JP2011001149A - 保管庫 - Google Patents

Abstract

【課題】人手により、当該保管庫内及び当該保管庫内外で荷を安全に移動させる。
【解決手段】保管庫（２０）は、第１軌道に沿って走行すると共に荷（３）を搬送する搬送車（１０）との間で荷の入出庫が行われる。この保管庫は、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、搬送車との間で荷を夫々出し入れ可能な第１出入口及び少なくとも一つの第２出入口が設けられている筐体又はフレームと、筐体又はフレーム内に、複数段の各々において少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分（２１）と、荷を把持可能な把持手段（４１）と、把持手段を、複数の棚部分及び複数の棚部分の周囲の相互間で移動させると共に筐体又はフレームの内外で第２出入口を介して移動可能である移動手段（４３，４４）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、搬送車との間で、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の荷の入出庫が行われる、例えばストッカ等の保管庫の技術分野に関する。

この種の保管庫に適応する荷として、例えば口径が３００ｍｍである半導体ウェハを複数枚収容可能なＦＯＵＰが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰは、主に、保管庫が設置される施設内において、搬送車の経路に沿った複数の工程間又は各工程内で、複数の半導体ウェハを搬送したり一時的に保管するために使用される。

また、この種の保管庫としては、ワーク等の半導体ウェハを収納可能な収納部が上下左右に複数配列された収納棚と、該収納棚に面する空間を移動することにより半導体ウェハを複数の収納部間で出し入れ可能な移載ロボットとを備える高層収納棚が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このような高層収納棚には、各収納部への足場となるプラットホームが引き出し自在に設けられている。

特開２００７−１２３６７３号公報 特開２００２−３７０８０７号公報

ここで、上述した特許文献１に開示されるＦＯＵＰに収納される半導体ウェハについて、その口径は３００ｍｍに規定されるが、近年、３００ｍｍより大きい大口径化が図られ、例えば口径が４５０ｍｍに促進されつつある。これに対応して、ＦＯＵＰが大型化及び大重量化される傾向がある。

こうした傾向に対し、上述した特許文献２に開示される高層収納棚において、例えば、移載ロボットが故障し、収納部における荷の取り置きが不能となったり、収納部の収納面の変形や収納部上に落下した部品等の障害物により、荷が収納部の所定位置に載置されなかったり、該所定位置に載置されなかった荷を載置し直そうとも、所定位置にない荷を移載ロボットが把持できない旨の事態が発生する。こうした事態を解消するには、人手により、収納部における荷を高層収納棚外へ持ち運んだり、荷を収納部の所定位置に置き直すことが必要となる。仮に、上述した事態が発生した場合に、保管庫或いは荷を管理する管理者等の一人の作業員が、プラットホームを使用して、持ち運ぶべき荷或いはその近傍に到達し、荷を保持しようとする。この際、保持しようとする荷が大型化及び大重量化されたものであれば、一人の作業員が荷を直接に保持しつつ、プラットホームを渡って移動することは、安全性の観点から困難である。即ち、人手による保管庫内での荷の持ち運びや置き直しは、作業員の安全性を脅かし兼ねない旨の技術的問題点がある。

更には、荷自体が損傷したり、高層収納棚の内外で荷を移動可能な内外移動機構が故障する事態となれば、人手により、高層収納棚の内外で荷を持ち運ぶことが必要となる。仮に、上述した事態が発生した場合に、持ち運ぶべき荷を直接に保持する一人の作業員が、高層収納棚に固定されている梯子或いは階段を登り降りしようとする。ここで、保持している荷が大型化及び大重量化されたものであれば、一人の作業員が荷を直接に保持しつつ、梯子或いは階段を登り降りすることは、安全上の規定により許可されないこともある。即ち、人手による保管庫内外での荷の持ち運びもまた、作業員の安全性を脅かし兼ねない旨の技術的問題点がある。

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、人手により、当該保管庫内及び当該保管庫内外で荷を安全に移動させ得る保管庫を提供することを課題とする。

本発明に係る保管庫は上記課題を解決するために、第１軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記搬送車との間で前記荷を夫々出し入れ可能な第１出入口及び少なくとも一つの第２出入口が設けられている筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、前記荷を把持可能な把持手段と、該把持手段を、前記複数の棚部分及び前記複数の棚部分の周囲の相互間で移動させると共に前記筐体又はフレームの内外で前記第２出入口を介して移動可能である移動手段とを備える。

本発明に係る保管庫では、例えばＯＨＴ（Overhead Hoist Tranport）等の搬送車により、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。ここに「搬送車」は、天井走行型の、所謂、ビークルであって、荷の入出庫を行う際に、例えば半導体素子製造工場或いは半導体素子製造用の施設等の天井又は天井近傍に敷設されたレール等の第１軌道に沿って走行する。具体的には、荷を入庫する際に、例えばグリッパ等により入庫すべき荷を保持する搬送車が、第１軌道における、当該保管庫に対応する移載位置に到達し、停止する。すると、例えばホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された入庫すべき荷が鉛直方向に下降し、当該保管庫の内外で荷を出し入れするためのポートに該荷が載置される。すると、グリッパ等から入庫すべき荷が解放される。これにより、搬送車による荷の入庫が完了する。

一方、荷を出庫する際に、空荷の搬送車が上述した移載位置に到達し、停止する。すると、上述したホイスト等により、上述したグリッパ等が鉛直方向に下降し、グリッパ等により、ポートに載置されている出庫すべき荷が搬送車側に保持される。すると、ホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された出庫すべき荷が鉛直方向に上昇する。これにより、搬送車が走行可能な状態となれば、搬送車による荷の出庫が完了する。

当該保管庫について、その外観は、筐体又はフレームにより構成されており、該筐体又はフレーム内には、複数の棚部分が配列されている。ここに「複数の棚部分」とは、鉛直方向に一又は複数列配列された複数の載置面を有する棚列を示す。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）にはｏ（但し、ｏは１以上の自然数）列といった具合に、例えば薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格が構成されてもよい。搬送車により当該保管庫に入庫された荷は、例えばローラ機構等により、ポートから、第１出入口を介して、複数の棚部分のうち第１出入口に隣接する一の棚部分に水平移動される。即ち、複数段のうち一の段に対応する高さに、第１出入口は設けられてよい。すると、例えばロボットアーム等の保管庫内搬送装置、所謂、スタッカが、複数の棚部分間を、例えば鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動し、一の棚部分上の荷が、複数の棚部分のうち一の棚部分より他の棚部分上に移動される。即ち、保管庫内搬送され、入庫された荷が当該保管庫に収容或いは保管される。

