KR20110061937A

KR20110061937A - 웨이퍼 컨테이너

Info

Publication number: KR20110061937A
Application number: KR1020090118486A
Authority: KR
Inventors: 조승열
Original assignee: 세양전자 주식회사
Priority date: 2009-12-02
Filing date: 2009-12-02
Publication date: 2011-06-10

Abstract

본 발명은 웨이퍼 컨테이너에 관한 것으로서, 본 발명은 반도체 공정에서 웨이퍼 보관중에 웨이퍼 자체의 무게에 의해 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 것을 방지하기 위하여 웨이퍼를 수직으로 보관할 수 있으면서도 수직으로 보관된 웨이퍼의 움직임을 최소화시킬 수 있는 지지부재를 포함하여 웨이퍼의 손상이나 파손을 최소화시켜 웨이퍼를 안전하게 보관할 수 있으면서도 로봇에 의한 웨이퍼의 흡착시 로봇이 웨이퍼의 정위치만을 흡착할 수 있게 한 운송 및 공정용 웨이퍼 컨테이너에 관한 것이다.

웨이퍼, 컨테이너, 지지부재, 슬롯

Description

웨이퍼 컨테이너{Wafer container}

라디오, 텔레비젼 및 컴퓨터등에 사용되어지는 다이오드와 트랜지스터 등의 반도체 소자는 실리콘등의 단결정을 성장시킨 기둥 모양의 봉을 얇게 잘라서 원판 모양으로 만든 웨이퍼로부터 만들어진다. 즉, 실리콘 웨이퍼가 사진공정, 식각공정및 박막 형성공정등 일련의 단위 공정들을 순차적으로 거쳐서 제조되는 것이다. 그런데, 최근 컴퓨터등과 같은 정보매체의 급속한 보급에 따라 반도체 분야도 비약적으로 발전하여, 최근의 반도체 소자를 사용한 장치들은 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장능력을 가질 것이 요구된다. 이와 같은 요건을 충족시키기 위해서는 필수적으로 고집적화가 필요하다.

이러한 고집적화 공정에서는 조그만한 파티클이나 웨이퍼에서의 작은 단차는 심각한 문제를 유지할 수 있으므로, 반도체 제조공정에서는 파티클에 의한 오염을 최소화시켜야 할 뿐 아니라, 웨이퍼 자체가 완전한 평면상태를 유지할 수 있도록 하여야 한다. 그러나 웨이퍼는 제작과정에서 수많은 공정을 거치게 되고, 이 과정에서 수많은 기기들 사이를 운송되어져야 하며, 또한 완성된 웨이퍼는 컨테이너에 실려서 운송될 수도 있다. 이 경우 웨이퍼를 안전하게 운송을 위한 설비로서 웨이퍼 컨테이너를 사용한다.

통상적으로 종래의 웨이퍼 컨테이너는 웨이퍼 운송중에는 수직이나 공정에서는 수평으로 보관하는 형태를 가지게 된다. 문제는 웨이퍼를 수평으로 보관하게 되면, 웨이퍼 자체의 하중에 의해 웨이퍼가 휘거나 구부러질 수 있다는 점이다. 종래의 직경이 작은 웨이퍼의 경우에는 공정의 진행 중에 비교적 짧은 시간동안에 웨이퍼를 수평으로 놓아도 웨이퍼의 직경이 작아서 문제가 발생할 가능성이 낮았지만, 웨이퍼의 크기가 커지면 300mm 이상의 웨이퍼는 웨이퍼 자체의 하중도 무시하지 못할 정도로 크게 되고, 이 경우에는 웨이퍼를 수평으로 보관할 경우에 웨이퍼가 자체 하중에 의해 휘거나 구부러지는 것을 방지하기 어려운 문제가 있다. 특히 직경이 매우 커지는 450mm 이상의 웨이퍼는 비교적 짧은 시간동안이라도 이를 수평으로 보관하게 되면 웨이퍼가 자체 하중에 의해 휘거나 구부러지는 문제가 발생할 수 있 다.

