JPH0640482A - 搬送用トレイ - Google Patents
搬送用トレイInfo
- Publication number
- JPH0640482A JPH0640482A JP34288591A JP34288591A JPH0640482A JP H0640482 A JPH0640482 A JP H0640482A JP 34288591 A JP34288591 A JP 34288591A JP 34288591 A JP34288591 A JP 34288591A JP H0640482 A JPH0640482 A JP H0640482A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- qfp
- tray
- hole
- carrying
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 面実装形パッケージ構造の半導体集積回路装
置を搬送用トレイによって搬送する際に発生するリード
曲がりを抑制する。 【構成】 搬送用トレイ1aのパッケージ搭載部3の中
央に孔4を設けるとともに、搬送用トレイ1aの裏面に
粘着テープ5を貼付けて、QFP6の搬送に際し、孔4
から露出する粘着テープ5の粘着面をQFP6のパッケ
ージ本体6aの下面に接着させ、QFP6を仮固定させ
た状態で搬送するようにした。
置を搬送用トレイによって搬送する際に発生するリード
曲がりを抑制する。 【構成】 搬送用トレイ1aのパッケージ搭載部3の中
央に孔4を設けるとともに、搬送用トレイ1aの裏面に
粘着テープ5を貼付けて、QFP6の搬送に際し、孔4
から露出する粘着テープ5の粘着面をQFP6のパッケ
ージ本体6aの下面に接着させ、QFP6を仮固定させ
た状態で搬送するようにした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送用トレイ技術に関
し、特に、面実装形パッケージ構造の半導体集積回路装
置を搬送するための搬送用トレイに適用して有効な技術
に関するものである。
し、特に、面実装形パッケージ構造の半導体集積回路装
置を搬送するための搬送用トレイに適用して有効な技術
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の面実装形パッケージの搬送用トレ
イは、その本体にパッケージを収容するための凹部(以
下、パッケージ収容領域という)が複数設けられてお
り、その個々のパッケージ収容領域内に個々のパッケー
ジを収容した状態で搬送されるようになっていた。
イは、その本体にパッケージを収容するための凹部(以
下、パッケージ収容領域という)が複数設けられてお
り、その個々のパッケージ収容領域内に個々のパッケー
ジを収容した状態で搬送されるようになっていた。
【0003】なお、搬送用トレイについては、例えば積
水化学工業株式会社、昭和62年10月初版、「エスロ
ンDCプレート、エスロンMCプレート」P18に記載
されている。
水化学工業株式会社、昭和62年10月初版、「エスロ
ンDCプレート、エスロンMCプレート」P18に記載
されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
パッケージ搬送用トレイにおいては、以下の問題がある
ことを本発明者は見い出した。
パッケージ搬送用トレイにおいては、以下の問題がある
ことを本発明者は見い出した。
【0005】すなわち、搬送用トレイを用いてパッケー
ジを搬送する際に、振動等によってパッケージ収容領域
内のパッケージが動き、パッケージのリードがパッケー
ジ収容領域の側壁等に当る結果、リード曲がりが発生す
る問題があった。この問題は、特に、リード数の増大要
求に伴うリード幅の縮小に伴って顕著となる。
ジを搬送する際に、振動等によってパッケージ収容領域
内のパッケージが動き、パッケージのリードがパッケー
ジ収容領域の側壁等に当る結果、リード曲がりが発生す
る問題があった。この問題は、特に、リード数の増大要
求に伴うリード幅の縮小に伴って顕著となる。
【0006】本発明は上記課題に着目してなされたもの
であり、その目的は、パッケージの搬送中に発生するリ
ード曲がりを抑制することのできる技術を提供すること
にある。
であり、その目的は、パッケージの搬送中に発生するリ
ード曲がりを抑制することのできる技術を提供すること
にある。
【0007】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0009】すなわち、請求項1記載の発明は、パッケ