ここで、上述した保管庫内搬送時に、スタッカの故障、搬送先たる棚部分の破損、又は棚部分上の障害物等に起因して、スタッカを使用せずに、当該保管庫内及び当該保管庫の内外で荷を移動させなければならない場合がある。

そこで、本発明に係る保管庫によれば、当該保管庫内で荷を移動する際に、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が移動すべき荷まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷を把持可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段により把持される。ここに「把持手段」は、荷の少なくとも一部を把持可能なグリップ等の把持機構である。この把持手段は、例えば荷がＦＯＵＰである場合、ＦＯＵＰのフランジを把持可能である。また「移動手段」は、把持手段を各棚部分及びその周囲に移動可能な移動機構である。この移動手段は、例えば人力、又はアクチュエータ或いはモータにより駆動される。更には「棚部分の周囲」は、上述したスタッカの故障又はスタッカによる保管庫内搬送の失敗等により、荷が搬送先たる棚部分の所定位置からずれて載置されたり、該棚部分から落下した場合に、荷の所在として想定される棚部分の周囲を示す。尚、人手の操作に係る「直接的」とは、把持手段及び移動手段を、作業員等が直接に押圧し、人力により所望の位置或いは状態に変化させる旨を意味し、他方、「間接的」とは、把持手段及び移動手段を、作業員等が直接に押圧することなく、スイッチ操作或いはハンドル操作によりアクチュエータ或いはモータを制御して、所望の位置或いは状態に変化させる旨を意味する。尚、把持手段のみが、人手による直接的な操作により、制御されても構わない。

把持手段により荷が把持された後、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が荷を載置すべき棚部分まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放される。以上のように、当該保管庫内における荷の移動が、スタッカを使用せずに行われる。

他方、当該保管庫の内外で荷を移動する際には、上述したように把持手段により荷が把持された後、人手による直接的又は間接的な操作により、移動手段が制御され、把持手段が当該保管庫の外部に設定された所定の受け取り位置まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放される。ここに「移動手段」は、把持手段を、当該保管庫の内部から外部へ第２出入口を介して移動可能な移動機構でもある。また「第２出入口」は、把持手段及び移動手段を使用して荷を出し入れ可能である大きさの開口を示す。即ち、この第２出入口を、把持手段、移動手段及び荷が同時に通過可能である。この第２出入口は、例えば、筐体又はフレームにおける、第１出入口が設けられた側面と異なる側面、或いは該異なる側面に対応する側方フレームに設けられている。また、第２出入口は、複数段のうち、第１出入口に対応する段と同一の又は異なる段に設けられている。この場合に、荷を受け取る作業員等が、搬送車が走行する第１軌道の下方に進入することがなく、作業員等が荷を安全に受け取ることが可能である。

以上のように、スタッカによる保管庫内搬送が不能となり、人手による荷の持ち運びが余儀なくされる場合、人手による操作により、把持手段及び移動手段を制御して、複数の棚部分及び複数の棚部分の周囲の相互間、並びに当該保管庫内外で荷を移動する。これにより、作業員等が荷を直接に保持することがなくなり、作業員等の安全性を担保することが可能である。従って、人手により、当該保管庫内及び当該保管庫内外で荷を安全に移動させることが可能である。

本発明に係る保管庫の一態様では、前記移動手段は、前記筐体又はフレームの天井又は該天井側に敷設され、且つ一端が前記第２出入口を介して前記筐体又はフレームの外部へ延伸されている第２軌道と、該第２軌道に沿って前記水平一方向に往復移動可能なスライド機構と、一端が前記把持手段に固定されており、前記把持手段を鉛直方向に吊り下げた吊り下げ部材と、前記スライド機構と一体又は別体に設けられており、前記スライド機構の往復移動に伴って前記水平一方向に往復移動すると共に前記吊り下げ部材の他端を巻き上げ又は巻き下げ可能なホイスト機構とを有し、前記吊り下げ部材は、鉛直方向に吊り下がった前記把持手段の位置を中心とする所定範囲に、前記把持手段を移動自在に構成されている。

この態様によれば、把持手段により荷が把持される際に、例えば、人手による直接的又は間接的な操作により、スライド機構が制御され、スライド機構が第２軌道に沿って水平一方向に移動し、移動すべき荷に最近の水平一方向位置に停止する。ここに「第２軌道」は、当該保管庫の内外を連絡する、スライド機構におけるレール等の軌道を示す。この第２軌道は、具体的には、当該保管庫内において、筐体又はフレーム内の天井又は天井近傍に且つ複数の棚部分の配列に対応する水平一方向に敷設されると共に、当該保管庫外において、第２出入口を通過した一端が少なくとも荷一つ分延伸されている軌道である。スライド機構が移動すべき荷に最近の水平一方向位置まで移動すると、人手による直接的又は間接的な操作により、ホイスト機構が制御され、吊り下げ部材が移動すべき荷に最近の鉛直位置まで巻き上げ又は巻き下げられる。すると、人手による直接的な操作により、吊り下げ部材が制御され、吊り下げ部材の一端と接続している把持手段が所定範囲にある移動すべき荷まで移動すると共に、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷を把持可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段により把持されると共に、吊り下げ部材により把持手段を介して吊り下げられた状態となる。ここに、吊り下げ部材に係る「所定範囲」は、スライド機構及びホイスト機構による、水平一方向及び鉛直方向の二軸方向への移動後に、スライド機構及びホイスト機構の鉛直下方向に吊り下がった把持手段を、作業員等の押圧により、移動させることが可能である当該保管庫内外の空間を示す。即ち、この所定範囲は、移動すべき荷の所在として想定され得る、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍をカバーし、且つ把持手段が移動すべき荷に到達し該荷を把持可能である空間として予め設定されている。尚、吊り下げ部材は、ホイスト機構により巻き上げ又は巻き下げ可能に且つ人手により屈曲可能な柔軟性、及び把持手段及び荷の荷重に耐え得る耐久性を有する、金属や繊維材料等からなる。

また、把持手段により把持された荷が当該保管庫外へ移動する際に、例えば、人手による直接的又は間接的な操作により、スライド機構及びホイスト機構が制御され、把持手段が、第２出入口を介して、第２軌道における延伸されている軌道部分に移動する。ここで、荷は、当該保管庫の外部に位置する。すると、ホイスト機構が制御され、吊り下げ部材が上述した受け取り位置まで巻き下げられる。続いて、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が把持している荷を解放可能な状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放されると共に、作業員等に直接に保持され、各種処理施設等へ持ち運ばれることとなる。

以上のように、人手による操作により、把持手段、並びにスライド機構及びホイスト機構を制御して、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍の荷を把持すると共に、複数の棚部分及び複数の棚部分近傍の相互間、並びに当該保管庫内外で荷を移動する。これにより、作業員等が当該保管庫内、及び当該保管庫外に併設された梯子或いは階段等の高所で荷を直接に保持することがなくなり、作業員等の安全性を担保することが可能である。

