KR100581689B1

KR100581689B1 - 기판유지구, 전자 디바이스의 제조방법, 포토마스크의제조방법

Info

Publication number: KR100581689B1
Application number: KR1020040027168A
Authority: KR
Inventors: 고 치와타
Original assignee: 호야 가부시키가이샤
Priority date: 2003-04-21
Filing date: 2004-04-20
Publication date: 2006-05-22
Also published as: KR20040091570A; JP2004323130A; CN1540737A; CN100343971C; TW200425249A; TWI267113B

Abstract

기판유지구에 있어서, 사이즈가 다른 기판을 유지가능하고 또한, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 기판의 낙하를 방지한다. 또한, 전자 디바이스나 포토마스크의 제조에 있어서, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용을 삭감하고 또한 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킨다. 사각형의 기판(1)을 그 주표면이 연직방향에 따르도록 유지하는 기판유지구(10,20,30,40)에 있어서, 기판(1)의 인접하는 두변을 소정각도 경사진 상태로 하방에서 지지하는 기판유지부 (12,22,32,42)를 설치한다. 또한, 기판(1)에 소정의 처리를 실시하여 전자 디바이스나 포토마스크를 제조하는 제조공정에 있어서, 기판(1)의 일시 대기, 보관, 반송 등을 행할 때 상기 기판유지구(10,20,30,40)로 기판(1)을 유지한다.

전자 디바이스, 포토마스크, 기판 유지구

Description

기판유지구, 전자 디바이스의 제조방법, 포토마스크의 제조방법{SUBSTRATE HOLDING TOOL, MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD OF PHOTO MASK}

도 1은 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도.

도 2는 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 평면도.

도 3a는 기판을 유지한 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 개략측면도, 도 3b는 기판을 유지한 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 개략정면도.

도 4는 기판의 핸들링시를 나타낸 설명도.

도 5는 제 2 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도.

도 6은 제 3 실시예의 기판유지구를 나타낸 사시도.

도 7은 제 4 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도.

도 8은 원형의 기판을 지지한 상태의 기판유지구를 나타낸 측면도.

도 9는 팔각형의 기판을 지지한 상태의 기판유지구를 나타낸 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1: 기판 10: 기판유지구

11: 베이스부 12: 기판지지부

13: 측판 16: 지지부재

20: 기판유지구 21: 베이스부

22: 기판지지부 24: 종 파이프

25: 고정지지부재 26: 회전지지부재

30: 기판유지구 31: 베이스부

32: 기판지지부 33: 지지 프레임

40: 기판유지구 41: 베이스부

42: 기판지지부 43: 차륜

44: 지지 프레임 45: 지지부재

본 발명은 액정표시 패널기판, 포토마스크 기판 등의 기판을 유지하는 기판유지구에 관한 것으로, 나아가서는 상기 기판유지구를 이용하는 전자 디바이스의 제조방법 및 상기 기판유지구를 이용하는 포토 마스크의 제조방법에 관한 것이다.

액정표시패널(전자 디바이스)나, 그 제조에 사용되는 포토마스크는 통상 사각형의 기판(글라스 기판 등)에 소정의 처리를 실시하여 제조된다. 이러한 제조에 있어서, 기판의 일시 대기, 반송, 보관 등을 행할 시에는 기판을 유지하는 기판유지구가 이용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1에 나타낸 기판유지구는 상자모양의 카셋트이며, 기판의 출입구가 되는 개구부를 구비하고 있다. 카셋트의 대향하는 두개의 내측면에는 각각 다수의 수납구가 병렬형태로 형성되어 있고, 이 수납구에 기판의 평행한 두변을 차입함으로써 다수의 기판이 수납된다.

또한, 특허문헌 1에서는 카셋트를 종치(縱置) 자세로 하고, 기판을 연직형태로 유지한 상태와, 카셋트를 횡치(橫置) 자세로 하고 기판을 수평형태로 유지한 상태와, 카셋트를 경사 자세로 하고 기판을 경사형태로 유지한 상태가 개시되어 있다.

[특허문헌 1]

특개평 9-115996호 공보(제 2 페이지, 제 1도)

그런데, 액정표시 패널이나 포토 마스크에는 특히 사이즈의 규격이 없고, 또한 최근에는 액정표시 패널이 대형화하는 경향이 있기 때문에, 액정표시 패널이나 포토 마스크의 제조시에 다양한 사이즈의 기판을 다루는 것이 요구되고 있다. 예를 들면, 액정표시 패널의 제조에 사용되는 포토마스크의 경우에는 그 제조시에 처리기판의 사이즈가 열 종류를 넘는 일이 있다.

