JPH02143545A - キャリア受け台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、キャリア受け台に関する。

（従来の技術） 被処理基板例えば半導体ウェハの製造工程には、酸化処
理、拡散処理、ＣＶＤ処理等の熱処理工程がある。この
熱処理を行なう処理装置に上記ウェハを反応炉に搬入し
て熱処理を行なうものであるが、上記処理装置では高温
例えば６００〜１４００℃程度で処理を行なうことや、
１００〜１５０枚程度−括処理する等の理由で、第１の
収納容器例えば２５枚の上記ウェハを収納可能なキャリ
アから第２の収納容器例えば耐熱性に優れた石莢ガラス
よりなる熱処理用ボートに上記ウェハを移替え、このボ
ートを上記反応炉に搬入して熱処理を行なっている。

上記キャリア及びボート間のウェハの移替えには。

複数枚例えば２５枚−括把持搬送可能な移替え装置を使
用している。このような移替え装置は、例示すると、特
開昭５４−３４７７４号、特開昭６１−５５４１号、特
開昭６２−１６９４４０号、実開昭６１−３３４４３号
、実開昭６１−５９３４５号、実開昭６１−９７８４２
号、特公昭６１４１８６号公報等多数の出願がある。即
ち、上記移替え装置では、前工程から搬送され複数枚例
えば２５枚のウェハが収納されたキャリアを、キャリア
受け台上に複数個設置し、このキャリア受け台を移替え
位置まで搬送する。そして、このキャリア内のウェハを
、押上げ機構により上記キャリア下方から上方に押上げ
、この押上げられたウェハを把持機構により把持し、移
替え位置に設置された上記ボート上に移替える。そして
、このボートは上記反応炉に搬送して熱処理を行なって
いる。

この処理後には、上記ボートを再び上記移替え位置に搬
送設置し、上記ボートに積載されている処理後のウェハ
を、上記移替え位置に設置されている空のキャリア内に
移替えて熱処理を完了する。

（発明が解決しようとする課題） 近年、ＩＣの集積化が更に進むに従い、１個とか２個の
塵による影響が無視できない状態となっている。そのた
め、上記移替えにおいては、前工程から搬送された複数
枚の未処理ウェハを収納しているキャリアと上記処理装
置で処理された処理済みウェハを収納するキャリアを同
一のものを使用せず、上記処理済みウェハを収納するキ
ャリアは洗浄後のものを使用し、更に、この処理済みウ
ェハを収納するキャリアと、上記未処理ウェハを収納す
るキャリアの間接的な接触も回避することが要望されて
いる。これは、上記前工程からウェハを搬送する際に、
上記ウェハがキャリアと接触することにより、このウェ
ハ表面に被着されている膜が微量に剥離し、これが塵と
なって上記キャリアに付着する。このようなキャリアを
移替え装置のキャリア受け台に載置し、移替え操作が実
行される。そのため、上記キャリアに付着していた塵が
、上記移替え操作により落下し、上記載置台表面に付着
してしまう。そして、処理装置で処理されたウェハを再
び上記載置台上においてキャリアに移替える際に、上記
載置台表面に付着していた塵が舞い上り等により上記処
理済みウェハ及びウェハカセットに付着し汚染してしま
い、ウェハの歩留まりが低下するという問題が発生した
。たとえ、上記処理済みウェハを収納するキャリアを洗
浄して使用したとしても、上記載置台表面に付着した塵
はそのまま存在しているため、この塵の舞い上りは防止
できず、上記したようにウェハを汚染させてしまった。

本発明は上記点に対処してなされたもので、板状物への
塵の付着を抑止し、この塵による歩留まりの低下を防止
することを可能とした移替え装置を提供しようとするも
のである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、複数枚の板状物を収納可能なキャリアを載置
するキャリア受け台において、上記キャリアを載置する
載置面を複数個設け、この載置面を切換える切換え機構
を設けたことを特徴とする移替え装置を得るものである
。