この態様では、前記把持手段は、前記荷を把持する把持状態と、前記把持している荷を解放する解放状態との間で変位自在に構成されており、当該保管庫は、前記荷を、前記内部から、前記外部に設けられた所定の受け渡し棚に移動する場合に、移動すべき前記荷を把持すべく前記把持状態に変位するように前記把持手段を制御し、前記把持状態にある前記把持手段を、前記第２出入口の水平方向に位置する第１鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、前記第１鉛直位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚の鉛直方向に位置する第１水平位置に移動させるように前記スライド機構を制御し、前記第１水平位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚に対応する第２鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、前記第２鉛直位置に移動した把持手段から前記移動すべき荷を解放すべく前記解放状態に変位するように前記把持手段を制御する制御手段を更に備えてもよい。

このように構成すれば、荷が当該保管庫内から当該保管庫外の所定の受け渡し棚に移動する際に、例えば、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が移動すべき荷に対し把持状態に変位する。即ち、移動すべき荷は、把持手段により把持される。続いて、人手によるチェーンブロック等の操作により（又はストッカコントローラ等の制御手段により）、把持手段の把持状態への変位が判別されると、ホイスト機構が制御され、把持状態にある把持手段が第１鉛直位置に移動する。続いて、スライド機構が制御され、把持手段が第１水平位置に移動する。ここで、把持手段は、当該保管庫の外部に且つ所定の受け渡し棚の上方に位置する。続いて、ホイスト機構が制御され、把持手段が第２鉛直位置に移動する。すると、人手による直接的な操作により、把持手段が制御され、把持手段が把持状態から解放状態に変位する。即ち、荷は、把持手段から解放されると共に、所定の受け渡し棚に支持された状態となり、作業員等は、移動すべき荷を直接に保持可能となる。このように、把持手段が把持状態に変位してから解放状態に変位するまでの間の制御、即ち、スライド機構及びホイスト機構の制御を、人手操作（又は制御手段）により行う。これにより、荷の移動を迅速且つ正確に行うことが可能である。

尚、所定の受け渡し棚について、その高さ、支持面の大きさ等は、作業者等が荷の受け渡しを可能とする形態であれば特に限定されず、極論すれば、所定の受け渡し棚は、可動式のものや、当該保管庫が設置された設置面に続く床面であっても構わない。

本発明に係る保管庫の他の態様では、当該保管庫は、前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、前記載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段とを更に備え、前記駆動手段は、前記載置部を前記水平一方向を含む水平方向に往復移動可能な水平駆動手段と、前記載置部を前記鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動手段とを有し、前記複数の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する。

この態様によれば、当該保管庫内で、本来荷が搬送される（即ち、保管庫内搬送される）際に、複数の棚部分のうち搬送元たる一の棚部分に向かって、例えば水平アクチュエータ、水平スライダ、ロボットアーム等の水平駆動手段により、載置部が水平方向に移動される。この水平方向の移動と相前後して、一の棚部分に向かって、例えば鉛直エレベータ、鉛直アクチュエータ、ロボットアーム等の鉛直駆動手段により、載置部が鉛直方向に移動される。すると、一の棚部分における第２載置面から載置部における第１載置面への荷の移載が行われる。続いて、複数の棚部分のうち、搬送先たる二の棚部分に向かって、水平駆動手段により、載置部が水平方向に移動される。この水平方向の移動と相前後して、二の棚部分に向かって、鉛直駆動手段により、載置部が鉛直方向に移動される。すると、載置部における第１載置面から二の棚部分における第２載置面への荷の移載が行われる。ここでの、第１及び第２載置面間での荷の移載は、次のように行われる。

第１及び第２載置面は、荷を夫々、相互に移載可能である。一の棚部分の第２載置面上の荷は、２軸方向に移動可能な載置部の第１載置面に移載される。例えば、第１及び第２載置面は、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。具体的には、載置部が、一の棚部分の第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第２載置面に代わって、第１載置面で荷を支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動手段により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面により支持されることとなる。これにより、保管庫内搬送が開始される。ここでは、鉛直駆動手段及び水平駆動手段による簡単な２軸動作によって、棚部分におけるいずれの第２載置面にも迅速に保管庫内搬送が可能である。

また、載置部の第１載置面上の荷は、搬送先とする二の棚部分の第２載置面に移載される。具体的には、載置部が、二の棚部分の第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第１載置面に代わって、第２載置面で荷を支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動手段により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面により支持されることとなる。これにより、保管庫内搬送が終了され、二の棚部分に荷が収納或いは保管される。

以上のように、第１及び第２載置面間で荷が受け渡されることにより、保管庫内搬送における荷の移載時間を短縮することが可能となる。

この態様では、前記制御手段は、前記載置部が前記複数の棚部分の相互間で移動する際に、前記把持手段を、前記載置部の移動を妨げない退避位置に移動させるように前記スライド機構及び前記ホイスト機構を制御してもよい。

このように構成すれば、載置部の移動による保管庫内搬送が行われる際に、制御手段により、スライド機構及びホイスト機構が制御され、把持手段が退避位置に移動する。ここに「退避位置」は、把持手段が移動し得る当該保管庫内外において、載置部の移動を妨げない位置を示す。具体的には、この退避位置は、例えば、第２軌道における延伸されている軌道部分、又は該延伸されている軌道部分とは逆側の軌道端部を示すが、載置部の移動に応じて適宜変更しても構わない。このような退避位置を予め設定することにより、載置部及び把持手段が夫々に独立して移動するための二つの移動経路たる空間を設ける必要がなく、移動手段（具体的には、第２軌道）と、載置部及び駆動手段を含む保管庫内搬送装置たるスタッカとを近接して設けることが可能となり、その分空いた空間に棚部分を増設することも可能である。即ち、収納或いは保管数を増大し、当該保管庫の収納或いは保管力を高めることが可能である。

前記移動手段が前記第２軌道及び前記スライド機構を有する態様では、前記移動手段は、前記第２軌道に対して前記スライド機構を組み付け自在に構成されていてもよい。

このように構成すれば、載置部の移動による保管庫内搬送が不能となり、人手による荷の持ち運びが余儀なくされる場合にのみ、人手による直接的な操作により、第２軌道に対してスライド機構が組み付けられる。他方、載置部の移動による保管庫内搬送が可能であれば、第２軌道からスライド機構が取り外される。これにより、保管庫内搬送時に、把持手段を上述した退避位置に移動させる旨の制御を行わなくて済む。また、各保管庫が第２軌道のみを備えていれば、複数の保管庫において、スライド機構、ホイスト機構、釣り下げ部材及び把持手段を共用することが可能となり、一つの保管庫に係るコストを抑制することも可能である。

