TWI667181B - 取出裝置及保管裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之取出裝置1具備有：第1支撐部13，其自貨物120之前方側支撐貨物120之前方部；連結部9、11，其等經由連結構件142被連結於可使第1支撐部13沿上下方向移動之移動裝置140；及把持部15、17，其等隔著連結部9、11被設置於與第1支撐部13之相反側。

Description

取出裝置及保管裝置
本發明係關於取出裝置及保管裝置。
作為收容半導體晶圓之半導體搬送用匣盒，例如存在有前開式晶圓傳送盒(FOUP；Front-Opening Unified Pod)。於保管FOUP之保管裝置中，藉由移載裝置進行在用以進行入出庫之埠與棚架之間之FOUP之移載。在具備有移載裝置之保管裝置中，於移載裝置因故障等而無法動作之情形時，係藉由人力來進行FOUP之移載。然而，近年來，由於半導體晶圓大徑化，FOUP亦隨此而大型化(大重量化)，因此難以藉由人力來處理FOUP。
因此，例如專利文獻1所記載之保管裝置，具備有與移載裝置分開而可以手動操作之手動搬送裝置。該手動搬送裝置具備有：把持部，其可把持FOUP之凸緣；傳送帶，其係連結於把持部；起重機部，其將傳送帶捲起；及滑動部，其係設置為可在保管裝置內之天花板滑動；而於移載裝置無法使用之情形時，可以手動進行FOUP之搬送。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2011-1149號公報
上述保管裝置之手動搬送裝置，必須於FOUP之凸緣安裝把持部。然而，於FOUP與棚架間之狹窄之間隙插入把持部而進行作業並不容易。因此，藉由手動所進行之FOUP等半導體搬送用匣盒之搬送，被要求進一步改善其作業性。
本發明一態樣，其目的在於提供可謀求作業性之提升之取出裝置及保管裝置。
本發明一態樣之取出裝置，係具備有貨物經由朝前方開口之開口部被搬進搬出之棚架之保管裝置中，用以將貨物經由開口部而自棚架取出著；其具備有：支撐部，其自貨物之前方側支撐貨物之前方部；連結部，其經由連結構件被連結於可使支撐部沿上下方向移動之移動裝置；及把持部，其隔著連結部被設置在與支撐部之相反側。
本發明一態樣之取出裝置具備有自貨物之前方側支撐貨物之前方部之支撐部。因此，即便於貨物與棚架之間隙狹窄之情形時，由於支撐貨物之前方部，因此不會在狹窄之間隙進行作業而可支撐貨物。又，支撐部藉由經由連結構件被連結於連結部之移動裝置，而可沿上下方向移動。因此，藉由在由支撐部支撐貨物之狀態下利用移動裝置使支撐部朝上方移動，而可將貨物自棚架抬起。藉此，取出裝置可容易地將貨物自棚架取出，從而可謀求作業性之提升。又，於將貨物自棚架取出時，支撐部成為經由連結部而由移動裝置所懸吊之狀態。此時，取出裝置因貨物之重量而向貨物側傾斜。因此，於取出裝置中，把持部係隔著連結部被設置於與支 撐部之相反側。藉由該構成，由於可藉由把持部容易地施加對抗因貨物之重量所導致支撐部之傾斜之力，因此可容易地保持取出裝置之平衡。因此，由於可穩定地對取出裝置進行操作，所以可謀求作業性之提升。
於一實施形態中，支撐部亦可具有：第1支撐部，其支撐貨物之底面；及第2支撐部，其限制由該第1支撐部所支撐之貨物之移動。根據該構成，可藉由第1支撐部穩定地支撐貨物。又，可藉由第2支撐部防止貨物之位置偏移。因此，可穩定地取出貨物。
於一實施形態中，第2支撐部亦可被設置於較第1支撐部更上方，用以限制貨物之上下方向之移動。根據該構成，可防止前方部之底面由第1支撐部所支撐之貨物朝後方側傾斜。因此，可穩定地取出貨物。
於一實施形態中，亦可具備有被設置於把持部側，而可裝卸地支撐配重構件之安裝部。根據該構成，藉由配合貨物之重量而將配重構件安裝於安裝部，可根據貨物之重量來調整平衡。藉此，可進一步穩定地取出貨物。