ージの収容領域の底部に孔を設けるとともに、前記パッ
ケージを仮固定するための仮固定部材を設けた搬送用ト
レイ構造とするものである。
ージの収容領域の底部に孔を設けるとともに、前記パッ
ケージを仮固定するための仮固定部材を設けた搬送用ト
レイ構造とするものである。
【0010】請求項3記載の発明は、パッケージ収容領
域にパッケージを逆さにした状態で収容した際に、前記
パッケージの上面の肩部に接触して前記パッケージの移
動を抑止する抑止部を、前記パッケージ収容領域の底部
に設けた搬送用トレイ構造とするものである。
域にパッケージを逆さにした状態で収容した際に、前記
パッケージの上面の肩部に接触して前記パッケージの移
動を抑止する抑止部を、前記パッケージ収容領域の底部
に設けた搬送用トレイ構造とするものである。
【0011】
【作用】上記した請求項1記載の発明によれば、パッケ
ージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際に、パ
ッケージが固定部材によって仮固定されるので、パッケ
ージが搬送中に動いてしまうことに起因するリード曲が
りを抑制することが可能となる。
ージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際に、パ
ッケージが固定部材によって仮固定されるので、パッケ
ージが搬送中に動いてしまうことに起因するリード曲が
りを抑制することが可能となる。
【0012】また、パッケージを搬送用トレイから取り
出す際に、パッケージ収容領域の底部に設けられた孔に
押上部材を挿入してパッケージを押し上げることによ
り、パッケージの取り出しを容易にすることが可能とな
る。
出す際に、パッケージ収容領域の底部に設けられた孔に
押上部材を挿入してパッケージを押し上げることによ
り、パッケージの取り出しを容易にすることが可能とな
る。
【0013】上記した請求項3記載の発明によれば、パ
ッケージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際
に、パッケージの移動が抑止部によって抑止されるの
で、パッケージが搬送中に動いてしまうことに起因する
リード曲がりを抑制することが可能となる。
ッケージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際
に、パッケージの移動が抑止部によって抑止されるの
で、パッケージが搬送中に動いてしまうことに起因する
リード曲がりを抑制することが可能となる。
【0014】
【実施例1】図1は本発明の一実施例である搬送用トレ
イの要部断面図、図2は図1の搬送用トレイの部分平面
図、図3は図2のA−A線の断面図である。
イの要部断面図、図2は図1の搬送用トレイの部分平面
図、図3は図2のA−A線の断面図である。
【0015】まず、本実施例1の搬送用トレイを図2,
図3により説明する。本実施例1の搬送用トレイ1a
は、例えば後述するQFP(Quad Flat Package)を搬送
する際に用いるトレイである。
図3により説明する。本実施例1の搬送用トレイ1a
は、例えば後述するQFP(Quad Flat Package)を搬送
する際に用いるトレイである。
【0016】搬送用トレイ1aは、例えばポリプロピレ
ンまたはポリ塩化ビニルからなり、例えば平面四角形状
のパッケージ収容領域2を複数有している。パッケージ
収容領域2の底面積は、例えば20×20mm〜30×
30mm程度である。
ンまたはポリ塩化ビニルからなり、例えば平面四角形状
のパッケージ収容領域2を複数有している。パッケージ
収容領域2の底面積は、例えば20×20mm〜30×
30mm程度である。
【0017】パッケージ収容領域2の底部中央には、例
えば平面四角形状のパッケージ搭載部3が形成されてい
る。パッケージ搭載部3は、QFPを搭載する部分であ
り、図3に示すように、断面凸状に形成されている。
えば平面四角形状のパッケージ搭載部3が形成されてい
る。パッケージ搭載部3は、QFPを搭載する部分であ
り、図3に示すように、断面凸状に形成されている。
【0018】パッケージ搭載部3の中央には、例えば平
面円形状の孔4が穿孔されている。
面円形状の孔4が穿孔されている。
【0019】孔4の直径は、例えば5mm程度である。
そして、搬送用トレイ1aの裏面に貼付けられた粘着テ
ープ(粘着部材)5の粘着面が、孔4から露出されてい
る。
そして、搬送用トレイ1aの裏面に貼付けられた粘着テ
ープ(粘着部材)5の粘着面が、孔4から露出されてい
る。