当該保管庫が前記載置部及び前記駆動手段を更に備える態様では、前記駆動手段は、前記第２軌道に対して前記水平駆動手段を組み付け自在に構成されており、前記水平駆動手段は、前記第２軌道に沿って前記水平一方向に前記載置部を往復移動可能であり、前記鉛直駆動手段は、前記第２軌道の鉛直方向に前記載置部を往復移動可能であってもよい。

このように構成すれば、第２軌道は、移動手段におけるスライダ機構の他に、駆動手段における水平駆動手段の軌道としても機能する。水平移動手段は、人手による直接的又は間接的な操作により、第２軌道に対し、スライダ機構と同時に又は異なる時期に組み付けられる。これにより、載置部及び把持手段が同一の移動経路を移動することとなり、載置部及び把持手段が異なる２つの移動経路を夫々に独立して移動する場合と比較して、棚部分を多く設置することも可能である。即ち、収納或いは保管数を増大し、当該保管庫の収納或いは保管力を高めることが可能である。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。

本発明の実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す一方向断面図である。 図２の載置部及び複数の棚部分間での荷の移載動作を説明するための一方向断面図である。 図１の把持手段の退避位置を説明するための他方向断面図である。 図１の保管庫におけるＦＯＵＰマニュアル搬送処理を示すフローチャートである。 本発明に係る第２軌道の一例を示す一方向断面図である。 本発明に係る移動手段及び駆動手段の相対位置の一例を示す一方向断面図である。 本発明に係る載置部及び駆動手段の一例を示す他方向断面図である。 本発明に係る移動手段の一例を示す他方向断面図である。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

＜実施形態＞
＜実施形態の構成＞
図１から図３を参照して、本発明の実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す、図１の保管庫を前後方向（即ち、「一方向」と称する）で切断した場合の一方向断面図であり、図３は、図２の載置部及び複数の棚部分間で荷を移載する動作を説明するための、載置部及び複数の棚部分の一方向断面図である。

図１において、搬送システム１０００は、レールＲ１、ビークル１０及びストッカ２０の他、制御系として、搬送指示部１００、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を備える。搬送システム１０００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ２０等に対してＦＯＵＰ３の搬送を行うと共に、ストッカ２０においてＦＯＵＰ３の収納或いは保管を行う。

ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、ビークル１０によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ２０内で、入庫若しくは出庫、又は保管位置の調整のために搬送（即ち、保管庫内搬送）される。ＦＯＵＰ３は、その上面に、ビークル１０、後述する自動搬送装置３０又はマニュアル搬送装置４０により把持されるフランジ４を備えている。図３において、ＦＯＵＰ３は、その下面中央部及び側部に、複数の凹部５，６を有する。下面側部に位置する凹部５は、後述する各棚部分２１に設けられた凸部２２に対応するサイズに形成されている。一方、下面中央部に位置する凹部６は、後述する載置部３１に設けられた凸部３２に対応するサイズに形成されている。

レールＲ１は、本発明に係る「第１軌道」の一例として、半導体素子製造施設の天井に敷設されており、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レールＲ１の下方且つこれに隣接する位置に、各種製造装置及びストッカ２０等が設置されている。

図２において、ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（天井走行車）であって、レールＲ１に沿って走行し、ＦＯＵＰ３を搬送すると共に、レールＲ１上の所定位置で停止し、各種製造装置及びストッカ２０等に夫々備えられたポート（例えば、ポートＰ１及びＰ２）との間でＦＯＵＰ３を移載可能に構成されている。ビークル１０は、ホイスト１１、ベルト１２及びグリッパ１３を備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１０１により制御される。

ホイスト１１は、ビークル１０内部に取り付けられており、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ベルト１２を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。ベルト１２について、その一端がホイスト１１に固定され、その他端がグリッパ１３に固定されている。グリッパ１３は、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ＦＯＵＰ３を保持する保持状態、及びＦＯＵＰ３を解放する解放状態間で変位可能に構成されている。

ストッカ２０は、本発明に係る「保管庫」の一例として、ビークル１０により搬送されるＦＯＵＰ３を複数収容或いは保管可能である。ストッカ２０は、本体部２０ａ、ポートＰ１及びＰ２、複数の棚部分２１、自動搬送装置３０、並びにマニュアル搬送装置４０を備える。

本体部２０ａ（即ち、本発明に係る「筐体又はフレーム」の一例）には、レールＲ１側の側面（即ち、図１における正面）に、開口Ｈ１及びＨ２が設けられている。各開口Ｈ１，Ｈ２は、本発明に係る「第１出入口」の一例として、ポートＰ１又はＰ２に隣接しており、ポートＰ１又はＰ２と本体部２０ａ内部との間で、ＦＯＵＰ３を出し入れ可能な大きさに形成されている。更に、本体部２０ａには、レールＲ１側の側面に隣り合う側面（即ち、図１における右側面）に、開口Ｈ３が設けられている。開口Ｈ３は、本発明に係る「第２出入口」の一例として、マニュアル搬送装置４０の後述するレールＲ２を貫通させると共に、本体部２０ａ内外でＦＯＵＰ３を出し入れ可能な大きさに形成されている。本体部２０ａ内部には、複数の棚部分２１、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０が設けられている。

尚、本体部２０ａ内部には、不図示のメンテナンス用の足場、梯子或いは脚立等の作業台が各棚部分２１に対向して固定されている、又は取り付け／取り外し可能に設けられる。搬送システム１０００に係る作業を行う作業員は、このメンテナンス用作業台を歩行しつつ、各棚部分２１又はその周囲に到達することにより、後述する変位操作及び押圧操作を可能としている。

各ポートＰ１，Ｐ２は、本体部２０ａのレールＲ１側の外面に、開口Ｈ１又はＨ２に隣接して設けられている。また、各ポートＰ１，Ｐ２は、ビークル１０とストッカ２０との間でＦＯＵＰ３を移載可能に、レールＲ１の鉛直下方向に位置している。各ポートＰ１，Ｐ２は、ビークル１０から移載されたＦＯＵＰ３を、出入口Ｈ１又はＨ２を介して、本体部２０ａ内部へ向けて水平移動可能なスライド機構を備える。具体的には、スライド機構は、ポートＰ１又はＰ２上のＦＯＵＰ３を、後述する複数の棚部分２１のうち、開口Ｈ１又はＨ２に隣接する一の棚部分（即ち、図２において二点鎖線で示されるエリアＡ１に位置する）上に移動する。