於一實施形態中，把持部亦可具有：第1把持部；及第2把持部，其係配置於較第1把持部更下方。根據該構成，由於可把持第1把持部及第2把持部之2個部位進行操作，因此可更穩定地取出貨物。
本發明一態樣之保管裝置，其具備有：框體；棚架，其於框體內具備有複數個，且貨物經由朝前方開口之開口部被搬進搬出；埠，其進行貨物之入出庫；移載裝置，其於棚架與埠之間移載貨物；及取出裝置，其用以經由開口部將貨物自棚架取出至前 方；取出裝置具備有：支撐部，其自貨物之前方側支撐貨物之前方部；連結部，其經由連結構件被連結於可使支撐部沿上下方向移動之移動裝置；及把持部，其隔著連結部被設置在與支撐部之相反側。
本發明一態樣之保管裝置具備有取出裝置。取出裝置具備有自貨物之前方側支撐貨物之前方部之支撐部。因此，即便於貨物與棚架之間隙狹窄之情形時，由於支撐貨物之前方部，因此不會在狹窄之間隙進行作業而可支撐貨物。又，支撐部藉由經由連結構件被連結於連結部之移動裝置，而可沿上下方向移動。因此，藉由在由支撐部支撐貨物之狀態下利用移動裝置使支撐部朝上方移動，而可將貨物自棚架抬起。藉此，於保管裝置中，即便於移載裝置不動作之情形時，亦可藉由取出裝置容易地將貨物自棚架取出。又，於將貨物自棚架取出時，支撐部成為經由連結部而由移動裝置所懸吊之狀態。此時，取出裝置因貨物之重量而向貨物側傾斜。因此，於取出裝置中，把持部係隔著連結部被設置於與支撐部之相反側。藉由該構成，由於可藉由把持部容易地施加對抗因貨物之重量所導致支撐部之傾斜之力，因此可容易地保持取出裝置之平衡。因此，由於可穩定地對取出裝置進行操作，所以可謀求作業性之提升。
根據本發明一態樣，可謀求作業性之提升。
1‧‧‧取出裝置
3‧‧‧主框架
3a‧‧‧前表面
3b‧‧‧上部
3c‧‧‧收容部
5‧‧‧第1副框架
5a、7a‧‧‧第1框架
5b、7b‧‧‧第2框架
5c、7c‧‧‧第1部分
5d、7d‧‧‧第2部分
6‧‧‧補強構件
7‧‧‧第2副框架
9、11‧‧‧連結部
9a、11a、25c‧‧‧連結部分
13‧‧‧第1支撐部
13a‧‧‧支撐面
15‧‧‧第1把手(第1把持部)
17‧‧‧第2把手(第2把持部)
19‧‧‧第2支撐部
21‧‧‧第1卡止部
21a‧‧‧本體部
21b‧‧‧鉤部
22‧‧‧桿
22a‧‧‧線
23‧‧‧第2卡止部
24‧‧‧框架體
25‧‧‧卡止具
25a‧‧‧鉤部分
25b‧‧‧操作桿
25d‧‧‧支撐部分
27‧‧‧第1安裝部
28‧‧‧第2安裝部
30‧‧‧配重構件
100‧‧‧搬送系統
102‧‧‧移行車
104‧‧‧倉儲(保管裝置)
106‧‧‧搬送指示部
108‧‧‧移行車控制器
110‧‧‧倉儲控制器
120‧‧‧FOUP(貨物)
122‧‧‧上部凸緣
123‧‧‧前部凸緣
124‧‧‧定位孔
130‧‧‧本體部(框體)
132、133‧‧‧埠
134‧‧‧棚架
134a‧‧‧載置部
134b‧‧‧固定部
134c‧‧‧定位銷
135、K1、K2‧‧‧開口部
136‧‧‧自動搬送裝置(移載裝置)
140‧‧‧鏈滑車(移動裝置)
142‧‧‧鏈條(連結構件)
D‧‧‧門
R‧‧‧軌道
S‧‧‧空間
圖1係表示一實施形態之具備有保管裝置之搬送系統之外觀的立體圖。
圖2係示意性地表示圖1所示之保管裝置之內部構造之剖面 圖。
圖3(a)至(c)係表示棚架之載置部及固定部之圖。
圖4係表示一實施形態之取出裝置之立體圖。
圖5係表示一實施形態之取出裝置之立體圖。
圖6係取出裝置之側視圖。
圖7係取出裝置之俯視圖。
圖8(a)係表示鉤部與前部凸緣卡合前之狀態之圖，圖8(b)係表示鉤部與前部凸緣處於卡合之狀態之圖。
圖9(a)係表示鉤部分與前部凸緣卡合前之狀態之圖，圖9(b)係表示鉤部分與前部凸緣處於卡合之狀態之圖。
以下，參照隨附圖式，對本發明較佳之實施形態進行詳細說明。再者，於圖式之說明中，對相同或相當之元件標註相同之符號，並省略重複之說明。
[搬送系統]