【0020】次に、搬送用トレイ1aにQFPを収容し
た時の状態を図1に示す。
た時の状態を図1に示す。
【0021】QFP6を構成するパッケージ本体6aの
内部には、半導体チップ6bが封止されている。半導体
チップ6bは、例えばシリコン(Si)単結晶からな
り、その主面には所定の半導体集積回路が形成されてい
る。
内部には、半導体チップ6bが封止されている。半導体
チップ6bは、例えばシリコン(Si)単結晶からな
り、その主面には所定の半導体集積回路が形成されてい
る。
【0022】半導体チップ6bの半導体集積回路は、例
えば金(Au)からなるボンディングワイヤ6cを通じ
て、例えば42アロイからなるリード6dと電気的に接
続されている。
えば金(Au)からなるボンディングワイヤ6cを通じ
て、例えば42アロイからなるリード6dと電気的に接
続されている。
【0023】QFP6は、搬送用トレイ1aのパッケー
ジ搭載部3上に搭載されている。本実施例1においてQ
FP6は、そのリード6dが搬送用トレイ1aに接触さ
れないようにパッケージ搭載部3上に搭載されていると
ともに、そのパッケージ本体6aが孔4から露出する粘
着テープ5の粘着面に接着され仮固定された状態でパッ
ケージ搭載部3上に搭載されている。
ジ搭載部3上に搭載されている。本実施例1においてQ
FP6は、そのリード6dが搬送用トレイ1aに接触さ
れないようにパッケージ搭載部3上に搭載されていると
ともに、そのパッケージ本体6aが孔4から露出する粘
着テープ5の粘着面に接着され仮固定された状態でパッ
ケージ搭載部3上に搭載されている。
【0024】QFP6の下面と、粘着テープ5とは、例
えば次のようにして接着されている。すなわち、QFP
6をパッケージ搭載部3上に搭載した後、QFP6の上
面を押さえた状態で、搬送用トレイ1aの裏面側から孔
4内に押上部材(図示せず)を挿入し、粘着テープ5の
粘着面をQFP6の下面に突き当てることにより接着さ
れている。
えば次のようにして接着されている。すなわち、QFP
6をパッケージ搭載部3上に搭載した後、QFP6の上
面を押さえた状態で、搬送用トレイ1aの裏面側から孔
4内に押上部材(図示せず)を挿入し、粘着テープ5の
粘着面をQFP6の下面に突き当てることにより接着さ
れている。
【0025】また、本実施例1においては、QFP6を
搬送用トレイ1aから取り出す際に、例えば次のように
する。すなわち、搬送用トレイ1aの裏面側から孔4内
に押上部材(図示せず)を挿入し、QFP6を押し上げ
るとともに、QFP6を真空ノズル等によって吸着する
ことにより、QFP6の取り出す。
搬送用トレイ1aから取り出す際に、例えば次のように
する。すなわち、搬送用トレイ1aの裏面側から孔4内
に押上部材(図示せず)を挿入し、QFP6を押し上げ
るとともに、QFP6を真空ノズル等によって吸着する
ことにより、QFP6の取り出す。
【0026】なお、QFP6の搬送に際しては、複数の
搬送用トレイ1aを重ねた状態で搬送する。
搬送用トレイ1aを重ねた状態で搬送する。
【0027】このように本実施例1によれば、以下の効
果を得ることが可能となる。
果を得ることが可能となる。
【0028】(1).QFP6を搬送用トレイ1aによって
搬送する際に、QFP6が粘着テープ5によって仮固定
されるので、QFP6が搬送中に移動してしまうことに
起因するリード6の曲がり不良を抑制することが可能と
なる。この結果、QFP6の搬送工程での歩留り低下を
抑制することが可能となる。
搬送する際に、QFP6が粘着テープ5によって仮固定
されるので、QFP6が搬送中に移動してしまうことに
起因するリード6の曲がり不良を抑制することが可能と
なる。この結果、QFP6の搬送工程での歩留り低下を
抑制することが可能となる。
【0029】(2).QFP6を搬送用トレイ1aから取り
出す際に、孔4内に押上部材を挿入し、QFP6を押し
上げることにより、QFP6の取り出しを容易にするこ
とが可能となる。このため、例えばQFP6の取り出し
時に、その取り出しが困難なためにQFP6の下面がパ
ッケージ搭載部6の搭載面に対して傾斜し、リード6d
が搬送用トレイ1aに接触してしまうといったおそれを
回避することが可能となる。この結果、QFP6の取り
出し工程での歩留り低下のおそれを回避することが可能
となる。
出す際に、孔4内に押上部材を挿入し、QFP6を押し
上げることにより、QFP6の取り出しを容易にするこ
とが可能となる。このため、例えばQFP6の取り出し
時に、その取り出しが困難なためにQFP6の下面がパ
ッケージ搭載部6の搭載面に対して傾斜し、リード6d
