도 삽입될 수 있어, 지지부를 선반에 용이하게 고정할 수 있다. 그리고, 지지부를 고정하여 들어올림부를 제 2 높이 위치로 전환함으로써, 물품을 들어올리고, 선반의 앞까지 슬라이드 이동시켜 인출할 수 있다. 따라서, 이동 재치 장치가 동작하지 않을 경우라도, 물품을 선반으로부터 용이하게 인출할 수 있다. 이상과 같이, 이 인출 장치에서는, 선반과 물품 사이의 좁은 간극에 용이하게 설치할 수 있기 때문에, 예를 들면 좁은 간극에서 파지부를 장착하는 작업이 불필요해져, 작업성의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 인출 장치는 선반의 하방의 좁은 간극에 삽입될 수 있기 때문에, 선반끼리의 간격을, 물품이 들어올려졌을 때 상방의 선반과 접촉하지 않는 정도로 설정할 수 있다. 따라서, 종래와 같이 파지부를 삽입하기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없어, 보관 장치에서의 물품의 수납 효율의 향상을 도모할 수 있다.
물품을 파지 가능한 파지부와, 파지부에 연결된 벨트의 풀기 및 감기를 행하는 호이스트부와, 호이스트부가 배치되고, 또한 하우징의 상부에 부설된 레일을 따라 이동하는 이동부를 가지고, 수동으로 조작 가능한 반송 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 수동으로 조작할 수 있는 반송 장치를 구비함으로써, 인출 장치에 의해 취출한 물품을, 하우징의 밖 또는 포트로 용이하게 반송할 수 있다. 따라서, 작업성을 더 향상시킬 수 있고, 또한 반송 시간의 단축을 도모할 수 있다.
본 발명에 의하면, 보관 장치에서의 물품의 취출 작업성의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 일실시예에 따른 보관 장치를 구비하는 반송 시스템의 외관을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 보관 장치의 내부 구조를 모식적으로 도시한 단면도이다.
도 3의 (a) ~ (c)는 선반의 재치부 및 고정부를 도시한 도이다.
도 4의 (a) 및 (b)는 제 1 실시예에 따른 인출 장치를 하방에서 본 사시도이다.
도 5는 지지부가 고정부에 고정된 상태를 일부 확대하여 도시한 도이다.
도 6은 가로재의 구성을 도시한 사시도이다.
도 7의 (a) ~ (c)는 지지부의 장착을 설명하기 위한 도이다.
도 8은 인출 장치가 선반에 장착된 상태를 옆에서 본 도이다.
도 9는 인출 장치가 선반에 장착된 상태를 위에서 본 도이다.
도 10의 (a) 및 (b)는 인출 장치의 동작을 설명하기 위한 도이다.
도 11의 (a) 및 (b)는 제 2 실시예에 따른 인출 장치를 도시한 도이다.
도 12는 인출 장치가 선반에 장착된 상태를 옆에서 본 도이다.
도 13의 (a) 및 (b)는 인출 장치의 동작을 설명하기 위한 도이다.
도 14의 (a) 및 (b)는 변형예에 따른 인출 장치를 도시한 도이다.
도 15의 (a) 및 (b)는 변형예에 따른 인출 장치를 도시한 도이다.
이하에, 첨부 도면을 참조하여, 적합한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 또한, 도면의 설명에서 동일 또는 상당 요소에는 동일 부호를 부여하여, 중복되는 설명은 생략한다.
(반송 시스템)
도 1은, 일실시예에 따른 보관 장치를 구비하는 반송 시스템의 외관을 도시한 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시한 보관 장치의 내부 구조를 모식적으로 도시한 단면도이다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 반송 시스템(100)은 비이클(102), 스토커(104), 및 비이클(102)이 주행하기 위한 레일(R1) 외에, 제어계로서 반송 지시부(106), 비이클 컨트롤러(108) 및 스토커 컨트롤러(110)를 구비하고 있다. 반송 시스템(100)은, 반도체 소자 제조에서의 반송 스케줄에 따라, 각종 제조 장치 및 스토커(104) 등에 대하여 FOUP(Front-Opening Unified Pod)(120)의 반송을 행하고, 또한 스토커(104)에서 FOUP(120)의 수용 혹은 보관을 행한다.
FOUP(120)은, 스토커(104)에서 수용 · 보관되는 물품이며, 복수매의 반도체 웨이퍼를 수용한 카세트이다. FOUP(120)은, 비이클(102)에 의해 레일(R1)을 따라 반송되고, 또한 스토커(104) 내에서 입출고, 또는 보관 위치의 조정을 위하여 반송된다. FOUP(120)의 상면에는 비이클(102), 및 후술하는 메뉴얼 반송 장치(138)에 파지(보지(保持))되는 플랜지(122)가 설치되어 있다. FOUP(120)은, 예를 들면 구경이 300 mm 또는 450 mm의 반도체 웨이퍼를 수용하고 있다.
비이클(102)은, 리니어 모터를 동력원으로 하는 OHT(Overhead Hoist Transport : 천장 주행차)이며, 레일(R1)을 따라 주행한다. 비이클(102)은 FOUP(120)을 반송하고, 또한 레일(R1)의 소정의 위치에서 정지하고, 각종 제조 장치 및 스토커(104) 등에 각각 구비된 포트(132, 133)와의 사이에서 FOUP(120)을 이동 재치 가능하게 구성되어 있다. 비이클(102)은 호이스트, 벨트 및 그리퍼를 구비하고 있고, 이들 각 부는 비이클 컨트롤러(108)에 의해 제어된다.