複数の棚部分２１は、鉛直方向に７段、各段における水平一方向（即ち、図１における左右方向）に４列、且つ各段における厚み方向（即ち、図１における前後方向）に２列として、合計５６個の棚部分から構成されている。各棚部分２１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を夫々有する、一対の載置部２１ａ，２１ｂから構成されている。図３において、各棚部分２１は、その載置面に、凸部２２を有する。凸部２２は、ＦＯＵＰ３の下面側部に形成された凹部５に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の収容或いは保管時にこの凹部５に係合される。

自動搬送装置３０は、ストッカコントローラ１０２の制御により、複数の棚部分２１間でＦＯＵＰ３を自動的に搬送可能な保管庫内搬送装置たるスタッカ（或いはスタッカロボット）である。自動搬送装置３０は、載置部３１、並びに本発明に係る「駆動手段」の一例を構成する、本体部３０ａ、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム（以下、適宜単に「アーム」と称する）３５を備えており、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム３５の各部が、ストッカコントローラ１０２により制御される。

載置部３１は、複数のローラ３３による水平一方向への駆動、鉛直ガイド部３４による鉛直方向への駆動、及びアーム３５による厚み方向への駆動により、複数の棚部分２１間を往復移動可能に構成されている。載置部３１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」の一例）を有する。図３において、載置部３１は、その載置面に、凸部３２を有する。凸部３２は、ＦＯＵＰ３の下面中央部に形成された凹部６に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の移載時にこの凹部６に係合される。

本体部３０ａの底面には、アクチュエータ或いはモータにより駆動する複数のローラ３３が、ストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を回転可能に取り付けられている。本体部３０ａには、上下方向に、鉛直ガイド部３４が固定されている。本体部３０ａは、本発明に係る「水平駆動手段」の一部として機能し、複数のローラ３３の回転により、鉛直ガイド部３４（言い換えれば、載置部３１）を水平一方向に移動可能に構成されている。

鉛直ガイド部３４には、アーム３５が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。鉛直ガイド部３４は、本発明に係る「鉛直駆動手段」の一例であって、アクチュエータ或いはモータにより鉛直方向に回動する機構３４ａと、該機構３４ａにおける回動部位に固定された回動部３４ｂとから成っている。鉛直ガイド部３４は、機構３４ａの動作により、回動部３４ｂの上面に旋回自在に取り付けられたアーム３５（言い換えれば、載置部３１）を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。

アーム３５には、載置部３１が厚み方向にのみ移動可能に取り付けられている。アーム３５は、本体部３０ａと共に本発明に係る「水平駆動手段」の一部として機能し、上下方向に連結された２つのアーム部から成っている。これら２つのアーム部は、アクチュエータ（例えば、油圧シリンダ等）或いはモータにより相互に旋回することにより、厚み方向に伸縮自在に構成されている。アーム３５は、２つのアーム部の動作により、２つのアーム部のうち上方のアーム部に固定された載置部３１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。

上述したように複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により移動する載置部３１と、該載置部３１の移動先たる各棚部分２１との相対関係について説明する。各棚部分２１の載置面は、ストッカ２０の上面側から視て、馬蹄のようにＵ字形に形成されている。一方、載置部３１の載置面は、そのＵ字形の中央を埋める島のように矩形に形成されている。即ち、各棚部分２１の載置面及び載置部３１の載置面は、相互に相補の平面形状を有する。このような各棚部分２１及び載置部３１間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。

マニュアル搬送装置４０は、作業員による不図示のチェーンブロックの操作により、ＦＯＵＰ３を移動可能な装置である。マニュアル搬送装置４０は、把持部４１、並びに本発明に係る「移動手段」の一例を構成するレールＲ２、スライド部４３、ホイスト部４４、及び吊り下げ部４５を備える。

把持部４１は、本発明に係る「把持手段」の一例として、ＦＯＵＰ３を把持可能に構成されている。具体的には、把持部４１は、作業員の変位操作により、ＦＯＵＰ３のフランジ４を把持する把持状態、及びフランジ４を解放する解放状態間で変位自在に構成されている。

レールＲ２は、本発明に係る「第２軌道」の一例として、ストッカ２０内部の天井に、その長手方向が水平一方向と平行になるように取り付けられている。レールＲ２の一端部は、開口Ｈ３を介してストッカ２０内外を連絡すべく、ストッカ２０外部へ延伸されている。レールＲ２の延伸部分の長さは、スライド部４３における水平一方向の長さより大きいものとする。このレールＲ２には、スライド部４３が組み付けられている。

スライド部４３は、本発明に係る「スライド機構」の一例として、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、レールＲ２に沿って水平一方向に往復移動可能に構成されている。スライド部４３内部には、ホイスト部４４が一体に取り付けられている。

ホイスト部４４は、本発明に係る「ホイスト機構」の一例として、吊り下げベルト４５の一端が固着されている巻き軸を備える。ホイスト部４４は、アクチュエータ或いはモータにより駆動される巻き軸の回転により、吊り下げベルト４５の一端を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。

吊り下げベルト４５は、本発明に係る「吊り下げ部材」の一例として、その一端がホイスト部４４の巻き軸に固着され、その他端が把持部４１上面に固着されていることにより、ホイスト部４４及び把持部４１を接続する。通常時に、吊り下げベルト４５は、ホイスト部４４の鉛直下方向に把持部４１を吊り下げた状態にある。吊り下げベルト４５は、作業員による把持部４１を押圧する操作により、鉛直方向に吊り下がった把持部４１が一定の範囲で移動自在となるように構成されている。ここで「一定の範囲」とは、吊り下げベルト４５を鉛直方向以外の方向に引っ張ったり、屈曲させることにより、吊り下げられた把持部４１が到達し得る空間を示す。尚、吊り下げベルト４５の代わりに、吊り下げチェーン或いは吊り下げワイヤが使用されても構わない。

搬送指示部１００は、メインコントローラたる製造指示部における半導体素子製造スケジュールに基づいてＦＯＵＰ３の搬送スケジュールを作成し、該搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を制御可能に構成された、ＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ）である。搬送指示部１００は、ビークルコントローラ１０１に対し、ビークル１０によるＦＯＵＰ３の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１０２に対し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送を指示可能に構成されている。

ビークルコントローラ１０１は、搬送指示部１００の指示により、ビークル１０各部を制御し、レール１に沿ったＦＯＵＰ３の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ２０等との間でＦＯＵＰ３の移載を実行可能に構成されている。

ストッカコントローラ１０２は、搬送指示部１００の指示により、ポートＰ１，Ｐ２及び自動搬送装置３０の各部を制御し、ビークル１０との間でポートＰ１又はＰ２を介してＦＯＵＰ３の移載（即ち、入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置３０各部を制御し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送（即ち、保管庫内搬送）を実行可能に構成されている。