如圖1及圖2所示，搬送系統100具備有移行車(vehicle)102、倉儲104、及用以供移行車102移行之軌道R。又，搬送系統100具備有搬送指示部106、移行車控制器108及倉儲控制器110，來作為控制系統。搬送系統100依據半導體元件製造時之搬送排程，進行FOUP(Front-Opening Unified Pod；前開式晶圓傳送盒)120對各種製造裝置及倉儲104等之搬送，並且於倉儲104中進行FOUP 120之收容或保管。
FOUP 120係於倉儲104中被收容及保管之貨物，且 收容有複數片之半導體晶圓之匣盒。FOUP 120係藉由移行車102沿著軌道R被搬送，並且為了於倉儲104內進行入出庫或保管位置之調整而被搬送。FOUP 120具備有：FOUP本體，其於前方側形成有開口，並且於上表面具有供移行車102所把持(保持)之上部凸緣122；及蓋部(未圖示)，其將FOUP本體之開口封閉。於FOUP 120之FOUP本體之前方側，設置有前部凸緣123。前部凸緣123係對應於蓋部所安裝之位置對應之FOUP本體之周緣朝外側方向突出之部分。FOUP 120收容例如口徑為300mm或450mm之半導體晶圓。FOUP 120於將半導體晶圓搬進搬出時打開蓋部，並於除此以外時將蓋部閉合而可將內部保持為氣密。
移行車102係以線性馬達為動力源之OHT(Overhead Hoist Transport：高架移行車)。移行車102沿著軌道R移行。移行車102搬送FOUP 120，並且構成為可於軌道R之既定位置停止，並於與各種製造裝置及倉儲104等所分別具備之埠132、133之間移載FOUP 120。移行車102具備有未圖示之起重機、傳送帶及夾具。移行車102之各部係由移行車控制器108所控制。
倉儲104係可收容複數個由移行車102所搬送之FOUP 120之保管裝置。倉儲104具備有本體部(框體)130、複數個(此處為2個)埠132、133、複數個棚架134、自動搬送裝置(移載裝置)136、及取出裝置1(參照圖4)。
於本體部130設置有複數個(此處為2個)開口部K1、K2。開口部K1、K2係設置於本體部130之一側面。於開口部K1、K2配置有埠132、133。又，於本體部130之一側面設置有用以供作業者出入之門D。
埠132、133係經由開口部K1、K2跨越本體部130之內部及外部而設置。埠132、133係構成為可於移行車102與倉儲104之間移載FOUP 120。埠132、133具備有可使FOUP 120移動之滑動機構。
如圖2所示，棚架134係於本體部130之內部，沿上下方向設置有複數段(此處為8段)。棚架134係對向地配置。於對向之棚架134之間，形成有空間S。如圖3所示，棚架134具有載置FOUP 120之載置部134a、及支撐固定載置部134a之固定部134b。
載置部134a為板狀之構件，於俯視時呈大致U字狀。於載置部134a形成有朝前方開口之開口部135。亦即，載置部134a抵接於FOUP 120之寬度方向之兩端部及後端部。又，於載置部134a設置有複數個(此處為3個)定位銷134c。定位銷134c呈圓柱狀，且自載置部134a之上表面(載置面)突出。定位銷134c係於FOUP 120被載置於載置部134a時，被插入至在FOUP 120之底部所形成之定位孔124。定位銷134c進行FOUP 120之定位，並且限制FOUP 120朝向前後左右方向之移動。
固定部134b於俯視時呈大致U字狀，且被設置於載置部134a之下部。固定部134b例如藉由螺栓被固定於在本體部130內所配設之框架(未圖示)。
棚架134之上下方向之間隔，只要為在定位銷134c自FOUP 120之定位孔124脫離(FOUP 120被抬起至較定位銷134c之上端面更上方)時不與上方之棚架134干涉之程度即可。亦即，棚架134之間隔只要為定位銷134c之高度與FOUP 120之高度相加 所得之尺寸左右即可。藉由如此之構成，可提升倉儲104中FOUP 120之收納效率。