그러나, 상기 특허문헌 1에 나타낸 기판유지구는 기판의 평행한 두변을 지지하도록 구성되어 있기 때문에 유지가능한 기판의 사이즈가 한정된다. 그 결과, 기판의 사이즈마다 전용 기판유지구가 필요하게 되어 설비 비용을 증가시킬 뿐만 아니라, 이러한 기판 유지구가 많은 공간을 점유한다는 문제가 있다.

또한, 액정표시 패널이나 포토 마스크의 제조시에 기판을 핸들링하는 경우에는 낙하에 의한 기판의 파손을 방지하기 위하여 기판을 신중히 다루는 것이 요구된다.

그러나, 특허문헌 1에 나타낸 기판유지구에서는 기판의 출입시에 기판의 평행한 두변을 양 손으로 들기 때문에 대형의 무거운 기판을 핸들링할 때 손이 미끄러져 기판을 낙하시킬 가능성이 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안한 것으로, 사이즈가 다른 기판을 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 기판의 낙하를 방지할 수 있는 기판유지구의 제공을 제 1 목적으로 한다.

또한, 액정표시 패널 등의 전자 디바이스의 제조에 있어서, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판 유지구의 점유면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있는 전자 디바이스의 제조방법의 제공을 제 2 목적으로 한다.

또한, 포토 마스크의 제조에 있어서, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판 유지구의 점유면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있는 포토 마스크의 제조방법의 제공을 제 3 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판유지구는 사각형의 기판을 그 주표면이 연직방향에 따르도록 유지하는 기판 유지구로서, 상기 기판의 인접하는 두변을 소정 각도 경사진 상태로 하방에서 지지하는 기판 지지부를 구비한 구성으로 하고 있다.

기판유지구를 이렇게 구성하면, 기판의 인접하는 두변을 하방에서 지지함으 로써 다른 사이즈의 기판을 유지하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해, 기판의 사이즈마다 전용 기판유지구를 준비하는 종래에 비하여 설비 비용을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 유지구의 점유 공간을 삭감할 수 있다.

또한, 기판의 인접하는 두변을 하측에서 유지하도록 핸들링할 수 있기 때문에 기판의 출입시에 기판의 낙하를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 기판유지구는 상기 기판지지부가 장방형 기판의 장변을 하방에서 지지하는 장변 지지영역과, 상기 장방형 기판의 단변을 하방에서 지지하는 단변 지지영역을 구비하고, 상기 장변 지지영역과 수평면이 이루는 각이 상기 단변 지지영역과 수평면이 이루는 각 보다도 작게 설정되는 구성으로 하고 있다.

기판유지구를 이렇게 구성하면, 유지하는 장방형 기판의 중심위치를 낮게 억제할 수 있기 때문에, 기판을 안정적으로 유지하여 기판의 넘어짐을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 기판유지구는 원형 또는 다각형의 기판을 그 주표면이 연직방향에 따르도록 유지하는 기판유지구로서, 상기 기판의 측연(側緣)을 하방에서 지지하는 두개의 지지영역을 가지고, 또한, 이러한 지지영역이 수평면과 소정의 각도를 가지는 기판지지부를 구비한 구성으로 하고 있다.

기판유지구를 이렇게 구성하면, 원형 또는 다각형의 기판을 지지할 수 있고, 사각형의 기판을 지지하는 상기 기판지지구와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 여기서, 다각형으로는 오각형 이상의 것을 말하며, 원형으로는 완전한 원 뿐만 아니라 타원을 포함하는 것이다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에서의 전자 디바이스의 제조방법은 기판에 소정의 처리를 실시하여 전자 디바이스를 제조하는 전자 디바이스의 제조방법으로서, 상기 기판유지구로 상기 기판을 유지하는 공정이 포함되는 방법으로 하고 있다.

전자 디바이스의 제조방법을 이러한 방법에 의하면, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판유지구의 점유면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에서의 포토 마스크의 제조방법은 기판에 소정의 처리를 실시하여 포토 마스크를 제조하는 포토 마스크 제조방법으로서, 상기 기판유지구로 상기 기판을 유지하는 공정이 포함되는 방법으로 하고 있다.

포토 마스크의 제조방법을 이러한 방법에 의하면, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판유지구의 점유면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

[기판유지구의 제 1 실시예]

먼저, 본 발명에 따른 기판유지구의 제 1 실시예에 대하여 도 1 ~ 도 4를 참조하여 설명한다.

