JP4296296B2 - 薄型ウエハー挿入体 - Google Patents
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Description
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- 内部で少なくとも一つの薄型ウエハーを支えるウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、複数のスロットを提供する複数の対向リブを有する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するキャリア部と、
前記複数のスロットの一つにフィットし、プレートを含む挿入体と、
を含んでおり、
前記プレートは一対の対向側端部を含み、それぞれの前記側端部はそのスロット内で前記挿入体をその場で固定するように前記複数のスロットの前記一つと摩擦係合するために提供される複数のタブ構造を含み、前記プレートはさらに上方に突起した複数のウエハーサポートを有し、前記ウエハーサポートは前記ウエハーの周囲部が前記複数のスロットの分離した一つ内に位置した状態で前記挿入体の上方の薄型ウエハーを支えるように提供され、前記ウエハーサポートが提供されることによってロボットウエハー処理道具は前記挿入体と前記ウエハーとの間に挿入できることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。 - 挿入体は下面を有しており、前記下面はその内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項1記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 複数のタブ構造のそれぞれは複数の対向リブの一つの表面に対してバイアスをかけられ、前記タブ構造のそれぞれのバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項1記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 薄型ウエハーは挿入体によって係合されたスロットに隣接する複数のスロットの1スロット内で支えられ、上方に突起する複数のウエハーサポートはそれぞれ隣接するスロット内へ前記隣接するスロットの高さの少なくとも半分まで突起することを特徴とする請求項1記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 少なくとも一つの薄型ウエハーを内部で支えるウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、複数の対向凹部を提供する複数の対向リブを有し、複数のスロットを形成する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するキャリア部と、
上面を有し、一対の対向する側端部を有したプレートを含む通常は平面の挿入体と、
を含んでおり、
前記それぞれの対向する側端部は前記プレートが前記対向側面部の対の中間に支持されるように前記対向側面部の一方と摩擦係合する複数の構造体を有しており、前記複数の構造体と前記対向側面部の摩擦係合は前記対向側面部の中間からの前記挿入体の抜け落ちを防止し、前記プレートはさらに前記上面の上方の薄型ウエハーを支持する手段を持ち、前記薄型ウエハーを支持する手段によってロボットウエハー処理部は前記挿入体と前記薄型ウエハーとの間に挿入できることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。 - 挿入体は複数のスロットの一つ内にフィットでき、複数の構造体のそれぞれは複数のタブ構造を有し、前記タブ構造は複数の対向凹部の1対向凹部ペア内で係合できることを特徴とする請求項5記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 複数のタブ構造のそれぞれは一対の対向凹部内で表面に対してバイアスをかけられ、前記各タブ構造のバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項6記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 複数の構造体のそれぞれは複数の半径方向に沿って突起する二股部を含み、前記二股部のそれぞれはその分岐部の間で複数の対向リブの一つを係合することを特徴とする請求項5記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体上面の上方の薄型ウエハーを支える手段は、前記上面から延長する上方に突起した複数のウエハーサポートを含むことを特徴とする請求項5記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体は下面を有し、該下面は内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項5記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体によって支えられた薄型ウエハーは前記挿入体が配置されたスロットに隣接する複数のスロット中の一スロット内で支持され、前記挿入体の上面上方の薄型ウエハーは前記上面から延長する上方に突起した複数のウエハーサポートによって支持され、各スロットは高さを有し、前記上方に突起する複数のウエハーサポートそれぞれは前記隣接するスロット内へ前記隣接するスロットの少なくとも半分の高さまで突起することを特徴とする請求項6記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- ウエハーキャリア内に少なくとも一つの薄型ウエハーを支える方法であって、
少なくとも上部と、下部と、複数のスロットを提供する複数の対向凹部を有する一対の対向側面部と、開口前面部とを有するウエハーキャリアを提供するステップと、
上面と一対の対向する側端部とを有した略平面の挿入体を形成するステップであって、前記挿入体は前記複数のスロット内の一つにフィットするように形成されており、前記各対向する側端部は前記複数の対応凹部の1つと摩擦係合し、前記凹部からの前記挿入体の抜け落ちに抵抗するように複数の構造体を有しており、前記挿入体は前記複数のスロットの別な1のスロット内で前記ウエハーの周囲の一部と前記上面の上方にて最小限の接触により薄型ウエハーを支持するようにウエハーサポートを有していることを特徴とするステップと、
前記挿入体を前記複数のスロットの一つに配置するステップと、
薄型ウエハーを前記挿入体の前記ウエハーサポート上に搭載するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - ウエハーキャリア内で薄型ウエハーを支えるための挿入体であって、前記ウエハーキャリアは挿入および引き出し方向を有する開口前面部と、一対の側壁部と、上部と、下部とを有し、前記側壁部は複数のスロットを提供する複数の凹部ペアを有しており、挿入体は、前記凹部ペアに挿入されると前記ウエハーキャリアの凹部ペアと摩擦係合し、前記凹部ペアから前記挿入体の抜け落ちを防止するように設計されており、本挿入体は、ウエハーとの接触を提供するために複数の上方に延長するウエハーサポートを有する上面をさらに有することを特徴とする挿入体。
- 挿入体は下面を有し、前記下面は内部に形成された複数の補強リブを有することを特徴とする請求項13記載の挿入体。
- 複数の構造体は複数のタブ構造を含むことを特徴とする請求項13記載の挿入体。
- 複数のタブ構造のそれぞれは凹部ペア内の表面に対してバイアスをかけられ、前記各タブ構造のバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項15記載の挿入体。
- 複数の構造体は半径方向に沿って突起する複数の二股部を含み、それぞれの前記二股部は上部分岐および下部分岐を有し、前記各二股部の前記上部分岐は凹部ペアの一つを係合することを特徴とする請求項13記載の挿入体。
- 内部で少なくとも一つの薄型ウエハーを支持するためのウエハーキャリアおよび挿入体であって、
少なくとも上部と、下部と、対向側面部の対と開口前面部とを有したキャリア部を有しており、前記対向側面部は、複数のスロットを提供する複数の対向凹部を有しており、
本ウエハーキャリアー及び挿入体はさらに、上面を有して略平面状であり、前記対向側面の中間にフィット可能であり、前記対向側面でサポートされるように複数の構造体を有した挿入体を有しており、前記複数の挿入体と前記対向側面の摩擦係合は前記対向側面の対の間から前記挿入体の抜け落ちを防止し、前記挿入体は薄型ウエハーを支持するように上方に向かう複数のウエハーサポートを有しており、前記ウエハーサポートは前記挿入体と前記薄型ウエハーとの間にロボットウエハー処理部を配置させることを特徴とするウエハーキャリアおよび挿入体。 - 挿入体は下面を有し、前記下面は内部に形成された複数の補強リブを含むことを特徴とする請求項18記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 複数の構造体は複数のタブ構造を含んでおり、複数のタブ構造のそれぞれは複数の対向凹部の一つ内で表面に対してバイアスをかけられ、前記タブ構造それぞれのバイアス方向は隣接するタブ構造のバイアス方向と逆であることを特徴とする請求項18記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体は取り外し可能であることを特徴とする請求項1記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体は取り外し可能であることを特徴とする請求項5記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
- 挿入体は取り外し可能であることを特徴とする請求項13記載の挿入体。
- 挿入体は取り外し可能であることを特徴とする請求項18記載のウエハーキャリアおよび挿入体。
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