回到圖1及圖2，自動搬送裝置136係藉由倉儲控制器110之控制，而可於複數個棚架134間、及埠132、133與棚架134之間自動地搬送FOUP 120之堆高起重機。自動搬送裝置136係設置為可於本體部130內之空間S移動自如。
搬送指示部106係MCS(物料控制系統；Material Control System)。搬送指示部106係構成為基於作為主控制器之製造指示部(未圖示)之半導體元件製造排程來製成搬送排程，並根據該搬送排程而可控制移行車控制器108及倉儲控制器110。搬送指示部106對移行車控制器108指示藉由移行車102所進行FOUP 120之搬送，並且對倉儲控制器110指示於倉儲104內部所進行FOUP 120之搬送。
移行車控制器108係構成為可藉由搬送指示部106之指示來控制移行車102，而執行沿著軌道R之FOUP 120之搬送，並且執行在與各種製造裝置及倉儲104等之間所進行FOUP 120之移載。
倉儲控制器110係構成為可藉由搬送指示部106之指示來控制埠132、133及自動搬送裝置136之各部，而於與移行車102之間經由埠132、133執行FOUP 120之移載(入庫或出庫)，並且控制自動搬送裝置136，執行於倉儲104內部所進行FOUP 120之搬送(保管裝置內搬送)。
[取出裝置]
其次，對在具有前述之構成之倉儲104內部所使用之取出裝置 1進行說明。取出裝置1係用以於倉儲104內部藉由手動將FOUP 120自棚架134取出之裝置。取出裝置1係構成為例如於自動搬送裝置136無法使用之情形時，可將FOUP 120取出至棚架134之近前之空間S(參照圖2)。於圖4中，分別設定前後方向、左右方向、及上下方向。再者，有時亦將左右方向稱為寬度方向、而將上下方向稱為高度方向。
如圖4~圖7之任一者所示，取出裝置1具備有主框架3、第1副框架5及第2副框架7、連結部9、11、第1支撐部(第1支撐部)13、第1把手(第1把持部)15及第2把手(第2把持部)17、第2支撐部(第2支撐部、支撐部)19、以及第1安裝部27及第2安裝部28。主框架3、第1副框架5及第2副框架7、連結部9、11、第1支撐部13、第1把手15及第2把手17、第2支撐部19、以及第1安裝部27及第2安裝部28，例如由不鏽鋼等金屬所形成。
主框架3係藉由例如對板狀之構件進行彎曲加工而成形。主框架3之前表面3a呈大致矩形狀。主框架3，其上部3b朝後側被折彎。上部3b，其剖面呈大致L字狀。上部3b之上表面為平面。
第1副框架5及第2副框架7係設置於主框架3之寬度方向(左右方向)之兩端部。第1副框架5及第2副框架7具有相同之構成。以下，以第1副框架5為一例具體地進行說明。
第1副框架5具有第1框架5a、及第2框架5b。第1框架5a相對於主框架3之前表面3a，朝向後方側向斜上方延伸。第1框架5a之後方側之端部，位於較第1支撐部13更上方。
第2框架5b具有第1部分5c、及第2部分5d。第1 部分5c相對於主框架3之前表面3a，朝向後方側向斜下方延伸。第1部分5c之延伸方向相對於前表面3a所成之角度，例如與第1框架5a相對於前表面3a所成之角度相同。第2框架5b之第1部分5c係與第1框架5a一體地被設置。亦即，第1框架5a與第1部分5c呈大致V字狀。
第2部分5d係連結於第1部分5c之一端部，且延伸至較第1部分5c更後方。第2部分5d朝與第1部分5c之延伸方向交叉之方向延伸。具體而言，第2部分5d朝與主框架3之前表面3a大致正交之方向(前後方向)延伸。第2部分5d之後方側之端部，位於較第1支撐部13更下方。第1框架5a之後方側之端部與第2框架5b之第2部分5d之後方側之端部，係設置於高度方向(上下方向)上相同之位置。再者，第1部分5c與第2部分5d亦可被一體地成形。
第2副框架7具有第1框架7a、及第2框架7b。第2框架7b具有第1部分7c、及第2部分7d。