도 1은 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도, 도 2는 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 평면도, 도 3a는 기판을 유지한 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 개략측면도, 도 3b는 기판을 유지한 제 1 실시예의 기판유지구를 나타낸 개략정면도, 도 4는 기판의 핸들링시를 나타낸 설명도이다.

이들 도면에 나타낸 것과 같이, 제 1 실시예의 기판유지구(10)는 상면(床面)에 재치(載置)되는 베이스부(11)와, 기판(1)을 지지하는 기판지지부(12)를 구비하여 구성되어 있다.

기판유지구(10)가 유지하는 기판(1)은 액정표시 패널기판이나 포토 마스크 기판으로서 이용되는 사각형(장방형, 정방형 등)의 것으로, 본 실시예에서는 한변이 170㎜ 이상(바람직하게는, 300㎜ 이상), 중량이 0.2㎏~10㎏의 글라스 기판을 상정(想定)하고 있다.

베이스부(11)는 소정의 간극(間隙)을 통하여 대향하는 한쌍의 측판(13)과, 측판(13)의 상부끼리를 일체적으로 연결하는 다수의 상부연결부재(14)와, 측판(13)의 하부끼리를 일체적으로 연결하는 다수의 하부연결부재(15)로 구성되어 있다.

측판(13)의 상부에는 기판(1)의 각부 형상에 대응하는 직각삼각형의 요부(凹部)(13a)가 형성되고, 이 요부(13a)에 따라 다수의 상부연결부재(14)가 병설되어 있다.

측판(13), 상부연결부재(14) 및 하부연결부재(15)의 재질은 기판(1)의 중량에 대하여 내성이 있으면 임의의 것을 선택할 수 있다. 예를 들면, 스테인레스, 알루미늄, 수지 등이 권장된다.

기판지지부(12)는 다수의 지지부재(16)로 구성되어 있다. 본 실시예의 지지 부재(16)는 상부연결부재(14)가 관통 가능한 원통으로 형성되고, 상부연결부재(14 )를 통하여 측판(13)에 취부되어 있다. 지지부재(16)의 외주부에는 긴 방향으로 소정의 간격을 두어 다수의 지지구(支持溝)(16a)가 형성되어 있다. 이 지지구(16a)는 기판(1)의 변(측면)을 지지하는 것으로, 구(溝)저면(16b)의 폭은 유지하는 기판 (1)의 두께보다도 크게 설정되어 있다. 또한, 지지구(16a)의 구측면(16c)은 기판 (1)의 변을 구저면(16b)으로 경사안내하는 경사면으로 되어 있다.

지지부재(16)의 재질은 비교적 경질로 발진(發塵)이 적은 것이면 임의로 선택할 수 있다. 예를 들면, 테프론(등록상표), 데루린, 알루미늄 등 알루마이트 처리를 실시한 금속 등이 권장된다.

또한, 본 실시예의 지지부재(16)는 상부연결부재(14)에 일체적으로 고정되어 있지만, 상부연결부재(14)에 대하여 회전이 자유롭게 있어도 무방하다.

또한, 본 실시예의 지지부재(16)는 다수의 기판(1)을 유지하기 위하여 다수의 지지구(16a)를 갖지만, 유지하는 기판(1)이 1 매인 경우에는 지지구(16a)를 일체로 하여도 무방하다.

상술한 다수의 지지부재(16)는 기판유지구(10)를 측면에서 보았을 때, 수평면에 대하여 소정각도(θ) 경사진 가상 직선과, 이것에 직교하는 가상 직선을 따라 나란하다.

기판(1)을 기판유지구(10)에 유지시킨 경우에는 도 4에 나타낸 것과 같이 주표면이 연직방향을 따라, 또한, 변이 경사지도록 기판(1)을 핸들링한다. 이 때, 기판(1)의 인접하는 두변을 하방에서 양손으로 유지할 수 있기 때문에 기판(1)의 평 행한 두변을 좌우 양측에서 유지하는 경우와 비교하여 손이 미끄러지기 어렵게 되어 기판(1)의 낙하를 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다.

그리고, 상기와 같이 핸들링한 기판(1)을 지지부재(16) 위에 내리고, 기판 (1)의 인접하는 두변을 각 지지부재(16)의 지지구(16a)에 세트하면, 기판(1)이 기판유지구(10)에 의해 유지되는 것이 된다.