스토커(104)는, 비이클(102)에 의해 반송된 FOUP(120)을 복수 수용 가능한 보관 장치이다. 스토커(104)는 본체부(하우징)(130)와, 복수(여기서는 2 개)의 포트(132, 133)와, 복수의 선반(134)과, 자동 반송 장치(이동 재치 장치)(136)와, 메뉴얼 반송 장치(반송 장치)(138)와, 인출 장치(1)(도 4의 (a) 및 (b) 참조)를 구비한다.
본체부(130)에는 복수(여기서는 3 개)의 개구부(K1, K2, K3)가 형성되어 있다. 개구부(K1, K2)는 본체부(130)의 일측면에 형성되어 있고, 포트(132, 133)가 배치되어 있다. 개구부(K3)는 본체부(130)의 일측면에 연속하는 다른 일측면에 형성되어 있다. 개구부(K3)에는 후술하는 레일(R2)이 배치되어 있다.
포트(132, 133)는 개구부(K1, K2)를 거쳐 본체부(130)의 내부 및 외부에 설치되어 있다. 포트(132, 133)는, 비이클(102)과 스토커(104)의 사이에서 FOUP(120)을 이동 재치 가능하게 구성되어 있고, FOUP(120)을 이동 가능한 슬라이드 기구를 구비하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 선반(134)은, 본체부(130)의 내부에서 상하 방향으로 복수단(여기서는 8 단) 설치되어 있다. 선반(134)은 대향하여 배치되어 있고, 대향하는 선반(134)의 사이에는 공간(S)이 형성되어 있다. 도 3의 (a) ~ (c)는, 선반의 재치부 및 고정부를 도시한 도이다. 도 3의 (a) ~ (c)에 도시한 바와 같이, 선반(134)은, FOUP(120)이 재치되는 재치부(134a)와, 재치부(134a)를 지지 고정하는 고정부(134b)로 구성되어 있다.
재치부(134a)는 판상(板狀)의 부재이며, 상면에서 봤을 때 대략 U 자 형상을 나타내고 있다. 재치부(134a)에는 전방에 개구되는 개구부(135)가 형성되어 있다. 즉, 재치부(134a)는 FOUP(120)의 양단부 및 후단부에 접촉한다. 또한 재치부(134a)에는, 복수(여기서는 3 개)의 위치 결정 핀(134c)이 설치되어 있다. 위치 결정 핀(134c)은 재치부(134a)의 상면(재치면)으로부터 돌출되어 있고, 원기둥 형상을 이루고 있다. 위치 결정 핀(134c)은, FOUP(120)이 재치부(134a)에 재치되었을 때, FOUP(120)의 저부에 형성된 위치 결정 홀(124)에 삽입되는 부분이며, FOUP(120)의 위치 결정 및 전후 좌우 방향으로의 이동을 규제한다.
고정부(134b)는, 표면에서 봤을 때 대략 U 자 형상을 나타내고 있고, 재치부(134a)의 하부에 설치되어 있다. 고정부(134b)는, 본체부(130) 내에 설치된 프레임(도시하지 않음)에 예를 들면 볼트에 의해 고정된다. 고정부(134b)에는 복수(여기서는 2 개)의 개구부(H1, H2)가 형성되어 있다. 개구부(H1, H2)는 관통 홀이며, 고정부(134b)의 폭 방향으로 병설되어 있다. 구체적으로, 개구부(H1, H2)는 대략 U 자 형상의 재치부(134a)의 개구부(135)보다 내측에 위치하고 있다. 개구부(H1)의 폭은 개구부(H2)에 비해 크게 형성되어 있다.
또한 선반(134)의 상하 방향에서의 간격은, FOUP(120)의 위치 결정 홀(124)로부터 위치 결정 핀(134c)이 벗어났을 때(FOUP(120)이 위치 결정 핀(134c)의 상단면보다 상방으로 들어올려졌을 때), 상방의 선반(134)과 간섭하지 않는 정도이면 된다. 즉, 선반(134)의 간격은, FOUP(120)의 높이에 위치 결정 핀(134c)의 높이를 합한 치수 정도이면 된다. 이러한 구성에 의해, 스토커(104)에서의 FOUP(120)의 수납 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1 및 도 2로 돌아와, 자동 반송 장치(136)는, 스토커 컨트롤러(110)의 제어에 의해 복수의 선반(134) 사이, 및 포트(132, 133)와 선반(134)의 사이에서 FOUP(120)을 자동적으로 반송 가능한 스태커(스태커 크레인)이다. 자동 반송 장치(136)는 본체부(130) 내의 공간(S)에서 이동 가능하게 설치되어 있다.