於第1副框架5與第2副框架7之間，設置有補強構件6。補強構件6係為了確保第1副框架5及第2副框架7之剛性而被設置之構件。補強構件6例如為圓柱狀之構件。補強構件6係跨越第1副框架5與第2副框架7而被架設。於本實施形態中，補強構件6設置有2個。補強構件6只要適當地被配置於除後述之第1把手15及第2把手17之安裝位置以外之部分即可。補強構件6只要根據設計被適當地設定設置數量即可，亦可不設置。
連結部9、11係連結於在後述之鏈滑車(移動裝置)140之鏈條(連結構件)142所設置之鉤(未圖示)。連結部9、11係固定於 主框架3之上部3b。連結部9、11例如藉由焊接、或螺栓緊固等，而被固定於主框架3之上部3b。連結部9、11係於主框架3之上部3b，沿著主框架3之寬度方向隔開既定間隔而配置有2個。連結部9、11具有環狀之連結部分9a、11a。上述鏈條142之鉤係鈎在連結部分9a、11a上。
第1支撐部13為板狀之構件，用以支撐FOUP 120之底面。第1支撐部13係設置於主框架3之前側。第1支撐部13位於主框架3之下部，且突出至較主框架3之前表面3a更前方。第1支撐部13之支撐面13a(上表面)為平面。支撐面13a朝與主框架3之前表面3a大致正交之方向延伸。第1支撐部13之長度尺寸(自主框架3之前表面3a向前方突出之尺寸)，係設定為可支撐FOUP 120之前方部。所謂FOUP 120之前方部係較FOUP 120之中央部更前側之部分。第1支撐部13之寬度尺寸係設定為可插入載置部134a之開口部135之尺寸。亦即，第1支撐部13之寬度尺寸，係設定為相互對向之一對之載置部134a(參照圖3)之間隔以下。
第1把手15及第2把手17，係安裝於第1副框架5及第2副框架7。第1把手15及第2把手17，係由作業者所把持。第1把手15及第2把手17分別為圓柱狀之構件。第1把手15係配置於第1副框架5及第2副框架7之第1框架5a、7a之後方側之端部。具體而言，第1把手15係架設於第1副框架5之第1框架5a與第2副框架7之第1框架7a之間。藉此，第1把手15沿著寬度方向延伸。第1把手15係隔著被固定於主框架3之連結部9、11，被設置於與第1支撐部13之相反側且較第1支撐部13更上方。
第2把手17係配置於第1副框架5及第2副框架7之第2框架5b、7b中之第2部分5d、7d之後方側之端部。具體而言，第2把手17係架設於第1副框架5之第2框架5b中之第2部分5d、與第2副框架7之第2框架7b中之第2部分5d之間。藉此，第2把手17沿著寬度方向延伸。第2把手17係隔著被固定於主框架3之連結部9、11被設置於與第1支撐部13之相反側且較第1支撐部13更下方。第1把手15與第2把手17，係配置於高度方向上對向之位置。
第2支撐部19具有第1卡止部21、及第2卡止部23。第1卡止部21限制由第1支撐部13所支撐之FOUP 120之上下方向之移動。第1卡止部21係配置於主框架3之前表面3a側。第1卡止部21係藉由例如對板狀之構件進行彎曲加工而成形。第1卡止部21具有朝高度方向延伸之本體部21a、及被設置於本體部21a之上部之鉤部21b。本體部21a與鉤部21b係一體地設置。
本體部21a係設置為可相對於主框架3朝高度方向移動。本體部21a，其下端部被收容於在主框架3之前表面3a所配置之收容部3c。本體部21a係藉由被收容於收容部3c，而由主框架3所保持。本體部21a係可朝高度方向移動自如地被收容於收容部3c內。本體部21a藉由被配置於第1把手15之桿22之操作，而朝高度方向移動。具體而言，本體部21a係藉由未圖示之彈性構件被向下賦能。本體部21a與桿22係藉由線22a所連接。若桿22被操作，本體部21a便藉由線22a向上方被拉起。藉此，本體部21a向上方移動。若桿22之操作被解除，本體部21a便藉由彈性構件之賦能力而向下方移動。本體部21a，其初始位置係桿22未被操作時之位 置、即位於最下方之狀態。