즉, 상기와 같이 기판(1)을 기판유지구(10)에 세트하면, 다수의 지지부재 (16)가 기판(1)의 인접하는 두변을 하방에서 지지함으로써, 주표면이 연직방향에 따른 자세로 기판(1)이 유지된다. 이러한 기판유지 구조에 따르면, 기판(1)의 네변중, 인접하는 하측의 두변만이 지지 대상이 되기 때문에, 기판(1)의 평행한 두변을 지지하는 것과 같이, 유지하는 기판(1)의 사이즈가 한정되는 일 없이, 다양한 사이즈의 기판(1)을 유지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예의 기판지지부(12)는 기판(1)의 인접하는 두변을 지지할 때 한쪽의 변을 지지하는 지지영역(이하, 장변 지지영역이라 함)이 다른 쪽의 변을 지지하는 지지영역(이하, 단변 지지영역이라 함)보다도 길게 되어 있어, 장방형의 기판(1)을 유지할 시에는 기판(1)의 장변이 장변 지지영역에 세트된다.

장변 지지영역과 수평면이 이루는 각 θ는 5°~ 45°가 바람직하고, 10°~ 30°이면 더 바람직하다. 즉, 장변 지지영역과 수평면이 이루는 각 θ를 단변 지지영역과 수평면이 이루는 각(90-θ)보다도 작게 하면, 장방형의 기판(1)을 유지할 때에 기판(1)의 중심위치를 낮게 억제할 수 있기 때문에 기판(1)을 안정적으로 유지하여 기판(1)의 넘어짐을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시예의 기판지지부(12)는 소정의 간극을 통하여 배치되는 다수의 지지부재(16)로 구성되고, 기판(1)의 인접하는 두변을 부분적으로 지지하기 위하여, 기판(1)과 지지부재(16)의 접촉에 의한 발진이나, 지지부재(16)에서의 먼지의 퇴적을 억제하여 기판(1)에 대한 먼지의 부착을 저감시킬 수 있다.

[기판유지구의 제 2 실시예]

다음으로, 본 발명에 따른 기판유지구의 제 2 실시예에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다. 단, 제 1 실시예와 공통하는 구성 및 작용효과는 제 1 실시예의 설명을 원용하는 것으로 하고, 제 1 실시예와의 상위점을 중심으로 설명한다.

도 5는, 제 2 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도이다.

이 도면에 나타낸 것과 같이, 제 2 실시예의 기판유지구(20)는 상면에 재치되는 베이스부(21)와, 기판(1)을 지지하는 기판지지부(22)를 구비하여 구성되어 있다.

베이스부(21)는, 상면에 따른 횡파이프(23)와, 횡파이프(23)에 입설되는 다수의 종파이프(24)를 일체적으로 구비하여 구성되어 있다. 각 종파이프(24)의 상단위치는 기판유지구(20)를 측면에서 보았을 때 수평면에 대하여 소정각도(θ) 경사진 가상직선과, 이것에 직교하는 가상직선에 따르는 높이로 설정되어 있다.

기판지지부(22)는 각 종파이프(24)의 상단부에 설치되는 고정지지부재(25) 및 회전지지부재(26)로 구성되어 있다. 고정지지부재(25)는 장변 지지영역을 구성하는 것으로, 제 1 실시예의 지지구(16a)에 상당하는 지지구(25a)가 형성되어 있다. 또한, 회전지지부재(26)는 단변 지지영역을 구성하는 것으로, 지지구(26a)를 가지는 풀리형의 회전부재로 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 제 2 실시예의 기판유지구(20)에서도, 다수의 지지부재 (25,26)에 의해 기판(1)의 인접한 두변을 하방에서 지지하기 때문에, 제 1 실시예의 기판 유지구(10)와 마찬가지로, 다양한 사이즈의 기판(1)을 유지하는 것이 가능하게 된다.

더욱이, 제 2 실시예의 기판유지구(20)에서는, 다수의 종파이프(24)를 입설하고, 그 상단부에 지지부재(25,26)를 설치하고 있기 때문에, 기판(1)의 하방에 손이 들어가는 넓이의 공간을 확보하여 기판(1)의 핸들링을 보다 용이하게 할 수 있다.

[기판유지구의 제 3 실시예]

다음으로, 본 발명에 따른 기판유지구의 제 3 실시예에 대하여 도 6을 참조하여 설명한다. 단, 상기 실시예와 공통하는 구성 및 작용효과는 상기 실시예의 설명을 원용하는 것으로 하고, 상기 실시예와의 상위점을 중심으로 설명한다.