메뉴얼 반송 장치(138)는, 작업자에 의한 체인 블록(도시하지 않음)의 조작에 의해, FOUP(120)을 반송(이동) 가능한 장치이다. 메뉴얼 반송 장치(138)는, FOUP(120)의 플랜지(122)를 파지 가능한 그리퍼(파지부)(138a)와, 본체부(130)의 천장에 부설된 레일(R2)을 따라 왕복 이동 가능하게 구성된 슬라이드부(이동부)(138b)와, 슬라이드부(138b) 내에 설치되고, 그리퍼(138a)에 연결된 벨트(138c)의 풀기 및 감기를 행하는 호이스트부(138d)를 구비하고 있다.
반송 지시부(106)는 MCS(Material Control System)이다. 반송 지시부(106)는, 메인 컨트롤러인 제조 지시부(도시하지 않음)의 반도체 소자 제조 스케줄에 기초하여 반송 스케줄을 작성하고, 이 반송 스케줄에 기초하여, 비이클 컨트롤러(108) 및 스토커 컨트롤러(110)를 제어 가능하게 구성되어 있다. 반송 지시부(106)는, 비이클 컨트롤러(108)에 대하여 비이클(102)에 의한 FOUP(120)의 반송을 지시하고, 또한 스토커 컨트롤러(110)에 대하여 스토커(104) 내부에서의 FOUP(120)의 반송을 지시한다.
비이클 컨트롤러(108)는, 반송 지시부(106)의 지시에 의해 비이클(102)을 제어하고, 레일(R1)을 따른 FOUP(120)의 반송을 실행하고, 또한 각종 제조 장치 및 스토커(104) 등과의 사이에서 FOUP(120)의 이동 재치를 실행 가능하게 구성되어 있다.
스토커 컨트롤러(110)는, 반송 지시부(106)의 지시에 의해 포트(132, 133) 및 자동 반송 장치(136)의 각 부를 제어하고, 비이클(102)과의 사이에서 포트(132, 133)를 거쳐 FOUP(120)의 이동 재치(입고 혹은 출고)를 실행하고, 또한 자동 반송 장치(136)를 제어하고, 스토커(104) 내부에서의 FOUP(120)의 반송(보관 장치 내 반송)을 실행 가능하게 구성되어 있다.
(인출 장치 : 제 1 실시예)
이어서, 상술한 구성을 가지는 스토커(104) 내부에서 사용되는 인출 장치에 대하여 설명한다. 도 4의 (a) 및 (b)는, 제 1 실시예에 따른 인출 장치를 하방에서 본 사시도이다. 도 4의 (a)는 인출 장치의 초기 상태를 나타내고 있고, 도 4의 (b)는 인출 장치의 동작 상태를 나타내고 있다. 인출 장치(1)는, 스토커(104) 내부에서 수동에 의해 FOUP(120)을 선반(134)으로부터 인출하기 위한 장치이다. 인출 장치(1)는, 예를 들면 자동 반송 장치(136)를 사용할 수 없을 경우, FOUP(120)을 선반(134)의 앞의 공간(S)(도 8 참조)까지 인출 가능하게 구성되어 있다.
도 4의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 인출 장치(1)는 지지부(2a, 2b)와, 들어올림부(4a, 4b)와, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)를 연결하는 각 연결부(6a, 6b, 6c, 6d)를 가지고 있다. 지지부(2a, 2b)는 선반(134)의 고정부(134b)에 장착 가능하게 구성되어 있고, 대향하는 한 쌍의 선반(134)의 고정부(134b)에 걸쳐진다. 지지부(2a)는 길이가 긴 모서리 부재이며, 지지부(2a, 2b)의 연장 방향의 양단부에는, 도 5에 도시한 바와 같이 계지부(3)가 설치되어 있다.
도 5에 도시한 바와 같이 계지부(3)는, 지지부(2a)의 단부에 예를 들면 나사(N)로 고정되어 있고, 지지부(2a, 2b)가 고정부(134b)의 개구부(H1, H2)에 삽입되었을 때, 개구부(H1, H2)의 주연부분에 걸린다. 이에 의해, 지지부(2a, 2b)가 고정부(134b)에 장착되었을 때, 지지부(2a, 2b)가 고정부(134b)의 개구부(H1, H2)로부터 빠지는 것이 방지된다. 또한 지지부(2a, 2b)의 길이는, 스토커(104)에 따라 적절히 설정되어 있다. 지지부(2a)와 지지부(2b)는 동일한 구성을 가지고 있다.
지지부(2a)와 지지부(2b)는 가로재(8)에 의해 연결되어 있다. 도 6은, 가로재의 구성을 도시한 사시도이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 가로재(8)는 단면이 오목 형상의 부재이며, 대향하는 한 쌍의 지지부(2a, 2b)에 걸쳐져 있다. 가로재(8)는 지지부(2a, 2b)에 착탈 가능하게 설치되어 있고, 복수(여기서는 2 개)의 핀(P)이 지지부(2a, 2b)의 접합부(5a, 5b)에 각각 삽입되어 장착된다. 가로재(8)의 연장 방향의 양단부에는 돌출부(8a, 8b)가 각각 형성되어 있다. 돌출부(8a, 8b)는 하방으로 돌출되어 있고, 지지부(2a, 2b)의 측면을 따르도록, 가로재(8)의 폭 방향을 따라 형성되어 있다. 이 가로재(8)는 지지부(2a, 2b)를 일체화하여, 지지부(2a, 2b)가 서로 이동하는 것을 규제한다.