鉤部21b係本體部21a之上部朝前側被折彎而形成。亦即，鉤部21b係設置於較第1支撐部13更上方。鉤部21b，其剖面呈大致L字狀。如圖6及圖8(b)所示，鉤部21b卡合於FOUP 120之前側之前部凸緣123。如圖8(a)所示，若本體部21a藉由桿22之操作向上方移動時，鉤部21b便伴隨著該移動而向上方移動。若桿22之操作被解除而本體部21a向下方移動，鉤部21b便卡合於FOUP 120之前部凸緣123。鉤部21b之前端部與本體部21a之間之尺寸，係設定為前部凸緣123之厚度左右。
第2卡止部23限制由第1支撐部13所支撐之FOUP 120之寬度方向之移動。第2卡止部23具有框架體24、及卡止具25。框架體24為板狀之構件，且呈框狀。框架體24，其外形呈大致長方形狀。框架體24係配置於主框架3與第1卡止部21之間。具體而言，框架體24係以長邊方向沿著寬度方向之方式使其下端部被固定於主框架3之前表面3a之上側。框架體24之寬度尺寸，大於主框架3之寬度尺寸。具體而言，框架體24之寬度尺寸，大於FOUP 120之寬度尺寸。
卡止具25係配置於框架體24之各角部。卡止具25具有鉤部分25a、操作桿25b、將鉤部分25a與操作桿25b連結之棒狀之連結部分25c、及支撐連結部分25c之支撐部分25d。支撐部分25d為筒狀之構件，且被配置於框架體24之後表面。連結部分25c，其剖面呈圓形狀。連結部分25c係插通於支撐部分25d，並且被插通於朝厚度方向貫通框架體24之貫通孔(未圖示)。連結部分25c係可旋轉地由支撐部分25d所支撐。
鉤部分25a係設置於連結部分25c之前端部。鉤部分25a係使連結部分25c之前端部呈大致L字狀地彎曲而形成。鉤部分25a卡合於FOUP 120之前部凸緣123。操作桿25b係設置於連結部分25c之後端部。
卡止具25根據操作桿25b之操作，進行藉由鉤部分25a之前部凸緣123之卡止及其解除。具體而言，卡止具25係以使操作桿25b自如圖9(a)所示般鉤部分25a之延伸方向朝高度方向延伸之位置，成為如圖9(b)所示般鉤部分25a之延伸方向朝寬度方向延伸之方式被操作，藉此使鉤部分25a與前部凸緣123卡合，從而限制FOUP 120之左右方向之移動。卡止具25係構成為在藉由操作桿25b之操作使鉤部分25a旋轉之位置，保持鉤部分25a之狀態(位置)。
第1安裝部27係設置於第1副框架5。第2安裝部28係設置於第2副框架7。第1安裝部27及第2安裝部28分別為板狀之構件，且呈大致L字狀。第1安裝部27及第2安裝部28可裝卸地支撐複數個(於本實施形態中為4個)配重構件30。配重構件30例如由不鏽鋼等金屬所形成，且呈圓柱狀。配重構件30係架設於第1安裝部27及第2安裝部28，且由第1安裝部27及第2安裝部28所支撐。具體而言，第1安裝部27及第2安裝部28自配重構件30之兩端部插入銷而支撐配重構件30。藉由配重構件30，於取出裝置1中，可調整第1把手15及第2把手17側之重量。
[藉由取出裝置之FOUP之取出方法]
接著，對使用取出裝置1之FOUP 120之取出方法進行說明。 首先，將被設置於圖2所示之鏈滑車140之鏈條142之鉤，安裝於取出裝置1之連結部9、11。如圖2所示，鏈滑車140係安裝於在本體部130之天花板所設置之鉤(未圖示)。鉤係於本體部130之天花板，隔開既定之間隔而配置有複數個。鏈滑車140係安裝於被配置在離取出對象之FOUP 120最近之位置之鉤。鏈滑車140係構成取出裝置1之一元件。再者，鏈條142亦可被預先安裝於取出裝置1之連結部9、11。又，連結部9、11與鏈條142之連結手段，亦可為鉤以外之手段。鏈滑車140亦可被垂吊於在本體部130之天花板所設置之軌道。