（作用効果） 即ち、本発明は、複数枚の板状物を収納可能なキャリア
を載置するキャリア受け台において、上記キャリアを載
置する載置面を複数個設け、この載置面を切換える切換
え機構を設けたことにより、前工程から搬入されるキャ
リアと、このキャリアに収納している板状物が擦れるこ
と等により上記載置面に塵が落下し付着しても、上記載
置面が複数個設けられ、この載置面を切換えることがで
きるため、上記載置面に付着している塵が搬出する上記
キャリア及びこのキャリアに収納された板状物に上記塵
が付着することはない。そのため、少なくとも上記した
搬出するキャリアには上記塵が付着することがなく、清
浄度の高い状態で上記板状物を搬出することができる。

また、上記塵の付着を防止できるため、板状物の歩留ま
りを低下させることはない。

（実施例） 以下、本発明キヤリア受け台を半導体ウェハの移替えに
適用した実施例につき、図面を参照して説明する。

まず、移替え装置の構成を説明する。

この移替え装置は、例えば第１図に示すように、板状物
例えば半導体ウェハ０）を、複数枚例えば２５枚板厚方
向に所定の間隔を開けて収納可能な第１の収納容器例え
ばキャリア■を、複数個例えば６個直列状に載置するキ
ャリア受け台■と、このキャリア受け台■上に載置され
たキャリア■に収納されている上記ウェハＯ）を−括把
持して搬送する移替え機構（へ）と、この移替え機４ｉ
１　（４）で搬送されたウェハ■を複数枚例えば１００
枚〜１５０枚板厚方向に所定の間隔を開けて積載可能な
第２の収納容器例えばボート■を載置する載置台０と、
この移替え装置の動作制御及び設定制御を行なう制御部
■がら構成されている。

上記キャリア■のキャリア受け台■は、第２図に示すよ
うに、上記各キャリア■の下面両側縁部に夫々対向する
如く方形状平板■が配置されている。この平板（８）に
複数個例えば６個の上記キャリア■を、夫々対応させて
直列状に配置可能となっている。このキャリア■を載置
するキャリア受け台■には、複数の載置面が設けられて
いる。例えば上記平板（８）が切換え機構０で１８０”
反転可能に構成することにより、上記キャリア■の載置
面を複数個例えば２個形成することができる。この載置
面の切換えは、上記キャリア■下面の一側縁部に直列状
に配置されている平板（８ａ）が一体的に回転する如く
、回転軸（１０ａ）が連通し、この回転軸（１０ａ）の
一端側に上記切換え機構（９ａ）例えばロータリーアク
チュエータが接続されており、また。

上記キャリア■下面の上記と異なる一側縁部に直列状に
配置されている平板（８ｂ）が一体的に回転する如く１
回転軸（１０ｂ）が連設し、この回転軸（１０ｂ）の一
端側に上記切換え機構（９ｂ）例えばロータリーアクチ
ュエータが接続されている。この切換え機構（９ａ）　
（９ｂ）の駆動は例えばエア駆動により、上記載置面を
切換え可能としている。さらに、上記平板（へ）の少な
くとも露出表面をテフロン（商品名）等で形成しておく
ことにより、上記キャリア■を載置しても塵の発生が抑
止される。