도 4의 (a) 및 (b)로 돌아와, 들어올림부(4a, 4b)는, FOUP(120)에 접촉하여 FOUP(120)을 들어올리는 부분이다. 들어올림부(4a, 4b)는 지지부(2a, 2b)보다 길이가 짧은 부재이며, 도 8에 도시한 바와 같이, 지지부(2a, 2b)보다 선반(134)의 폭 길이 이상 짧게 되어 있다.
들어올림부(4a, 4b)는, 지지부(2a, 2b)의 일측면에서, 지지부(2a, 2b)의 연장 방향의 일단측쪽에 각각 장착되어 있다. 들어올림부(4a, 4b)는, 연결부(6a ~ 6d)에 의해 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되도록 지지부(2a, 2b)에 설치되어 있다. 구체적으로, 들어올림부(4a, 4b)는 도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 지지부(2a, 2b)와 접촉(근접)하고 있는 제 1 높이 위치와, 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이, 지지부(2a, 2b)로부터 이간한 제 2 높이 위치로 이동 가능하게 설치되어 있다. 제 1 높이 위치는, 지지부(2a, 2b)와 함께 고정부(134b)와 하방의 FOUP(120)과의 간극에 삽입 가능한 높이이다. 또한 제 2 높이 위치는, FOUP(120)의 저부에 접촉하고, FOUP(120)의 위치 결정 홀(124)로부터 재치부(134a)의 위치 결정 핀(134c)이 벗어나는 높이, 즉, FOUP(120)을 위치 결정 핀(134c)의 상단면보다 상방으로 들어올리는 높이이다.
연결부(6a ~ 6d)는 링크 기구를 구성하고 있다. 연결부(6a ~ 6d)는 지지부(2a, 2b) 및 들어올림부(4a, 4b)의 각각 대략 등간격으로 장착되어 있고, 지지부(2a, 2b) 및 들어올림부(4a, 4b)에 각각에 요동 가능하게 장착되어 있다. 연결부(6a ~ 6d)는 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)를 서로 근접 및 이간 가능하게 하고 있다. 연결부(6a)는, 그 일단이 지지부(2a, 2b)에 축 지지되어 있고, 또한 타단이 들어올림부(4a, 4b)에 축 지지 되어 있다. 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이, 연결부(6a)가 지지부(2a, 2b)에 연결된 위치와, 들어올림부(4a, 4b)에 연결된 위치는, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)가 가장 이간된 상태(제 2 높이 위치)에서 일직선 상이 된다. 즉 도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)가 접촉한 상태(제 1 높이 위치)에서는, 연결부(6a)의 각각의 연결 위치는, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)의 대향 방향에서 일직선 상에 위치하지 않고, 소정의 간격을 두고 어긋나 있다.
즉 연결부(6a)는, 들어올림부(4a, 4b)가 제 1 높이 위치 상태에서는, 지지부(2a, 2b)(들어올림부(4a, 4b))에 대하여 경사진 상태가 되고, 들어올림부(4a, 4b)가 제 2 높이 위치 상태에서는, 지지부(2a, 2b)(들어올림부(4a, 4b))에 대하여 대략 수직으로 기립한다. 연결부(6b ~ 6d)에 대해서도 연결부(6a)와 동일한 구성을 가지고 있다.
연결부(6c)는 레버(L)와 일체 형성되어 있다. 즉, 레버(L)의 일단부가 연결부(6c)를 구성하고 있다. 레버(L)는, 작업자에게 파지되는 파지 부분(LH)을 가지고 있고, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)가 접촉하는 초기 상태에서는, 파지 부분(LH)이 지지부(2a, 2b)(들어올림부(4a, 4b))와 대략 평행이 된다. 들어올림부(4a, 4b)는 레버(L)의 조작에 연동하여 승강한다. 구체적으로 레버(L)가 눌리면, 이에 따라 연결부(6c)가 기립하고, 들어올림부(4a, 4b)가 지지부(2a, 2b)와 이간하여 들어올려진다. 한편, 레버(L)가 밀어올려지면, 이에 따라 연결부(6c)가 경사져, 들어올림부(4a, 4b)가 지지부(2a, 2b)에 근접하여 내려진다. 또한 레버(L)에는, 도시하지 않은 록 기구가 설치되어 있고, 이 록 기구는, 들어올림부(4a, 4b)의 제 2 높이 위치를 유지 가능하게 되어 있다.
이어서, 인출 장치(1)의 장착 방법에 대하여 설명한다. 우선, 인출 대상의 FOUP(120)의 하방에 들어올림부(4a)가 위치하도록 지지부(2a)를 준비한다. 그리고, 지지부(2a)의 일단(계지부(3))을 일방의 고정부(134b)의 개구부(H1)에 삽입하고, 이 후, 고정부(134b)에 대향하는 타방의 고정부(134b)의 개구부(H2)에 지지부(2a)의 타단을 삽입하여, 지지부(2a)를 대향하는 고정부(134b)에 걸쳐 고정한다.