또한 웨이퍼를 수직으로 보관하더라도 웨이퍼의 직경이 커지게 되면 웨이퍼의 직경에 비하여 종래의 웨이퍼 컨테이너에 형성된 슬롯이 상대적으로 매우 작으므로 종래의 웨이퍼 컨테이너만으로는 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 것을 방지하기에는 한계가 있다.

나아가 웨이퍼 컨테이너에 형성된 슬롯에 삽입된 웨이퍼는 슬롯 사이에서 어느정도의 유동이 있을 수 있는데, 종래의 직경이 작은 웨이퍼의 경우에는 이러한 유동이 문제가 되지 않지만, 직경이 큰 웨이퍼의 경우에는 작은 유동도 웨이퍼의 상부에서는 비교적 큰 유동이라 나타나서 웨이퍼 컨테이너의 내부의 부품들과 충돌할 수 도 있고 로봇이 웨이퍼의 흡착시에 정위치를 잡지 못하는 등의 문제가 발생할 수 있으며 이는 결과적으로 웨이퍼에게는 치명적인 손상을 유발시킬 수 있다.

본 발명은 상기된 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 것을 방지할 수 있도록 수직으로 웨이퍼를 보관하고 웨이퍼의 움직임을 최소화시킬 수 있는 지지부재를 구비하여 웨이퍼의 파손이나 파티클의 발생을 최소화시켜 웨이퍼를 안전하게 보관할 수 있으면서도 로봇에 의한 웨이퍼의 흡착시 로봇이 웨이퍼의 정위치만을 흡착할 수 있게 한 운송 및 공정용 웨이퍼 컨테이너를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너는 상부에는 뚜껑부가 결합할 수 있는 뚜껑프레임이 형성되어 있는 4개의 측면, 및 상기 4개의 측면과 연결되는 저면을 포함하는 용기부;와 상기 뚜껑프레임과 결합 및 분리를 위한 적어도 하나 이상의 락장치를 포함하며, 상기 뚜껑프레임에 결합시 용기부를 밀폐시키며 상기 용기부의 상면에 해당하는 뚜껑부를 포함하고 있으며,

또한 다수의 웨이퍼를 수직으로 보관하기 위하여 상기 4개의 측면 중 서로 대향하는 2개의 측면에 수직방향으로 형성된 다수의 측면슬롯과

상기 다수의 측면슬롯이 형성되어 있는 2개의 측면, 저면 또는 뚜껑부 중에서 적어도 어느 하나의 면으로부터 돌출하여 웨이퍼를 고정시키는 적어도 하나 이상의 지지부재를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 지지부재의 끝부분에는 웨이퍼와 지지부재의 최소한의 접촉을 위한 적어도 하나이상의 돌기가 형성되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 저면에는 웨이퍼를 지지하기 위한 다수의 저면슬롯이 형성되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 저면슬롯은 웨이퍼의 상면 및 하면과 대향하는 2개의 저면슬롯측면 및 상기 2개의 저면슬롯측면을 연결하며 V 또는 U자 형태를 가지는 저면슬롯하부면을 포함하고 있으며, 상기 저면슬롯하부면은 비대칭 경사 구조를 가진다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 상기 뚜껑부에는 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 아래방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 형성되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 측면 또는 저면에서 돌출된 지지부재들이 서로 연결되어 있다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 상기 저면에는 2개의 지지부재가 형성되어 있고, 상기 다수의 측면슬롯이 형성되어 있는 2개의 측면에는 각각 하나 의 지지부재가 형성되어 있으며, 상기 측면에 형성된 지지부재는 저면에 형성된 2개의 지지부재와 각각 연결되어 ┓또는┏의 형태를 가진다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 지지부재는 상기 지지부재의 형태를 유지하기 위하여 중심부와 상기 중심부를 둘러싸고 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 외피부를 포함하고 있다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 중심부는 상기 지지부재의 형태를 유지하기 위한 재질로 만들어지고, 상기 외피부는 플라스틱으로 만들어진다.