上記移替え機構（イ）には、上記キャリア■内に収納さ
れた複数枚例えば２５枚のウェハ■を一括把持可能な、
上記キャリア■に収納するウェハ■の間隔と同間隔の溝
が形成されている把持片（ｌｌａ）（ｌｌｂ）が設けら
れている。この把持片（ｌｌａ）　（１ｌｂ）は、上記
ウェハ■を把持する如く対向配置され、夫々相対的に移
動して上記把持片（１１ａＨ１１ｂ）（ｌｌｂ）の間隔
を変更可能としている。この把持片（ｌｌａ）　（ｌｌ
ｂ）の周囲には、この把持片（ｌｌａ）　（ｌｌｂ）か
ら下方へ即ち、上記ウェハ■へ塵等が落下しないように
カバー（１２）が設けられている。このカバー（１２）
及び上記把持片（Ｉｌａ）　（ｌｌｂ）は夫々支持体（
１３）により支持されており、この支持体（１３）によ
り上下動が可能とされている。この支持体（１３）の下
方には、上記ウェハ■の板厚方向へ上記把持片（ｌｌａ
）　（ｌｌｂ）を移動可能とする一軸移動機植例えばボ
ールネジ（１４）及びそのガイド（１５）が設けられて
いる。このような移替え機構（イ）で上記キャリア■内
に収納されているウェハ（ト）を把持する際、この把持
を容易に行なうために、上記キャリア■のキャリア受け
台■下方には、このキャリア受け台■が載置されている
キャリア■を貫通して、収納されている複数のウェハ（
ト）を−括して押上げる押上げ機構（１６）が設けられ
ている。この押上げ機構（１６）は、下端に連設した駆
動機構（１６ａ）により上下動が可能とされており、こ
の駆動機構（１６ａ）によりウェハ■を押上げた際に、
上記押上げ機構（１６）上面に安定して上記ウェハ（ト
）が設置されるように溝が形成されている。

また、上記移替え機構（イ）により搬送されたウェハ（
υを複数枚例えば１００〜１５０枚積載する耐熱性材質
例えば石英ガラス！のボート０を載置する載置台０は、
上記キャリア■の載置台■と直列状に配置されており、
上記ボート０の両端を挟持することにより位置決め支持
する支持機構が備えられている。このようにして移替え
装置が構成されている。

次に、上述した移替え装置の動作作用を説明する。

まず、複数枚例えば２５枚のウェハ（１）が収納されて
いるキャリア■を、ロボット或いは人手によってキャリ
ア■の載置台■上に複数個例えば６個載置する。そして
、各キャリア■内に収納されているウェハ■のオリエン
テーション・フラットを、同一方向に自動的に位置合わ
せする。この位置合わせは、上記キャリア受け台■下方
に設けられた図示しない位置合わせ機構により上記ウェ
ハ（１）を回転させて、上記オリエンテーション・フラ
ットを合わせる。そして、上記キャリア■内に収納され
ているウェハ■の枚数及び位置を検出した後、上記ウェ
ハ■の移替えを行なう。この移替えは。

第３図に示すように、キャリア受け台（３）下方に配置
されている押上げ機構（１６）を駆動機構（１６ａ）の
動作により上昇させて、上記キャリア■内のウェハ■を
押上げる。この押上げた状態のウェハ■を、把持片（ｌ
ｌａ）（ｌｌｂ）の相対的な移動により把持し、上記押
上げ機構（１６）を下降させた後、−軸移動機構例えば
ボールネジ（１４）の駆動により上記把持片（ｌｌａ）
　（ｌｌｂ）を上記ボート０方向へ移動させる。そして
、上記ボート（ハ）の所定位置に上記把持搬送したウェ
ハ■を積載する。この移替え動作を複数回繰返し、上記
複数のキャリア■に収納されている所望するウェハ（ト
）の総てを移替える。そして、この複数のウェハ■を積
載したボート■を図示しないエレベータ−やボート搬送
装置等により次工程装置例えば熱処理装置に搬入し、熱
処理が行なわれる。

上記熱処理後には、上記ボート０を上記移替え装置のボ
ート載置台０上に搬送設定する。そして、上記移替え機
構６）により上記した移替え動作と同様に、キャリア受
け台■上に載置されているキャリア■に移替える。この
時収納するキャリア■は、防塵対策のために、未処理状
態のウェハ■を収納したキャリア■即ち搬入用のキャリ
ア■を、洗浄した後に使用するか、或いは上記搬入用の
キャリア■と異なり洗浄されているキャリアを使用する
。