이 때 도 7의 (a) ~ (c)에 도시한 바와 같이, 지지부(2a)를 옆으로 넘어뜨린 상태(지지부(2a)와 들어올림부(4a)의 대향 방향이 수평 방향과 대략 일치하는 상태)로 고정부(134b)의 개구부(H1, H2)에 삽입하고, 개구부(H1, H2)에 지지부(2a)를 삽입한 후, 대략 90° 회전시켜 지지부(2a)를 세로 상태(지지부(2a)와 들어올림부(4a)의 대향 방향이 수직 방향과 대략 일치하는 상태)로 한다. 마찬가지로 하여, 지지부(2b)를 대향하는 고정부(134b)에 걸쳐 고정한다. 그리고, 지지부(2a)와 지지부(2b)에 가로재(8)를 걸쳐 고정하고, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이 인출 장치(1)를 장착한다.
이어서, 인출 장치(1)를 이용한 FOUP(120)의 취출 방법에 대하여 설명한다. 도 10의 (a) 및 (b)는, 인출 장치의 동작을 도시한 도이다. 도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 인출 대상이 되는 FOUP(120)의 하방에 들어올림부(4a, 4b)가 위치하도록 인출 장치(1)를 설치한다. 이 때, 들어올림부(4a, 4b)는 제 1 높이 위치가 되어 있다. 그리고, 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이 레버(L)를 하방으로 누른다.
이에 의해, 들어올림부(4a, 4b)가 연결부(6a ~ 6d)를 개재하여 지지부(2a, 2b)로부터 이간하여 제 2 높이 위치까지 들어올려지고, 들어올림부(4a, 4b)가 FOUP(120)과 접촉하여 FOUP(120)을 들어올린다. 이 때, 들어올림부(4a, 4b)의 상면은, 재치부(134a)에 설치된 위치 결정 핀(134c)의 상단면보다 높은 위치까지 들어올려진다. 그리고, FOUP(120)을 들어올린 상태에서, FOUP(120)을 들어올림부(4a, 4b) 상에서 슬라이드시켜, FOUP(120)을 선반(134)의 앞으로 인출한다.
FOUP(120)을 인출한 후, 메뉴얼 반송 장치(138)를 준비하고, 그리퍼(138a)에 의해 FOUP(120)의 플랜지(122)를 파지한다. 그리고, FOUP(120)을 호이스트부(138d)에 의해 감아올려 개구부(K3)를 거쳐 FOUP(120)을 취출한다. 이상과 같이, 인출 장치(1) 및 메뉴얼 반송 장치(138)에 의해 FOUP(120)이 취출된다.
이상 설명한 바와 같이, 인출 장치(1)는, FOUP(120)의 하방의 간극에 삽입되어 선반(134)에 고정되는 지지부(2a, 2b)와, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되는 들어올림부(4a, 4b)를 구비하고 있다. 들어올림부(4a, 4b)가 제 1 높이 위치에서는, 지지부(2a, 2b)와 함께 좁은 간극에도 삽입될 수 있어, 지지부(2a, 2b)를 선반에 용이하게 고정할 수 있다. 그리고, 지지부(2a, 2b)를 고정하여 들어올림부(4a, 4b)를 제 2 높이 위치로 전환함으로써, FOUP(120)을 들어올리고, 선반(134)의 앞까지 슬라이드 이동시켜 인출할 수 있다. 이와 같이, 이 인출 장치(1)에서는, 선반(134)과 FOUP(120) 사이의 좁은 간극에 용이하게 설치할 수 있기 때문에, 예를 들면 좁은 간극에서 파지부를 장착하는 작업이 불필요해져, 작업성의 향상을 도모할 수 있다.
또한 상술한 바와 같이, 인출 장치(1)는, 선반(134)과 FOUP(120)의 사이에 좁은 간극에 삽입할 수 있다. 이 때문에, 선반(134)끼리의 간격을, FOUP(120)이 들어올려졌을 때 상방의 선반(134)과 접촉되지 않는 정도로 설정할 수 있다. 따라서, 종래와 마찬가지로 그리퍼를 삽입하기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없어, 스토커(104)에서의 FUP(120)의 수납 효율의 향상을 도모할 수 있다.
또한 인출 장치(1)는, 지지부(2a, 2b)와 들어올림부(4a, 4b)가 연결부(6a ~ 6d)에 의해 서로 근접 및 이간 가능하게 설치되어 있다. 이 때문에, 들어올림부(4a, 4b)를 지지부(2a, 2b)에 근접 또는 이간하도록 이동시킴으로써, 제 1 높이 위치 및 제 2 높이 위치로 들어올림부(4a, 4b)를 변경할 수 있다. 이 때문에, 조작을 용이하게 행할 수 있고, 또한 동작의 신뢰성을 확보할 수 있다.
(인출 장치 : 제 2 실시예)
이어서, 제 2 실시예에 따른 인출 장치에 대하여 설명한다. 도 11의 (a) 및 (b)는, 제 2 실시예에 따른 인출 장치를 도시한 도이다. 도 11의 (a)는, 인출 장치를 위에서 본 도이고, 도 11의 (b)는, (a)에서의 b-b 선 단면도이다. 도 11의 (a) 및 (b)에 도시한 인출 장치(20)는, 스토커(104) 내부에서, 수동으로 FOUP(120)을 선반(134)으로부터 인출하기 위한 장치이다.
