JP2584998Y2 - ウェハキャリア保持機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ウェハキャリアの保持
・搬送に使用するウェハキャリア保持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、製造対象物で
あるウェハは、ウェハキャリアに収納されて製造装置、
或いは検査装置にセットされる。このウェハキャリアは
通常キャリアボックス内に収納されて保管・搬送され、
ウェハの加工時、キャリアボックスから取り出されるこ
とで、装置にセットされる。そして、ウェハキャリアは
目的の加工を修了したウェハが収納された後、装置から
外され、再びキャリアボックスに収納される。この時、
ウェハキャリアを直接手で扱うことは、ウェハを無塵状
態に保つ上で好ましくない。その為、ウェハキャリアの
保持・搬送は、大日商事株式会社カタログ（フロロウエ
アＣＡＴ．Ｎｏ．２０５）に記載されるようなウェハキ
ャリア保持具（ハンドル）を用いることで行われてい
た。

【０００３】これらのハンドルを図６（ａ）（ｂ）
（ｃ）及び図７（ａ）（ｂ）に基づいて説明する。図６
は二つの引掛部が設けられたハンドルによる従来の保持
機構を表す説明図である。図６（ａ）に示すように、鉛
直面状となった板状の本体１の一方の面には把持部３が
突設され、本体１の他方の面の上部には鉤爪状の第一引
掛部５が一対突設されている。また、本体１の他方の面
の下部には縁部が上方に折曲されて鉤爪状となった第二
引掛部７が突設され、本体１、把持部３、第一引掛部
５、第二引掛部７によりハンドル９が構成されている。
このように構成されたハンドル９は、図６（ｂ）に示す
ように、ウェハキャリア１１前面のフランジ１１ａの上
部開口から第一引掛部５を挿入し、第一引掛部５をその
ままフランジ１１ａの内側を下方へすべらせた後、第二
引掛部７をウェハキャリア前面下方の縁１１ｂに引掛け
ることにより、ウェハキャリア１１への装着を行うので
ある。

【０００４】また、図７は引掛部にストッパを設けたハ
ンドルによる従来の保持機構を表す説明図である。図７
（ａ）に示すように、鉛直面状となった板状の本体１３
の一方の面には把持部１５が突設され、本体１３の他方
の面の両側には縁部が向かい合って折曲されて鉤爪状と
なった引掛部１７が突設されている。つまり、引掛部１
７と本体１３の間にはスリット１９が形成されることに
なる。引掛部１７の下部にはスリット１９からの抜け落
ちを防ぐストッパ２１が形成され、本体１３、把持部１
５、引掛部１７、ストッパ２１によりハンドル２３が構
成されている。このように構成されたハンドル２３は、
図７（ｂ）に示すように、スリット１９の中へフランジ
１１ａを挿入するように、引掛部１７をウェハキャリア
１１前面のフランジ１１ａの下方から持ち上げ、フラン
ジ１１ａの下縁をストッパ２１に当てることにより、ウ
ェハキャリア１１への装着を行うのである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】通常ウェハキャリア１
１は、図５に示すように、キャリアボックス２５内に収
納されて保管、或いは搬送される。したがって、所定の
工程に搬送されたウェハキャリア１１は、先ずキャリア
ボックス２５から取り出す必要がある。しかしながら、
ハンドル９では、図６（ｃ）に示すように、第一引掛部
５をフランジ１１ａに引っ掛けた後、フランジ１１ａの
内側を下方へすべらせ、第二引掛部７をウェハキャリア
前面下方の縁１１ｂに引っ掛けるためには、第一引掛部
５を中心に第二引掛部７が回転される余裕Ｘが必要とな
る。そのため、キャリアボックス２５の内周２７とウェ
ハキャリア前面１１ｃの間には、余裕Ｘと同等以上の空
間Ｙが必要となっていた。したがって、空間Ｙが確保で
きない場合には、ハンドル９は使用することができなか
った。

【０００６】また、ハンドル２３では、ウェハキャリア
１１がキャリアボックス２５に収納された状態におい
て、図７（ｂ）に示すように、フランジ１１ａの下縁が
キャリアボックス２５の上縁２９より下方となるため、
上縁２９が障害となって引掛部１７をフランジ１１ａに
装着することができなかった。