본 발명의 다른 바람직한 특징에 의하면, 중심부는 철, 알루미늄 또는 서스 중의 어느 하나 이상의 재질로 만들어진다.

본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너는 적어도 하나이상의 지지부재와 수직으로 형성된 다수의 슬롯을 구비하여 웨이퍼를 수직으로 보관할 수 있으므로 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 것을 방지할 수 있다. 또한 보관 중인 웨이퍼의 움직임이 거의 없도록 함으로서 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있으며, 파티클의 발생이 거의 없어 이로 인하여 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

지지부재는 돌기를 통하여 웨이퍼와 접하게 되고 이로 인하여 웨이퍼의 최소 지점만이 지지부재와 접하게 되어 웨이퍼의 손상을 최소화시킬 수 있다.

또한 저면슬롯하부면이 비대칭구조를 가지고 있으므로, 웨이퍼 컨테이너 내부의 모든 웨이퍼가 일정한 방향으로만 약간 기울어지게 되고, 이로 인하여 로봇이 원하는 지점을 정확하게 파지할 수 있는 장점이 있다.

특히, 웨이퍼의 크기가 상대적으로 큰 경우, 450mm 이상의 웨이퍼에서는 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 문제가 대두될 수 있는데, 본 발명에 의하면 직경이 큰 웨이퍼의 경우에도 웨이퍼가 보관 중에 휘거나 구부러지는 것을 방지할 수 있다.

이하 예시도면에 의거하여 본 발명의 일실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명한다. 다만, 아래의 실시예는 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 충분히 이해할 수 있도록 제공되는 것이지, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 사시도이다. 도 1에서 보는 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너는 용기부(100)와 뚜껑부(200)를 포함하고 있다.

도 2는 도 1에서 뚜껑부가 제거된 상태에서의 용기부의 사시도이고, 도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너 용기부의 평면도이다. 도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 용기부(100)는 4개의 측면(112, 114, 116, 118)과 저면(120)으로 구성되어 있으며, 뚜껑부(200)는 용기부(100)와의 결합 및 분리를 위한 락장치를 구비하며, 용기부(100)와 결합하여 용기부(100)의 상면의 역할을 하게 된다.

한편, 용기부(100)에서 4개의 측벽 중 서로 대향하는 2개의 측면(112, 116)에는 다수의 측면슬롯(132)이 형성되어 있다. 다수의 측면슬롯(132)은 다수의 웨이퍼를 수직으로 보관하기 위한 부분이다. 본 발명에서는 종래의 웨이퍼 컨테이너와 달리 운송 뿐 아니라 공정 진행 중에도 웨이퍼를 수직으로 보관하게 된다. 이는 웨이퍼, 특히 450mm 이상의 대형 웨이퍼를 수평으로 보관할 경우에는 웨이퍼가 휘는 현상이 발생하게 되므로, 이를 방지하기 위하여 본 발명에서는 웨이퍼를 수직으로 보관할 수 있도록 다수의 측면슬롯(132)을 수직방향으로 형성하였다.

다수의 측면슬롯(132)에는 로봇에 의해 다수의 웨이퍼가 하나씩 개별적으로 삽입되는데, 웨이퍼를 삽입하는 과정에서 웨이퍼의 표면이 측면슬롯(132)에 의해 손상되는 것을 방지하기 위하여 일반적으로 측면슬롯(132)들 간의 간격은 웨이퍼의 두께보다는 넓게 형성하게 된다. 따라서 측면슬롯(132)에 수직으로 삽입된 웨이퍼는 인접한 2개의 측면슬롯 중에서 어느 하나의 측면슬롯 측으로 약간 기울어진 상태를 유지하게 된다.

여기서 웨이퍼의 크기가 작은 경우에는 단순히 측면슬롯만으로도 문제가 발생할 가능성이 낮지만, 웨이퍼의 크기가 큰 경우에는 웨이퍼 자체의 크기가 크고 웨이퍼 자체 하중도 커서 단순히 측면슬롯만으로는 웨이퍼가 휘는 것을 효과적으로 방지하기가 어렵다.