도 11의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 인출 장치(20)는 지지부(21a, 21b)와 들어올림부(24a, 24b)를 가지고 있다. 지지부(21a, 21b)는, 선반(134)의 고정부(134b)에 장착 가능하게 구성되어 있고, 대향하는 선반(134)의 고정부(134b)에 걸쳐진다. 지지부(21a, 21b)는 길이가 긴 부재이며, 축을 중심으로 회동 가능하게 되어 있다.
지지부(21a, 21b)의 연장 방향의 양단부에는, 계지부(3)(도 5 참조)와, 이 계지부(3)보다 중앙쪽에 계지부(25)가 설치되어 있다. 계지부(25)는 지지부(21a, 21b)가 고정부(134b)에 장착되었을 때, 개구부(H1, H2)보다 앞측에 위치하고, 계지부(3)와 협동으로 지지부(21a, 21b)의 이동(어긋남)을 방지한다. 또한 지지부(21a, 21b)의 단면은 원 형상이어도 되고, 직사각형 형상을 나타내고, 그 모서리 부분이 둥글게 깎여 있는 것이어도 된다. 고정부(134b)에 설치되었을 때의 안정성의 관점으로부터는, 단면 직사각형 형상이며, 그 모서리 부분이 둥글게 깎여 있는 형상이 바람직하다.
들어올림부(24a, 24b)는, FOUP(120)에 접촉하여 FOUP(120)을 들어올리는 부분이다. 들어올림부(24a, 24b)는 지지부(21a, 21b)보다 길이가 짧은 부재이며, 구체적으로 지지부(21a, 21b)보다 선반(134)의 폭 길이 이상 짧게 되어 있다.
들어올림부(24a, 24b)는 지지부(21a, 21b)와 일체 성형되어 있다. 들어올림부(24a, 24b)는 단면이 대략 타원 형상을 나타내고 있고, 지지부(21a, 21b)의 연장 방향의 일단측쪽에 설치되어 있다. 들어올림부(24a, 24b)는 그 단면의 장축 방향을 변경함으로써, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환된다. 구체적으로 들어올림부(24a, 24b)는, 도 11의 (b)에 도시한 바와 같이, 장축 방향이 수평 방향에 대략 일치하는 제 1 높이 위치와 장축 방향이 수직 방향에 대략 일치하는 제 2 높이 위치로 전환 가능하게 설치되어 있다. 제 1 높이 위치는, 지지부(21a, 21b)와 함께 고정부(134b)와 하방의 FOUP(120)과의 간극에 삽입 가능한 높이이다. 또한 제 2 높이 위치는 FOUP(120)의 저부에 접촉하고, FOUP(120)의 위치 결정 홀(124)로부터 재치부(134a)의 위치 결정 핀(134c)이 벗어나는 높이, 즉, FOUP(120)을 위치 결정 핀(134c)(도 13의 (a) 및 (b) 참조)의 상단면보다 상방으로 들어올리는 높이이다.
들어올림부(24a, 24b)가 설치된 지지부(21a, 21b) 부분에는 레버(L1)가 각각 장착되어 있다. 레버(L1)는, 들어올림부(24a, 24b)의 장축 방향에 대략 평행하게 장착되어 있다. 이러한 구성에 의해, 레버(L1)가 수평 방향과 대략 일치하고 있는 상태에서는 들어올림부(24a, 24b)가 제 1 높이 위치가 되고, 레버(L1)가 수직 방향과 대략 일치하고 있는 상태에서는 들어올림부(24a, 24b)가 제 2 높이 위치가 된다. 레버(L1)는 지지부(21a, 21b)에 착탈 가능하게 설치되어 있다. 구체적으로, 예를 들면 레버(L1)의 선단에 나사산이 형성되어 있고, 레버(L1)가 지지부(21a, 21b)에 나사 고정됨으로써, 레버(L1)가 지지부(21a, 21b)에 장착된다. 이에 의해, 미사용 시의 콤팩트한 수납이 가능해진다.
이어서, 인출 장치(20)의 장착 방법에 대하여 설명한다. 우선, 인출 대상의 FOUP(120)의 하방에 들어올림부(24a)가 위치하도록 지지부(21a)를 준비한다. 그리고, 지지부(21a)의 일단을 일방의 고정부(134b)의 개구부(H1)에 삽입하고, 이 후, 고정부(134b)에 대향하는 타방의 고정부(134b)의 개구부(H2)에 지지부(21a)의 타단을 삽입하여, 지지부(21a)를 고정부(134b)에 걸쳐 고정한다. 마찬가지로, 지지부(2b)를 고정부(134b)에 걸쳐 고정한다. 그리고 도 12에 도시한 바와 같이, 인출 장치(20)를 장착한다.
이어서, 인출 장치(20)를 이용한 FOUP(120)의 취출 방법에 대하여 설명한다. 도 13의 (a) 및 (b)는, 인출 장치의 동작을 도시한 도이다. 도 13의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 인출 대상이 되는 FOUP(120)의 하방에 들어올림부(24a, 24b)가 위치하도록 인출 장치(20)를 설치한다. 이 상태에서는, 들어올림부(24a, 24b)는 제 1 높이 위치가 된다. 그리고, 도 13의 (a)에 나타낸 화살표 방향으로 지지부(21a, 21b)가 회동하도록, 레버(L1)를 하방으로 누른다.