が搬送用トレイ1aに接触してしまうといったおそれを
回避することが可能となる。この結果、QFP6の取り
出し工程での歩留り低下のおそれを回避することが可能
となる。
【0030】
【実施例2】図4は本発明の他の実施例である搬送用ト
レイの要部平面図である。
レイの要部平面図である。
【0031】本実施例2においては、図4に示すよう
に、パッケージ搭載部3の中央に孔4aが形成されてい
るとともに、パッケージ搭載部3の四隅にも孔4bが形
成されている。
に、パッケージ搭載部3の中央に孔4aが形成されてい
るとともに、パッケージ搭載部3の四隅にも孔4bが形
成されている。
【0032】パッケージ搭載部3の中央の孔4aから
は、搬送用トレイ1の裏面に貼付けられた粘着テープ5
の粘着面が露出されており、QFP6(図1参照)は、
この孔4a部分のみで仮固定されるようになっている。
は、搬送用トレイ1の裏面に貼付けられた粘着テープ5
の粘着面が露出されており、QFP6(図1参照)は、
この孔4a部分のみで仮固定されるようになっている。
【0033】これにより、本実施例2においても前記実
施例1の効果(1) と同様の効果を得ることが可能とな
る。
施例1の効果(1) と同様の効果を得ることが可能とな
る。
【0034】一方、パッケージ搭載部3の四隅の孔4b
の位置には、粘着テープ5は貼られておらず、この孔4
bは専らQFP6の取り出しの際に使用される。
の位置には、粘着テープ5は貼られておらず、この孔4
bは専らQFP6の取り出しの際に使用される。
【0035】すなわち、本実施例2においては、QFP
6を搬送用トレイ1aから取り出す際に、例えば四隅の
孔4b内に押上部材を挿入し、QFP6のパッケージ本
体の下面に加わる押上力を面内均一にした状態でQFP
6を取り出す。
6を搬送用トレイ1aから取り出す際に、例えば四隅の
孔4b内に押上部材を挿入し、QFP6のパッケージ本
体の下面に加わる押上力を面内均一にした状態でQFP
6を取り出す。
【0036】これにより、QFP6を搬送用トレイ1a
から取り出す際に、QFP6のパッケージ本体6aの下
面と、パッケージ搭載部3の搭載面との平行度が確保さ
れるので、QFP6が傾斜することに起因するリード6
dの曲がり不良のおそれを回避することが可能となる。
この結果、QFP6の取り出し工程での歩留り低下のお
それを回避することが可能となる。
から取り出す際に、QFP6のパッケージ本体6aの下
面と、パッケージ搭載部3の搭載面との平行度が確保さ
れるので、QFP6が傾斜することに起因するリード6
dの曲がり不良のおそれを回避することが可能となる。
この結果、QFP6の取り出し工程での歩留り低下のお
それを回避することが可能となる。
【0037】また、QFP6を搬送用トレイ1aから取
り出す際に、四隅の孔4b内のみに押上部材(図示せ
ず)を挿入してQFP6を押し上げることにより、QF
P6を押し上げる力の方向と、粘着テープ5がQFP6
をとどめておこうとする見かけ上の力の方向とが互いに
逆方向となるので、比較的小さな押上力でQFP6を搬
送用トレイ1aから取り出すことが可能となる。
り出す際に、四隅の孔4b内のみに押上部材(図示せ
ず)を挿入してQFP6を押し上げることにより、QF
P6を押し上げる力の方向と、粘着テープ5がQFP6
をとどめておこうとする見かけ上の力の方向とが互いに
逆方向となるので、比較的小さな押上力でQFP6を搬
送用トレイ1aから取り出すことが可能となる。
【0038】
【実施例3】図5は本発明の他の実施例である搬送用ト
レイの要部断面図である。
レイの要部断面図である。
【0039】本実施例3においては、図5に示すよう
に、搬送用トレイ1bのパッケージ収容領域2内に、Q
FP6が、逆さになった状態、すなわち、QFP6の下
面(実装面)を図5の上に向けた状態で収容されてい
る。
に、搬送用トレイ1bのパッケージ収容領域2内に、Q
FP6が、逆さになった状態、すなわち、QFP6の下
面(実装面)を図5の上に向けた状態で収容されてい
る。
【0040】パッケージ収容領域2の底部中央には、Q
FP6のパッケージ本体6aの上部の一部が収まり良く
嵌合されるような凹部(抑止部)7が形成されており、
これによって、QFP6の移動が抑止されている。
FP6のパッケージ本体6aの上部の一部が収まり良く
嵌合されるような凹部(抑止部)7が形成されており、
これによって、QFP6の移動が抑止されている。
【0041】したがって、本実施例3においてもQFP
6の搬送工程中におけるリード6dの曲がり不良を抑制
することができるので、搬送工程でのQFP6の歩留り