이에 본 발명은 웨이퍼가 휘는 것을 효과적으로 방지하고 슬롯에서의 웨이퍼의 유동을 최소화시키기 위하여 지지부재(150)를 추가로 설치한다.

지지부재(150)는 측면(112,114)으로부터 웨이퍼를 향하여 측면슬롯(132)보다 돌출되어 있으며, 이는 웨이퍼를 고정시켜서 웨이퍼가 휘는 것을 방지하고 측면슬롯(132) 사이에서 웨이퍼의 미세한 이동을 억제하는 역할을 한다.

도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 지지부재를 보여주기 위한 단면도이다. 도 2와 도 3에서는 지지부재가 2개의 측면에만 형성된 것으로 도시되어 있지만, 지지부재(150)는 필요에 따라서 저면(120) 또는 뚜껑부(200)에도 형성될 수 있다. 또한 측면(112,116)에 형성된 지지부재(150)는 측면(112,116)에 부착될 수도 있지만, 측면슬롯(132)에 부착되어 측면슬롯(132)으로부터 돌출되는 형태로 제작될 수도 있다.

도 4에서 보는 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너는 다수의 측면 슬롯이 형성되어 있는 2개의 측면(112,116), 저면(120) 또는 뚜껑부(200) 중의 어느 하나의 면으로부터 돌출한 적어도 하나이상의 지지부재(150)를 포함하고 있다. 도 4에서는 저면(120)에서는 2개의 지지부재(150)가 형성되어 있고, 측면(112,116) 과 뚜껑부(200)에는 각각 하나의 지지부재(150)가 형성되어 있는 것을 보여준다.

여기서 지지부재(150)는 측면(112,116), 저면(120) 또는 뚜껑부(200)에 고정된 형태로 제작될 수도 있으나, 탈부착이 가능하도록 형성될 수도 있다. 탈부착수단은 통상적으로 사용될 수 있는 방법을 사용하면 된다.

또한 지지부재(150)들은 서로 연결이 된 형태로 설치될 수도 있다. 도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너에 설치된 지지부재들의 다른 실시예이다. 도 5에서 보는 바와 같이, 다른 실시예에서는 저면(120)에는 2개의 지지부재(150)가 형성되어 있고, 측면(112,116)에는 각각 하나의 지지부재(150)가 형성되어 있으며, 상기 측면(112,116)에 형성된 지지부재(150)와 저면(120)에 형성된 2개의 지지부재(150)와 각각 연결되어서 전체적으로 ┓또는┏의 형태를 가지게 된다. 도 5는 하나의 실시예로서, 본 발명에서는 지지부재(150)들이 서로 연결되는 형태에 대해서는 로봇에 의한 취급에 방해를 하지 않는 이상 특별한 제한을 두지 않는다.

도 6은 지지부재의 사시 단면도이다. 도 6에서 보는 바와 같이, 지지부재(150)는 웨이퍼와의 접촉면을 최소화시켜서 웨이퍼의 변형 및 파티클의 발생을 최소화시키기 위한 돌기(152)를 지지부재(150)의 끝부분에 적어도 하나 이상 구비하고 있다. 여기서 돌기(152)는 웨이퍼의 하면이 접하게 되는 지지부재(150)의 측면에 형성하는 것이 바람직하다. 또한 돌기(152)는 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있는 재질로 만들어야 한다.