이에 의해 도 13의 (b)에 도시한 바와 같이, 들어올림부(24a, 24b)가 회전하여 그 장축 방향이 수직 방향에 대략 일치하고, 들어올림부(24a, 24b)가 제 2 높이 위치가 되어, 들어올림부(24a, 24b)가 FOUP(120)과 접촉하여 FOUP(120)을 들어올린다. 이 때, FOUP(120)은, 그 저면이 재치부(134a)에 설치된 위치 결정 핀(134c)의 상단면보다 높은 위치까지 들어올려진다. 그리고, FOUP(120)을 들어올린 상태에서, FOUP(120)을 들어올림부(24a, 24b) 상에서 슬라이드시켜, FOUP(120)을 선반(134)의 앞으로 인출한다.
FOUP(120)을 인출한 후, 메뉴얼 반송 장치(138)를 준비하고, 그리퍼(138a)에 의해 FOUP(120)의 플랜지(122)를 파지한다. 그리고, FOUP(120)을 호이스트부(138d)에 의해 감아올려 개구부(K3)를 거쳐 FOUP(120)을 취출한다. 이상과 같이, 인출 장치(20) 및 메뉴얼 반송 장치(138)에 의해 FOUP(120)이 취출된다.
이상 설명한 바와 같이, 인출 장치(20)는, FOUP(120)의 하방의 간극에 삽입되어 선반(134)에 고정되는 지지부(21a, 21b)와, 제 1 높이 위치와 제 2 높이 위치로 전환되는 들어올림부(24a, 24b)를 구비하고 있다. 들어올림부(24a, 24b)가 제 1 높이 위치에서는, 지지부(21a, 21b)와 함께 좁은 간극에도 삽입될 수 있어, 지지부(21a, 21b)를 선반에 용이하게 고정할 수 있다. 그리고, 지지부(21a, 21b)를 고정하여 들어올림부(24a, 24b)를 제 2 높이 위치로 전환함으로써, FOUP(120)을 들어올리고, 선반(134)의 앞까지 슬라이드 이동시켜 인출할 수 있다. 이와 같이, 이 인출 장치(20)에서는, 선반(134)과 FOUP(120)의 사이의 좁은 간극에 용이하게 설치할 수 있기 때문에, 예를 들면 좁은 간극에서 파지부를 장착하는 작업이 불필요해져, 작업성의 향상을 도모할 수 있다.
또한 인출 장치(20)에서는, 지지부(21a, 21b)와 들어올림부(24a, 24b)가 일체적으로 형성되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 지지부(21a, 21b)를 회동시키는 조작에 의해, 들어올림부(24a, 24b)를 제 1 높이 위치 및 제 2 높이 위치로 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 지지부(21a, 21b)와 들어올림부(24a, 24b)를 일체적으로 함으로써, 간이한 구성으로 할 수 있고 또한 내구성을 높일 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 인출 장치는 이하와 같은 구성이어도 된다. 도 14의 (a) 및 (b)는, 변형예에 따른 인출 장치를 도시한 도이다. 도 14의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 인출 장치(40)는 지지부(41)와, 들어올림부(42)와, 지지부(41)와 들어올림부(42)를 연결하는 연결부(43)로 구성되어 있다. 지지부(41) 및 들어올림부(42)는 길이가 긴 부재이다. 연결부(43)는 제 1 부재(43a)와 제 2 부재(43b)로 구성되어 있다.
제 1 부재(43a) 및 제 2 부재(43b)는 서로 교차하도록 배치되어 있다. 제 1 부재(43a)의 일단부(도시 좌측)는 지지부(2a, 2b)에 요동 가능하게 축 지지되어 있고, 제 2 부재(43b)의 일단부는 들어올림부(42)에 요동 가능하게 축 지지되어 있다. 제 1 부재(43a)의 타단부(예를 들면, 도시 우측)는 들어올림부(42)에 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있고, 제 2 부재(43b)의 타단부는 지지부(41)에 슬라이드 이동 가능하게 설치되어 있다. 이러한 구성에 의해, 인출 장치(40)는 지지부(41)와 들어올림부(42)가 접촉하는 제 1 높이 위치와, 지지부(41)와 들어올림부(42)가 이간한 제 2 높이 위치로 이동 가능하게 구성되어 있다. 들어올림부(42)의 이동에는 예를 들면 전동 모터 또는 에어 실린더, 전동 실린더 등을 이용할 수 있다.
또한 도 15의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 인출 장치(50)는 지지부(51)와 들어올림부(52)와 캠부(53)와 가이드부(54)로 구성되어 있다. 캠부(53)는 지지부(51)에 회동 가능하게 설치되어 있다. 캠부(53)의 회동에는 예를 들면 전동 모터를 이용할 수 있다.
가이드부(54)는 지지부(51)의 양단측에 설치되어 있다. 가이드부(54)는 지지부(51)에 대략 수직으로 세워 설치되어 있고, 들어올림부(52)의 이동을 규제한다. 들어올림부(52)는 가이드부(54)를 따라 상하로 이동한다. 이러한 구성에 의해, 인출 장치(50)는, 캠부(53)의 회동에 의해 지지부(51)와 들어올림부(52)가 접촉하는 제 1 높이 위치와, 지지부(51)와 들어올림부(52)가 이간한 제 2 높이 위치로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 캠부(53)는 들어올림부(52)에 설치되어도 된다.
