JPH0325903Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案、半導体ウエハーやフオトマスク、レチ
クルマスク等の平板の板状物に何ら瑕を与えない
で確実に保持できる板状物の保持具に関する。

（従来の技術） 従来のこの様なフオトマスクやレチクルマスク
等の板状物をどの様に扱つていたかを説明を加え
る。従来のこの様な物は自動搬送装置等を用いて
いた為に一般に板状物を把持する必要はなく、ま
たその様な治具もなかつた。しかしながらこの様
に板状物の自動搬送で全て済まされるわけでな
く、検品や微調整等の場合等に把持する事が実際
に行なわれている。この様な場合にはクリーン手
袋にて直接持つたりするが常であつた。

（考案が解決しようとする問題点） 従来の板状物の取り扱い方法は、手で両端を挟
んでいた為に安定性が悪く、またレジスト剥離等
の傷みが発生する事があつた。また、この様な場
合鋭利な歯を持つクリツプ状の治具で板状物の端
部を挟む事が考えられているが、この様な場合は
確かに板状物の内部の傷みはおさえる事が出来る
が、最近の精密製品である板状物の一層の精度向
上という傾向に対し周縁部の傷みも大きな問題と
なつてきた。

（問題を解決する為の手段） 少なくとも上面が平板である下支板と、前記下
支板上に起立し、かつ略四角形状の固定穴を下端
に持つ固定板と、前記固定穴の少なくとも一側に
前記固定板と角度を持ち、かつ前記下支板上に起
立して連設している横支板と、前記固定板より見
て前記下支板の対立側に連設してある把手よりな
る板状物保持具を用いて、固定穴に板状物の一端
を横支板側より挿入することで固定して保持す
る。

（作用） 板状物に瑕を付けることなく板状物を確実に持
ち運びできる様になつた。

（実施例） 本考案の一実施例を図面を用いて詳細に説明す
る。

第１図従つて説明をすると、平板の上部が下支
板１１を形成しており、下部が把手１４を形成し
ている。平板上には固定板１２と横支板１３は角
度をなしながらともに平板より起立して連設して
おり、また固定板１２の中央下部には把手側ほど
穴が小さい四角形状の貫通穴が固定穴１５として
設けられている。

この板状物保持具を用いるときは、板状物２１
の隅へ図の下部より保持具を挿し入れ、一辺が横
支板１３に当る様に板状物の隅を固定穴１５へ入
れる。ここでこのまま把手１４を用いて板状物２
１をさし上げる様に持つと、板状物２１は固定さ
れ、持ち運び等がこの状態で可能となる。

また、第１図に示した実施例の他に第２図に示
した実施例もある。この板状物保持具は、平板の
上部が下支板１１を形成しており、下部が把手１
４を形成しており、全体としてＹ字形状をしてい
る。平版上には固定板１２と横支板１３が角度を
なしながらともに平板より起立して連設してお
り、このとき横支板１３は下支板１１の一つの伸
長方向と平行に連設してある。また、固定板１２
の中央下部には把手側ほど穴が小さい四角形状の
貫通穴が固定穴１５として設けられている。

この板状物保持具は、板状物２１の隅を固定し
て板状物の持ち運びに用いられるもので、板状物
２１の隅へ挿し入れて固定穴１５と横支板１３と
下支板１１で固定させるものである。本実施例は
パターニングしてマスクに用いられる板状物等の
精度を必要とする板状物の中央部に保持具が触ら
ない様下支板１１が二股に分れている。

もちろん、以上に述べた様に下支板の形状は板
状物によつて種々変形してもよい事は当然であ
る。

（考案の効果） 本考案による板状物保持具を用いて板状物を保
持する事により、板状物に瑕を付けずに持ち運び
をする事が可能になつた。特に、フオトマスク等
の精密な表面を必要とする板状物や、レジストを
塗布した板状物等の表面に瑕が付き易いものにつ
いては特にその効果が表われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す斜視図であ
り、第２図は別な実施例を示す斜視図である。 １１……下支板、１２……固定板、１３……横
支板、１４……把手、１５……固定穴、２１……
板状物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 少なくとも上面が平板である下支板１１と、前
   記下支板１１上に起立し、かつ略四角形状の固定
   穴１５を下端に持つ固定板１２と、前記固定穴１
   ５の少なくとも一側に前記固定板１２と角度を持
   ち、かつ前記下支板１１上に起立して連設してい
   る横支板１３と、前記固定板１２より見て前記下
   支板１１と対立側に連設してある把手１４よりな
   る事を特徴とする板状物保持具。