＜実施形態の動作＞
＜保管庫内搬送動作＞
次に、図２及び図３を参照して、自動搬送装置３０による、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送動作（即ち、保管庫内搬送動作）について説明する。

図２において、自動搬送装置３０は、例えば、エリアＡ１に位置する棚部分２１上のＦＯＵＰ３を、エリアＡ２に位置する棚部分２１上に移載する。図３（ａ）に示すように、エリアＡ１の棚部分２１上のＦＯＵＰ３は、その凹部５が棚部分２１の凸部２２と係合した状態で、棚部分２１の載置面に支持されている。この場合に、先ず載置部３１が、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により、エリアＡ１における棚部分２１の直下に移動される。この「棚部分２１の真下」とは、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間（即ち、図３（ａ）において載置部３１が点線で示される空間）の下方であり、具体的には、ＦＯＵＰ３における凹部６の鉛直下方向に載置部３１における凸部３２が位置することを示す。

続いて、エリアＡ１における棚部分２１の真下に移動した載置部３１は、鉛直ガイド部３４の駆動により鉛直上方向へ移動する。この際、載置部３１が、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間を通過して、図３（ｂ）に示すように、この一対の棚部分２１ａ，２１ｂよりも上昇する。これに伴い、ＦＯＵＰ３の凹部５及び棚部分２１の凸部２２の係合が外れ、ＦＯＵＰ３は、エリアＡ１における棚部分２１の載置面に代わって、その凹部６が載置部３１の凸部３２に係合した状態で、載置部３１の載置面に支持される。即ち、エリアＡ１の棚部分２１上のＦＯＵＰ３が載置部３１上に移載される。

続いて、ＦＯＵＰ３を支持している載置部３１は、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により、エリアＡ２における棚部分２１の直上に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平一方向の所定の水平位置に移動される。この「棚部分２１の真上」とは、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間の上方であり、具体的には、ＦＯＵＰ３における凹部５の鉛直下方向に棚部分２１における凸部２２が位置することを示す。

続いて、エリアＡ２における棚部分２１の真上に移動した載置部３１は、鉛直ガイド部３４の駆動により鉛直下方向へ移動する。この際、載置部３１が、一対の棚部分２１ａ，２１ｂ間の空間を通過して、図３（ａ）に示すように、この一対の棚部分２１ａ，２１ｂよりも下降する。これに伴い、ＦＯＵＰ３の凹部６及び載置部３１の凸部３２の係合が外れ、ＦＯＵＰ３は、載置部３１の載置面に代わって、その凹部５が棚部分２１の凸部２２に係合した状態で、棚部分２１の載置面に支持される。即ち、載置部３１上のＦＯＵＰ３がエリアＡ２の棚部分２１上に移載される。これにより、エリアＡ１の棚部分２１からエリアＡ２の棚部分２１への、ＦＯＵＰ３の移載動作が完了される。尚、この移載工程を逆の順序で行えば、エリアＡ２の棚部分２１からエリアＡ１の棚部分２１への移載動作となる。

上述した保管庫内搬送動作について、各移載工程で、ＦＯＵＰ３の位置決め手段たる凹部５，６が、各棚部分２１の位置決め手段たる凸部２２、又は載置部３１の位置決め手段たる凸部３２と係合した状態となり、ＦＯＵＰ３の位置決めが確実になされる。これは、各移載工程が順調に実行されるために必要不可欠の条件である。一方、自動搬送装置３０の故障、搬送先たる棚部分２１の破損、棚部分２１上の障害物、及びＦＯＵＰ３自体の破損に起因する移載ずれにより、ＦＯＵＰ３の位置決めに確実性を欠くと、一連の移載工程が中断してしまう場合がある。この場合、中断した移載工程を再度始動するためには、各種移載ずれの要因を払拭することと併せて、ＦＯＵＰ３の移動動作を行うこととなる。具体的には、該移動動作として、位置決めが確実に行われなかった一のＦＯＵＰ３を出庫する、又は該一のＦＯＵＰ３より他の、ストッカ２０内のＦＯＵＰ３を少なくとも１つ若しくは全て出庫する。そこで、本実施形態では、保管庫内搬送動作の過程における、上述したようなＦＯＵＰ３の移動動作が、故障中、又は故障中でなくとも所定の位置決め位置にないＦＯＵＰ３を搬送不能な自動搬送装置３０に代わって、マニュアル搬送装置４０により実行される。

＜マニュアル搬送動作＞
次に、図４及び図５を参照して、マニュアル搬送装置４０による、ＦＯＵＰ３の移動動作について説明する。ここに図４は、図１の保管庫における退避位置を示す、図１の保管庫を左右方向（即ち、「他方向」と称する）で切断した場合の他方向断面図であり、図５は、マニュアル搬送装置４０による移動動作の一例たる、ＦＯＵＰマニュアル搬送処理を示すフローチャートである。

先ず図４において、ＦＯＵＰマニュアル搬送処理が実行される以前、即ち、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作の実行中に、把持部４１は、スライド部４３及びホイスト部４４の駆動により、レールＲ２の延伸部分（即ち、図４において、二点鎖線で示されるエリアＡ５に位置する）に位置する。このエリアＡ５は、自動搬送装置３０によるＦＯＵＰ３の搬送を妨げないと共に、マニュアル搬送装置４０による移動動作が実行される際に搬送の対象たるＦＯＵＰ３を逸早く到達すべく開口Ｈ３に最近である、本発明に係る「退避位置」の一例たる退避エリアである。ＦＯＵＰマニュアル搬送処理では、例えば、エリアＡ６に位置する棚部分２１への移載時に移載ズレが生じたＦＯＵＰ３をストッカ２０外部へ移動する動作が示される。

図５において、先ず作業員によるチェーンブロックのマニュアル操作に応答して、スライド部４３及びホイスト部４４が駆動され、退避エリアＡ５に位置する把持部４１がエリアＡ６近傍に移動する。すると、作業員の押圧操作により、把持部４１がＦＯＵＰ３のフランジ４に対応する位置に移動されると共に、作業員の変位操作により、把持部４１が把持状態に変位する。これにより、ＦＯＵＰ３が把持部４１により把持される（ステップＳ５１）。