低下を抑制することが可能となる。
6の搬送工程中におけるリード6dの曲がり不良を抑制
することができるので、搬送工程でのQFP6の歩留り
低下を抑制することが可能となる。
【0042】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
1〜3に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
1〜3に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0043】例えば前記実施例1,2においては、搬送
用トレイの裏面に粘着テープを貼付けた場合について説
明したが、これに限定されるものではなく、例えばパッ
ケージ搭載部の上面に粘着テープを貼付けても良い。こ
の場合の例の搬送用トレイの要部平面図を図6に示すと
ともに、図6のB−B線の断面図を図7に示す。
用トレイの裏面に粘着テープを貼付けた場合について説
明したが、これに限定されるものではなく、例えばパッ
ケージ搭載部の上面に粘着テープを貼付けても良い。こ
の場合の例の搬送用トレイの要部平面図を図6に示すと
ともに、図6のB−B線の断面図を図7に示す。
【0044】この場合、粘着テープ5の粘着部は、例え
ば粘着テープ5の上面中央部分のみに形成されている。
粘着部の面積を余り大きくすると、QFP6の取り出し
が困難となるからである。そして、この場合もパッケー
ジ搭載部3の四隅のみに孔4bが形成されている。この
孔4bは、QFP6の押し上げ用の孔である。
ば粘着テープ5の上面中央部分のみに形成されている。
粘着部の面積を余り大きくすると、QFP6の取り出し
が困難となるからである。そして、この場合もパッケー
ジ搭載部3の四隅のみに孔4bが形成されている。この
孔4bは、QFP6の押し上げ用の孔である。
【0045】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるQFP
を搬送する際に用いる搬送用トレイに適用した場合につ
いて説明したが、これに限定されず種々適用可能であ
り、例えばSOP(Small Outline Package)を搬送する
際に用いる搬送用トレイ等、他の搬送用トレイに適用す
ることも可能である。
なされた発明をその背景となった利用分野であるQFP
を搬送する際に用いる搬送用トレイに適用した場合につ
いて説明したが、これに限定されず種々適用可能であ
り、例えばSOP(Small Outline Package)を搬送する
際に用いる搬送用トレイ等、他の搬送用トレイに適用す
ることも可能である。
【0046】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0047】(1).すなわち、請求項1記載の発明によれ
ば、パッケージを搬送用トレイに収容した状態で搬送す
る際に、パッケージが固定部材によって仮固定されるの
で、パッケージが搬送中に動いてしまうことに起因する
リード曲がりを抑制することが可能となる。この結果、
パッケージの搬送工程での歩留り低下を抑制することが
可能となる。
ば、パッケージを搬送用トレイに収容した状態で搬送す
る際に、パッケージが固定部材によって仮固定されるの
で、パッケージが搬送中に動いてしまうことに起因する
リード曲がりを抑制することが可能となる。この結果、
パッケージの搬送工程での歩留り低下を抑制することが
可能となる。
【0048】また、パッケージを搬送用トレイから取り
出す際に、パッケージ収容領域の底部に設けられた孔に
押上部材を挿入してパッケージを押し上げることによ
り、パッケージの取り出しを容易にすることが可能とな
る。
出す際に、パッケージ収容領域の底部に設けられた孔に
押上部材を挿入してパッケージを押し上げることによ
り、パッケージの取り出しを容易にすることが可能とな
る。
【0049】(2).請求項3記載の発明によれば、パッケ
ージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際に、パ
ッケージの移動が抑止部によって抑止されるので、パッ
ケージが搬送中に動いてしまうことに起因するリード曲
がりを抑制することが可能となる。この結果、パッケー
ジの搬送工程での歩留り低下を抑制することが可能とな
る。
ージを搬送用トレイに収容した状態で搬送する際に、パ
ッケージの移動が抑止部によって抑止されるので、パッ
ケージが搬送中に動いてしまうことに起因するリード曲
がりを抑制することが可能となる。この結果、パッケー
ジの搬送工程での歩留り低下を抑制することが可能とな