또한 상기 실시예에서는, 지지부(2a, 2b)의 접합부(5a, 5b)와 가로재(8)의 접합에 2 개의 핀을 이용하고 있지만, 핀의 개수는 1 개여도 된다. 이 경우, 핀의 단면이 다각형 형상이면 된다. 또한, 가로재(8)는 복수 설치되어도 된다. 요점은 지지부(2a, 2b)가 서로 이동하는 것을 규제할 수 있으면 된다.
또한 상기 실시예에서는, 인출 장치(20)에서, 지지부(21a, 21b)와 들어올림부(24a, 24b)를 일체 성형하고 있지만, 들어올림부(24a, 24b)는 지지부(21a, 21b)에 착탈 가능하게 설치되어도 된다.
1, 20, 40, 50 : 인출 장치
2a, 2b, 21a, 21b, 41, 51 : 지지부
4a, 4b, 24a, 24b, 42, 52 : 들어올림부
6a ~ 6d : 연결부(링크 기구)
53 : 캠부
54 : 가이드부
104 : 스토커(보관 장치)
120 : FOUP(물품)
130 : 본체부(하우징)
132, 133 : 포트
134 : 선반
134a : 재치부
134b : 지지부
136 : 자동 반송 장치(이동 재치 장치)
138 : 메뉴얼 반송 장치(이송 장치)
138a : 그리퍼(파지부)
138b : 슬라이드부(이동부)
138c : 벨트
138d : 호이스트부

Claims (7)

  1. 전방으로 개구되는 개구부를 거쳐 물품이 출입되는 선반을 복수 구비하는 보관 장치에 있어서, 상기 물품을 상기 선반으로부터 상기 개구부를 거쳐 전방으로 인출하기 위한 인출 장치로서,
    상기 선반에 상기 물품이 수용되어 있는 상태에서 상기 물품의 하방의 간극에 삽입되고, 상기 선반에 고정되는 지지부와,
    상기 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 상기 제 1 높이 위치보다 높고 또한 상기 물품을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 상기 지지부에 설치되고, 상기 제 2 높이 위치에서 상기 물품을 상기 선반의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부를 구비하는 것을 특징으로 하는 인출 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 선반에는, 상기 물품이 수용되었을 때, 상기 물품의 저부에 형성된 위치 결정 홀에 삽입되는 위치 결정 핀이 설치되어 있고,
    상기 제 2 높이 위치는, 상기 위치 결정 홀로부터 상기 위치 결정 핀이 벗어나는 위치인 것을 특징으로 하는 인출 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부 및 상기 들어올림부는 길이가 긴 부재이며,
    상기 지지부와 상기 들어올림부는, 상기 들어올림부가 상기 제 1 높이 위치와 상기 제 2 높이 위치로 전환되도록 링크 기구로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 인출 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부 및 상기 들어올림부는 길이가 긴 부재이며,
    상기 들어올림부는, 상기 제 1 높이 위치와 상기 제 2 높이 위치의 이동을 규제하는 가이드부를 따라 이동하고,
    상기 들어올림부를 상기 제 1 높이 위치와 상기 제 2 높이 위치로 전환하는 캠부가 상기 지지부 및 상기 들어올림부 중 적어도 일방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 인출 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부는 길이가 긴 부재이며, 축을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있고,
    상기 들어올림부는 단면이 대략 타원 형상을 나타내고, 상기 지지부에 일체적으로 설치되어 있고,
    상기 제 1 높이 위치는, 상기 들어올림부의 단면의 장축이 수평 방향에 대략 일치하고 있는 상태이며,
    상기 제 2 높이 위치는, 상기 들어올림부의 단면의 장축이 수직 방향에 대략 일치하고 있는 상태인 것을 특징으로 하는 인출 장치.
  6. 하우징과,
    상기 하우징 내에서 복수 구비되고, 전방에 개구되는 개구부를 거쳐 물품이 출입되는 선반과,
    상기 물품의 입출고를 행하는 포트와,
    상기 선반과 상기 포트의 사이에서 상기 물품을 이동 재치하는 이동 재치 장치와,
    상기 물품을 상기 선반으로부터 상기 개구부를 거쳐 전방으로 인출하기 위한 인출 장치를 구비하는 보관 장치에 있어서,
    상기 인출 장치는,
    상기 선반에 상기 물품이 수용되어 있는 상태에서 상기 물품의 하방의 간극에 삽입되고, 상기 선반에 고정되는 지지부와,
    상기 간극에 삽입 가능한 제 1 높이 위치와, 상기 제 1 높이 위치보다 높고 또한 상기 물품을 들어올리는 것이 가능한 제 2 높이 위치로 전환되도록 상기 지지부에 설치되고, 상기 제 2 높이 위치에서 상기 물품을 상기 선반의 전방으로 슬라이드 이동 가능하게 되어 있는 들어올림부를 구비하는 것을 특징으로 하는 보관 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 물품을 파지 가능한 파지부와, 상기 파지부에 연결된 벨트의 풀기 및 감기를 행하는 호이스트부와, 상기 호이스트부가 배치되고, 또한 상기 하우징의 상부에 부설된 레일을 따라 이동하는 이동부를 가지고, 수동으로 조작 가능한 반송 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 보관 장치.
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