JPS6311727Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はシリコンスライスのような半導体板を
多数同時に取り扱うことができる治具に関する。

シリコンスライスなどの半導体板の多数を各種
化学処理液中にて洗浄あるいはエツチング等を行
う場合には、テフロンなどからなり多数の平行み
ぞを有する治具のみぞに半導体板をそう入する。
また酸化、拡散等の熱処理を行う時には高温に耐
える石英からなる同様に多数の平行みぞを有する
治具のみぞに半導体板をそう入する。あるいは半
導体板の輸送、保管などのためにも内面に多数の
平行みぞを有する容器が用いられる。半導体板は
当然これらの治具の間で移し替えを手を触れない
で行わなければならない。これに対しては半導体
板をピンセツトあるいはエアピンセツトを用いて
１枚ずつとり出し移し替える方法が最も単純であ
る。しかしこれらは半導体板に接触する際にきず
をつけやすく、またよごれを移す虞もある。よご
れについては、特にエアピンセツトの場合周囲か
ら塵埃を吸引するのでその危険が一層強い。この
ようなきず、よごれは半導体製品の不良率の増大
の原因となる。その上また１枚ずつ移しかえる手
数がかかり、作業能率が低い。そのため洗浄用治
具、熱処理用治具あるいは輸送用容器の平行みぞ
を等間隔にしておき、半導体板をそう入した一方
の治具の上に他方の治具をかぶせ、そのみぞに半
導体板の上部を入りこませたのち、両治具の位置
を逆転して半導体板を空であつた治具のみぞへ落
し込む方法がとられている。このような操作を機
械的に行なうウエーハたてかえ機も市販されてい
る。しかし上方の治具から下方の治具へ落下する
とき、落下速度を調整することは困難で、その際
半導体板に割れ不良が発生する虞がある。

本考案はこれらの欠点を除去し、多数の半導体
板の同時に移し替えをきずや割れの発生、よごれ
の付着等の危険なく行うことのできる半導体板取
扱い治具を提供することを目的とする。

この目的は取り扱い治具が、半導体板が挿入で
きる間隔を備えた一方の開口部を有し、内側に対
向する溝を備え、さらに半導体板を保持するよう
な狭い他方の開口部を形成するように前記溝が延
長されたものであつて、互いに対向する側に湾曲
されてなる溝を有する容器において、この容器を
二つの部材に分け、前記他方の開口部を半導体板
径より大きくし、前記一方の開口部を逆に小さく
するように回転可能な支点を設け、この支点にお
いて両部材を連結してなることによつて達成され
る。

以下図を引用して本考案の実施例について説明
する。第１図において治具は二つの本体１からな
り、各本体１はねじ軸２によつて結合され、その
ねじをゆるめた時は軸２の周りに可動可能であ
り、またねじを締めることにより固定される。各
本体１の内面３はその間に空調部を形成するくぼ
みを有し、その空調部の下部が狭くなるように内
面３が湾曲している。さらに両内面３は互に対向
してみぞ４が切られている。また両本体１の外面
の上部には突出部５が設けられている。みぞ４は
洗浄用テフロン治具、熱処理用石英治具あるいは
輸送用容器の平行みぞと等間隔に形成されてい
る。従つてこの治具を一対の突出部５において手
で持ち、ねじ軸２をゆるめて第２図の矢印６が示
すように上端を狭め、下端を広くして覆いのない
平板状の治具あるいは半導体板の側面との間に空
間のある容器に入つている半導体板７にかぶせ、
各半導体板７を治具内面３のみぞ４の中に挿入す
ることができる。次に第３図に示すように突出部
５を矢印９の方向に開けば、半導体板７は矢印８
の方向に移動し内面３の下方湾曲部に支えられ
る。このあとねじ軸２を締めれば、両本体１はこ
の位置で固定されるので半導体板を自由に持ち運
ぶことができる。このようにして新たに半導体板
を移すべき治具の上方へ持つていき、再び第２図
に示すように本体１の下端を開いて半導体板７を
矢印１０の方向に落とす。この際一対の突出部５
をはさむ指先の押えの調整により、半導体板７を
みぞ４を滑らせながら落とすことができるため、
半導体板７に割れの発生することを防ぐことがで
きる。

以上述べたように、本考案により治具は従来の
内面にみぞを有するウエハキヤリアを二分割し、
両部分を同軸の周りに回動できるようにしたもの
で、これを用いることにより平板型の治具に収納
された多数の半導体板を同時につかみ取りし、所
望の場所で調整した速度で半導体板をおろして移
し替えを行なうことができる。従つてピンセツ
ト、エアピンセツトを用いる必要がなく、また急
激な落下もないので、半導体板へのきず、割れの
発生、よごれの付着など従来の移し替えの問題点
がすべて解消できる。

本考案による治具は耐薬品性材料、例えばテフ
ロンで作ればそのままエツチング用治具として用
いることができ、また適切な容器に入れれば、そ
のまま半導体板の運搬、保管などにも利用するこ
とができるなど得られる効果は極めて大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図、
第３図はその使用状態を示す正面図である。 １……本体、２……ねじ軸、３……内面、４…
…みぞ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体板が挿入できる間隔を備えた一方の開口
   部を有し、かつ内側に対向する溝を備え、さらに
   半導体板を保持するような狭い他方の開口部を形
   成するように前記溝が延長されたものであつて、
   互に対向する側に湾曲されてなる溝を有する容器
   において、この容器を二つの部材に分け、前記他
   方の開口部を半導体板径より大きくし、前記一方
   の開口部を逆に小さくするように回転可能な支点
   を設け、この支点において両部材を連結したこと
   を特徴とする半導板の取扱い治具。