其次，使取出裝置1位於收容有取出對象之FOUP 120之棚架134之前。接著，將取出裝置1之第1支撐部13插入FOUP 120之下方，使第1支撐部13之支撐面13a抵接於FOUP 120之底部。又，對桿22進行操作，將第1卡止部21之鉤部21b鈎住FOUP 120之前部凸緣123，而藉由鉤部21b來卡止前部凸緣123。又，對卡止具25之操作桿25b進行操作，而藉由鉤部分25a來卡止前部凸緣123。
接著，對鏈滑車140進行操作，將取出裝置1向上方拉起。此時，以將FOUP 120抬起至較被設置於載置部134a之定位銷134c之上端面更高之位置之方式，藉由鏈滑車140將取出裝置1抬起。然後。於該狀態下對第1把手15及/或第2把手17進行操作使取出裝置1移動至近前，而將FOUP 120自棚架134取出。如上所述，FOUP 120係藉由取出裝置1而被取出。
如以上所說明，本實施形態之取出裝置1具備有自FOUP 120之前方側支撐貨物之前方部之第1支撐部13。因此，即 便於FOUP與棚架134之間隙狹窄之情形時，由於支撐FOUP 120之前方部，所以可不需在狹窄之間隙進行作業便支撐FOUP 120。又，第1支撐部13係經由鏈條142被連結於連結部9、11之鏈滑車140，藉此可沿上下方向移動。因此，在由第1支撐部13支撐FOUP 120之狀態下利用鏈滑車140使第1支撐部13向上方移動，藉此可將FOUP 120自棚架134抬起。藉此，取出裝置1可容易地將FOUP 120自棚架134取出，而可謀求作業性之提升。又，於將FOUP 120自棚架134取出時，第1支撐部13成為經由連結部9、11而由鏈滑車140所垂吊之狀態。此時，取出裝置1因FOUP 120之重量而朝FOUP 120側傾斜。因此，於取出裝置1中，第1把手15及第2把手17係隔著連結部9、11被設置於與第1支撐部13之相反側。藉由該構成，由於可藉由第1把手15及第2把手17容易地施加對抗因FOUP 120之重量所導致第1支撐部13之傾斜之力，因此可容易地保持取出裝置1之平衡。因此，由於可穩定地對取出裝置1進行操作，所以可謀求作業性之提升。
於本實施形態中，第1支撐部13支撐FOUP 120之底面。藉此，可穩定地支撐FOUP 120。又，取出裝置1具備有第1卡止部21及第2卡止部23。藉此，可防止由第1支撐部13所支撐之FOUP 120之位置偏移。因此，可穩定地取出FOUP 120。
於本實施形態中，第1卡止部21具有位於較第1支撐部13更上方之鉤部21b，用以限制FOUP 120之上下方向之移動。根據該構成，可防止底面由第1支撐部13所支撐之FOUP 120朝後方側傾斜。因此，可穩定地取出FOUP 120。
於本實施形態中，取出裝置1具備有被設置於第1把 手15及第2把手側且可裝卸地支撐配重構件30之第1安裝部27及第2安裝部28。根據該構成，配合FOUP 120之重量將配重構件30安裝於第1安裝部27及第2安裝部28，藉此可根據FOUP 120之重量來調整平衡。藉此，可進一步穩定地取出FOUP 120。
於本實施形態中，取出裝置1具備有位於較第1支撐部13更上方之第1把手15、及位於較第1支撐部13更下方之第2把手17。根據該構成，由於可把持第1把手15及第2把手17之2個部位來進行操作，因此可更穩定地取出FOUP 120。
於本實施形態中，第1把手15及第2把手17沿著左右方向延伸。根據該構成，可藉由第1把手15及第2把手17更容易地施加對抗因FOUP 120之重量所導致第1支撐部13之傾斜之力。
本發明並不限定於本實施形態。例如，於上述實施形態中，雖已以藉由第1支撐部13自下方支撐FOUP 120之形態為一例進行說明，但支撐部之構成並不限定於此。例如，支撐部亦可為藉由夾持FOUP 120之前部凸緣123來支撐FOUP 120之形態。
於上述實施形態中，雖已以取出裝置1之各部係由不鏽鋼等金屬所形成之形態為一例進行說明，但構成各部之材料並不限定於此。構成各部之材料只要為可確保剛性者即可。