한편 지지부재(150)는 중심부(154)와 외피부(156)로 구성하는 것이 바람직하다. 중심부(154)는 측면(112,116)으로부터 돌출된 형태의 지지부재(150)가 휘는 것을 방지하기 위하여 지지부재(150)의 형태를 유지하기 위한 부분이고, 외피부(156)는 중심부(154)를 둘러싸고 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 부분이다. 여기서 중심부(154)는 철, 알루미늄 또는 서스 중의 어느 하나 이상의 재질로 만들어지고, 외피부(156)는 플라스틱으로 만드는 것이 바람직하다. 중심부(154)의 두께 및 길이는 지지부재(150)가 휘는 것을 방지할 수 있을 정도로만 최소가 될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

지지부재(150)의 길이에 대해서는 특별한 제한은 없고, 다만 웨이퍼가 휘는 것을 효과적으로 방지할 수 있을 정도로 돌출되어야한다. 450mm 웨이퍼의 경우에 지지부재(150)는 웨이퍼의 외주면에서 최소 30mm이상 돌출되어야 하는데, 이는 직경이 큰 웨이퍼의 휘는 것을 방지할 수 있는 최소한의 길이이며, 바람직하게는 85mm이상 돌출될 수 있도록 형성되어야 하는데, 이는 300mm 웨이퍼에서 웨이퍼가 휘지 않게 할 수 있는 위치를 고려한 것이다. 또한 지지부재(150)는 서로 접하게 제작될 수도 있으므로, 지지부재(150)는 최대한 웨이퍼의 반경의 크기로도 제작될 수 있다.

도면에서는 지지부재가 막대형상으로 도시되었지만, 지지부재의 형상에 대해서는 특별한 제한은 없다. 예를들어, 경우에 따라서는 삼각형의 형상으로도 제작될 수 있다.

측면(112, 114, 116, 118)의 상부에는 뚜껑부(200)와 결합을 위한 뚜껑프레임(160)이 설치되어 있다. 뚜껑프레임(160)의 형태에 대해서는 특별한 제한은 없으나, 뚜껑프레임(160)의 일예는 도 2에 도시되어 있다. 뚜껑프레임(160)은 측면(112, 114, 116, 118)에서 연장된 수직면(162)을 포함하고 있으며, 수직면(162)에는 뚜껑부(200)의 락장치(210)와 결합을 위한 락결합구(164)가 형성되어 있다.

저면(120)의 하부면에는 컨테이너가 정위치에 놓일 수 있도록 하는 가이드(180)가 형성되어 있다. 이는 로봇이 웨이퍼의 정위치를 잡을 수 있도록 컨테이너의 위치를 정확하게 잡는 역할을 하는 부분이다.

저면(120)의 내부면에는 웨이퍼를 지지하기 위한 다수의 저면슬롯(134)이 형성될 수 있다. 저면슬롯(134)은 측면슬롯(132)과 마찬가지로 개개의 웨이퍼를 수직으로 고정시킬 경우 웨이퍼가 수평방향으로 움직이는 것을 방지하기 위하여 설치하는 것이다. 저면슬롯(134)은 저면(120)에 고정되게 설치될 수 도 있지만, 저면에 탈부착이 가능하도록 제작될 수도 있다. 저면슬롯(134)은 다수의 열이 형성될 수 있도록 설치하는데, 웨이퍼의 외주면을 양측에서 고정시키는 것이 가장 안정적이므로 바람직하게는 도 3과 같이 2열이 되도록 설치한다.

도 7은 저면슬롯의 단면도이다. 도 7에서 보는 바와 같이, 저면슬롯(134)은 저면슬롯측면(135)과 저면슬롯하부면(136,137)으로 구성되어 있다. 저면슬롯측면(135)은 웨이퍼의 양면과 대향하는 부분이고, 저면슬롯하부면(136,137)은 저면슬롯측면(135)과 연결되며 V 또는 U자 형태를 가지고 웨이퍼의 측면부분과 대향하는 부분이다.