続いて、作業員のマニュアル操作により、ホイスト部４４が駆動され、把持部４１が所定の第１鉛直位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ７）に移動する（ステップＳ５２）。ここで「第１鉛直位置」とは、開口Ｈ３と同じ高さになるまで、把持部４１が鉛直方向に上昇された位置を示す。即ち、第１鉛直位置に移動した把持部４１は、開口Ｈ３の水平方向に位置する。すると、スライド部４３が駆動され、把持部４１が所定の第１水平位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ５）に移動する（ステップＳ５３）。ここで「第１水平位置」とは、ストッカ２０外部に設定される受け渡し棚Ｐ３（即ち、図４において点線で示されるポート）の上方にくるまで、把持部４１が水平一方向に移動された位置を示す。即ち、第１水平位置に移動した把持部４１は、受け渡し棚Ｐ３の鉛直上方に位置する。すると、ホイスト部４４が駆動され、把持部４１が所定の第２鉛直位置（即ち、図４における二点鎖線で示されるエリアＡ８）に移動する（ステップＳ５４）。ここで「第２鉛直位置」とは、受け渡し棚Ｐ３に、把持しているＦＯＵＰ３を移載可能である高さになるまで、把持部４１が鉛直方向に下降された位置を示す。即ち、第２鉛直位置に移動した把持部４１は、受け渡し棚Ｐ３の直上に位置する。

続いて、作業員の変位操作により、把持部４１が解放状態に変位する。これにより、ＦＯＵＰ３が把持部４１から解放される（ステップＳ５５）。即ち、移載ズレが生じたＦＯＵＰ３がストッカ２０内部から外部へ移動され、一連のＦＯＵＰマニュアル移動処理が終了する。

本実施形態のＦＯＵＰマニュアル移動処理によれば、自動搬送装置３０による保管庫内搬送が不能となり、人手によるＦＯＵＰ３の持ち運びが余儀なくされる場合、作業員の操作により、マニュアル搬送装置４０を制御して、ストッカ２０内部及びストッカ２０内外でＦＯＵＰ３を移動する。これにより、作業員がストッカ２０内で荷を直接に保持することがなくなり、作業員の安全性を担保することが可能である。

尚、本実施形態によれば、レールＲ２に対し、スライド部４３が組み付けられているが、スライド部４３はレールＲ２から取り外し自在（言い換えれば、レールＲ２に組み付け自在）に構成されていてもよい。

次に、図６を参照して、組み付け自在のスライド部が組み付けられるレールの一例について説明する。ここで、図６は、組み付け自在のスライド部が組み付けられるレールの構造を説明するための、レールの一方向断面図である。

図６（ａ）において、ストッカ２２０に適用されるマニュアル搬送装置２４０は、把持部２４１、レールＲ３、スライド部２４３、ホイスト部２４４、及び吊り下げ部２４５を備える。スライド部２４３は、本体部２４３ａ、一対のローラ２４６、及び一対の掛かり部２４７を備える。レールＲ３は、ストッカ本体部２２０ａの天井に且つ水平一方向に敷設されている。レールＲ３について、その内部が開部Ｏ１を介してレール３下方と相通している。また、その下部は、一対の掛かり部２４７に形成されている。こうした構造は、レールＲ３の水平一方向に連続している。本体部２４３ａの上面には、車軸で連結される一対のローラ２４６が回転可能に取り付けられている。スライド部２４３は、一対のローラ２４６のローラ面と一対の掛かり部２４７上面とが当接する状態となるように、レールＲ３に対して組み付けられる。この組み付け状態で、アクチュエータ或いはモータにより一対のローラ２４６が一対の掛かり部２４７上面を回動する。これにより、スライド部２４３が水平一方向に往復移動可能となる。

尚、本実施形態では、自動搬送装置３０は、複数のローラ３３がストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を水平一方向に回動することにより、水平一方向への往復移動を可能とするが、自動搬送装置３０の水平一方向への移動を規定する軌道として、上述したレールＲ３を設定してもよい。

図６（ｂ）において、ストッカ２２０は、鉛直ガイド部２３４を含む自動搬送装置２３０を備える。鉛直ガイド部２３４の上面には、ローラ面が対向するように一対のローラ２３５が取り付けられている。レールＲ３に対し、マニュアル搬送装置２４０におけるスライド部２４３に加えて、自動搬送装置２３０における鉛直ガイド部２３４もまた組み付け可能に構成されている。鉛直ガイド部２３４は、一対のローラ２３５のローラ面間でレールＲ３を両側から挟み込んだ状態となるように、レールＲ３に対して組み付けられる。この組み付け状態で、鉛直ガイド部２３４が駆動すると、レールＲ３両側面を一対のローラ２３５が回動する。これにより、鉛直ガイド部２３４が水平一方向に往復移動可能となる。

尚、本実施形態によれば、図２に示すように、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２の直下に、自動搬送装置３０が設置されるが、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０の相対位置は、これに限定されない。

図７を参照して、自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０がとり得る相対位置の他の例について説明する。ここに図７は、図１における自動搬送装置３０及びマニュアル搬送装置４０の相対位置の他の例を示す一方向断面図である。尚、図７において、図１のストッカ２０と同一に構成される要素について、同一の符号を付すこととする。

図７において、ストッカ１２０は、厚み方向に、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２、及び自動搬送装置３０におけるレールＲ２０を並べて設置している。このため、ストッカ１２０では、厚み方向における２つの棚部分列間の空間を、図１のストッカ２０の場合よりも大きくせざるを得ない。一方、マニュアル搬送装置４０及び自動搬送装置３０における水平一方向への移動経路が夫々に独立しているので、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作時に、把持部４１が退避位置Ａ５に退避するための退避動作を最小限とすることが可能となる。

尚、本実施形態によれば、自動搬送装置３０は、特に棚部分２１の設置数が多いワイドストッカに適用され、複数のローラ３３、鉛直ガイド部３４及びアーム３５の駆動により複数の棚部分２１間を往復移動可能とするが、自動搬送装置の構成は、これに限定されない。

図８を参照して、図１の自動搬送装置３０と異なる自動搬送装置の一例について説明する。ここに図８は、図１の自動搬送装置３０と異なる自動搬送装置の一例を示す他方向断面図である。

図８において、ストッカ３２０は、特に高層ストッカに適用されるＨ型の自動搬送装置３３０を備える。自動搬送装置３３０は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置部３３１、該載置部３３１を厚み方向に移動可能な水平アーム３３５、該水平アーム３３５を水平一方向に移動可能な水平ガイド部３３４、及び該水平ガイド部３３４の鉛直方向への移動を可能とする鉛直ガイド部３３３を備える。水平アーム３３５、水平ガイド部３３４及び鉛直ガイド部３３３は、アクチュエータ或いはモータにより夫々駆動される。水平アーム３３５は、複数のアーム部分からなっており、個々のアーム部分を段階的にスライドすることにより載置部３３１を最近の棚部分３２１に到達可能に構成されている。水平ガイド部３３４は、ストッカ本体部３２０ａの水平一方向の長さより、鉛直移動のための有余を設けるべく、若干短く形成されている。鉛直ガイド部３３３は、２つの縦型コンベアからなっており、各々が、本体部３２０ａの鉛直方向の高さより、マニュアル搬送装置４０のレールＲ２に接触しないための有余を設けるべく、若干低く形成されている。このような水平アーム３３５、水平ガイド部３３４及び鉛直ガイド部３３３からなる自動搬送装置３２０における移動手段を構成することにより、載置部３３１を高部の棚部分３２１にも安定して移動させることが可能である。