於上述實施形態中，雖已以第1支撐部13支撐FOUP 120之底面之形態為一例進行說明，但支撐部只要為自FOUP 120之前方側支撐FOUP 120之前方部之構成即可。例如，支撐部亦可為夾持FOUP 120之前部凸緣123而支撐FOUP 120之構成。
於上述實施形態中，雖已以第1把手15及第2把手 17沿著左右方向延伸之形態為一例進行說明，但第1把手15及第2把手17之構成並不限定於此。第1把手15及第2把手17亦可僅設置有兩者中之任一者。又，亦可為第1把手及第2把手沿著高度方向延伸之形態。又，把手之位置亦只要根據設計而適當設定即可。
於上述實施形態中，雖已以第2支撐部19具有第1卡止部21及第2卡止部23之形態為一例進行說明，但亦可為僅設置第1卡止部21及第2卡止部23中之任一者之形態。於未設置第1卡止部21之情形時，第1支撐部13較佳為支撐FOUP 120之前方部及後方部之構成。藉此，可避免FOUP 120朝後方側傾斜等之情況，而可穩定地支撐FOUP 120。
於上述實施形態中，雖已以具備有連結部9及連結部11之2個連結部之形態為一例進行說明，但連結部只要設置1個以上即可。
於上述實施形態中，雖已以第1卡止部21之本體部21a藉由桿22之操作而沿上下方向移動之形態為一例進行說明，但使本體部21a移動之手段並不限定於桿22。
於上述實施形態中，雖已以使第1卡止部21之本體部21a沿上下方向移動而進行鉤部21b之前部凸緣123之卡合及該卡合之解除從而限制FOUP 120之上下方向之移動的形態為一例進行說明，但FOUP 120之上下方向之移動之限制亦可為其他手段。同樣地，FOUP 120之左右方向之移動之限制並不限定於第2卡止部23之形態，亦可為其他手段。
於上述實施形態中，雖已以取出裝置1包含於倉儲104之形態為一例進行說明，但取出裝置1亦可為根據需要而設置 於倉儲104之形態。
於上述實施形態中，作為貨物之一例，雖已例示作為半導體搬送用匣盒之一種之FOUP來進行說明，但貨物並不限定於FOUP。例如，貨物亦可為FOSB(前開式運輸箱；Front-Opening Shipping Box)、MAC(多功能搬運器；Multi-Application Carrier)、晶圓‧框架‧匣盒等。取出裝置1可使用於該等半導體搬送用匣盒之取出。

Claims (6)

  1. 一種取出裝置，其係於具備有貨物經由朝前方開口之開口部被搬進搬出之棚架之保管裝置中，用以將上述貨物經由上述開口部而自上述棚架取出者；其具備有：支撐部，其自上述貨物之前方側支撐上述貨物之前方部；連結部，其經由連結構件被連結於可使上述支撐部沿上下方向移動之移動裝置；及把持部，其隔著上述連結部被設置在與上述支撐部之相反側。
  2. 如請求項1之取出裝置，其中，上述支撐部具有：第1支撐部，其支撐上述貨物之底面；及第2支撐部，其限制由該第1支撐部所支撐之上述貨物之移動。
  3. 如請求項2之取出裝置，其中，上述第2支撐部係設置於較上述第1支撐部更上方，用以限制上述貨物之上下方向之移動。
  4. 如請求項1至3中任一項之取出裝置，其中，其具備有被設置於上述把持部側，而可裝卸地支撐配重構件之安裝部。
  5. 如請求項1至3中任一項之取出裝置，其中，上述把持部具有：第1把持部；及第2把持部，其係配置於較上述第1把持部更下方。
  6. 一種保管裝置，其具備有：框體；棚架，其於上述框體內具備有複數個，且貨物經由朝前方開口之開口部被搬進搬出；埠，其進行上述貨物之入出庫；移載裝置，其於上述棚架與上述埠之間移載上述貨物；及取出裝置，其用以經由上述開口部將上述貨物自上述棚架取出至前方；上述取出裝置具備有：支撐部，其自上述貨物之前方側支撐上述貨物之前方部；連結部，其經由連結構件被連結於可使上述支撐部沿上下方向移動之移動裝置；及把持部，其隔著上述連結部被設置在與上述支撐部之相反側。
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