도 6은, 제 3 실시예의 기판유지구를 나타낸 사시도이다.

이 도면에 나타낸 것과 같이, 제 3 실시예의 기판유지구(30)는 상면에 재치되는 베이스부(31)와, 기판(1)을 지지하는 기판지지부(32)를 구비하여 구성되어 있다.

베이스부(31)는, 연직축을 중심으로 하여 회전가능한 회전 테이블을 구성하고 있고, 그 중심부에는 기판지지부(32)를 구성하는 Y자형의 지지 프레임(33)이 입설되어 있다. 지지프레임(33)의 상부는 기판유지구(30)를 측면에서 보았을 때, 수 평면에 대하여 소정 각도(θ) 경사진 가상직선과, 이것에 직교하는 가상직선에 따르도록 형상이 설정되어 있고 또한, 그 상면에는 제 1 실시예의 지지구(16a)에 상당하는 지지구(33a)가 연속적으로 형성되어 있다. 이 지지구(33a)는 기판(1)의 인접하는 두변을 하방에서 지지하기 때문에, 제 1 실시예의 기판유지구(10)와 마찬가지로, 다양한 사이즈의 기판(1)을 유지하는 것이 가능하게 된다.

더욱이, 제 3 실시예의 기판유지구(30)는, 베이스부(31)를 회전테이블로 하여 유지한 기판(1)을 회전시킬 수 있기 때문에, 다양한 사이즈의 기판(1)을 대상으로 하여 회전 목시(目視) 검사를 행하는 것이 가능한 목시 검사장치로서도 사용할 수 있다.

[기판유지구의 제 4 실시예]

다음으로, 본 발명에 따른 기판유지구의 제 4 실시예에 대하여 도 7을 참조하여 설명한다. 단, 상기 실시예와 공통하는 구성 및 작용효과는, 상기 실시예의 설명을 원용하는 것으로 하고, 상기 실시예와의 상위점을 중심으로 설명한다.

도 7은, 제 4 실시예의 기판유지구를 나타낸 측면도이다.

이 도면에 나타낸 것과 같이, 제 4 실시예의 기판유지구(40)는 상면에 재치되는 베이스부(41)와, 기판(1)을 지지하는 기판지지부(42)를 구비하는 구성으로 되어 있다.

베이스부(41)는 하면에 다수의 차륜(43)을 구비한 대차(臺車)를 구성하고 있고, 그 중심부에는 두개의 지지 프레임(44)이 입설되어 있다. 지지 프레임(44)의 상부에는, 기판지지부(42)를 구성하는 다수의 지지부재(45)가 설치되어 있다. 이러 한 지지부재(45)는, 기판유지구(40)를 측면에서 볼 때, 수평면에 대하여 소정 각도 (Θ) 경사진 가상직선과, 이것에 직교하는 가상직선에 따르도록 배치되고 또한 제 1 실시예의 지지구(16a)에 상당하는 지지구(45a)를 가지고 있다. 이들 지지구 (45a)는 기판(1)의 인접하는 두변을 하방에서 지지하기 때문에, 제 1 실시예의 기판유지구(10)와 마찬가지로, 다양한 사이즈의 기판(1)을 유지하는 것이 가능하게 된다.

더욱이, 제 4 실시예의 기판유지구(40)는 베이스부(41)를 대차로 하여 유지한 기판(1)을 반송하는 것이 가능하기 때문에, 다양한 사이즈의 기판(1)을 반송 가능한 기판 반송장치로서도 사용할 수 있다.

[전자 디바이스의 제조방법]

다음으로, 본 발명에 따른 전자 디바이스의 제조방법을 액정표시 패널의 제조방법을 예로 하여 설명한다.

액정표시 패널의 제조공정에는 액정표시 패널기판을 준비하는 공정과, 액정표시 패널기판에 소정의 처리를 실시하여 액정표시 패널을 형성하는 다수의 공정과, 형성된 액정표시 패널을 검사하는 공정이 포함된다.