尚、本実施形態によれば、マニュアル搬送装置４０による一度の移動動作により、開口Ｈ３を介して、１つのＦＯＵＰ３が出し入れされるが、マニュアル搬送装置による一度の移動動作により出し入れされるＦＯＵＰ３の個数は、１つに限定されない。

図９を参照して、図１のマニュアル搬送装置４０と異なるマニュアル搬送装置の一例について説明する。ここに図９は、図１のマニュアル搬送装置４０と異なるマニュアル搬送装置の一例を示す他方向断面図である。尚、図９において、図７のストッカ１２０と同一に構成される要素について、同一の符号を付すこととする。

図９において、ストッカ４２０は、本体部４２０ａ及びマニュアル搬送装置４４０を備える。本体部４２０ａには、水平一方向に位置する、相対する２つの側面に、２つの開口Ｈ４，Ｈ５が設けられている。マニュアル搬送装置４４０は、２つの開口Ｈ４，Ｈ５を介して、同時に２つのＦＯＵＰ３を出し入れ可能に構成されている。具体的には、ストッカ本体部４２０ａの天井には、２つの開口Ｈ４，Ｈ５を介して、ストッカ４２０内外を連絡すると共に両端部が本体部４２０ａ外部に延伸されているレールＲ４が敷設されている。マニュアル搬送装置４４０は、２つの把持部４１Ａ，４１Ｂを水平一方向及び鉛直方向に独立して移動可能に、スライド部４３、ホイスト部４４及び吊り下げベルト４５からなる移動手段を２組備える。例えば、レールＲ４の直下に自動搬送装置１３０が設置されている場合に、ストッカ４２０内部において、自動搬送装置１３０より左方にある、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３は、一の把持部４１Ａにより把持され、自動搬送装置１３０より右方にある、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３は、二の把持部４１Ｂにより把持されるように、自動搬送装置４２０を構成してもよい。このように、複数の移動動作を行う場合に、１つの把持部４１だけで行う場合よりも迅速に、移載ずれが生じたＦＯＵＰ３へ到達し、移動動作を実行することが可能である。

尚、本実施形態によれば、スライド部４３は、常時、マニュアル搬送装置４０におけるレールＲ２に対して組み付けられているが、自動搬送装置３０による保管庫内搬送動作が可能な場合には取り外しておき、作業員によるＦＯＵＰ３の持ち運びが余儀なくされる場合にのみ、取り付けるようにしても構わない。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ビークル（天井走行車）、２０…ストッカ（保管庫）、２１…棚部分、３０…自動搬送装置、３１…載置部、３３…複数のローラ、３４…鉛直ガイド部、３５…アーム、４０…マニュアル搬送装置、４１…把持部、４３…スライド部分、４４…ホイスト部、４５…吊り下げベルト、１００…搬送指示部、１０１…ビークルコントローラ、１０２…ストッカコントローラ、１０００…搬送システム

Claims (7)

1. 第１軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、
   内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記搬送車との間で前記荷を夫々出し入れ可能な第１出入口及び少なくとも一つの第２出入口が設けられている筐体又はフレームと、
   該筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、
   前記荷を把持可能な把持手段と、
   該把持手段を、前記筐体又はフレームの内部における前記複数の棚部分及び前記複数の棚部分の周囲の相互間で移動させると共に前記筐体又はフレームの内外で前記第２出入口を介して移動可能である移動手段と
   を備えることを特徴とする保管庫。
2. 前記移動手段は、
   前記筐体又はフレームの天井又は該天井側に敷設され、且つ一端が前記第２出入口を介して前記筐体又はフレームの外部へ延伸されている第２軌道と、
   該第２軌道に沿って前記水平一方向に往復移動可能なスライド機構と、
   一端が前記把持手段に固定されており、前記把持手段を鉛直方向に吊り下げた吊り下げ部材と、
   前記スライド機構と一体又は別体に設けられており、前記スライド機構の往復移動に伴って前記水平一方向に往復移動すると共に前記吊り下げ部材の他端を巻き上げ又は巻き下げ可能なホイスト機構と
   を有し、
   前記吊り下げ部材は、鉛直方向に吊り下がった前記把持手段の位置を中心とする所定範囲に、前記把持手段を移動自在に構成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
3. 前記把持手段は、
   前記荷を把持する把持状態と、前記把持している荷を解放する解放状態との間で変位自在に構成されており、
   当該保管庫は、
   前記荷を、前記内部から、前記外部に設けられた所定の受け渡し棚に移動する場合に、
   移動すべき前記荷を把持すべく前記把持状態に変位するように前記把持手段を制御し、
   前記把持状態にある前記把持手段を、前記第２出入口の水平方向に位置する第１鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、
   前記第１鉛直位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚の鉛直方向に位置する第１水平位置に移動させるように前記スライド機構を制御し、
   前記第１水平位置に移動した把持手段を、前記所定の受け渡し棚に対応する第２鉛直位置に移動させるように前記ホイスト機構を制御し、
   前記第２鉛直位置に移動した把持手段から前記移動すべき荷を解放すべく前記解放状態に変位するように前記把持手段を制御する
   制御手段を更に備える
   ことを特徴とする請求項２に記載の保管庫。
4. 当該保管庫は、
   前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
   前記載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段と
   を更に備え、
   前記駆動手段は、
   前記載置部を前記水平一方向を含む水平方向に往復移動可能な水平駆動手段と、
   前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動手段と
   を有し、
   前記複数の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の保管庫。
5. 前記制御手段は、
   前記載置部が前記複数の棚部分の相互間で移動する際に、前記把持手段を、前記載置部の移動を妨げない退避位置に移動させるように前記スライド機構及び前記ホイスト機構を制御する
   ことを特徴とする請求項４に記載の保管庫。
6. 前記移動手段は、前記第２軌道に対して前記スライド機構を組み付け自在に構成されている
   ことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の保管庫。
7. 前記駆動手段は、前記第２軌道に対して前記水平駆動手段を組み付け自在に構成されており、
   前記水平駆動手段は、前記第２軌道に沿って前記水平一方向に前記載置部を往復移動可能であり、
   前記鉛直駆動手段は、前記第２軌道の鉛直方向に前記載置部を往復移動可能である
   ことを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の保管庫。

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