る。
【図1】本発明の一実施例である搬送用トレイの要部断
面図である。
面図である。
【図2】図1の搬送用トレイの部分平面図である。
【図3】図2のA−A線の断面図である。
【図4】本発明の他の実施例である搬送用トレイの要部
平面図である。
平面図である。
【図5】本発明の他の実施例である搬送用トレイの要部
断面図である。
断面図である。
【図6】本発明の他の実施例である搬送用トレイの要部
平面図である。
平面図である。
【図7】図6のB−B線の断面図である。
1a 搬送用トレイ 1b 搬送用トレイ 2 パッケージ収容領域 3 パッケージ搭載部 4 孔 4a 孔 4b 孔 5 粘着テープ(粘着部材) 6 QFP(半導体集積回路装置) 6a パッケージ本体 6b 半導体チップ 6c ボンディングワイヤ 6d リード 7 凹部(抑止部)
Claims (5)
- 【請求項1】 パッケージの収容領域の底部に孔を設け
るとともに、前記パッケージを仮固定するための仮固定
部材を設けたことを特徴とする搬送用トレイ。 - 【請求項2】 前記仮固定部材は、前記孔からその粘着
面が露出するように設けられた粘着部材であることを特
徴とする請求項1記載の搬送用トレイ。 - 【請求項3】 前記孔をパッケージの下面の中央および
四隅の少なくとも一方に対向する位置に設けたことを特
徴とする請求項1または2記載の搬送用トレイ。 - 【請求項4】 前記パッケージは、面実装形パッケージ
構造の半導体集積回路装置であることを特徴とする請求
項1、2または3記載の搬送用トレイ。 - 【請求項5】 パッケージ収容領域にパッケージを逆さ
にした状態で収容した際に、前記パッケージの上面の肩
部に接触して前記パッケージの移動を抑止する抑止部
を、前記パッケージ収容領域の底部に設けたことを特徴
とする搬送用トレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34288591A JPH0640482A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 搬送用トレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34288591A JPH0640482A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 搬送用トレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0640482A true JPH0640482A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=18357266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34288591A Pending JPH0640482A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 搬送用トレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0640482A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017021229A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器およびペリクルの取り出し方法 |
USD779948S1 (en) | 2014-08-12 | 2017-02-28 | Mishima Kosan Co., Ltd. | Carrying tray for semiconductors |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP34288591A patent/JPH0640482A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD779948S1 (en) | 2014-08-12 | 2017-02-28 | Mishima Kosan Co., Ltd. | Carrying tray for semiconductors |
JP2017021229A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器およびペリクルの取り出し方法 |
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