본 발명에서 V 또는 U 자 형태의 저면슬롯하부면(136,137)은 U 또는 V자의 최하부를 중심으로 좌우 대칭이 되도록 제작될 수도 있으나, 바람직하게는 좌우 비대칭이 되도록 제작한다. 이는 저면슬롯(134)에 삽입된 웨이퍼가 저면슬롯하부면(136,137)이 서로 비대칭이므로 V 또는 U 자에서 작은 각도를 이루는 쪽의 측면슬롯(132)으로 약간 기울어지게 하기 위함이다. 측면슬롯(132)에 삽입된 모든 웨이퍼가 일정한 방향으로만 기울어져서 로봇이 웨이퍼를 운송할 경우, 로봇이 웨이퍼를 파지하는 지점을 정확하게 잡을 수 있는 장점이 있다. 만약 저면슬롯하부면이 대칭구조이면 모든 웨이퍼는 인접한 측면슬롯(132)의 특정방향으로 기울어지는 과정에서 다수의 웨이퍼가 서로 기울어지는 방향을 달리할 수 있고, 이는 웨이퍼의 직경이 큰 경우에는 로봇의 웨이퍼 파지 위치를 서로 달리할 수 있는 문제가 있다.

도 4에서 보는 바와 같이, 상기 뚜껑부(200)에는 상기 저면슬롯(134)에 대응하는 다수의 탄성편(140)이 형성될 수 있다. 여기서 다수의 탄성편(140)은 각각 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 아래방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 웨이퍼의 움직임을 최소화시키는 역할을 한다. 탄성편(140)은 2개의 열로 배열될 수 있도록 제작하는 것이 바람직하다. 또한 다수의 탄성편(140)은 뚜껑부(200)에 탈부착이 가능하도록 제작될 수도 있다. 아울러 상기에서 언급한 바와 같이, 뚜껑부(200)에는 다수의 지지부재(150)가 설치될 수도 있다.

뚜껑부(200)는 락장치(210)를 포함하고 있다. 본 발명에서는 락장치(210)에 대해서는 특별한 제한은 없으며, 통상적으로 웨이퍼 컨테이너에 사용되는 락장치(210) 중의 어느 하나를 사용하면 된다. 도 8은 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 평면도이고, 도 9는 락장치의 일실시예로서 도 8에서의 뚜껑부(200)의 내부 단면도이다. 도 8과 도 9에서 보는 바와 같이, 락장치(210)는 뚜껑부(200)의 상부로 돌출된 외측장착부(212) 및 뚜껑부(200)의 내부에 설치된 회전부(214)와 락연결부(216)를 포함하고 있다. 외측장착부(212)는 뚜껑부(200)의 외부로 돌출된 부분으로서, 여기에는 로봇과 결합하는 회전하는 로봇접속자(213)의 회전을 위한 초승달 형태의 개구부가 형성되어 있다. 또한 도면에는 도시되어 있지 않지만, 필요에 따라서는 수동으로 락장치(210)를 해제할 수 있는 손잡이부가 추가로 설치될 수도 있다.

회전부(214)는 로봇접속자(213)와 회전돌기(215)를 포함하고 있다. 로봇접속자(213)는 로봇과 결합하여 회전하게 되고, 이로 인하여 회전부(214)는 전체적으로 이동을 하게 된다. 회전돌기(215)는 회전부(214)에서 락연결부(216)와 연결을 위하여 돌출된 부분이다.

락연결부(216)는 말단에 락연결부돌기(217)가 형성되어 있으며, 이는 회전돌기(215)의 이동에 따라서 락연결부돌기(217)도 이동을 하게 된다. 여기서 락연결부돌기(217)는 용기부(100)의 뚜껑프레임(160)에 형성되어 있는 락결합구(164)와 결합하여 뚜껑부(200)를 용기부(100)에 밀폐시키는 역할을 한다.

락장치(210)의 동작에 대하여 간단히 설명하면, 로봇이 로봇접속자(213)에 결합하여 로봇접속자(213)를 회전시키면 회전부(214)가 회전을 하고, 이로 인하여 회전부돌기도 회전을 하게 된다. 회전부돌기가 회전을 하면서 락연결부(216)가 이동을 하여서 결과적으로 락연결부돌기(217)가 락결합구(164)에 결합하거나 분리되게 된다.

도면에서는 락장치가 하나만 있는 것으로 도시하였지만, 필요에 따라서는 2개이상이 될 수 있도록 설치할 수도 있다.