更に、上記洗浄されたキャリア即ち搬出用のキャリア（
２ａ）を載置するキャリア受け台■の載置面を、上記搬
入用と異なる載置面を使用する。これは、上記搬入用の
キャリア（２）を上記キャリア受け台■に搬入設置した
際に、このキャリア■とこれに収納していたウェハ（わ
が接触及び振動等により擦れて、上記ウェハ０表面に被
着している膜の一部が剥離し、これが塵となって落下し
て上記キャリア■及びこれを載置しているキャリア受け
台（３）の載置面に付着する。そのため、この載置面に
上記搬出用のキャリア（２ａ）を載置すると、上記載置
面に付着していた塵が舞い上り等により上記搬出用キャ
リア（２ａ）及びこれに収納しているウェハ（ト）に付
着し、汚染されてしまう。この汚染を防止するために、
上記キャリア受け台■の載置面を切換え機構（９）によ
り切換え、搬入用のキャリア■と搬出用キャリア（２ａ
）を夫々異なる載置面を使用することにより塵の付着は
ない。この載置面を切換えた際に、使用していない一方
の載置面を洗浄してもよいし、クリーンルーム内のダウ
ンフローを利用して吸気エアーやブラシなどにより脱離
させてしまってもよい。上記載置面の切換えは、切換え
機構（９ａ）　（９ｂ）例えばロータリーアクチュエー
タをエア駆動することにより複数の平板（８ａ）　（８
ｂ）を１８０゜回転させて、この平板（８ａ）　（８ｂ
）の表裏を切換える。

このエア駆動により、必要に応じて上記載は面の切換え
を行なうことができる。

また、上記載置面を複数個切換え使用することができる
ため、搬入用のキャリア■及び搬出用のキャリア（２ａ
）の形状が異なる場合にも対応することができる。即ち
、第４図Ａ及び第４図Ｂに示すように、搬入用のキャリ
ア■を載置する載置面には、この搬入用のキャリア（２
）形状と対応する位置決め支持部材（１７ａ）を設ける
ことができ、また、搬出用のキャリア（２ａ）を載置す
る載置面には、この搬出用キャリア（２ａ）形状と対応
する位置決め支持部材（１７ｂ）を設けることができる
ため、上記搬入用のキャリア（２）と搬出用キャリア（
２ａ）の形状が異なっていても容易に対応することが可
能となる。

上記実施例では、キャリアの載置面を複数個設ける構成
として、平板の表面及び裏面の２個を切換え使用する構
成について説明したが、これに限定するものではなく、
例えば第５図Ａに示すように三角柱状で回転させること
により３個の載置面を切換えてもよく、この載置面の数
を次工程の処理に応じて増加させることができる。また
、第５図Ｂに示すように１個の回転軸を中心に一体的に
回転させてもよい。

また、上記実施例では切換え機構として、エア駆動する
ロータリーアクチュエータを使用して説明したが、これ
に限定するものではなく、例えばモータやロータリーソ
レノイド等を使用しても同様に行なうことができる。

以上述べたようにこの実施例によれば、複数枚の板状物
を収納可能なキャリアを載置するキャリア受け台におい
て、上記キャリアを載置する載置面を複数個設け、この
載置面を切換える切換え機構を設けたことにより、前工
程から搬入されるキャリアと、このキャリアに収納して
いる板状物が擦れること等により上記載置面に塵が落下
して付着しても、上記載置面が複数個設けられており、
この載置面を切換えることができるため、上記載置面に
付着している塵が搬出する上記キャリア及びこのキャリ
アに収納された板状物に上記塵が付着することはない。

そのため、少なくとも上記搬出するキャリアには上記塵
が付着することがなく、清浄度の高い状態で上記板状物
を搬出することができる。また、上記塵の付着を防止で
きるため、板状物の歩留まりを低下させることはない。

更に、対応要求されている搬入用のキャリア及び搬出用
のキャリアの間接的な接触を回避することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明キヤリア受け台の一実施例を説明するた
めの移替え装置の構成図、第２図は第１図のキャリア受
け台説明図、第３図は第１図の移替え機構説明図、第４
図及び第５図は第１図キャリア受け台の他の実施例説明
図である。 １・・・ウェハ ３・・・キャリア受け台 ５・・・ボート ９・・・切換え機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数枚の板状物を収納可能なキャリアを載置するキャリ
   ア受け台において、上記キャリアを載置する載置面を複
   数個設け、この載置面を切換える切換え機構を設けたこ
   とを特徴とするキャリア受け台。