상기의 각 공정 또는 각 공정간에 있어서, 액정표시 패널기판의 일시 대기, 보관, 반송, 목시검사 등을 행할 시에는 기판유지구 등으로 액정표시 패널기판을 유지하는 것이 요구된다. 본 발명에 따른 전자 디바이스의 제조방법은, 액정표시 패널기판을 유지할 필요가 있을 때, 상술한 기판유지구(10,20,30,40)로 액정 패널기판을 유지하는 점에 특징이 있다. 즉, 기판유지구(10,20,30,40)는 다양한 사이즈 의 기판을 유지하는 것이 가능하기 때문에, 필요한 기판 유지구의 종류와 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판유지구의 점유 면적을 삭감할 수 있다. 더욱이, 기판유지구(10,20,30,40)는 기판의 핸들링을 용이하게 하기 때문에 낙하에 의한 기판의 파손을 방지할 뿐만 아니라, 생산성을 향상시킬 수 있다.

[포토마스크의 제조방법]

다음으로, 본 발명에 따른 포토마스크의 제조방법에 대하여 설명한다.

포토마스크의 제조공정에는, 포토마스크 기판을 준비하는 공정과, 포토마스크 기판에 소정의 처리를 실시하여 포토마스크를 형성하는 다수의 공정과, 형성된 포토마스크를 검사하는 공정이 포함된다.

상기 각 공정 또는 각 공정간에 있어서, 포토마스크 기판의 일시 대기, 보관, 반송, 목시검사 등을 행할 시에는, 기판유지구 등으로 포토마스크 기판을 유지하는 것이 요구된다. 본 발명에 따른 포토마스크의 제조방법은, 포토마스크 기판을 유지할 필요가 있을 때, 상술한 기판유지구(10,20,30,40)로 포토마스크 기판을 유지하는 점에 특징이 있다. 즉, 기판유지구(10,20,30,40)는 다양한 사이즈의 기판을 유지하는 것이 가능하기 때문에, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판유지구의 점유 면적을 삭감할 수 있다. 더욱이, 기판유지구(10,20, 30,40)는 기판의 핸들링을 용이하게 하기 때문에, 낙하에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 상술한 사각형의 기판만을 대상으로 하는 것은 아니고, 원형이나 다각형의 기판에도 적용할 수 있다. 이러한 기판을 대상으로 하는 경우, 기판의 측 연을 하방에서 지지하는 두개의 지지영역의 교차각은 유지하는 기판의 형상에 맞는 각도로 하는 것이 바람직하다.

또한, 두개의 지지영역이 직교하는 기판유지구를 이용하여 (사각형의 기판을 지지하는 기판유지구와 병용하여) 완전한 원의 기판(1)을 지지할 때의 기판지지구 (50)로서는, 도 8에 나타낸 것과 같이, 기판지지부(52)에 지지구(53)를 설치한 구성으로 하면 좋으며, 이렇게 하면, 직경이 다른 원형의 기판을 지지하는 것도 가능하게 된다.

또한, 마찬가지로, 다각형, 예를 들어 팔각형의 기판(1)을 지지할 때의 기판지지구(60)로서는, 도 9에 나타낸 것과 같이, 기판지지부(62)에 지지부재(66)를 설치한 구성의 것을 이용할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면 기판유지구에 있어서 사이즈가 다른 기판을 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 기판의 낙하를 방지할 수 있다.

또한, 액정표시 패널 등의 전자 디바이스의 제조에 있어서, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판 유지구의 점유 면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 포토마스크의 제조에 있어서, 필요한 기판유지구의 종류나 개수를 줄여서 설비 비용이나 기판유지구의 점유면적을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 핸들링을 용이하게 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims

사각형의 기판을 그 주표면이 연직방향에 따르도록 유지하는 기판유지구로서,

상기 기판의 인접하는 두변을 소정각도 경사진 상태로 하방에서 지지하는 기판 지지부를 구비한 것을 특징으로 하는 기판유지구.
제 1항에 있어서, 상기 기판 지지부가 장방형 기판의 장변을 하방에서 지지하는 장변 지지영역과, 상기 장방형 기판의 단변을 하방에서 지지하는 단변 지지영역을 구비하고, 상기 장변 지지영역과 수평면이 이루는 각이 상기 단변 지지영역과 수평면이 이루는 각 보다도 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 기판유지구.
삭제
기판에 소정의 처리를 실시하여 전자 디바이스를 제조하는 전자 디바이스 제조방법으로서,

청구항 1 또는 2 에 기재된 기판 유지구로 상기 기판을 유지하는 공정이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조방법.
기판에 소정의 처리를 실시하여 포토 마스크를 제조하는 포토 마스크 제조방법으로서,

청구항 1 또는 2 에 기재된 기판 유지구로 상기 기판을 유지하는 공정이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 포토 마스크의 제조방법.