본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너를 이용한 로봇 작업에 대하여 설명한다. 먼 저 로봇은 상부에 설치된 락장치(210)와 결합하여 락장치(210)를 해제하고 뚜껑부(200)를 제거한다. 뚜껑부(200)를 제거한 로봇은 개개의 슬롯에 삽입되어 있는 웨이퍼의 하면으로 들어가서 진공을 이용하여 웨이퍼의 하면을 흡착하게 된다. 웨이퍼를 흡착한 로봇은 이를 상부로 들어올린다. 들어올려진 웨이퍼는 다음 공정의 진행을 진행하기 위하여 적당한 각도로 회전되어 다음 공정을 진행하게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 사시도,

도 2는 도 1에서 뚜껑부가 제거된 상태에서의 용기부의 사시도,

도 3 은본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너 용기부의 평면도,

도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 지지부재를 보여주기 위한 단면도,

도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너에 설치된 지지부재들의 다른 실시예,

도 6은 지지부재의 사시 단면도,

도 7은 저면슬롯의 단면도,

도 8은 본 발명에 의한 웨이퍼 컨테이너의 평면도,

도 9는 락장치의 일실시예로서 도 8에서의 뚜껑부의 내부 단면도이다

<도면의 주요부분에 대한 주요부호의 설명>

100:용기부

112,114,116,118:측면

120:저면

132:측면슬롯

134:저면슬롯

140:탄성편

150:지지부재

160:뚜껑프레임

200:뚜껑부

Claims

상부에는 뚜껑부가 결합할 수 있는 뚜껑프레임이 형성되어 있는 4개의 측면, 및 상기 4개의 측면을 연결하는 저면을 포함하는 용기부;와

상기 뚜껑프레임과 결합 및 분리를 위한 적어도 하나 이상의 락장치를 포함하며, 상기 뚜껑프레임에 결합시 용기부를 밀폐시키며 상기 용기부의 상면에 해당하는 뚜껑부를 포함하는 웨이퍼 컨테이너로서,

상기 웨이퍼 컨테이너는

다수의 웨이퍼를 수직으로 보관하기 위하여 상기 4개의 측면 중 서로 대향하는 2개의 측면에 수직방향으로 형성된 다수의 측면슬롯과

상기 다수의 측면슬롯이 형성되어 있는 2개의 측면, 저면 또는 뚜껑부 중에서 적어도 어느 하나의 면으로부터 돌출하여 웨이퍼를 고정시키는 적어도 하나 이상의 지지부재를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제1항에 있어서, 상기 지지부재의 끝부분에는 웨이퍼와 지지부재의 최소한의 접촉을 위한 적어도 하나이상의 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제1항에 있어서, 상기 저면에는 웨이퍼를 지지하기 위한 다수의 저면슬롯이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제3항에 있어서, 상기 저면슬롯은 웨이퍼의 상면 및 하면에 대향하는 2개의 저면슬롯측면 및 상기 2개의 저면슬롯측면을 연결하며 V 또는 U자 형태를 가지는 저면슬롯하부면을 포함하고 있으며, 상기 저면슬롯하부면은 비대칭 경사 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제1항에 있어서, 상기 뚜껑부에는 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 아래방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제1항에 있어서, 상기 측면 또는 저면에서 돌출된 지지부재들이 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제6항에 있어서, 상기 저면에는 2개의 지지부재가 형성되어 있고, 상기 다수의 측면슬롯이 형성되어 있는 2개의 측면에는 각각 하나의 지지부재가 형성되어 있으며, 상기 측면에 형성된 지지부재는 저면에 형성된 2개의 지지부재와 각각 연결되어 ┓또는┏의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제1항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 지지부재의 형태를 유지하기 위하여 중심부와 상기 중심부를 둘러싸고 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 외피부를 포함하 고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제8항에 있어서, 상기 중심부는 상기 지지부재의 형태를 유지하기 위한 재질로 만들어지고, 상기 외피부는 플라스틱으로 만들어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
제8항에 있어서, 상기 중심부는 철, 알루미늄 또는 서스 중의 어느 하나 이상의 재질로 만들어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.