【０００７】本考案は上記状況に鑑みてなされたもの
で、フランジ等を有効に利用することで、従来では装着
できない狭い空間でもハンドルの装着が可能になるとと
もに、従来ハンドルを挿入することができないキャリア
ボックスに入ったウェハキャリアへもハンドルの装着が
でき、且つウェハキャリアを水平・垂直に保持自在なウ
ェハキャリア保持機構を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本考案に係るウェハキャリア保持機構の構成は、ウェ
ハキャリアとこれを保持するためのウェハキャリア保持
具とからなるウェハキャリア保持機構であって、前記ウ
ェハキャリアはその一側面に前記一側面と略平行でその
一側面との間に所定間隔の間隙部を有する一対の支持部
とこれら一対の支持部の間に設けられた凹部とを備え、
前記ウェハキャリア保持具は前記一対の支持部に対応し
その支持部が有するそれぞれの間隙部に挿入可能に突設
された一対の引掛部を備え前記引掛部を用いて前記ウェ
ハキャリアを保持するように構成され、前記支持部は前
記一側面の上方側で前記ウェハキャリアの底面から所定
距離離れた位置に配置されており、前記引掛部は前記凹
部内の空間に収まる大きさで突設されるとともに略鉛直
方向の大きさが前記ウェハキャリアの底面から前記支持
部の下端までの間の距離よりも小さく形成されたことを
特徴とする。

【０００９】

【作用】ウェハキャリアがキャリアボックス内に収納さ
れている際、支持部間に設けられた凹部空間が利用さ
れ、ウェハキャリア保持具の一方の引掛部が凹部空間に
沿ってキャリアボックス内に挿入されるとともに、他方
の引掛部がウェハキャリアの一側面の外側の空間に沿っ
てキャリアボックス内に挿入され、引掛部が支持部の下
端より下になるまで入ったところで横方向への移動の後
に上方へ引き上げられることで、従来では挿入が不能で
あった狭い空間でウェハキャリアがウェハキャリア保持
具に装着されるようになる。

【００１０】

【実施例】以下、本考案に係るウェハキャリア保持機構
の好適な一実施例を図面を参照して説明する。図１は本
考案に係るウェハキャリア保持機構におけるハンドルが
挿入された状態を表す平面図、図２は本考案に係るウェ
ハキャリア保持機構におけるハンドルを表す斜視図、図
３はウェハキャリアへのハンドルの装着状況を表す説明
図、図４は図３のＡ部詳細を表す平面図である。図２に
示すように、鉛直面状となった板状の本体３１の一方の
面には柄部３３が突設され、柄部３３の先端には把持部
３５が形成されている。把持部３５は、作業者が本体３
１の他方の面側に装着されるウェハキャリアを、水平・
垂直に自在に操作できるように本体３１に対して最適な
角度となっている。本体３１の他方の面の両側下端には
鉛直面状で、且つこの他方の面に直交する板片状の連結
部３７が折曲されている。それぞれの連結部３７の先端
には鉛直面状で且つこの他方の面に直交するとともに、
上方に向かって伸びる矩形板状の引掛部３９が形成され
ている。したがって、引掛部３９と本体３１の間にはス
リットが形成され、スリットの下端に位置する連結部３
７はストッパとして作用するようになっている。本体３
１、把持部３５、連結部３７、引掛部３９により、ウェ
ハキャリア保持具（ハンドル）４１が構成されている。

【００１１】一方、図３に示すように、ウェハキャリア
１１の前面両側には前面と平行な一対のフランジ１１ａ
が形成され、フランジ１１ａは互いに隣接する側の一辺
がウェハキャリア１１に接続されている。フランジ１１
ａは隣接する側の一辺が接続されることで、他辺が突出
状態となっている。ところで、図４に示すように、フラ
ンジ１１ａの近傍はフランジ１１ａに沿って上下方向に
伸びる凹部１１ｄとなっている。凹部１１ｄはウェハキ
ャリア１１の前面１１ｃよりウェハキャリア１１の内部
側に引っ込んでいる。図１に示すように、ウェハキャリ
ア１１がキャリアボックス２５内に収納された際、凹部
１１ｄにはキャリアボックス２５の内周面との間に空間
１１ｅが形成されるようになっている。そして、上述の
ハンドル４１の引掛部３９は、この空間１１ｅに挿入で
きる程に十分に小さく形成されているのである。

【００１２】このように構成されるウェハキャリア保持
機構において、図３に示すように、ウェハキャリア１１
がキャリアボックス２５（図５参照）の外にある場合に
は、フランジ１１ａの内側にハンドル４１の引掛部３９
を下方から上方に向けて挿入し、連結部３７をフランジ
１１ａの下端に当接させる。引掛部３９がフランジ１１
ａの内側に挿入され、連結部３７がフランジ１１ａの下
端に当接することで、ハンドル４１はウェハキャリア１
１への装着が完了する。この時、ウェハキャリア１１が
ハンドル４１に確実に固定されるよう、本体３１と引掛
部３９とのスリットは、フランジ１１ａの寸法に合わせ
て最適な間隔にする。このようにして、装着が完了した
後は、ハンドル４１の把持部３５を持ってウェハキャリ
ア１１が水平・垂直に自在に操作される。そして、ウェ
ハキャリア１１を目的の装置に装着した後は、上述と逆
の手順でハンドル４１がウェハキャリア１１から外され
る。

【００１３】一方、図５に示すように、ウェハキャリア
１１がキャリアボックス２５内に収納されている場合に
は、フランジ１１ａ近傍の空間１１ｅ（図１参照）を利
用し、ハンドル４１の一方の引掛部３９をキャリアボッ
クス２５の上方から空間１１ｅに沿って挿入するととも
に、他方の引掛部３９を他方のフランジ１１ａの外側
（図１参照）の空間に沿ってキャリアボックス２５内に
挿入し、引掛部３９の上端がフランジ１１ａの下端より
下になるまで入ったところで、ハンドル４１を横へずら
して引掛部３９が両方共にフランジ１１ａの内側に入る
位置まで移動させ、ハンドル４１を上方へ引き上げる。
以後は上述同様、連結部３７をフランジ１１ａの下端に
当接させることで、ハンドル４１のウェハキャリア１１
への装着が完了する。装着が完了した後は、上述同様、
ハンドル４１の把持部３５を持ってウェハキャリア１１
が水平・垂直に自在に操作される。また、逆にハンドル
４１に固定されたウェハキャリア１１をキャリアボック
ス２５内に収納する際は、上述の装着時と全く逆の手順
をもって行うことができる。

【００１４】本考案に係るウェハキャリア保持機構は、
上述したように、手動による搬送器具として用いられる
他、例えば搬送ロボットのマジックハンドにも用いるこ
とができ、それにより、保持機構の専有スペースをコン
パクトなものにすることができる。

【００１５】

【考案の効果】以上詳細に説明したように、本考案に係
るウェハキャリア保持機構は、ウェハキャリア保持具の
引掛部がウェハキャリア凹部内の空間に挿入可能な程の
大きさで形成されているので、一方の引掛部を空間に沿
ってキャリアボックス内に挿入するとともに、他方の引
掛部をフランジの外側の空間に沿ってキャリアボックス
内に挿入し、その後引掛部が支持部の下端より下になる
まで入ったところで横方向に移動して上方へ引き上げる
ことで、従来では挿入が不能であった狭い空間でもウェ
ハキャリア保持具をウェハキャリアへ装着することがで
きる。また、本考案に係るウェハキャリア保持機構を利
用すれば、ウェハキャリアへのウェハキャリア保持具装
着の為の空間を確保する必要がなく、コンパクトな自動
搬送系を構築することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るウェハキャリア保持機構のハンド
ルが挿入された状態を表す平面図である。

【図２】本考案に係るウェハキャリア保持機構のハンド
ルを表す斜視図である。

【図３】ウェハキャリアへのハンドルの装着状況を表す
説明図である。

【図４】図３のＡ部詳細を表した平面図である。

【図５】キャリアボックスに収納されたウェハキャリア
を表す斜視図である。

【図６】二つの引掛部が設けられたハンドルによる従来
の保持機構を表す説明図である。

【図７】引掛部にストッパを設けたハンドルによる従来
の保持機構を表す説明図である。

【符号の説明】

１１ ウェハキャリア １１ａ フランジ １１ｄ 凹部 １１ｅ 凹部内の空間 ３９ 引掛部 ４１ ウェハキャリア保持具（ハンドル）

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハキャリアとこれを保持するための
   ウェハキャリア保持具とからなるウェハキャリア保持機
   構であって、 前記ウェハキャリアは、その一側面に、前記一側面と略
   平行で該一側面との間に所定間隔の間隙部を有する一対
   の支持部と、これら一対の支持部の間に設けられた凹部
   とを備え、 前記ウェハキャリア保持具は、前記一対の支持部に対応
   し該支持部が有するそれぞれの間隙部に挿入可能に突設
   された一対の引掛部を備え、前記引掛部を用いて前記ウ
   ェハキャリアを保持するように構成され、 前記支持部は、前記一側面の上方側で前記ウェハキャリ
   アの底面から所定距離離れた位置に配置されており、 前記引掛部は、前記凹部内の空間に収まる大きさで突設
   されるとともに、略鉛直方向の大きさが前記ウェハキャ
   リアの底面から前記支持部の下端までの間の距離よりも
   小さく形成された ことを特徴とするウェハキャリア保持
   機構。